本技術(shù)涉及硅片加工，具體涉及一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置。

背景技術(shù)：

1、單晶硅棒經(jīng)過(guò)線切割機(jī)切割生產(chǎn)后，硅片本身會(huì)帶有許多硅粉、灰塵以及殘余的粘接劑，因此在進(jìn)入下一道工序前，必須對(duì)其進(jìn)行有效的清洗。清洗硅片是在專用的清洗槽中進(jìn)行，在清洗劑溶液和超聲波的共同作用下對(duì)已切好的硅片進(jìn)行表面清洗，去除硅片表面的殘余硅粉、灰塵以及粘接條等。

2、清洗槽中的清洗劑溶液是通過(guò)清洗劑與水按比例混合而成，清洗槽中的清洗劑溶液需定期更換，因此需要重新向清洗槽內(nèi)加入清洗劑。申請(qǐng)人所在車間有多個(gè)需要進(jìn)行清洗劑注入的工位，因此為了方便供液，將供液罐放置在一個(gè)推拉小車上，供液罐與推拉小車之間設(shè)有定量電子稱重器，在供液的時(shí)候，通過(guò)檢測(cè)供液罐的重量變化，從而控制供液罐的供液量。同時(shí)為了防止定量電子稱重器出現(xiàn)失誤導(dǎo)致供液量不精準(zhǔn)，還設(shè)置一個(gè)液位傳感器，在供液的時(shí)候，根據(jù)供液量將液位傳感器設(shè)置在需要上液的清洗槽內(nèi)，并固定在與供液量適配的高度，通過(guò)液位傳感器進(jìn)一步檢測(cè)供液量情況，如果液位傳感器感應(yīng)到液位超標(biāo)，液位傳感器發(fā)送信號(hào)，控制供液罐停止上液，避免因定量電子稱重器出現(xiàn)失誤，導(dǎo)致供液超量，影響硅片清洗質(zhì)量。

3、但是該上液裝置在投入使用的時(shí)候發(fā)現(xiàn)，每個(gè)需要進(jìn)行清洗劑注入的工位中的清洗槽注液量要求不同，因此液位傳感器的設(shè)置位置也不同，每次對(duì)其進(jìn)行固定時(shí)，需要測(cè)量其需要設(shè)置的位置，操作較為繁瑣，固定效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是了提供一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，能夠提高液位傳感器的固定效率，方便對(duì)其進(jìn)行固定設(shè)置。

2、本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題的不足，所采用的技術(shù)方案是：一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，包括供液車、液位傳感器以及設(shè)在供液車上的供液罐，供液罐與供液車之間設(shè)有定量電子稱重器，供液罐上連通有具有計(jì)量泵的供液管道，液位傳感器的數(shù)據(jù)輸出端通過(guò)信號(hào)線與計(jì)量泵控制端連接，所述液位傳感器設(shè)置在標(biāo)有位置刻度的量桿下部，量桿上滑動(dòng)套設(shè)有套筒，套筒的側(cè)壁設(shè)置有螺紋通孔，該螺紋通孔內(nèi)旋設(shè)有能夠頂緊量桿的頂持螺栓，套筒的外側(cè)設(shè)有水平部與其連接的l形掛桿，l形掛桿的豎直部與套筒之間形成供清洗機(jī)槽上沿緣進(jìn)入的掛設(shè)空間。

3、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述頂持螺栓位于套筒內(nèi)的端面設(shè)有能與量桿接觸的壓片。

4、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述壓片朝向量桿的一側(cè)設(shè)有防滑膠墊。

5、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述l形掛桿的豎直部與套筒之間設(shè)有夾板，夾板與l形掛桿的豎直部之間設(shè)有壓縮彈簧。

6、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述量桿的下部設(shè)有用于卡設(shè)液位傳感器的箍環(huán)。

7、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述供液罐與供液管道連接處設(shè)有手動(dòng)控制閥。

