一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶片加工過程中，需要將殘留在晶片表面上的蠟去除。現(xiàn)有的清洗設(shè)備通常采用多種工序進(jìn)行加工操作，采用液體清洗的方式下，蠟溶解在清洗液內(nèi)，不方便分離，使得大量清洗液僅能一次性使用，非常浪費(fèi)資源。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，能改善現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，通過采用射流栗加速經(jīng)過降溫的清洗液噴射到隔板上，使其能夠更加充分的與隔板接觸，實(shí)現(xiàn)蠟?zāi)Y(jié)收集。
[0004]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，包括與儲(chǔ)液倉相連接的抽吸栗，在所述的抽吸栗輸出端設(shè)置有膨脹閥，所述的膨脹閥輸出端通過射流栗與分離倉相連接，所述的分離倉遠(yuǎn)離所述的射流栗一側(cè)側(cè)壁上設(shè)置有隔板，所述的隔板為沿所述的分離倉內(nèi)壁縱向排列的至少3個(gè)，所述的隔板由上向下長(zhǎng)度逐漸增大；
在所述的分離倉下部設(shè)置有輸出口，所述的輸出口通過管道與加熱倉相連接。
[0005]進(jìn)一步的，為更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，所述的隔板可拆卸連接在所述的分離倉內(nèi)壁上。
[0006]進(jìn)一步的，為更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，所述的隔板通過螺栓連接在所述的分離倉內(nèi)壁上。
[0007]進(jìn)一步的，為更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，在所述的輸出口上設(shè)置有至少I道過濾網(wǎng)。
[0008]進(jìn)一步的，為更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，所述的加熱倉包括內(nèi)外兩層殼體組成的容納腔體結(jié)構(gòu)和設(shè)置在內(nèi)外兩層殼體之間的電加熱器。
[0009]進(jìn)一步的，為更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，所述的加熱倉的內(nèi)層殼體為防腐陶瓷制成。
[0010]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下有益效果:
(1)本發(fā)明通過采用膨脹閥，實(shí)現(xiàn)對(duì)清洗液進(jìn)行降溫，使其中的蠟在驟冷時(shí)凝結(jié)，方便收集；
(2)本發(fā)明通過采用射流栗，加速將經(jīng)降溫的清洗液噴射到隔板上，使蠟在隔板上集結(jié)，方便其凝結(jié)和收集；
(3)本發(fā)明設(shè)置加熱倉，能夠?qū)⒔?jīng)過除蠟之后的清洗液加熱處理，使其可以再次使用，同時(shí)通過加熱處理，使得清洗液在用于除蠟操作時(shí)，能夠提高清洗效率。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。
[0012]圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中:101.儲(chǔ)液倉，102.抽吸栗，103.膨脹閥，104.分離倉，105.隔板，106.輸出□ ,107.加熱倉，108.過濾網(wǎng)。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)介紹，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。
[0015]如圖1所示，一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，包括與儲(chǔ)液倉101相連接的抽吸栗102，在所述的抽吸栗102輸出端設(shè)置有膨脹閥103，所述的膨脹閥103輸出端通過射流栗與分離倉104相連接，所述的分離倉104遠(yuǎn)離所述的射流栗一側(cè)側(cè)壁上設(shè)置有隔板105，所述的隔板105為沿所述的分離倉104內(nèi)壁縱向排列的至少3個(gè)，所述的隔板105由上向下長(zhǎng)度逐漸增大；
在所述的分離倉104下部設(shè)置有輸出口 106，所述的輸出口 106通過管道與加熱倉107
相連接。
[0016]實(shí)施例1:
為了方便安裝，本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述的隔板105可拆卸連接在所述的分離倉104內(nèi)壁上。可以方便將其拆卸下來，從而能夠集中處理凝結(jié)在隔板上的蠟，方便隔板重復(fù)使用，同時(shí)也可以方便蠟集中收集和重復(fù)使用。
