工件在工業(yè)的制造過程中被用液態(tài)的介質(zhì)加載，以便清潔其上的臟污顆?；蛴没瘜W(xué)物質(zhì)處理其表面。臟污顆粒和液體微滴可以損害工業(yè)的制造的產(chǎn)品例如用于內(nèi)燃機(jī)的噴嘴的功能。因此工件的清潔度在工業(yè)的生產(chǎn)過程中具有重要意義。在工業(yè)的制造中為了清潔工件使用清潔設(shè)備。在那里工件被用液態(tài)的介質(zhì)加載，例如用水，水最好配有清潔添加劑，或用工藝流體，該工藝流體包含碳?xì)浠衔?。如果工件在清潔之后被進(jìn)一步加工、裝配或安裝，常常必須保證，上述液態(tài)的介質(zhì)從工件上被完全除去。為此在工業(yè)的制造中干燥設(shè)備被運(yùn)行。

關(guān)于工件的干燥在此處理解為從工件上去除在工件上吸收的或粘附的液態(tài)的介質(zhì)。

為了在工業(yè)的制造中干燥工件，一方面使用干燥爐，在干燥爐中工件被施加熱量，以便蒸發(fā)附著在工件上的液態(tài)的介質(zhì)。在具有在液體池中汲取液體的部段的工件的情況下，為了借助于該干燥方法干燥工件，一般地需要非常多的能量和時間。

另一方面，為了干燥，在工業(yè)的制造中借助于操作機(jī)器人使工件圍繞一個或多個工件軸線運(yùn)動，而工件的表面同時被用鼓風(fēng)加載。

在DE4237335A1中描述一種開頭所述類型的用于干燥的設(shè)備。在該設(shè)備中可以將用清潔液體處理的工件在可氣密地封閉的室中置于負(fù)壓下。通過對該室抽真空然后將附著在工件上的清潔液體的殘余物蒸發(fā)掉。為了去除在清潔期間容納在鉆孔和盲孔中的清潔液體，該設(shè)備包含吹風(fēng)噴嘴，借此產(chǎn)生空氣射流。借助于空氣射流對工件進(jìn)行吹刷。容納在工件的鉆孔和盲孔中的清潔液體由此被霧化。

為了產(chǎn)生熱量、提供負(fù)壓和產(chǎn)生鼓風(fēng)，經(jīng)常需要非常多的能量。因此在工業(yè)的制造中的工件的干燥一般地產(chǎn)生不小的費(fèi)用。

本發(fā)明的任務(wù)是，減少用于干燥被用液態(tài)的介質(zhì)加載的工件的要求的能量消耗。

該任務(wù)通過一種開頭所述類型的設(shè)備解決，其具有抽吸裝置和外殼，在外殼中可以圍住布置在工件容納區(qū)中的工件，其中，外殼具有通過抽吸管道與抽吸裝置連接的抽吸接頭，用于通過用抽吸裝置抽吸抽吸管道在外殼的抽吸接頭處產(chǎn)生負(fù)壓。

以這種方式尤其可以實(shí)現(xiàn)，在外殼中沉積在工件上的液態(tài)的介質(zhì)快速地蒸發(fā)和同時被從工件上消除。在工件容納區(qū)中和在外殼內(nèi)部布置的工件在此優(yōu)選(通過排擠效應(yīng))導(dǎo)致位于外殼中的流體容量的減少。

但是本發(fā)明的一個構(gòu)思也在于，通過用抽吸裝置抽吸抽吸管道在外殼的抽吸接頭處產(chǎn)生負(fù)壓，負(fù)壓引起從外殼的內(nèi)部到抽吸管道中的流體流，該流體流加載布置在工件容納區(qū)中的工件。

在此本發(fā)明充分利用，在外殼中布置的工件和外殼之間形成具有相對于周圍環(huán)境減小的凈橫截面的流動通道形式的空間。在外殼中的流體流然后在工件容納區(qū)中被引導(dǎo)通過一個或多個狹窄部位，在此處流體流在其進(jìn)入抽吸管道中的路徑中被分段地加速和/或又被減速和/或也被轉(zhuǎn)向。

