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蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng)及方法與流程

文檔序號:12636226閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:包括四階段處理系統(tǒng),所述四階段處理系統(tǒng)包括通過泵依次連接的第一階段處理系統(tǒng)、第二階段處理系統(tǒng)、第三階段處理系統(tǒng)和第四階段處理系統(tǒng);

所述第一階段處理系統(tǒng)包括通過泵依次連接的現(xiàn)有池、調(diào)整槽-Ⅰ、反應(yīng)槽-Ⅰ、產(chǎn)品脫水機-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、中和槽-Ⅰ、中和槽-Ⅱ和收集槽-Ⅱ,所述收集槽-Ⅰ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ連接,所述產(chǎn)品脫水機-Ⅰ與干燥機關(guān)聯(lián),所述反應(yīng)槽-Ⅰ與NaOH藥槽連接,所述NaOH藥槽與加藥機連接,所述NaOH藥槽與NaOH泡藥桶通過加藥機連接,所述調(diào)整槽-Ⅰ與調(diào)整槽-Ⅱ并聯(lián),所述收集槽-Ⅰ與收集槽-Ⅱ并聯(lián),所述反應(yīng)槽-Ⅰ與所述收集槽-Ⅱ通過產(chǎn)品脫水機-Ⅱ連接,所述調(diào)整槽-Ⅰ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ之間設(shè)有耐酸堿泵,所述反應(yīng)槽-Ⅰ與所述產(chǎn)品脫水機-Ⅰ之間、所述反應(yīng)槽-Ⅰ與所述產(chǎn)品脫水機-Ⅱ之間、所述收集槽-Ⅰ與所述中和槽-Ⅰ之間、所述收集槽-Ⅱ與所述中和槽-Ⅰ之間設(shè)有耐酸堿氣動隔膜泵;

所述第二階段處理系統(tǒng)包括通過泵依次連接的調(diào)整槽-Ⅲ、反應(yīng)槽-Ⅱ、產(chǎn)品脫水機-Ⅲ和收集槽-Ⅳ,所述產(chǎn)品脫水機-Ⅲ與所述干燥機關(guān)聯(lián),所述收集槽-Ⅳ與所述調(diào)整槽-Ⅲ連接,所述反應(yīng)槽-Ⅱ與反應(yīng)槽-Ⅲ并聯(lián),所述泵為耐酸堿氣動隔膜泵;

所述第三階段處理系統(tǒng)包括依次連接的調(diào)整槽-Ⅳ、MVR設(shè)備、降溫槽、結(jié)晶槽、產(chǎn)品脫水機-Ⅳ和收集槽-Ⅴ,所述收集槽-Ⅴ與所述調(diào)整槽-Ⅲ連接,所述所述收集槽-Ⅳ與所述結(jié)晶槽連接,所述產(chǎn)品脫水機-Ⅳ與所述干燥機關(guān)聯(lián),所述降溫槽與所述結(jié)晶槽之間、所述結(jié)晶槽與所述產(chǎn)品脫水機-Ⅳ之間、所述收集槽-Ⅴ與所述結(jié)晶槽和所述調(diào)整槽-Ⅲ之間設(shè)有耐酸堿氣動隔膜泵;

所述第四階段處理系統(tǒng)包括MVR設(shè)備、循環(huán)槽-Ⅰ、循環(huán)槽-Ⅱ和放流槽,所述MVR設(shè)備連接循環(huán)槽-Ⅰ、循環(huán)槽-Ⅱ和放流槽,所述MVR設(shè)備與所述循環(huán)槽-Ⅰ形成內(nèi)部循環(huán),所述MVR設(shè)備與所述循環(huán)槽-Ⅱ形成內(nèi)部循環(huán),所述循環(huán)槽-Ⅰ和循環(huán)槽-Ⅱ通過耐酸堿氣動隔膜泵與熱水回用裝置連接,所述放流槽通過耐酸堿氣動隔膜泵與回用裝置和純水用蓄水池連接,所述MVR設(shè)備與所述調(diào)整槽-Ⅰ和調(diào)整槽-Ⅱ連接,所述回用裝置與所述NaOH泡藥桶連接,所述放流槽與所述純水用蓄水池之間、所述循環(huán)槽-Ⅰ與所述熱水回用裝置之間、所述循環(huán)槽-Ⅱ與所述熱水回用裝置之間設(shè)有耐酸堿氣動隔膜泵,所述循環(huán)泵-Ⅰ與所述MVR設(shè)備之間、所述循環(huán)槽-Ⅱ與所述MVR設(shè)備之間設(shè)有水泵;

