專利名稱:工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于廢水處理裝置技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種膜法水處理裝置。
背景技術(shù):
當(dāng)前,先進(jìn)的多線切割機(jī)巳廣泛用于集成電路、太陽(yáng)能電池等基板的薄硅片切割加工。它是采用由碳化硅、聚乙二醇(PEG)等組成的磨削、冷卻砂漿,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)的金屬線配合下與硅片工件連續(xù)摩擦而完成對(duì)晶片的磨切的。在切割過(guò)程中,高純硅屑不斷混入磨料砂漿中,最終影響了切割效能和工件質(zhì)量,此時(shí)需要更新砂漿。而在廢砂漿中約含有33% 碳化硅、35%PEG和9%的硅粉,為了避免環(huán)境污染、回收貴重原料節(jié)約生產(chǎn)成本,廢砂漿必須進(jìn)行回收處理。目前,對(duì)廢砂漿進(jìn)行回收處理的先進(jìn)方法是先向廢砂漿加入降粘劑一進(jìn)行固液分離得一級(jí)分離液與一級(jí)固體顆粒一一級(jí)分離液經(jīng)框板過(guò)濾分離得二級(jí)分離液與二級(jí)固體顆粒一二級(jí)分離液經(jīng)微孔膜、中空纖維超濾膜、離子交換器處理后得三級(jí)分離液一經(jīng)蒸餾回收得聚乙二醇和可作降粘劑的蒸餾廢液;另外將一、二級(jí)固體顆粒經(jīng)堿、酸、水洗回收碳化硅。上述回收聚乙二醇的關(guān)鍵設(shè)備是中空纖維超濾器,由于進(jìn)入中空纖維超濾器的砂漿分離液,雖經(jīng)上述預(yù)處理設(shè)備分離去較大固體顆粒,但仍存在含固量高、粘度大的問(wèn)題,極易磨損、堵塞中空纖維膜,且由于中空纖維膜被污染后不易清洗,故現(xiàn)有中空纖維超濾器在生產(chǎn)過(guò)程中故障率高,使用壽命短,生產(chǎn)效率低,嚴(yán)重制約了硅片切割砂漿的有效回收處理。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的,是為工業(yè)磨削廢砂漿,特別是硅片切割磨削廢砂漿的回收處理,提供一種分離效率高、使用壽命長(zhǎng)、運(yùn)行成本較低的膜濾裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種工業(yè)磨削廢砂漿膜濾器,包括筒體,由若干濾膜元件通過(guò)鎖片連續(xù)疊加安裝于中心凈水出水管上構(gòu)成的超濾組件,所述筒體是方體或長(zhǎng)方體,超濾組件的中心凈水出水管水平地安裝于筒體內(nèi),其一端固定于筒體內(nèi)壁上、另一端穿出筒體,筒體底面、頂面上分別連接有進(jìn)液接管或出液接管。作為優(yōu)選,所述筒體為封閉壓力容器,工作壓力為2 ^g/cm2。作為優(yōu)選,所述膜濾元件是由第一膜片、第一濾網(wǎng)、隔板、第二濾網(wǎng)與第二膜片依次疊合成一體,其四周呈封邊、中間開(kāi)設(shè)有鎖接孔而構(gòu)成,它與環(huán)槽形鎖片構(gòu)成硬盤板式超濾膜鎖合組件。作為優(yōu)選,所述第一膜片和第二膜片的基層上涂布有聚偏氟乙烯與聚四氟乙烯的混合材料。作為優(yōu)選,所述第一膜片和第二膜片的基層為PET無(wú)紡布。作為優(yōu)選,筒體底部水平安裝有若干排沖洗管,沖洗管上均布有布?xì)饣虿家嚎?。本?shí)用新型的有益效果是本膜濾器改變了國(guó)內(nèi)外傳統(tǒng)的濾膜平面與液流垂直接觸的工藝布置,而創(chuàng)造性地采用了濾膜平面與液流平行接觸的工藝布置,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)導(dǎo)流板、阻力小、膜表面不易積附污垢的全開(kāi)放式流道結(jié)構(gòu);同時(shí)本超濾器采用壓力正壓過(guò)濾,大大加強(qiáng)了膜片過(guò)濾的推動(dòng)力;另外,采用了本申請(qǐng)人研制的硬盤式膜濾組件,特別是特制了由聚偏氟乙烯與聚四氟乙烯混合材料涂制在PET無(wú)紡布上而制成的高強(qiáng)度耐磨復(fù)合膜片,使超濾組件使用壽命達(dá)到6年以上;還在超濾器中對(duì)膜片設(shè)置了氣水混合沖洗裝置,間歇地清除粘附在膜片表面的污物,可長(zhǎng)期保持膜片表面清潔;從而為解決工業(yè)磨削廢砂漿或粘稠性廢水處理的難題,成功地提供了一種可靠有效而處理成本低的過(guò)濾回收裝置。