本發(fā)明的一個構(gòu)思尤其是，外殼具有外殼壁，其具有用于氣態(tài)的流體的至少一個通孔，通過該通孔，氣態(tài)的流體借助于抽吸裝置通過在抽吸接頭處產(chǎn)生負(fù)壓可以被抽吸到外殼中。

如果在外殼的抽吸接頭處產(chǎn)生負(fù)壓，那么在那里在至少一個通孔和抽吸接頭之間形成壓力降，由此然后形成從通孔到抽吸接頭通過外殼的流體流。

按照本發(fā)明，該流體流至少分段地沿著要干燥的工件延伸。基于與流體流的速度相關(guān)的動態(tài)壓力，在此在要干燥的工件的表面上的靜壓力也變化和至少分段地減小。發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識到，在基于流體流的速度的這種減小的靜壓力下在工件的表面上聚積的液體滴可以特別有效地去除。

優(yōu)選在外殼和工件之間分段地形成狹窄部位，在狹窄部位處流體流的流動速度達(dá)到一個相對的最大值，由此希望的干燥效果在那里是特別大的。本發(fā)明的一個構(gòu)思也是，流體流在外殼中被引導(dǎo)穿過工件的空腔，在空腔中流體流也被局部地加速。

在設(shè)備中的抽吸裝置優(yōu)選包含可經(jīng)由抽吸管道通風(fēng)的真空容器和用于對真空容器抽真空的抽真空裝置。以這種方式實(shí)現(xiàn)，在短時間內(nèi)從外殼中抽吸出非常大量的氣體，由此在那里短時間地形成強(qiáng)烈的流體流。為了最好突然地釋放和封閉抽吸管道，設(shè)備可能地具有由瓣閥構(gòu)成的閥。

也是本發(fā)明的一個構(gòu)思，即圍住工件容納區(qū)的外殼布置在可流體密封地封閉的真空室中。由此可以實(shí)現(xiàn)，在設(shè)備中工件通過加載強(qiáng)烈的流體流在外殼中被預(yù)干燥并且在預(yù)干燥之后然后可以通過對真空室抽真空進(jìn)行真空干燥。在此情況下可以利用，在用流體流加載工件期間在真空室中通過施加負(fù)壓到外殼的抽吸接頭上可以在真空室中形成一個部分真空。然后可以以降低的能量和時間費(fèi)用實(shí)現(xiàn)在用于真空干燥的真空室中調(diào)整出更高的真空。

為了對真空室抽真空，抽真空裝置可以包含通過流體管道與真空室在抽吸側(cè)連接的抽吸泵。有利的是，設(shè)備具有通向抽吸泵與流體管道在抽吸側(cè)連通的用于對真空容器抽真空的管道。以這種方式，抽真空裝置可以不僅用于對真空容器抽真空而且用于對真空室抽真空。

設(shè)備可以具有用于通風(fēng)真空室的通風(fēng)裝置。該通風(fēng)裝置最好包含閥，該閥有選擇地釋放或封閉通到真空室的內(nèi)部中的用于流體的流動路徑。

在真空室中的外殼可以隧道形地構(gòu)造。在外殼中然后可以設(shè)置線性運(yùn)動裝置，其用于將工件通過外殼從真空室的第一可封閉的開口線性移動到真空室的與第一開口相對置的另一個開口。以這種方式實(shí)現(xiàn)以短的周期時間在設(shè)備中干燥工件。

設(shè)備也可以具有外殼，它具有第一外殼部件，其為了將工件布置在工件容納區(qū)中可以相對于外殼的第二外殼部件移動。以這種方式可以簡化工件在設(shè)備的外殼中的布置。

本發(fā)明也延伸到一種用于通過清潔設(shè)備工業(yè)地清潔工件的設(shè)備系統(tǒng)，在清潔設(shè)備中工件可以用液態(tài)的介質(zhì)加載，該設(shè)備系統(tǒng)包含具有上面給出的特征的用于干燥被用液態(tài)的介質(zhì)加載的工件的設(shè)備。

此外本發(fā)明也延伸到一種用于干燥工件的方法，該工件被用液態(tài)的介質(zhì)加載，其中工件布置在外殼中，和其中工件通過從外殼中抽吸氣態(tài)的流體被用氣態(tài)的流體流加載。本發(fā)明的一個構(gòu)思尤其是，工件在在外殼中真空干燥之前布置在真空室中。在此有利的是，外殼至少分段地匹配于工件的外輪廓。以這種方式可以減少流體量，該流體量為了調(diào)整出在真空室中的真空和為了產(chǎn)生通過在設(shè)備中的外殼的流體流必須被輸送。