所述耐酸堿氣動隔膜泵通過五口二位閥與空壓機連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述MVR設(shè)備與所述循環(huán)槽-Ⅰ、所述MVR設(shè)備與所述循環(huán)槽-Ⅱ、所述放流槽與所述純水用蓄水池、所述放流槽與所述回用裝置之間設(shè)有不銹鋼電動閥,收集槽-Ⅰ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ和所述中和槽-Ⅰ之間、所述收集槽-Ⅱ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ和所述中和槽-Ⅰ之間、所述調(diào)整槽-Ⅲ與所述反應(yīng)槽-Ⅱ和反應(yīng)槽-Ⅲ之間、所述反應(yīng)槽-Ⅱ和反應(yīng)槽-Ⅲ與所述產(chǎn)品脫水機-Ⅲ之間、所述收集槽-Ⅳ與所述調(diào)整槽-Ⅳ之間、所述收集槽-Ⅳ與所述調(diào)整槽-Ⅲ之間、所述NaOH泡藥桶與所述NaOH藥槽之間、所述收集槽-Ⅴ與所述結(jié)晶槽和所述調(diào)整槽-Ⅲ之間設(shè)有PVC耐酸堿電動閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述調(diào)整槽-Ⅰ、調(diào)整槽-Ⅱ、反應(yīng)槽-Ⅰ、調(diào)整槽-Ⅲ、反應(yīng)槽-Ⅱ、反應(yīng)槽-Ⅲ、調(diào)整槽-Ⅳ、降溫槽、結(jié)晶槽和NaOH泡藥桶分別與鼓風(fēng)機通過氣體管路閥連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述鼓風(fēng)機包括鼓風(fēng)機-Ⅰ和鼓風(fēng)機-Ⅱ,所述鼓風(fēng)機-Ⅰ和鼓風(fēng)機-Ⅱ交替工作。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述NaOH藥槽包括NaOH藥槽-Ⅰ、NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ,所述NaOH藥槽-Ⅰ與所述中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ連接,所述NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述NaOH泡藥桶、調(diào)整槽-Ⅰ、反應(yīng)槽-Ⅰ、降溫槽、結(jié)晶槽、循環(huán)槽-Ⅰ和循環(huán)槽-Ⅱ內(nèi)設(shè)有溫度監(jiān)測器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述現(xiàn)有池、調(diào)整槽-Ⅰ、反應(yīng)槽-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、收集槽-Ⅱ、收集槽-Ⅲ、調(diào)整槽-Ⅲ、反應(yīng)槽-Ⅱ、反應(yīng)槽-Ⅲ、收集槽-Ⅳ、調(diào)整槽-Ⅳ、降溫槽、結(jié)晶槽、收集槽-Ⅴ、循環(huán)槽-Ⅰ、循環(huán)槽-Ⅱ、放流槽、NaOH泡藥桶、NaOH藥槽-Ⅰ、NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ內(nèi)分別設(shè)有水位計。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述干燥機為雙錐干燥機。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述調(diào)整槽-Ⅰ與所述反應(yīng)槽-Ⅰ之間設(shè)有水流量監(jiān)測裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ內(nèi)設(shè)有攪拌機和PH計。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng),其特征在于:所述產(chǎn)品脫水機-Ⅰ、所述產(chǎn)品脫水機-Ⅱ、所述產(chǎn)品脫水機-Ⅲ和所述產(chǎn)品脫水機-Ⅳ上設(shè)有PVC浸油式壓力表和傳訊式壓力計。

