一種真空管路系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種真空管路系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前,VO)(英文名稱為Vacuum Chamber Dry,中文名稱為真空干燥腔室)真空管 路系統(tǒng)如圖1所示,干泵1通過真空管路3與真空干燥腔室2連接,在真空管路3上設(shè)有第 一閥門4(主閥)和第二閥門5(蝶閥);抽真空完成后,對(duì)真空管路系統(tǒng)中的A、B、C三個(gè)點(diǎn) 進(jìn)行拍照后發(fā)現(xiàn)存在大量有機(jī)物附著,包括第一附著區(qū)域A、第二附著區(qū)域B及第三附著區(qū) 域C。這三個(gè)區(qū)域均為有機(jī)物附著較嚴(yán)重的區(qū)域,而當(dāng)此有機(jī)物附著于真空管路時(shí)則會(huì)導(dǎo)致 主閥門內(nèi)的〇型密封圈腐蝕漏氣,從而會(huì)影響VCD抽真空的效果,延長VCD的處理時(shí)間,進(jìn) 而導(dǎo)致產(chǎn)線節(jié)拍時(shí)間延長,同時(shí)還會(huì)有品質(zhì)異常風(fēng)險(xiǎn)等問題。
[0003] 至于這三個(gè)區(qū)域?yàn)楹稳菀桩a(chǎn)生有機(jī)物附著,分析如下:V⑶的主要功能是通過真 空干抽的方式,用于將VCD腔室內(nèi)基板表面涂布的光刻膠中的70%以上的有機(jī)揮發(fā)物抽 走,以方便后續(xù)處理。但是,無論是在抽真空過程中還是在抽真空結(jié)束時(shí),真空管路中均會(huì) 充斥較多的有機(jī)物氣體。此外,由于設(shè)備動(dòng)作時(shí)序是一旦VCD抽真空完成,其主閥和蝶閥均 會(huì)同時(shí)關(guān)閉,這樣主閥與蝶閥之間的封閉管路中勢(shì)必會(huì)存在一定濃度的有機(jī)物氣體。工廠 經(jīng)驗(yàn)證明:這些滯留的有機(jī)物氣體會(huì)附著到管路中以及主閥門內(nèi),并且會(huì)造成主閥內(nèi)0-形 密封圈腐蝕、漏氣現(xiàn)象。因此,為解決此問題,必須對(duì)主閥門進(jìn)行換新,每個(gè)主閥門的價(jià)格約 3萬人民幣左右,較為昂貴。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004] (一)要解決的技術(shù)問題
[0005] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供了一種真空管路系統(tǒng),使得能夠減少有機(jī)物在真 空管路及主閥門中附著的概率,延長主閥門的壽命,降低成本。
[0006] (二)技術(shù)方案
[0007] 為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種真空管路系統(tǒng),其包括:干泵和真空干燥 腔室,所述干泵通過真空管路與所述真空干燥腔室連接;所述真空管路上設(shè)有第一閥門和 第二閥門,在所述真空管路上且位于第一閥門和第二閥門之間設(shè)有大氣開放系統(tǒng),所述大 氣開放系統(tǒng)用于向所述真空管路內(nèi)輸入氣體。
[0008] 其中,所述大氣開放系統(tǒng)包括供氣管路、第三閥門和控制單元;所述供氣管路的輸 出端與所述真空管路連接,且其輸出端位于第一閥門與第二閥門之間;所述第三閥門設(shè)置 于供氣管路上;所述控制單元用于控制第三閥門的啟閉。
[0009] 其中,所述供氣管路的輸入端與氣源連接,所述氣源用于產(chǎn)生惰性氣體。
[0010] 其中,所述供氣管路的輸入端與大氣連通。
[0011] 其中,所述第三閥門為氣動(dòng)閥;所述控制單元包括PLC控制器、電磁閥及動(dòng)力源, 在所述動(dòng)力源與第三閥門之間設(shè)有輸氣管路,所述動(dòng)力源向輸氣管路內(nèi)輸入壓縮空氣;所 述電磁閥設(shè)置于輸氣管路上;所述PLC控制器與所述電磁閥電連接。
[0012] 其中,在所述供氣管路上且位于其輸出端與第三閥門之間設(shè)有過濾器。
[0013] 其中,所述真空干燥腔室上設(shè)有第一通氣單元和第二通氣單元;所述第一通氣單 元用于向真空干燥腔室通入空氣;所述第二通氣單元用于向真空干燥腔室通入壓縮空氣。
[0014] 其中,所述第一閥門包括殼體、驅(qū)動(dòng)開關(guān)和密封件;所述殼體上設(shè)有上游閥口和下 游閥口,所述上游閥口與真空干燥腔室連通,所述下游閥口與干泵連通;所述驅(qū)動(dòng)開關(guān)設(shè)置 于殼體內(nèi),用于使所述上游閥口與下游閥口之間接通或斷開;所述密封件設(shè)置于驅(qū)動(dòng)開關(guān) 與殼體之間。
