本實(shí)用新型涉及晶體處理設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種晶體加工用水循環(huán)裝置。

背景技術(shù)：
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在單晶硅或多晶硅進(jìn)行加工的過程中通常需要進(jìn)行多步加工工序才能得到所需產(chǎn)品。在加工時(shí)經(jīng)過涂膠切片后的單晶硅或多晶硅會(huì)被運(yùn)送至后續(xù)的加工設(shè)備上進(jìn)行后續(xù)的工序處理，通常會(huì)在脫膠機(jī)、擦片機(jī)、清洗機(jī)等設(shè)備上進(jìn)行脫膠、擦片、清洗等工序，進(jìn)行上述工序時(shí)耗水量很大，因此目前對(duì)上述工序處理加工通常需要提前準(zhǔn)備好水源并需要長(zhǎng)時(shí)間保持水源供水充足，只有這樣才能保證最終得到的產(chǎn)品的質(zhì)量。但是，在現(xiàn)在水資源較為緊缺的現(xiàn)狀下，采用這種現(xiàn)有的加工方式不僅會(huì)造成大量的水資源浪費(fèi)而且在很多情況下因加工時(shí)廠房?jī)?nèi)無(wú)法長(zhǎng)時(shí)間保證良好水資源的供給，因而會(huì)使加工處理的過程中無(wú)法安全有效的保證供水量，從而會(huì)導(dǎo)致加工出來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量差、加工效率低。目前各個(gè)步驟所使用完的水在使用完以后通常水質(zhì)會(huì)變很差，因此現(xiàn)有的設(shè)備在進(jìn)行完本步工序的處理之后就直接將污水通過排水管道排出，這樣不僅會(huì)造成水資源的浪費(fèi)而且隨意排放污水還會(huì)造成大量的水污染，顯然現(xiàn)有的水循環(huán)裝置無(wú)法更有效地滿足人們的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本實(shí)用新型提供了一種晶體加工用水循環(huán)裝置，它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，在進(jìn)行各步工序處理時(shí)所需水量相對(duì)較少，且各加工工序之間所用的水源可進(jìn)行循環(huán)利用，同時(shí)本裝置可對(duì)經(jīng)上一步處理工序使用完的污水進(jìn)行清污除雜之后被運(yùn)送至下一工序處理設(shè)備上供其使用，各工序時(shí)間的水源可以形成循環(huán)，在內(nèi)部循環(huán)水源造成少量水量流失后，供水泵可以將外部水源對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)補(bǔ)充，只需定期補(bǔ)給，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間、大水量的進(jìn)行供給，降低了對(duì)加工車間內(nèi)水源供應(yīng)水平的要求，節(jié)省了大量水源，可通過定期的對(duì)第一過濾器、第二過濾器進(jìn)行清理后去除其中積累的雜質(zhì)來(lái)保證水質(zhì)的相對(duì)清潔，同時(shí)最終經(jīng)排污管道排出的水的質(zhì)量相對(duì)于傳統(tǒng)設(shè)備有一定的提高，更加環(huán)保、有效，更有效地滿足了人們的需求，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種晶體加工用水循環(huán)裝置，包括一硅片脫膠池，在硅片脫膠池的左側(cè)下部設(shè)有一通過管道與硅片擦洗池左側(cè)下部相連通的脫膠排水口，在硅片脫膠池與硅片擦洗池之間的管道上依次設(shè)有一第一過濾器、第一泵體，在硅片擦洗池的右側(cè)底部設(shè)有通過管道與硅片清洗池上部相連通的擦片排水口，所述硅片清洗池的空腔自左向右依次由隔板分割為互不連通的前清洗池、中部清洗池與后清洗池，前清洗池通過管道與污水池上部相連通設(shè)置，中部清洗池通過管道與硅片脫膠池相連通設(shè)置，在中部清洗池與硅片脫膠池相連通設(shè)置的管道上依次設(shè)有一第二過濾器、第二泵體，后清洗池通過回流管與第二過濾器、第二泵體之間的管道相連通，在第二過濾器的過濾網(wǎng)的右側(cè)設(shè)有一通過管道與污水池相連通設(shè)置的排渣管，硅片脫膠池、硅片擦洗池以及硅片清洗池的前清洗池、中部清洗池、后清洗池分別通過供水管與一供水池相連通設(shè)置，在供水池的一側(cè)設(shè)有一與水源連通的供水泵，在各供水管上分別設(shè)有一閥門，在硅片擦洗池與硅片擦洗池相連通的管道上依次設(shè)有一第三過濾器、第三泵體；第一泵體、第二泵體、第三泵體、供水泵分別通過導(dǎo)線與外部電源相連通設(shè)置。

