本實(shí)用新型涉及一種清潔裝置，尤其涉及一種傳送輪清潔裝置。

背景技術(shù)：

剝離技術(shù)作為一種工藝技術(shù)，一般分為三個(gè)步驟：首先，在基板的襯底上涂光刻膠，通過曝光和顯影制成圖形；其次，在覆蓋光刻膠的基板上淀積金屬膜；最后，使用不侵蝕金屬膜的溶劑除去光刻膠。這樣，可以實(shí)現(xiàn)光刻膠與基板的剝離。

通常，在除去基板上的光刻膠時(shí)，基板需要在傳送輪的帶動(dòng)下依次進(jìn)入剝離區(qū)和水洗區(qū)，在剝離區(qū)，使用剝離液噴淋基板，以除去基板上的光刻膠，在水洗區(qū)，使用純凈水對(duì)基板上殘留的光刻膠或者其他物質(zhì)進(jìn)行清洗，最終得到除去光刻膠的基板。

但是，在實(shí)際應(yīng)用中，剝離區(qū)與水洗區(qū)是相連的，也就是說，基板在傳送輪的帶動(dòng)下，直接由剝離區(qū)進(jìn)入水洗區(qū)。基板在由剝離區(qū)進(jìn)入水洗區(qū)時(shí)，基板將攜帶少量的剝離區(qū)的剝離液，這些剝離液在被帶入到水洗區(qū)后，將與水洗區(qū)中的純凈水發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成污垢，這些污垢將粘附在水洗區(qū)的傳送輪上，這樣，粘附有污垢的傳送輪在傳送后續(xù)的基板時(shí)，傳送輪上的污垢將會(huì)附著在后續(xù)的基板上。由于附著在基板上的污垢無法被清洗掉，將在基板上產(chǎn)生痕跡，導(dǎo)致基板的質(zhì)量下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種傳送輪清潔裝置，用于解決粘附有污垢的傳送輪在傳送基板時(shí)，污垢會(huì)附著在基板上，由于基板上的污垢無法 被清洗掉，將在基板上產(chǎn)生痕跡，導(dǎo)致基板的質(zhì)量下降的問題。

本實(shí)用新型提供了一種傳送輪清潔裝置，其特征在于，包括：支架，設(shè)置在所述支架上的清潔輪，所述支架被固定在設(shè)有傳送輪的機(jī)體上，其中：所述清潔輪設(shè)有清潔層，所述清潔輪上的清潔層與所述傳送輪相接觸，所述清潔輪在所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述清潔層在所述清潔輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔。

優(yōu)選地，所述支架包括第一支桿和第二支桿，其中：

所述第一支桿的第一端被固定在所述機(jī)體上，所述第一支桿的第二端與所述第二支桿的第一端連接；

所述第二支桿的第二端與所述清潔輪連接。

優(yōu)選地，所述第二支桿的一端與所述第一支桿連接，包括：

所述第二支桿的第二端與所述第一支桿的第一端活動(dòng)連接，以調(diào)整所述清潔輪與所述傳送輪的相對(duì)位置，使得所述清潔輪與所述傳送輪相接觸，其中，所述清潔輪與所述第二支桿連接。

優(yōu)選地，所述傳送輪與所述清潔輪相外切。

優(yōu)選地，所述清潔輪上的清潔層所使用的材料為耐腐蝕性材料。

優(yōu)選地，所述清潔層以可拆卸的方式固定在所述清潔輪的表面。

本實(shí)用新型技術(shù)方案的有益效果如下：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種傳送輪清潔裝置，該清潔裝置包括：包含清潔層的清潔輪和支架，所述清潔輪固定在所述支架上，所述支架被固定在機(jī)體上，其中：所述清潔輪上的清潔層與所述傳送輪相接觸，所述清潔層在所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述清潔層在所述清潔輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔。這樣，傳送輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以帶動(dòng)清潔輪一起轉(zhuǎn)動(dòng)，清潔輪在轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，清潔輪上的清潔層可以清潔并除去傳送輪上粘附的污垢，使得傳送輪在傳送后續(xù)基板時(shí)，后續(xù)基板上不會(huì)附著污垢，進(jìn)而有效提高基板的質(zhì)量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)要介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送輪清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送輪清潔裝置與傳送輪的相對(duì)位置關(guān)系的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種傳送輪清潔裝置，包括：包含清潔層的清潔輪和支架，所述清潔輪固定在所述支架上，所述支架被固定在機(jī)體上，其中：所述清潔輪上的清潔層與所述傳送輪相接觸，所述清潔輪在所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述清潔層在所述清潔輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔。這樣，傳送輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以帶動(dòng)清潔輪一起轉(zhuǎn)動(dòng)，清潔輪在轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，清潔輪上的清潔層可以清潔并除去傳送輪上粘附的污垢，使得傳送輪在傳送后續(xù)基板時(shí)，后續(xù)基板上不會(huì)附著污垢，進(jìn)而有效提高基板的質(zhì)量。