[0015] 其中,所述第二閥門為蝶閥,且位于所述真空干燥腔室與第一閥門之間。
[0016] (三)有益效果
[0017] 本發(fā)明的上述技術(shù)方案具有以下有益效果:本發(fā)明提供一種真空管路系統(tǒng),在真 空管路上增加大氣開放系統(tǒng),通過大氣開放系統(tǒng)向真空管路輸入氣體,減少有機(jī)物在真空 管路及主閥門中附著的概率,延長主閥門的壽命,降低成本。
【附圖說明】
[0018] 圖1為現(xiàn)有真空管路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0019] 圖2為本發(fā)明實(shí)施例真空管路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020] 圖3為本發(fā)明實(shí)施例第一閥門的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0021] 圖4為本發(fā)明實(shí)施例真空管路系統(tǒng)的時(shí)序圖。
[0022] 其中,1 :干泵;2 :真空干燥腔室;3 :真空管路;4 :第一閥門;5 :第二閥門;6 :供氣 管路;7 :第三閥門;8 :控制單元;9 :PLC控制器;10 :電磁閥;11 :動(dòng)力源;12 :過濾器;13 : 基板;A :第一附著區(qū)域;B :第二附著區(qū)域;C :第三附著區(qū)域;21 :第一通氣單元;22第二通 氣單元;41 :殼體;42 :上游閥口;43 :下游閥口;44 :驅(qū)動(dòng)開關(guān);45 :密封件。
【具體實(shí)施方式】
[0023] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于 說明本發(fā)明,但不能用來限制本發(fā)明的范圍。
[0024] 在本發(fā)明的描述中,需要說明的是,除非另有說明,"多個(gè)"的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以 上;術(shù)語"上"、"下"、"左"、"右"、"內(nèi)"、"外"、"前端"、"后端"、"頭部"、"尾部"等指示的方位 或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述,而 不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此 不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,術(shù)語"第一"、"第二"、"第三"等僅用于描述目的,而不 能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0025] 在本發(fā)明的描述中,還需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語"安裝"、 "相連"、"連接"應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連 接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連。 對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可視具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0026] 如圖2所示,本實(shí)施例提供的真空管路系統(tǒng),其包括干泵1和真空干燥腔室2,干泵 1通過真空管路3與真空干燥腔室2連接;在真空管路3上設(shè)有第一閥門4和第二閥門5, 在真空管路3上且位于第一閥門4和第二閥門5之間設(shè)有大氣開放系統(tǒng),大氣開放系統(tǒng)用 于向真空管路3內(nèi)輸入氣體,從而減少有機(jī)物在真空管路3中及第一閥門4 (主閥門)附著 的概率,延長主閥門的壽命,降低成本。
[0027] 具體的,大氣開放系統(tǒng)包括供氣管路6、第三閥門7和控制單元8 ;供氣管路6的輸 出端與真空管路3連接,且其輸出端位于第一閥門4與第二閥門5之間,通過供氣管路6實(shí) 現(xiàn)輸入氣體;第三閥門7設(shè)置于供氣管路6上;控制單元8與第三閥門7連接,可根據(jù)需要 自動(dòng)控制第三閥門7的啟閉,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化設(shè)置。
[0028] 進(jìn)一步的,在供氣管路6上且位于其輸出端與第三閥門7之間設(shè)有過濾器12。通 過過濾器12對(duì)供氣管路6中的氣體進(jìn)行過濾,對(duì)于過濾器12而言其可采用簡單