技術(shù)編號(hào):40006805
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及硅片加工,具體涉及一種切片清洗機(jī)自動(dòng)供液裝置。背景技術(shù)、單晶硅棒經(jīng)過線切割機(jī)切割生產(chǎn)后,硅片本身會(huì)帶有許多硅粉、灰塵以及殘余的粘接劑,因此在進(jìn)入下一道工序前,必須對(duì)其進(jìn)行有效的清洗。清洗硅片是在專用的清洗槽中進(jìn)行,在清洗劑溶液和超聲波的共同作用下對(duì)已切好的硅片進(jìn)行表面清洗,去除硅片表面的殘余硅粉、灰塵以及粘接條等。、清洗槽中的清洗劑溶液是通過清洗劑與水按比例混合而成,清洗槽中的清洗劑溶液需定期更換,因此需要重新向清洗槽內(nèi)加入清洗劑。申請(qǐng)人所在車間有多個(gè)需要進(jìn)行清洗劑注入的工位,因此...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。