以下借助于在附圖中以示意的方式示出的實(shí)施例詳細(xì)解釋本發(fā)明。

附圖所示:

圖1是用于干燥工件的第一設(shè)備，其具有真空室和具有用于圍住在真空室中的工件的外殼;

圖2是第二設(shè)備的部分剖視圖，具有真空室和具有用于圍住工件的外殼，該外殼匹配于工件的外輪廓;

圖3是第三設(shè)備的部分剖視圖，具有真空室和具有用于圍住工件的外殼;

圖4是第三設(shè)備的透視的部分視圖;

圖5是第四設(shè)備的部分剖視圖，具有真空室和用于圍住工件的外殼，外殼匹配于工件的外輪廓;

圖6是第五設(shè)備的部分剖視圖，具有真空室和具有用于圍住工件的外殼，外殼匹配于工件的外輪廓;

圖7是第六設(shè)備的部分剖視圖，具有真空室和具有用于圍住工件的外殼，外殼匹配于工件的外輪廓;和

圖8是用于干燥工件的第七設(shè)備，具有用于圍住工件的外殼;和

圖9是在通過圖8中的箭頭IX被識別的視線方向上的該設(shè)備的部分視圖。

在圖1中示出的用于干燥工件12的設(shè)備10具有真空室14，其具有可抽真空的內(nèi)室30。設(shè)備10具有用于對真空室14抽真空的抽真空裝置16。抽真空裝置16具有出口48并且包含抽吸泵18，其通過抗壓的流體管道20與真空室14連接，截止閥22位于該流體通道中。為了在設(shè)備10中干燥工件12，這些工件被布置在真空室14中的工件容納區(qū)24中。

在設(shè)備10中具有外殼26，在外殼中，布置在工件容納區(qū)24中的工件12可以被圍住。外殼26具有外殼壁，其具有用于氣態(tài)的流體的通孔72。這些通孔是在真空室14中布置的通道，其用于氣態(tài)的流體從真空室14的可抽真空的內(nèi)室30進(jìn)入外殼26的內(nèi)部中。

設(shè)備10包含抽吸裝置32。抽吸裝置32具有可抽真空的真空容器34，其通過通入流體管道20中的用于氣態(tài)的流體的管道36與抽吸泵18連接。在此可以通過在管道36中布置的截止閥38有選擇地釋放和封閉用于在真空容器34和抽吸泵18之間的流體的流動路徑。通過抽吸泵18可以在真空容器34中產(chǎn)生真空。對于在真空容器中的真空的殘余氣體壓力在此優(yōu)選位于20mbar和100mbar之間。

真空容器34具有出口48，其用于將聚集在其中的液體通過流體管道50排出到容納容器52中，該流體管道可以通過截止閥54有選擇地釋放或封閉。

在真空室14中布置的外殼26具有抽吸接頭40，其通過抽吸管道42與抽吸裝置32的可抽真空的真空容器34連接。在抽吸管道42中布置由瓣閥44構(gòu)造成的閥。借助于瓣閥44可以有選擇地釋放和封閉用于通過抽吸管道42的流體的流動路徑。瓣閥44在此被設(shè)計(jì)用于短的切換時間并且因此可以突然地釋放抽吸管道42的開口橫截面，也就是說在長度Δt≤1s的時間間隔之內(nèi)，最好在長度Δt≤0.1s的時間間隔之內(nèi)。

為了使通過抽吸泵18在設(shè)備10中輸送的氣態(tài)的流體擺脫液態(tài)的物質(zhì)例如用于清潔工件12的清潔液體，該氣態(tài)的流體被引導(dǎo)通過與抽吸泵18的壓力接頭連接的液體分離機(jī)46。

為了輸入和輸出工件12，真空室14具有兩個相互相對置的開口56，58，它們可以通過由隔板構(gòu)造成的封閉體60，62有選擇地釋放或流體密封地封閉。在設(shè)備10中為了移動封閉體60，62具有伺服驅(qū)動裝置64，66。