所述硅片脫膠池的空腔底部向中心傾斜設(shè)置，在硅片脫膠池的空腔底部的通孔內(nèi)活動(dòng)密封配合連接一旋轉(zhuǎn)軸，在硅片脫膠池的空腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸頂部固連一底部刷毛與空腔底部相抵接的毛刷，在硅片脫膠池外部的旋轉(zhuǎn)軸外側(cè)壁上固連一曲柄，在與毛刷相對(duì)一側(cè)的硅片脫膠池的空腔底部設(shè)有一與空腔連通的排污管，在排污管的底部開口處密封插裝一密封塞。

在與排渣管相對(duì)的第二過濾器的前側(cè)壁上通過管道連接一排渣泵體。

在硅片脫膠池、硅片擦洗池以及硅片清洗池的前清洗池、中部清洗池、后清洗池的空腔側(cè)壁上分別自上而下設(shè)有一上限水位標(biāo)、下限水位標(biāo)。

本實(shí)用新型所具有的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，在進(jìn)行各步工序處理時(shí)所需水量相對(duì)較少，且各加工工序之間所用的水源可進(jìn)行循環(huán)利用，同時(shí)本裝置可對(duì)經(jīng)上一步處理工序使用完的污水進(jìn)行清污除雜之后被運(yùn)送至下一工序處理設(shè)備上供其使用，各工序時(shí)間的水源可以形成循環(huán)，在內(nèi)部循環(huán)水源造成少量水量流失后，外部水源會(huì)對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)補(bǔ)充，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間大水量的進(jìn)行供給，降低了對(duì)加工車間內(nèi)水源供應(yīng)水平的要求，節(jié)省了大量水源，同時(shí)最終經(jīng)排污管道排出的水的質(zhì)量相對(duì)于傳統(tǒng)設(shè)備有一定的提高，更加環(huán)保、有效，更有效地滿足人們的需求。

附圖說明：

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型中硅片脫膠池的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1、硅片脫膠池；2、管道；3、硅片擦洗池；4、脫膠排水口；5、第一過濾器；6、第一泵體；7、硅片清洗池；8、擦片排水口；9、前清洗池；10、中部清洗池；11、后清洗池；12、供水管；13、供水池；14、供水泵；15、閥門；16、第三過濾器；17、第三泵體；18、旋轉(zhuǎn)軸；19、毛刷；20、曲柄；21、排污管；22、密封塞；23、排渣管；24、第二過濾器；25、排渣泵體；26、上限水位標(biāo)；27、下限水位標(biāo)；28、污水池。

具體實(shí)施方式：

為能清楚說明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過具體實(shí)施方式，并結(jié)合其附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。

如圖1-2中所示，一種晶體加工用水循環(huán)裝置，包括一硅片脫膠池1，在硅片脫膠池1的左側(cè)下部設(shè)有一通過管道2與硅片擦洗池3左側(cè)下部相連通的脫膠排水口4，在硅片脫膠池1與硅片擦洗池3之間的管道2上依次設(shè)有一第一過濾器5、第一泵體6，在硅片擦洗池3的右側(cè)底部設(shè)有通過管道2與硅片清洗池7上部相連通的擦片排水口8，所述硅片清洗池7的空腔自左向右依次由隔板分割為互不連通的前清洗池9、中部清洗池10與后清洗池11，前清洗池9通過管道2與污水池28上部相連通設(shè)置，中部清洗池10通過管道2與硅片脫膠池1相連通設(shè)置，在中部清洗池10與硅片脫膠池1相連通設(shè)置的管道2上依次設(shè)有一第二過濾器24、第二泵體，后清洗池11通過回流管與第二過濾器24、第二泵體之間的管道2相連通，在第二過濾器24的過濾網(wǎng)的右側(cè)設(shè)有一通過管道2與污水池28相連通設(shè)置的排渣管23，硅片脫膠池1、硅片擦洗池3以及硅片清洗池7的前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11分別通過供水管12與一供水池13相連通設(shè)置，在供水池13的一側(cè)設(shè)有一與水源連通的供水泵14，在各供水管12上分別設(shè)有一閥門15，在硅片擦洗池3與硅片擦洗池3相連通的管道2上依次設(shè)有一第三過濾器16、第三泵體17；第一泵體6、第二泵體、第三泵體17、供水泵14分別通過導(dǎo)線與外部電源相連通設(shè)置。

所述硅片脫膠池1的空腔底部向中心傾斜設(shè)置，在硅片脫膠池1的空腔底部的通孔內(nèi)活動(dòng)密封配合連接一旋轉(zhuǎn)軸18，在硅片脫膠池1的空腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸18頂部固連一底部刷毛與空腔底部相抵接的毛刷19，在硅片脫膠池1外部的旋轉(zhuǎn)軸18外側(cè)壁上固連一曲柄20，在與毛刷19相對(duì)一側(cè)的硅片脫膠池1的空腔底部設(shè)有一與空腔連通的排污管21，在排污管21的底部開口處密封插裝一密封塞22。