下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本實(shí)用新型的各個(gè)實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送輪清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該裝置包括：包含清潔層111的清潔輪11和支架12，所述清潔輪11固定在所述支架12上，所述支架12被固定在機(jī)體上，其中：

所述清潔輪11上的清潔層111與所述傳送輪相接觸，所述清潔輪在所述 傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述清潔層在所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔。

在對(duì)帶有光刻膠的基板進(jìn)行剝離和清洗的過程中，在剝離區(qū)和水洗區(qū)的機(jī)體上都安裝有傳送輪，這些傳送輪可以帶動(dòng)基板依次進(jìn)入剝離區(qū)和水洗區(qū)，此時(shí)，可以在水洗區(qū)安裝所述傳送輪清潔裝置，并對(duì)所述水洗區(qū)的傳送輪進(jìn)行清潔。

具體地，所述清潔裝置可以包含清潔輪11和支架12，其中，所述清潔輪可以是圓形的清潔輪，也可以是其他形狀的清潔輪，這里不做具體限定。

所述清潔輪11可以包含清潔層111，所述清潔輪11可以固定在所述支架12上，所述支架12可以被固定在所述機(jī)體上。

所述清潔層111可以與所述水洗區(qū)的傳送輪相接觸，在所述水洗區(qū)的傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述清潔輪11可以被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣，在所述清潔輪11轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，所述清潔輪11包含的清潔層111可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述水洗區(qū)的傳送輪的清潔，并除去所述傳送輪上附著的污垢。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述傳送輪在帶動(dòng)所述清潔輪11轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以通過與所述清潔輪11之間的摩擦力帶動(dòng)所述清潔輪11轉(zhuǎn)動(dòng)，也可以通過其他方式帶動(dòng)所述清潔輪11轉(zhuǎn)動(dòng)，這里不做具體限定。

需要說明的是，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述清潔輪11可以在所述傳送輪傳送基板的過程中，對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔，也可以在所述傳送輪不傳送基板時(shí)(即所述傳送輪處于非工作狀態(tài)時(shí))，通過控制所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔，這里不做具體限定。

優(yōu)選地，所述支架12包括第一支桿121和第二支桿122，其中：

所述第一支桿121的第一端被固定在所述機(jī)體上，所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端連接；

所述第二支桿122的第二端與所述清潔輪11連接。

如圖1所示，所述支架12可以分為兩部分，一部分為第一支桿121，另一 部分為第二支桿122。

需要說明的是，這里的“第一”和“第二”是為了便于區(qū)分所述支架12包含的兩部分支桿，沒有其他特殊含義。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述第一支桿121和所述第二支桿122分別包含兩個(gè)端。

如圖1所示，所述第一支桿121可以被固定在所述機(jī)體上，其中，可以將所述第一支桿121與所述機(jī)體連接的那一端稱為所述第一支桿121的第一端，將所述第一支桿121與所述第二支桿122連接的那一端稱為所述第一支桿121的第二端，即所述第一支桿121的第一端被固定在所述機(jī)體上，所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端連接。

對(duì)于所述第二支桿122，所述第二支桿122分別與所述第一支桿121以及所述清潔輪11連接，其中，可以將所述第二支桿122與所述第一支桿121連接的那一端稱為所述第二支桿122的第一端，將所述第二支桿122與所述清潔輪11連接的那一端稱為所述第二支桿122的第二端連接，即所述第二支桿122的第一端與所述第一支桿121的第二端連接，所述第二支桿122的第二端與所述清潔輪11連接。

優(yōu)選地，所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端連接，包括：

所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端活動(dòng)連接，以調(diào)整所述清潔輪11與所述傳送輪的相對(duì)位置，使得所述清潔輪11與所述傳送輪相接觸，其中，所述清潔輪11與所述第二支桿122連接。

在實(shí)際應(yīng)用中，在將所述傳送輪清潔裝置固定在所述水洗區(qū)的機(jī)臺(tái)上時(shí)，可能存在所述清潔輪11與所述水洗區(qū)的傳送輪沒有相互接觸的情況，為了使所述清潔輪11與所述水洗區(qū)的傳送輪相互接觸，可以使所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端活動(dòng)連接。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述活動(dòng)連接可以是螺栓連接，也可以是其他活 動(dòng)連接的方式，不做具體限定。