12.實施權(quán)利要求1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統(tǒng)的方法,其特征在于,分為以下幾個步驟循環(huán)運行:

(1)第一階段-六氟硅酸鈉:刻蝕排放廢水中所含氟離子多已反應(yīng)生成六氟硅酸的形態(tài),以耐酸堿氣動隔膜加藥泵方式,控制液堿加藥量加入反應(yīng)槽-Ⅰ中,反應(yīng)成為六氟硅酸鈉(Na2SiF6),加藥的同時,以溫度感應(yīng)監(jiān)測加藥泵的起停,反應(yīng)槽中設(shè)有曝氣用的粗氣泡散氣盤,充分均勻攪拌,此時,以定量方式加藥完成后,脫水機工作泵啟動過濾裝置,將沉淀的六氟硅酸鈉脫水,脫水完成的產(chǎn)品進入烘干機干燥包裝成成品;

(2)第二階段-氟化鈣:將第一階段的過濾完成廢水泵入反應(yīng)槽-Ⅰ和反應(yīng)槽-Ⅱ中,加入氫氧化鈣(Ca(OH)2)進一步去除氟離子,生成氟化鈣(CaF2)沉淀,當(dāng)其中任一反應(yīng)槽內(nèi)的氟化鈣反應(yīng)完成,反應(yīng)槽底的電動閥門開啟,此時脫水機工作泵開啟,進行過濾,脫水完成后的氟化鈣(CaF2)即進行烘干包裝;

(3)第三階段及第四階段-硝酸鈉(NaNO3):將第二階段的過濾完成廢水導(dǎo)入MVR(機械式蒸汽再壓縮技術(shù))設(shè)備內(nèi),所述MVR設(shè)備共有二進、四出:

二進,分別為“進流廢水”和“蒸汽壓縮機冷卻循環(huán)水入流”;

四出,分別為“蒸餾出水”、“蒸汽壓縮機冷卻循環(huán)水出流”、“高濃度濃縮廢水”和“系統(tǒng)內(nèi)低溫蒸汽”;

其中,進流廢水經(jīng)工作泵進入MVR設(shè)備后,先加熱至90℃-95℃,以工作泵引入MVR設(shè)備頂部,使蒸汽加熱至115℃-118℃,所述MVR設(shè)備底部排出蒸餾出水,所述MVR設(shè)備底部排水管排出一定量高濃度濃縮廢水,所述蒸餾出水在排除MVR設(shè)備前,先導(dǎo)入MVR設(shè)備內(nèi)的氣液分離桶,此時,低溫蒸汽排出,“蒸汽壓縮機冷卻循環(huán)水出流”排出后分為循環(huán)槽-Ⅰ和循環(huán)槽-Ⅱ,以工作泵方式回流導(dǎo)入蒸汽壓縮機以降低其操作溫度,回流至一定溫度后供應(yīng)至工廠淋浴用水,所述循環(huán)槽-Ⅰ和循環(huán)槽-Ⅱ分別輪流交替工作,蒸餾出水以工作泵排出MVR設(shè)備,若工廠熱水需求量大于供應(yīng)量,用自來水補水加入;

將高濃度濃縮廢水導(dǎo)入降溫槽及結(jié)晶槽,在低于設(shè)定溫度時,泵入產(chǎn)品脫水機-Ⅳ過濾硝酸鈉結(jié)晶,此時結(jié)晶槽內(nèi)以高低液位控制工作泵進行過濾脫水,脫水完成后經(jīng)過干燥機進行烘干,干燥后的得到硝酸鈉(NaNO3)產(chǎn)品,過濾完成水返送至氟化鈣反應(yīng)之前的調(diào)整槽-Ⅲ。

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