一種真空壓力控制裝置的制造方法
【專利摘要】一種真空壓力控制裝置，屬于抽真空技術(shù)領(lǐng)域。該真空壓力控制裝置包括反應(yīng)腔體，真空管路Ⅰ，氣動(dòng)角閥，真空波紋管，電動(dòng)蝶閥，真空管路Ⅱ和真空泵，所述真空管路Ⅰ由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體與水平方向的真空管路Ⅰ固定密封連接，并且反應(yīng)腔體與真空管路相通，所述真空管路Ⅰ的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥，所述真空波紋管分別與豎直方向的真空管路Ⅰ和真空管路Ⅱ連接，所述真空管路Ⅱ設(shè)置有電動(dòng)蝶閥，真空管路Ⅱ與真空泵連接。本實(shí)用新型采用氣動(dòng)角閥和電動(dòng)蝶閥控制反應(yīng)腔體的壓力，氣動(dòng)角閥失電時(shí)，自動(dòng)隔斷反應(yīng)腔體和真空管路，電動(dòng)蝶閥可以逐步打開(kāi)和控制開(kāi)度有助于保持反應(yīng)腔體在工作時(shí)壓力穩(wěn)定不變。
【專利說(shuō)明】
一種真空壓力控制裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于抽真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空壓力控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子表面處理作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造、機(jī)械重工和五金工具制造等領(lǐng)域。在等離子表面處理過(guò)程中，需要在真空條件下，所以要將反應(yīng)腔體內(nèi)抽真空，并保持恒定壓力。在通常情況下，只采用電動(dòng)閘板閥控制開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)反應(yīng)腔體的真空壓力，但是一旦發(fā)生停電或者其他異常情況需緊急切斷電源時(shí)，電動(dòng)閘板閥因失去電驅(qū)動(dòng)力而保持在原有位置無(wú)法關(guān)閉，不能隔斷反應(yīng)腔體和真空管路，造成反應(yīng)腔體內(nèi)壓力無(wú)法繼續(xù)保持，進(jìn)而造成反應(yīng)腔體內(nèi)工件受損。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是克服上述不足，提供一種可以在停電等異常情況下迅速隔斷反應(yīng)腔體與真空管道，保持反應(yīng)腔體壓力，避免反應(yīng)腔體內(nèi)工件受損的真空壓力控制裝置。
[0004]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是:一種真空壓力控制裝置，其特征在于:包括反應(yīng)腔體，真空管路I，氣動(dòng)角閥，真空波紋管，電動(dòng)蝶閥，真空管路Π和真空栗，所述真空管路I由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體與水平方向的真空管路I固定密封連接，并且反應(yīng)腔體與真空管路相通，所述真空管路I的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥，所述真空波紋管分別與豎直方向的真空管路I和真空管路Π連接，所述真空管路Π設(shè)置有電動(dòng)蝶閥，真空管路Π與真空栗連接。
[0005]所述真空管路I和真空管路Π內(nèi)徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼。
[0006]所述氣動(dòng)角閥包括氣缸，芯軸和閥蓋，所述芯軸下端與閥蓋固定連接，芯軸上端處于氣缸內(nèi)，氣動(dòng)角閥的閥蓋在豎直方向運(yùn)動(dòng)，氣動(dòng)角閥內(nèi)徑范圍為50-150mm。
[0007]所述真空波紋管的內(nèi)徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管密封方式為波紋管軸封。
[0008]所述電動(dòng)蝶閥采用電動(dòng)高真空蝶閥，所述電動(dòng)高真空蝶閥包括中線式蝶板，中軸和閥體，所述閥體設(shè)置有中軸，中線式蝶板與中軸旋轉(zhuǎn)連接，中線式蝶板的長(zhǎng)度與閥體內(nèi)徑等長(zhǎng)，中線式蝶板打開(kāi)角度范圍為0-90度，電動(dòng)蝶閥的內(nèi)徑范圍為50-150mm。
[0009]所述真空栗功率是8-15KW，抽速500-1500m3/h。
[0010]本實(shí)用新型采用氣動(dòng)角閥和電動(dòng)蝶閥控制反應(yīng)腔體的壓力，當(dāng)氣動(dòng)角閥失電時(shí)，氣路斷開(kāi)，氣動(dòng)角閥自動(dòng)關(guān)閉，隔斷反應(yīng)腔體和真空管路，維持了反應(yīng)腔體的壓力，電動(dòng)蝶閥可以逐步打開(kāi)和控制開(kāi)度有助于保持反應(yīng)腔體在工作時(shí)壓力穩(wěn)定不變。
[0011 ]本實(shí)用新型具有的有益效果:
[0012](I)采用此真空壓力控制裝置，在出現(xiàn)停電等緊急情況時(shí)能迅速隔斷腔體和真空管路，避免對(duì)反應(yīng)腔體內(nèi)的工件造成損害。
[0013](2)此真空壓力控制裝置在反應(yīng)腔體工作中，可以使反應(yīng)腔體內(nèi)壓力得到穩(wěn)定控制。
