本發(fā)明涉及集成電路的生產(chǎn)車(chē)間，尤其涉及車(chē)間的除塵系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)代發(fā)達(dá)國(guó)家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支柱之一--集成電路(以下稱(chēng)IC)產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速。IC設(shè)計(jì)、IC制造、IC封裝和IC測(cè)試已成為微電子產(chǎn)業(yè)中相互獨(dú)立又互相關(guān)聯(lián)的四大產(chǎn)業(yè)。微電子已成為當(dāng)今世界各項(xiàng)尖端技術(shù)和新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前導(dǎo)和基礎(chǔ)。有了微電子技術(shù)的超前發(fā)展，便能夠更有效地推動(dòng)其它前沿技術(shù)的進(jìn)步。隨著IC的集成度和復(fù)雜性越來(lái)越高，污染控制、環(huán)境保護(hù)和靜電防護(hù)技術(shù)就越盲膨響或制約微電子技術(shù)的發(fā)展。同時(shí)，隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)和生產(chǎn)技術(shù)的不斷創(chuàng)新發(fā)展，生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求越來(lái)越高。大規(guī)模和超大規(guī)模Ic生產(chǎn)中的前后道各工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境提出了更高要求，不僅僅要保持一定的溫、濕度、潔凈度，還需要對(duì)靜電防護(hù)引起足夠的重視。

目前，集成電路生產(chǎn)車(chē)間中采用的除塵系統(tǒng)，智能程度不高，除塵效果有待提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本申請(qǐng)人針對(duì)現(xiàn)有集成電路生產(chǎn)車(chē)間存在的上述缺點(diǎn)，提供一種除塵效果好、智能化高的集成電路生產(chǎn)車(chē)間除塵系統(tǒng)。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

一種集成電路生產(chǎn)車(chē)間除塵系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括裝置于車(chē)間中的除塵器、灰塵傳感器及控制所述除塵器的控制器，所述控制器的輸入端與灰塵傳感器的輸出端連接；所述灰塵傳感器包括多個(gè)，分別安裝于每個(gè)操作臺(tái)的上方的導(dǎo)軌上。

本發(fā)明的有益效果如下：

本發(fā)明中，于操作臺(tái)上方設(shè)置多個(gè)灰塵傳感器，全面檢測(cè)集成電路生產(chǎn)車(chē)間中的灰塵量，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)除塵，節(jié)省能耗的同時(shí)又能保證車(chē)間的無(wú)塵，其除塵效果好。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的工作原理框圖。

圖2為本發(fā)明中灰塵傳感器的安裝示意圖。

圖中：1、車(chē)間；2、除塵器；3、灰塵傳感器；4、控制器；5、操作臺(tái)；6、導(dǎo)軌。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式。

如圖1、圖2所示，本實(shí)施例的集成電路生產(chǎn)車(chē)間除塵系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括裝置于車(chē)間1中的除塵器2、灰塵傳感器3及控制除塵器2的控制器4，控制器4的輸入端與灰塵傳感器3的輸出端連接；灰塵傳感器3包括多個(gè)，分別安裝于每個(gè)操作臺(tái)5的上方的導(dǎo)軌6上。

本發(fā)明的灰塵傳感器3用于檢測(cè)車(chē)間中的灰塵量，當(dāng)灰塵量達(dá)到一定值時(shí)，灰塵傳感器3通過(guò)控制器4啟動(dòng)除塵器2，除塵器2進(jìn)行除塵，除塵持續(xù)一段時(shí)間(如5分鐘)后自動(dòng)停止。

以上描述是對(duì)本發(fā)明的解釋?zhuān)皇菍?duì)發(fā)明的限定，本發(fā)明所限定的范圍參見(jiàn)權(quán)利要求，在不違背本發(fā)明的精神的情況下，本發(fā)明可以作任何形式的修改。