技術(shù)編號:5001347
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于廢水處理裝置,特別是涉及一種膜法水處理裝置。 背景技術(shù)當前,先進的多線切割機巳廣泛用于集成電路、太陽能電池等基板的薄硅片切割加工。它是采用由碳化硅、聚乙二醇(PEG)等組成的磨削、冷卻砂漿,在高速運轉(zhuǎn)的金屬線配合下與硅片工件連續(xù)摩擦而完成對晶片的磨切的。在切割過程中,高純硅屑不斷混入磨料砂漿中,最終影響了切割效能和工件質(zhì)量,此時需要更新砂漿。而在廢砂漿中約含有33% 碳化硅、35%PEG和9%的硅粉,為了避免環(huán)境污染、回收貴重原料節(jié)約生產(chǎn)成本...
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