設(shè)備10被設(shè)計(jì)用于在兩個相繼的不同的干燥運(yùn)行方式中干燥工件12，該工件在工業(yè)的清潔設(shè)備(沒有示出)中被用清潔流體加載，用于清潔掉它們上的例如碎屑物和潤滑劑。為了利用清潔流體清潔工件12，在這種清潔設(shè)備中用清潔流體濕潤工件12的表面。在此用于加載工件的清潔流體也被容納在工件12的空隙、鉆孔和盲孔中。

設(shè)備10的第一干燥運(yùn)行方式實(shí)現(xiàn)對容納在其中的工件12的預(yù)干燥。設(shè)備10的第二干燥運(yùn)行方式實(shí)現(xiàn)對已經(jīng)通過設(shè)備10的第一干燥運(yùn)行方式預(yù)干燥的工件12的高效的真空干燥。

為了預(yù)干燥，工件12在清潔設(shè)備中處理之后通過由封閉體60，62釋放的開口56或58被定位在真空室14中的外殼26中的工件容納區(qū)24中。隨后借助于伺服驅(qū)動裝置64，66將封閉體60，62移動到其關(guān)閉位置上。真空室14的用于輸入和輸出工件12的開口56，58然后被流體密封地封閉。在抽吸裝置32的真空容器34中，通過抽真空裝置16經(jīng)由管道36在相應(yīng)地被打開的截止閥38的情況下調(diào)整出一種真空，該真空的絕對殘余壓力最好位于20mbar和100mbar之間。

隨后通過打開在抽吸管道42中的瓣閥44在抽吸接頭40上突然地施加一個負(fù)壓，該負(fù)壓相對于大氣壓最好為大約1bar。由此在外殼26中通過在外殼壁中的開口72形成流入的流體流28，它流向抽吸接頭40并且通過抽吸管道42被引導(dǎo)到真空容器34中。通過使抽吸管道42的最小的橫截面大于在外殼壁中的開口72的通過截面的和，可以在在真空室14的內(nèi)室30中的壓力P_I和在真空容器34中的壓力P_V之間的足夠大的壓力差ΔΡ:=P_I-P_V下，例如ΔΡ≈?P_I≈0.5bar實(shí)現(xiàn)，流體流28的速度近似地具有音速，氣態(tài)的流體以該速度從真空室14的內(nèi)室30流入具有在其中布置的工件12的外殼26中。

在真空室14的外殼26中布置的工件12可以例如是發(fā)動機(jī)缸體。在這種情況下有利的是，真空容器34的容積為大約2m³。但是真空容器34的容積原則上也可以較小，如果外殼26的尺寸匹配于相應(yīng)較小的工件，例如曲軸或凸輪軸的話。

在外殼26的內(nèi)部中形成的流體流28以類似于鼓風(fēng)的方式加載在工件容納區(qū)24中布置的工件12的表面。在工件12的表面上和在工件的汲取液體的部分中或者也在內(nèi)室中容納的清潔液體被流體流28接收并且通過外殼26的抽吸接頭40經(jīng)由抽吸管道42被運(yùn)動到真空容器34中，直到在真空容器34和外殼26的內(nèi)部之間已經(jīng)調(diào)整到壓力平衡。

一旦在真空室14的內(nèi)室30和真空容器34之間達(dá)到壓力平衡，在設(shè)備10中引入采用第二設(shè)備運(yùn)行方式的真空干燥。為此瓣閥44被關(guān)閉并且在流體管道20中的截止閥22被打開，以便將真空室14作為整體通過抽真空裝置16抽真空到一個殘余壓力，其盡可能小于在工件12上和中容納的清潔流體的蒸氣壓力。

如果在真空室14的內(nèi)室30中的壓力下降到低于附著在布置在工件容納區(qū)24中的工件12上的清潔流體的蒸氣壓力，則導(dǎo)致相關(guān)的清潔流體開始沸騰。它然后快速蒸發(fā)并且通過流體管道20由抽真空裝置16從真空室的內(nèi)室30中抽出，以便必要時在那里聚集在液體分離機(jī)46中。

應(yīng)該注意，在真空容器34和在設(shè)備10中的真空室14之間的壓力平衡在一種針對上述運(yùn)行方式修改的運(yùn)行方式的情況下也可以在對工件12預(yù)干燥之前建立，如果封閉體60，62完全或部分地釋放在真空室14中的開口56，58的話。在這種情況下，當(dāng)通過利用真空容器34的壓力平衡引起的、通過外殼26的流體流動停止時才將封閉體60，62移動到關(guān)閉位置上。