圖1為本膜濾器的總體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1的A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本膜濾器的硬盤板式超濾組件結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本膜濾器的膜濾元件結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本膜濾器的鎖片結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖以實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。本實(shí)施例工業(yè)磨削廢砂漿膜濾器,具有長(zhǎng)方體筒體1,筒體1底面設(shè)有進(jìn)液接管 11、頂面設(shè)有出液接管12、兩內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有安裝支架13,由若干濾膜元件22通過(guò)鎖片21連續(xù)疊加鎖合安裝于中心凈水出水管23上構(gòu)成超濾組件2,所述中心凈水出水管23上均布有若干導(dǎo)水孔232和配合安裝鎖片21的軸向凸筋231 ;超濾組件2橫置安裝于兩安裝支架13 之間,即超濾組件的中心凈水出水管23水平地安裝于筒體內(nèi),其一端固定于筒體一側(cè)內(nèi)壁上的安裝支架13上、另一端穿出筒體連接到產(chǎn)出水總管4。本實(shí)施例在筒體兩安裝支架13 之間安裝了上下二組超濾組件2,以加強(qiáng)過(guò)濾能力。上述膜濾元件2采用由第一膜片221、 第一濾網(wǎng)222、隔板223、第二濾網(wǎng)2M與第二膜片225依次疊合成一體,其四周以超聲波自動(dòng)焊接成封邊227、中間開(kāi)設(shè)有鎖接孔2 而構(gòu)成,它與設(shè)有軸向凸臺(tái)211、軸向凹槽212和密封圈槽213的環(huán)槽形鎖片21相鎖接構(gòu)成組裝、拆卸簡(jiǎn)便快速、密封性能可靠穩(wěn)定的硬盤板式超濾膜鎖合組件。上述第一膜片221、第二膜片225是特別采用了聚偏氟乙烯與聚四氟乙烯混合材料涂制在PET無(wú)紡布上而制成的高強(qiáng)度耐磨超濾膜片。本膜濾器為了加強(qiáng)膜片過(guò)濾的推動(dòng)力,采用壓力正壓過(guò)濾,其工作壓力可達(dá)2 ^g/cm2。另外,本膜濾器筒體底部水平安裝有若干排沖洗管3,沖洗管上均布有布?xì)饣虿家嚎?1,定時(shí)對(duì)膜片表面進(jìn)行沖洗, 以保證膜片的過(guò)濾效率。
權(quán)利要求1.. 一種工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,包括筒體(1),由若干濾膜元件(22)通過(guò)鎖片(21)連續(xù)疊加安裝于中心凈水出水管(23)上構(gòu)成的超濾組件(2),其特征在于所述筒體 (1)是方體或長(zhǎng)方體,超濾組件的中心凈水出水管(23)水平地安裝于筒體(1)內(nèi),其一端固定于筒體內(nèi)壁上、另一端穿出筒體,筒體(1)底面、頂面上分別連接有進(jìn)液接管(11)或出液接管(12)。
2.按權(quán)利要求1所述的工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,其特征在于所述筒體(1)為封閉壓力容器,工作壓力為2 ^g/cm2。
3.按權(quán)利要求1所述的工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,其特征在于所述膜濾元件(22) 是由第一膜片(221)、第一濾網(wǎng)(222)、隔板(223)、第二濾網(wǎng)(2 )與第二膜片(225)依次疊合成一體,其四周呈封邊(227)、中間開(kāi)設(shè)有鎖接孔(226)而構(gòu)成,它與環(huán)槽形鎖片(21)構(gòu)成硬盤板式超濾膜鎖合組件。
4.按權(quán)利要求3所述的工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,其特征在于所述第一膜片 (221)和第二膜片(225)的基層為PET無(wú)紡布。
5.按權(quán)利要求1所述的工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,其特征在于筒體(1)底部水平安裝有若干排沖洗管(3 ),沖洗管(3 )上均布有布?xì)饣虿家嚎?31)。
專利摘要一種工業(yè)磨削廢砂漿板管式膜濾器,包括筒體,由若干濾膜元件通過(guò)鎖片連續(xù)疊加安裝于中心凈水出水管上構(gòu)成的超濾組件,所述筒體是方體或長(zhǎng)方體,超濾組件的中心凈水出水管水平地安裝于筒體內(nèi),其一端固定于筒體內(nèi)壁上、另一端穿出筒體,筒體底面、頂面上分別連接有進(jìn)液接管或出液接管。本實(shí)用新型膜濾器采用了濾膜平面與液流平行接觸的工藝布置,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)導(dǎo)流板、阻力小、膜表面不易積附污垢的全開(kāi)放式流道結(jié)構(gòu);同時(shí)采用壓力正壓過(guò)濾和硬盤式膜濾組件,特制了高強(qiáng)度耐磨復(fù)合膜片;從而為解決工業(yè)磨削廢砂漿或粘稠性廢水處理的難題,提供了一種可靠有效而處理成本低的過(guò)濾回收裝置。
文檔編號(hào)B01D61/18GK202143819SQ20112013626
公開(kāi)日2012年2月15日 申請(qǐng)日期2011年5月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月3日
發(fā)明者魏新時(shí) 申請(qǐng)人:湖州鼎泰凈水科技有限公司