[0017]優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述的隔板105通過螺栓連接在所述的分離倉104內(nèi)壁上。本發(fā)明中，也可以采用卡接等方式實(shí)現(xiàn)對(duì)隔板的安裝，能夠方便操作即可。
[0018]實(shí)施例2:
本實(shí)施例在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，在所述的輸出口 106上設(shè)置有至少I道過濾網(wǎng)108。通過設(shè)置過濾網(wǎng)，能夠?qū)姆蛛x倉輸出的清洗液進(jìn)行過濾，避免蠟進(jìn)入加熱倉影響后續(xù)處理效果。
[0019]本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述的加熱倉107包括內(nèi)外兩層殼體組成的容納腔體結(jié)構(gòu)和設(shè)置在內(nèi)外兩層殼體之間的電加熱器。通過采用內(nèi)外兩層結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱倉內(nèi)清洗液進(jìn)行加熱，同時(shí)，采用兩層結(jié)構(gòu)，能夠有效實(shí)現(xiàn)保溫，避免資源浪費(fèi)。
[0020]為了提高保溫效果，本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述的加熱倉107的內(nèi)層殼體為防腐陶瓷制成。既能夠?qū)崿F(xiàn)溫度傳遞的效果，同時(shí)也能利用陶瓷保溫效果好的特點(diǎn)，有助于保持加熱倉內(nèi)溫度恒定，從而使清洗液經(jīng)加熱之后進(jìn)行去蠟操作，有效提高去蠟效率。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:包括與儲(chǔ)液倉(101)相連接的抽吸栗(102)，在所述的抽吸栗(102)輸出端設(shè)置有膨脹閥(103)，所述的膨脹閥(103)輸出端通過射流栗與分離倉(104)相連接，所述的分離倉(104)遠(yuǎn)離所述的射流栗一側(cè)側(cè)壁上設(shè)置有隔板(105)，所述的隔板(105)為沿所述的分離倉(104)內(nèi)壁縱向排列的至少3個(gè)，所述的隔板(105)由上向下長(zhǎng)度逐漸增大； 在所述的分離倉(104)下部設(shè)置有輸出口( 106)，所述的輸出口( 106)通過管道與加熱倉(107)相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:所述的隔板(105)可拆卸連接在所述的分離倉(104)內(nèi)壁上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:所述的隔板(105)通過螺栓連接在所述的分離倉(104)內(nèi)壁上。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:在所述的輸出口(106)上設(shè)置有至少I道過濾網(wǎng)(108)。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:所述的加熱倉(107)包括內(nèi)外兩層殼體組成的容納腔體結(jié)構(gòu)和設(shè)置在內(nèi)外兩層殼體之間的電加熱器。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:所述的加熱倉(107)的內(nèi)層殼體為防腐陶瓷制成。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶片除蠟清洗液循環(huán)系統(tǒng)，包括與清洗液儲(chǔ)液倉相連接的抽吸泵，在所述的抽吸泵輸出端設(shè)置有膨脹閥，所述的膨脹閥輸出端通過射流泵與分離倉相連接，所述的分離倉遠(yuǎn)離所述的射流泵一側(cè)側(cè)壁上設(shè)置有隔板，所述的隔板為沿所述的分離倉內(nèi)壁縱向排列的至少3個(gè)，所述的隔板由上向下長(zhǎng)度逐漸增大；在所述的分離倉下部設(shè)置有輸出口，所述的輸出口通過管道與加熱倉相連接。本發(fā)明通過采用射流泵加速經(jīng)過降溫的清洗液噴射到隔板上，使其能夠更加充分的與隔板接觸，實(shí)現(xiàn)蠟?zāi)Y(jié)收集。
【IPC分類】B08B3/14
【公開號(hào)】CN105057274
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510502859
【發(fā)明人】張明
【申請(qǐng)人】天津市信拓電子科技有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年8月15日