圖2示出第二設(shè)備100的部分剖視圖，其具有真空室114和用于圍住工件12的外殼126。在設(shè)備100中外殼126匹配于工件的外輪廓。只要第二設(shè)備100的組件對應(yīng)于上面描述的設(shè)備10的組件，則它們用以數(shù)字100增大的數(shù)字作為附圖標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)示。真空室114具有帶有供風(fēng)口115的通風(fēng)裝置115'。供風(fēng)口115可以通過瓣閥121有選擇地釋放和封閉。供風(fēng)口115配有消音器116，當(dāng)通過外殼126通過利用真空容器(沒有示出)建立壓力平衡產(chǎn)生流體流時，該流體流加載在外殼126中布置在工件容納區(qū)124中的工件12，環(huán)境空氣可以通過供風(fēng)口在箭頭119的方向上流入真空室的內(nèi)部114中。

圖3示出第三設(shè)備200的部分剖視圖，其具有真空室214和用于圍住工件12的外殼226。圖4是第三設(shè)備200的透視的部分視圖。在設(shè)備200中外殼226匹配于工件的外輪廓。只要第三設(shè)備200的組件對應(yīng)于上面描述的設(shè)備10的組件，則它們用以數(shù)字200增大的數(shù)字作為附圖標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)示。在設(shè)備200中借助于真空室214的封閉體260，262也密封在真空室214中布置的外殼226。具有在其中設(shè)置的工件容納區(qū)224的外殼226的內(nèi)室在此處隧道形地構(gòu)造。在真空室214中具有輥道221'形式的線性運(yùn)動裝置，在輥道上可以使工件12運(yùn)動通過工件容納區(qū)224。

圖5示出第四設(shè)備300的部分剖視圖，其具有真空室314和用于圍住在工件容納區(qū)324中的工件12的外殼326。只要第四設(shè)備300的組件對應(yīng)于上面描述的設(shè)備10的組件，則它們用以數(shù)字300增大的數(shù)字作為附圖標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)示。在設(shè)備300中的外殼326是兩個部分地實(shí)施的并且具有第一外殼部件327和另一個外殼部件329，它們借助于穿過真空室314的壁331作用的運(yùn)動機(jī)構(gòu)333，335可以在雙箭頭337，339的方向上相互相對移動，以便有選擇地釋放或圍住在真空室314中的工件容納區(qū)324中布置的工件。

圖6示出第五設(shè)備400的部分剖視圖，其具有真空室414和用于圍住工件12的外殼426。只要第五設(shè)備400的組件對應(yīng)于上面描述的設(shè)備10的組件，則它們用以數(shù)字400增大的數(shù)字作為附圖標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)示。在設(shè)備400中的外殼426具有一個按照鐘狀物形式構(gòu)造成的部段作為第一外殼部件427，它借助于穿過真空室414的蓋441作用的運(yùn)動機(jī)構(gòu)443可以在雙箭頭445的方向上在真空室414的內(nèi)室430中相對于第二外殼部件429被提升和下降，以便有選擇地釋放或圍住在真空室414中的工件容納區(qū)424中布置的工件12。

圖7示出第六設(shè)備500的部分剖視圖，其具有真空室514和用于圍住在工件容納區(qū)524中的工件12的外殼526。只要第六設(shè)備500的組件對應(yīng)于上面描述的設(shè)備10的組件，則它們用以數(shù)字500增大的數(shù)字作為附圖標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)示。

在設(shè)備500中的真空室514是兩個部分地實(shí)施的并且具有室部件545，該室部件可以通過運(yùn)動機(jī)構(gòu)(沒有示出)在雙箭頭547的方向上相對于室部件549被提升和下降。外殼526也是多個部分地構(gòu)造成的。它具有部段527，該部段可以相對于部段529移動。外殼526的部段527在此相對于室部件545被位置固定地定位并且外殼526的部段529相對于室部件549是位置固定的。

