本技術涉及排氣裝置的，尤其涉及一種排風水洗結構。

背景技術：

1、清洗設備在半導體行業(yè)中廣泛被使用，而排風機構是設備的重要組成部分。將管路中的氣體通過排風結構排除，使得管路壓力保持在安全范圍內，保證設備的安全使用。排風的效率會影響設備的潔凈與安全，而氣體的液化結晶是影響排風效率的重要因素。結晶體會導致排風機構內的空間不斷被壓縮，從而影響設備的排風效率。受設備內部的空間限制，無法使用專門的排風設備來實現(xiàn)排風功能。所以需要設備專門的排風結構應用于清洗設備。

技術實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種排風水洗結構。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

3、一種排風水洗結構，其中，包括：

4、排風腔體，所述排風腔體連接外部抽氣裝置，包括底板及側板，所述側板包括平行設置的靴形側板，及垂直于所述靴形側板設置的直側板和折側板，所述靴形側板、所述直側板及所述折側板均垂直連接于所述底板并構成一靴狀的排風腔體；其中，

5、所述折側板包括自下而上設置的第一側板、第二側板及第三側板，所述第一側板和所述第三側板平行于所述直側板設置，所述第二側板呈斜坡面，且所述第二側板和所述第三側板的連接處設置有第一擋板；

6、所述直側板的底部設置有進氣口；

7、所述底板上自所述折側板至所述直側板依此設置有柵板、第二擋板及出水口；

8、所述第一擋板和所述第二擋板設置角度相互配合，在所述排風腔體中形成開放的隔間，以防止所述進氣口和所述柵板進入的酸氣回流，及保證液化的酸氣自所述出水口流出，避免結晶。

9、上述的排風水洗結構，其中，所述第一擋板與所述第三側板的夾角為135度，所述第二擋板垂直于所述底板。

10、上述的排風水洗結構，其中，所述第二側板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積的2/3。

11、上述的排風水洗結構，其中，所述第二側板和所述第一擋板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積。

12、上述的排風水洗結構，其中，所述直側板的底部還設置有進水口，通過所述進水口進入的流動的水帶動液化的酸氣從所述出水口流出。

13、上述的排風水洗結構，其中，還包括固定板，所述固定板通過法蘭接口設置在所述排風腔體的頂部，所述排風腔體通過所述法蘭接口連接外部抽氣裝置。

14、上述的排風水洗結構，其中，所述第三側板上設置有壓差計接口，用于連接壓差計，監(jiān)測所述排風腔體的壓差值。

15、一種清洗裝置，包括上述任一項所述的排風水洗結構。

16、本實用新型由于采用了上述技術，使之與現(xiàn)有技術相比具有的積極效果是：

17、(1)本實用新型能夠防止液化的酸氣不會從柵板處回流，從而保證機臺不會被污染。

18、(2)本實用新型不僅具備排風功能，還具有自清潔功能，保證設備排風效。

19、(3)本實用新型具備檢測系統(tǒng)，時刻檢測內部是否有堵塞現(xiàn)象，保證設備的安全性。

20、(4)本實用新型可以按需集成于清洗設備內部，不占據(jù)另外的空間，是設備更具競爭力。

21、(5)本實用新型可以按需設置不同數(shù)量及口徑的進出口，結構適用性更廣。

技術特征：

1.一種排風水洗結構，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1中所述的排風水洗結構，其特征在于，所述第一擋板與所述第三側板的夾角為135度，所述第二擋板垂直于所述底板。

3.根據(jù)權利要求1或2中所述的排風水洗結構，其特征在于，所述第二側板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積的2/3。

4.根據(jù)權利要求3中所述的排風水洗結構，其特征在于，所述第二側板和所述第一擋板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積。

5.根據(jù)權利要求1中所述的排風水洗結構，其特征在于，所述直側板的底部還設置有進水口，通過所述進水口進入的流動的水帶動液化的酸氣從所述出水口流出。

6.根據(jù)權利要求1中所述的排風水洗結構，其特征在于，還包括固定板，所述固定板通過法蘭接口設置在所述排風腔體的頂部，所述排風腔體通過所述法蘭接口連接外部抽氣裝置。

7.根據(jù)權利要求1中所述的排風水洗結構，其特征在于，所述第三側板上設置有壓差計接口，用于連接壓差計，監(jiān)測所述排風腔體的壓差值。

8.一種清洗裝置，其特征在于，包括如權利要求1-7中任一項所述的排風水洗結構。

技術總結
本技術公開了一種排風水洗結構及清洗裝置，包括：排風腔體，排風腔體連接外部抽氣裝置，包括底板及側板，側板包括平行設置的靴形側板，及垂直于靴形側板設置的直側板和折側板，靴形側板、直側板及折側板均垂直連接于底板并構成一靴狀的排風腔體；其中，折側板包括自下而上設置的第一側板、第二側板及第三側板，第一側板和第三側板平行于直側板設置，第二側板呈斜坡面，且第二側板和第三側板的連接處設置有第一擋板；直側板的底部設置有進氣口；底板上自折側板至直側板依此設置有柵板、第二擋板及出水口；本技術能夠防止液化的酸氣不會從柵板處回流，從而保證機臺不會被污染。

技術研發(fā)人員：徐帥華,劉大威,徐銘,李盼盼
受保護的技術使用者：上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
技術研發(fā)日：20240205
技術公布日：2024/11/18