8、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述量桿的橫截面為矩形。

9、作為本實(shí)用新型一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述量桿的兩端均設(shè)有限位塊。

10、本實(shí)用新型具有以下有益效果：本實(shí)用新型通過(guò)將液位傳感器固定在標(biāo)有位置刻度的量桿上，并在量桿上設(shè)置可以固定在清洗機(jī)槽上沿緣的套筒和l形掛桿，套筒滑動(dòng)設(shè)置在量桿上，通過(guò)控制頂持螺栓對(duì)量桿的頂持，控制量桿的位置調(diào)節(jié)，通過(guò)調(diào)節(jié)量桿位置，便于將液位傳感器設(shè)置在指定位置上，對(duì)其進(jìn)行快速固定。

技術(shù)特征：

1.一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，包括供液車(2)、液位傳感器(8)以及設(shè)在供液車(2)上的供液罐(3)，供液罐(3)與供液車(2)之間設(shè)有定量電子稱重器(1)，供液罐(3)上連通有具有計(jì)量泵(6)的供液管道(5)，液位傳感器(8)的數(shù)據(jù)輸出端通過(guò)信號(hào)線與計(jì)量泵(6)控制端連接，其特征在于：所述液位傳感器(8)設(shè)置在標(biāo)有位置刻度的量桿(7)下部，量桿(7)上滑動(dòng)套設(shè)有套筒(11)，套筒(11)的側(cè)壁設(shè)置有螺紋通孔，該螺紋通孔內(nèi)旋設(shè)有能夠頂緊量桿(7)的頂持螺栓(16)，套筒(11)的外側(cè)設(shè)有水平部與其連接的l形掛桿(17)，l形掛桿(17)的豎直部與套筒(11)之間形成供清洗機(jī)槽上沿緣進(jìn)入的掛設(shè)空間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述頂持螺栓(16)位于套筒(11)內(nèi)的端面設(shè)有能與量桿(7)接觸的壓片(15)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述壓片(15)朝向量桿(7)的一側(cè)設(shè)有防滑膠墊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述l形掛桿(17)的豎直部與套筒(11)之間設(shè)有夾板(12)，夾板(12)與l形掛桿(17)的豎直部之間設(shè)有壓縮彈簧(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述量桿(7)的下部設(shè)有用于卡設(shè)液位傳感器(8)的箍環(huán)(9)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述供液罐(3)與供液管道(5)連接處設(shè)有手動(dòng)控制閥(4)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述量桿(7)的橫截面為矩形。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，其特征在于：所述量桿(7)的兩端均設(shè)有限位塊(14)。

技術(shù)總結(jié)
一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置，包括供液車、液位傳感器以及設(shè)在供液車上的供液罐，供液罐與供液車之間設(shè)有定量電子稱重器，供液罐上連通有具有計(jì)量泵的供液管道，液位傳感器的數(shù)據(jù)輸出端通過(guò)信號(hào)線與計(jì)量泵控制端連接，所述液位傳感器設(shè)置在標(biāo)有位置刻度的量桿下部，量桿上滑動(dòng)套設(shè)有套筒，套筒上旋設(shè)有部分栓體位于套筒內(nèi)的頂持螺栓。本技術(shù)通過(guò)將液位傳感器固定在標(biāo)有位置刻度的量桿上，并在量桿上設(shè)置可以固定在清洗機(jī)槽上沿緣的套筒和L形掛桿，套筒滑動(dòng)設(shè)置在量桿上，通過(guò)控制頂持螺栓對(duì)量桿的頂持，控制量桿的位置調(diào)節(jié)，通過(guò)調(diào)節(jié)量桿位置，便于將液位傳感器設(shè)置在指定位置上，對(duì)其進(jìn)行快速固定。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉飛,王軍,代玉超,馮亮亮,侯彥非,董陽(yáng)峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：麥斯克電子材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240122
技術(shù)公布日：2024/11/18