技術(shù)特征：

1.一種集成電路生產(chǎn)車(chē)間除塵系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)包括裝置于車(chē)間(1)中的除塵器(2)、灰塵傳感器(3)及控制所述除塵器(2)的控制器(4)，所述控制器(4)的輸入端與灰塵傳感器(3)的輸出端連接；所述灰塵傳感器(3)包括多個(gè)，分別安裝于每個(gè)操作臺(tái)(5)的上方的導(dǎo)軌(6)上。