借助于運(yùn)動機(jī)構(gòu)可以使室部件545在關(guān)閉位置和打開位置之間運(yùn)動。在打開位置上工件容納區(qū)524在此為了輸入和輸出工件12被釋放。在關(guān)閉位置上在外殼526中的布置在工件容納區(qū)524中的工件12被圍住。

圖8示出用于干燥工件12的第七設(shè)備600。圖9是設(shè)備600的在通過圖8中的箭頭IX可識別的視線方向上的部分視圖。用于干燥工件12的設(shè)備600具有工件容納區(qū)624和包含外殼626，該外殼具有第一外殼部件627和借助于驅(qū)動裝置(沒有示出)可相對于第一外殼部件627在打開位置和關(guān)閉位置之間移動的第二外殼部件629。外殼626在此匹配于工件12的側(cè)面的部段的形狀，其中被外殼626圍住的空間的尺寸僅僅稍微大于在工件容納區(qū)624中布置的工件12。在設(shè)備600的工件容納區(qū)624中布置的工件12例如可以是發(fā)動機(jī)缸體。

第一外殼部件627漏斗形地構(gòu)造和具有由瓣閥644構(gòu)造成的抽吸閥瓣。第二外殼部件629是罩形的和包含具有瓣閥621的漏斗形的開口615。為了在工件容納區(qū)624中輸入和輸出工件12，第二外殼部件629被相對于第一外殼部件627運(yùn)動到打開位置。在關(guān)閉位置上，第二外殼部件629頂壓在布置在第一外殼部件627和第二外殼部件629之間的密封件611上。在此處第一外殼部件627與第二外殼部件629形成真空室，該真空室可以通過瓣閥621通風(fēng)并且可以通過由瓣閥644構(gòu)造成的抽吸閥瓣抽真空。

設(shè)備600具有用于對在將第二外殼部件629施加到第一外殼部件627上時形成的真空室抽真空的抽真空裝置16。為了在設(shè)備600中干燥工件12，該工件被布置在在通過外殼626的第一外殼部件627和第二外殼部件629形成的真空室中的工件容納區(qū)624中。

設(shè)備600具有抽吸裝置32。抽吸裝置32具有可抽真空的真空容器34，其通過用于氣態(tài)的流體的管道36與抽真空裝置16的抽吸泵18連接。抽真空裝置16具有出口48和包含抽吸泵18。通過在管道36中布置的截止閥38可以有選擇地釋放和封閉用于在真空容器34和抽吸泵18之間的流體的流動路徑。通過抽吸泵18可以在真空容器34中產(chǎn)生真空。用于在真空容器中的該真空的殘余氣體壓力在此優(yōu)選位于20mbar和100mbar之間。

真空容器34具有用于通過流體管道50將聚集在其中的液體排出到容納容器52中的出口48，該容納容器可以通過截止閥54有選擇地釋放或封閉。

借助于瓣閥644可以有選擇地釋放和封閉用于具有通過抽吸管道42的流體流28的流體的流動路徑。瓣閥644在此被設(shè)計(jì)用于短的切換時間并且因此可以突然地釋放抽吸管道42的開口橫截面，也就是說在長度Δt≤1s的時間間隔之內(nèi)，最好在長度Δt≤0.1s的時間間隔之內(nèi)。

為了去除通過抽吸泵18在設(shè)備600中輸送的氣態(tài)的流體中的液態(tài)的物質(zhì)例如用于清潔工件12的清潔液體，該氣態(tài)的流體被引導(dǎo)通過與抽吸泵18的壓力接頭連接的液體分離機(jī)46。

設(shè)備600也被設(shè)計(jì)用于干燥工件12，該工件在工業(yè)的清潔設(shè)備(沒有示出)中被用清潔流體加載，以便例如清潔掉其上的碎屑物和潤滑劑。為了用清潔流體清潔工件12，在這種清潔設(shè)備中工件612的表面被用清潔流體濕潤。在此用于加載工件的清潔流體也被容納在工件12的空隙、鉆孔和盲孔中。

為了干燥，工件12在清潔設(shè)備中被處理之后被定位在工件容納區(qū)624中。隨后外殼626的第二外殼部件629和第一外殼部件627被相互相對地運(yùn)動到關(guān)閉位置上。

在抽吸裝置32的真空容器34中，然后通過抽真空裝置16經(jīng)由管道36在相應(yīng)地被打開的截止閥38下調(diào)整出一個真空，該真空的絕對的殘余壓力最好位于20mbar和100mbar之間。

