技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及晶體處理設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種晶體加工用水循環(huán)裝置。它包括一硅片脫膠池，在硅片脫膠池的左側(cè)下部設(shè)有一通過(guò)管道與硅片擦洗池相連通的脫膠排水口，在硅片擦洗池的右側(cè)底部設(shè)有通過(guò)管道與硅片清洗池上部相連通的擦片排水口，所述硅片清洗池的空腔自左向右依次由隔板分割為互不連通的前清洗池、中部清洗池與后清洗池，前清洗池通過(guò)管道與污水池相連通設(shè)置，硅片脫膠池、硅片擦洗池以及硅片清洗池的前清洗池、中部清洗池、后清洗池分別通過(guò)供水管與一供水池相連通。它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，在進(jìn)行各步工序處理時(shí)所需水量較少，且各加工工序之間所用的水源可進(jìn)行循環(huán)利用，更有效地滿(mǎn)足人們的需求，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：甘大元;陳文杰;唐珊珊;劉坤;丁小玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東大海新能源發(fā)展有限公司
文檔號(hào)碼：201720141299
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.16
技術(shù)公布日：2017.10.31