例如，所述第一支桿121的第二端與所述第二支桿122的第一端之間的連接可以是螺栓連接，此時(shí)，可以將螺栓拆卸，并轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二支桿122，并在轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二支桿122的過程中，使得所述清潔輪11與所述水洗區(qū)的傳送輪相接觸，在確定所述清潔輪11與所述水洗區(qū)的傳送輪相接觸時(shí)，使用所述螺栓將所述第二支桿122的第一端固定在所述第一支桿121的第二端。

優(yōu)選地，所述傳送輪與所述清潔輪11相外切。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述傳送輪與所述清潔輪11之間的相對(duì)位置，可以是所述傳送輪與所述清潔輪11相外切，這樣，可以使得所述傳送輪更容易帶動(dòng)所述清潔輪11轉(zhuǎn)動(dòng)，提高所述清潔輪11對(duì)所述傳送輪的清潔效率。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述清潔輪11上的清潔層111所使用的材料可以為耐腐蝕性材料。

由于所述剝離區(qū)的剝離液具有腐蝕性，剝離液在進(jìn)入到水洗區(qū)時(shí)，會(huì)腐蝕水洗區(qū)的清潔輪11包含的所述清潔層111，因此，所述清潔層111所使用的材料可以為耐腐蝕性的材料，這樣，可以避免所述清潔層111被剝離液腐蝕，延長(zhǎng)所述清潔層111的使用壽命。

可選地，所述清潔層111以可拆卸的方式固定在所述清潔輪11的表面。

將所述清潔層111以可拆卸的方式固定在所述清潔輪11的表面，這樣，在清潔層111發(fā)生破損時(shí)，可以將所述清潔層111從所述清潔輪11上拆卸下來，并更換所述清潔層111。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，還可以根據(jù)實(shí)際情況，或者按照設(shè)定時(shí)間周期定期更換所述清潔層111，這里不做具體限定，所述設(shè)定時(shí)間周期可以根據(jù)實(shí)際情況確定。

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送輪清潔裝置與傳送輪的相對(duì)位置關(guān)系的示意圖，其中，21代表傳送輪，22代表機(jī)體，23代表傳送輪清潔裝置，其中，所述機(jī)體可以是位于水洗區(qū)的機(jī)體。

如圖2所示，在機(jī)體上固定有三組傳送輪，每組傳送輪包含4個(gè)所述傳送輪21，每?jī)山M傳送輪之間固定有一組傳送輪清潔裝置，每一組傳送輪清潔裝置包含4個(gè)所述傳送輪清潔裝置23。

需要說明的是，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，為了便于兩組傳送輪之間的傳送輪清潔裝置對(duì)兩組傳送輪進(jìn)行清潔，每一個(gè)所述傳送輪清潔裝置23可以包含兩個(gè)清潔輪，如圖2所述，每個(gè)清潔輪分別與相鄰的傳送輪相接觸，且每一個(gè)清潔輪與相鄰的傳送輪相外切。

針對(duì)其中一個(gè)傳送輪清潔裝置23，在傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，所述傳送輪清潔裝置23包含的兩個(gè)清潔輪可以分別被與其相接觸的傳送輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣，所述傳送輪清潔裝置23包含的兩個(gè)清潔輪可以分別清潔與其相接觸的傳送輪。

在實(shí)際應(yīng)用中，機(jī)體上可以固定有多組傳送輪以及多組傳送輪清潔裝置，可以根據(jù)機(jī)體上固定的傳送輪的具體數(shù)量確定傳送輪清潔裝置的數(shù)量，其中，每?jī)山M傳送輪之間的傳送輪清潔裝置的數(shù)量與每組傳送輪包含的傳送輪的個(gè)數(shù)一致。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送輪清潔裝置，包括：包含清潔層的清潔輪和支架，所述清潔輪固定在所述支架上，所述支架被固定在機(jī)體上，其中：所述清潔輪上的清潔層與所述傳送輪相接觸，所述清潔輪在所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述清潔層在所述清潔輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述傳送輪進(jìn)行清潔。這樣，傳送輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以帶動(dòng)清潔輪一起轉(zhuǎn)動(dòng)，清潔輪在轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，清潔輪上的清潔層可以清潔并除去傳送輪上粘附的污垢，使得傳送輪在傳送后續(xù)基板時(shí)，后續(xù)基板上不會(huì)附著污垢，進(jìn)而有效提高基板的質(zhì)量。

本實(shí)用新型是參照根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的方法、裝置(設(shè)備)的流程圖和/或方框圖來描述的。盡管已描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本實(shí)用新型范圍的所有變更和修改。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。