技術總結
本發(fā)明涉及一種集成電路生產(chǎn)車間除塵系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括裝置于車間中的除塵器、灰塵傳感器及控制所述除塵器的控制器，所述控制器的輸入端與灰塵傳感器的輸出端連接；所述灰塵傳感器包括多個，分別安裝于每個操作臺的上方的導軌上。本發(fā)明中，于操作臺上方設置多個灰塵傳感器，全面檢測集成電路生產(chǎn)車間中的灰塵量，實現(xiàn)自動除塵，節(jié)省能耗的同時又能保證車間的無塵，其除塵效果好。

技術研發(fā)人員：呂耀安
受保護的技術使用者：無錫宏納科技有限公司
文檔號碼：201610867153
技術研發(fā)日：2016.09.29
技術公布日：2017.02.22