[0014](3)電動(dòng)蝶閥可以控制開(kāi)度，在真空栗剛開(kāi)始抽真空時(shí)，電動(dòng)蝶閥預(yù)先打開(kāi)一定角度，蝶閥兩側(cè)不會(huì)產(chǎn)生較大壓差，避免電動(dòng)蝶閥無(wú)法順利打開(kāi)或者發(fā)生抖動(dòng)，這樣可以使壓力控制更為順利平穩(wěn)。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為一種真空壓力控制裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為一種真空壓力控制裝置氣動(dòng)角閥關(guān)閉(左)和開(kāi)啟(右)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0017]圖3為一種真空壓力控制裝置電動(dòng)蝶閥關(guān)閉(左)和開(kāi)啟(右)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0018]圖中:1、真空栗，2、真空管路Π，3、電動(dòng)蝶閥，4、真空波紋管，5、氣動(dòng)角閥，6、真空管路I，7、反應(yīng)腔體，8、氣缸，9、芯軸，10、閥蓋，11、中線式蝶板，12、中軸，13、閥體。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0020]實(shí)施例1
[0021]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應(yīng)腔體7，真空管路16，氣動(dòng)角閥5，真空波紋管4，電動(dòng)蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應(yīng)腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥5，所述氣動(dòng)角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內(nèi)，氣動(dòng)角閥5的閥蓋10在豎直方向運(yùn)動(dòng)，氣動(dòng)角閥5內(nèi)徑范圍為50mm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內(nèi)徑范圍是50mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設(shè)置有電動(dòng)蝶閥3，所述電動(dòng)蝶閥3采用電動(dòng)高真空蝶閥，所述電動(dòng)高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設(shè)置有中軸12，中線式蝶板12與中軸12旋轉(zhuǎn)連接，中線式蝶板11的長(zhǎng)度與閥體13內(nèi)徑等長(zhǎng)，中線式蝶板11打開(kāi)角度范圍為0-90度，電動(dòng)蝶閥3的內(nèi)徑范圍為50mm。真空管路Π 2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是8KW，抽速500m3/h。所述真空管路16和真空管路Π 2內(nèi)徑范圍是50_，材料是304不銹鋼。
[0022]檢查設(shè)備水、電、氣路狀態(tài)，一切正常后開(kāi)始操作，首先電動(dòng)蝶閥3打開(kāi)一個(gè)預(yù)定的角度，啟動(dòng)真空栗I，當(dāng)管路的真空度下降到預(yù)定壓力時(shí)，打開(kāi)氣動(dòng)角閥5，接通反應(yīng)腔體7，接通反應(yīng)腔體7后，反應(yīng)腔體7內(nèi)壓力開(kāi)始下降，然后電動(dòng)蝶閥3分多步逐漸打開(kāi)。反應(yīng)腔體7內(nèi)壓力到達(dá)設(shè)定壓力時(shí)，電動(dòng)蝶閥3自動(dòng)控制開(kāi)度，保持反應(yīng)腔體7內(nèi)壓力穩(wěn)定不變。當(dāng)出現(xiàn)停電或重大異常情況需緊急停止切斷電源時(shí)，氣動(dòng)角閥5自動(dòng)關(guān)閉，氣路斷開(kāi)，氣動(dòng)角閥5自動(dòng)關(guān)閉，隔斷反應(yīng)腔體7和真空管路16，待異常情況排除，電力恢復(fù)后，從新按照上述步驟操作，對(duì)反應(yīng)腔體7進(jìn)行抽真空。
[0023]實(shí)施例2
[0024]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應(yīng)腔體7，真空管路16，氣動(dòng)角閥5，真空波紋管4，電動(dòng)蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應(yīng)腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥5，所述氣動(dòng)角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內(nèi)，氣動(dòng)角閥5的閥蓋10在豎直方向運(yùn)動(dòng)，氣動(dòng)角閥5內(nèi)徑范圍為I OOmm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內(nèi)徑范圍是100mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設(shè)置有電動(dòng)蝶閥3，所述電動(dòng)蝶閥3采用電動(dòng)高真空蝶閥，所述電動(dòng)高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設(shè)置有中軸12，中線式蝶板11與中軸12旋轉(zhuǎn)連接，中線式蝶板11的長(zhǎng)度與閥體13內(nèi)徑等長(zhǎng)，中線式蝶板11打開(kāi)角度范圍為0-90度，電動(dòng)蝶閥3的內(nèi)徑范圍為100mm。真空管路Π2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是11KW，抽速1000m3/h。所述真空管路16和真空管路Π 2內(nèi)徑范圍是100mm，材料是304不銹鋼。