在與排渣管23相對(duì)的第二過濾器24的前側(cè)壁上通過管道2連接一排渣泵體25。

在硅片脫膠池1、硅片擦洗池3以及硅片清洗池7的前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11的空腔側(cè)壁上分別自上而下設(shè)有一上限水位標(biāo)26、下限水位標(biāo)27。

使用時(shí)，將供水泵14接通電源并打開后向供水池13內(nèi)供水，打開各供水管12上的閥門15使供水池13內(nèi)的水通過供水管12流至硅片脫膠池1、硅片擦洗池3以及硅片清洗池7的前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11內(nèi)，各池內(nèi)水位達(dá)到上限水位標(biāo)26以后關(guān)閉供水泵14。打開第一泵體6、第二泵體使其進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，操作工人依次在硅片脫膠池1、硅片擦洗池3以及硅片清洗池7內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的工序工作。在硅片脫膠池1內(nèi)進(jìn)行清洗硅片后，硅片脫膠池1內(nèi)的水質(zhì)中就會(huì)含有一定量的雜質(zhì)，定期的轉(zhuǎn)動(dòng)其底部的曲柄20帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸18轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)毛刷19轉(zhuǎn)動(dòng)即可對(duì)其底部的較重的雜質(zhì)進(jìn)行清理至排污管21內(nèi)，打開密封塞22以后排污管21內(nèi)的雜質(zhì)就會(huì)被排出，從而保證硅片脫膠池1內(nèi)的水質(zhì)的相對(duì)清潔。在第一泵體6的作用下，硅片脫膠池1內(nèi)的水源會(huì)經(jīng)管道2流至硅片擦洗池3內(nèi)為其提供一定的水量，在流動(dòng)的過程中第一過濾器5可以起到二次除雜的目的，定期的拆卸下來(lái)第一過濾器5對(duì)其進(jìn)行清理除雜即可保證第一過濾器5的清潔同時(shí)保證了進(jìn)入硅片擦洗池3內(nèi)水質(zhì)的清潔。操作人員在硅片擦洗池3內(nèi)繼續(xù)進(jìn)行擦片工序處理，進(jìn)行完擦片處理之后的硅片擦洗池3中的雜質(zhì)相對(duì)較少，可以滿足使用要求；硅片擦洗池3內(nèi)的水會(huì)在第三泵體17的作用下流至硅片清洗池7的前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11內(nèi)，經(jīng)第三過濾器16過濾后其水質(zhì)相對(duì)清潔。操作人員在硅片清洗池7內(nèi)，依次在前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11內(nèi)進(jìn)行硅片清理工序之。因其清洗時(shí)依次是在前清洗池9、中部清洗池10、后清洗池11進(jìn)行多次清洗，清洗過后其中前清洗池9內(nèi)的水質(zhì)最差，如果針對(duì)其進(jìn)行清理時(shí)會(huì)相對(duì)較為困難，因此前清洗池9內(nèi)的污水直接流通至污水池28內(nèi)。中部清洗池10內(nèi)的水質(zhì)相對(duì)較好，讓其部分水源在第二泵體的作用下經(jīng)第二過濾器24回流至硅片脫膠池1內(nèi)，另一部分經(jīng)管道2流至污水池28內(nèi)，過濾器長(zhǎng)時(shí)間使用后其內(nèi)部的雜質(zhì)會(huì)相對(duì)較多,定期打開排渣泵體25后會(huì)將第二過濾器24內(nèi)部的雜質(zhì)直接推送至排污池內(nèi)，從而保證管道2的通暢與水質(zhì)的質(zhì)量。當(dāng)各工作池內(nèi)的水量減少至下限水位標(biāo)27以下時(shí)打開供水泵14向各工作池內(nèi)進(jìn)行供水補(bǔ)給。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，在進(jìn)行各步工序處理時(shí)所需水量相對(duì)較少，且各加工工序之間所用的水源可進(jìn)行循環(huán)利用，同時(shí)本裝置可對(duì)經(jīng)上一步處理工序使用完的污水進(jìn)行清污除雜之后被運(yùn)送至下一工序處理設(shè)備上供其使用，各工序時(shí)間的水源可以形成循環(huán)，在內(nèi)部循環(huán)水源造成少量水量流失后，外部水源會(huì)對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)補(bǔ)充，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間大水量的進(jìn)行供給，降低了對(duì)加工車間內(nèi)水源供應(yīng)水平的要求，節(jié)省了大量水源，同時(shí)最終經(jīng)排污管21道2排出的水的質(zhì)量相對(duì)于傳統(tǒng)設(shè)備有一定的提高，更加環(huán)保、有效，更有效地滿足人們的需求。

上述具體實(shí)施方式不能作為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式所做出的任何替代改進(jìn)或變換均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

本實(shí)用新型未詳述之處，均為本技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。