隨后通過打開在抽吸管道42中的瓣閥644在第一外殼部件627的抽吸接頭40上突然地施加一個負(fù)壓，該負(fù)壓關(guān)于大氣壓力最好為大約1bar。由此在外殼626中形成通過開口615和瓣閥621流入外殼626中的流體流28，該流體流流動到抽吸接頭640并且通過抽吸管道42被引導(dǎo)到真空容器34中。

外殼626具有壁，這些壁與在工件容納區(qū)624中布置的工件12一起使用于流入到外殼626中的流體流28的流動橫截面變窄。由此實(shí)現(xiàn)，在工件12的表面處那里的流體流28的流動速度增大并且大到足夠?qū)⒁后w殘余和/或臟物與工件12的表面分離。

在外殼626的內(nèi)部中形成的流體流28類似于鼓風(fēng)地加載在工件容納區(qū)624中布置的工件12的表面。在工件12的表面上和在汲取液體的部分中或者也在工件12的內(nèi)腔中容納的清潔液體被流體流28接納并且通過抽吸接頭640經(jīng)由抽吸管道42被運(yùn)動到真空容器34中，直到在真空容器34和外殼26的內(nèi)部之間形成壓力平衡。

概括地說，尤其要記錄本發(fā)明的以下優(yōu)選的特征:本發(fā)明涉及一種用于干燥工件12，112，212，312，412，512，612的設(shè)備10，100，200，300，400，500，600，工件被用液態(tài)的介質(zhì)加載。設(shè)備10，100，200，300，400，500，600具有用于容納至少一個要干燥的工件12的工件容納區(qū)24，124，224，324，424，524，624。在設(shè)備10，100，200，300，400，500，600中具有抽吸裝置32和外殼26，126，226，326，426，526，626，在外殼中在工件容納區(qū)24，124，224，324，424，524，624中布置的工件12可以被圍住。外殼26，126，226，326，426，526，626具有通過抽吸管道42與抽吸裝置32連接的抽吸接頭40，140，240，340，440，540，640。

附圖標(biāo)記表:

10設(shè)備

12工件

14真空室

16抽真空裝置

18抽吸泵

20流體管道

22截止閥

24工件容納區(qū)

26外殼

28流體流

30內(nèi)室

32抽吸裝置

34真空容器

36管道

38截止閥

40抽吸接頭

42抽吸管道

44瓣閥

46液體分離機(jī)

48出口

50流體管道

52容納容器

54截止閥

56，58開口

60，62封閉體

64，66伺服驅(qū)動裝置

72通孔

100設(shè)備

114真空室

115供風(fēng)口

115'通風(fēng)裝置

116消音器

119箭頭

121瓣閥

124工件容納區(qū)

126外殼

140抽吸接頭

144瓣閥

172通孔

200設(shè)備

214真空室

215供風(fēng)口

215'通風(fēng)裝置

216消音器

221瓣閥

221'輥道

224工件容納區(qū)

226外殼

240抽吸接頭

244瓣閥

260，262封閉體

272通孔

300設(shè)備

314真空室

315供風(fēng)口

315'通風(fēng)裝置

316消音器

321瓣閥

324工件容納區(qū)

326外殼

327，329外殼部件

331壁

333，335運(yùn)動機(jī)構(gòu)

337，339雙箭頭

340抽吸接頭

344瓣閥

372通孔

400設(shè)備

412工件

414真空室

415供風(fēng)口

415'通風(fēng)裝置

416消音器

421瓣閥

424工件容納區(qū)

426外殼

427部段

430內(nèi)部

440抽吸接頭

441蓋

443運(yùn)動機(jī)構(gòu)

444瓣閥

445雙箭頭

472通孔

500設(shè)備

512工件

514真空室

515供風(fēng)口

515'通風(fēng)裝置516消音器

521瓣閥

524工件容納區(qū)

526外殼

527部段

529部段

540抽吸接頭

544瓣閥

545室部件

547雙箭頭

549室部件

600設(shè)備

611密封件

615供風(fēng)口

615'通風(fēng)裝置

616消音器

621瓣閥

624工件容納區(qū)

626外殼

627，629外殼部件

644瓣閥

645雙箭頭。