[0025]實(shí)施例3
[0026]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應(yīng)腔體7，真空管路16，氣動(dòng)角閥5，真空波紋管4，電動(dòng)蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應(yīng)腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥5，所述氣動(dòng)角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內(nèi)，氣動(dòng)角閥5的閥蓋10在豎直方向運(yùn)動(dòng)，氣動(dòng)角閥5內(nèi)徑范圍為150mm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內(nèi)徑范圍是150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設(shè)置有電動(dòng)蝶閥3，所述電動(dòng)蝶閥3采用電動(dòng)高真空蝶閥，所述電動(dòng)高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設(shè)置有中軸12，中線式蝶板11與中軸12旋轉(zhuǎn)連接，中線式蝶板11的長(zhǎng)度與閥體13內(nèi)徑等長(zhǎng)，中線式蝶板11打開(kāi)角度范圍為0-90度，電動(dòng)蝶閥3的內(nèi)徑范圍為150mm。真空管路Π2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是15KW，抽速1500m3/h。所述真空管路16和真空管路Π2內(nèi)徑范圍是150_，材料是304不銹鋼。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空壓力控制裝置，其特征在于:包括反應(yīng)腔體(7)，真空管路1(6)，氣動(dòng)角閥(5)，真空波紋管(4)，電動(dòng)蝶閥(3)，真空管路Π (2)和真空栗(I)，所述真空管路1(6)由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應(yīng)腔體(7)與水平方向的真空管路1(6)固定密封連接，并且反應(yīng)腔體(7)與真空管路1(6)相通，所述真空管路1(6)的水平和豎直方向的拐角處設(shè)置有氣動(dòng)角閥(5)，所述真空波紋管(4)分別與豎直方向的真空管路I (6)和真空管路Π(2)連接，所述真空管路Π (2)設(shè)置有電動(dòng)蝶閥(3)，真空管路Π (2)與真空栗(I)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空管路1(6)和真空管路Π (2)內(nèi)徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述氣動(dòng)角閥(5)包括氣缸(8)，芯軸(9)和閥蓋(10)，所述芯軸(9)下端與閥蓋(10)固定連接，芯軸(9)上端處于氣缸(8)內(nèi)，氣動(dòng)角閥(5)的閥蓋(10)在豎直方向運(yùn)動(dòng)，氣動(dòng)角閥(5)內(nèi)徑范圍為50-150mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空波紋管(4)的內(nèi)徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管(4)密封方式為波紋管軸封。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述電動(dòng)蝶閥(3)采用電動(dòng)高真空蝶閥，所述電動(dòng)高真空蝶閥包括中線式蝶板(11 )，中軸(12)和閥體(13 )，所述閥體(13)設(shè)置有中軸(12)，中線式蝶板(11)與中軸(12)旋轉(zhuǎn)連接，中線式蝶板(11)的長(zhǎng)度與閥體(I3)內(nèi)徑等長(zhǎng)，中線式蝶板(II)打開(kāi)角度范圍為0-90度，電動(dòng)蝶閥(3)的內(nèi)徑范圍為50-150mmο6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空栗(I)功率是8-15KW，抽速500-1500m3/h。
【文檔編號(hào)】F17D3/01GK205618994SQ201620437449
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年5月13日
【發(fā)明人】宗堅(jiān)
【申請(qǐng)人】無(wú)錫榮堅(jiān)五金工具有限公司