技術(shù)編號：4917934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)光刻工藝基本步驟中的旋轉(zhuǎn)顯影過程領(lǐng)域，具體地說是一種旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，包括筒體、筒蓋及活動塞，筒體的一端與筒蓋密封連接，另一端開有排液口，活動塞插設(shè)在排液口內(nèi)，通過活動塞沿筒體軸向往復(fù)移動控制排液口的開關(guān)；筒蓋上分別開有進氣口及排氣口，筒蓋上沿筒體軸向向筒體延伸、形成豎隔板，豎隔板上沿徑向設(shè)有橫隔板，該隔板上開有供氣液介質(zhì)通過的通孔；氣液介質(zhì)通過橫隔板折流分離，液體經(jīng)過通孔，由排液口排出。本發(fā)明在筒體內(nèi)設(shè)置了橫、豎隔...
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