專利名稱：排氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
排氣系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種排氣系統(tǒng)，尤其涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工廠的排氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造工藝中所使用的化學(xué)物質(zhì)種類繁多，且多數(shù)具有毒性、腐蝕性、易燃性或易爆性等特質(zhì)。在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)，通常配置有排氣系統(tǒng)，用于排出廢氣，保證安全。不同的化學(xué)物質(zhì)混合之后可能造成嚴(yán)重后果，如爆炸、燃燒等。另外，對(duì)排氣管路 材質(zhì)的選擇也很重要，其必須不與輸送化學(xué)物質(zhì)發(fā)生反映，否則可能導(dǎo)致管路腐蝕破損，進(jìn) 而可能造成有害物質(zhì)外泄。因此，為了避免不同性質(zhì)的排出氣體共用同一個(gè)排氣管路，在排 氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)中，原則上應(yīng)將整個(gè)工藝的排氣系統(tǒng)根據(jù)氣體的特質(zhì)而劃分為多個(gè)排氣子系 統(tǒng)。如圖1所示，一種典型的排氣系統(tǒng)大致分為酸性氣體排氣子系統(tǒng)11、堿性氣體排 氣子系統(tǒng)12、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑(Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)13和一般排氣子系統(tǒng)14。每 一個(gè)排氣子系統(tǒng)均包括排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)、排氣壓力控制點(diǎn)、風(fēng)管集管和排風(fēng)機(jī)等設(shè) 備。具體而言，酸排氣子系統(tǒng)11包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)111、壓力控制點(diǎn)112、風(fēng)管集管113和酸 排風(fēng)機(jī)114 ；堿排氣子系統(tǒng)12包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)121、壓力控制點(diǎn)122、風(fēng)管集管123和堿排 風(fēng)機(jī)124 ；揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)13包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)131、壓力控制點(diǎn)132、風(fēng)管集 管133和有機(jī)排風(fēng)機(jī)134 ；—般排氣子系統(tǒng)14包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)141、壓力控制點(diǎn)142、風(fēng)管 集管143和一般排風(fēng)機(jī)144。所述每一個(gè)排氣子系統(tǒng)的工作原理大致相同，包括各壓力控 制點(diǎn)均設(shè)置壓力感測(cè)器，用于實(shí)時(shí)感測(cè)待測(cè)氣體的壓力，并根據(jù)所述排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn) 點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力，控制對(duì)應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作(例如開(kāi)始工作、力口 快或減慢運(yùn)轉(zhuǎn)速度、停止工作等)。由上可知，所述排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是很重要的參考點(diǎn)，零點(diǎn)位有輕微的波動(dòng) 都會(huì)使排氣壓力控制點(diǎn)的控制不穩(wěn)定，從而影響排風(fēng)機(jī)的運(yùn)作?，F(xiàn)有排氣子系統(tǒng)的排氣壓 力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是單獨(dú)設(shè)置在室外，并配置有保護(hù)罩，以避免雨淋及風(fēng)吹，但實(shí)際不能徹底 解決外界環(huán)境條件對(duì)排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)的穩(wěn)定性影響，不可避免地會(huì)受到室外環(huán)境條 件的干擾影響，而引起零點(diǎn)位壓力波動(dòng)，造成排氣壓力控制點(diǎn)的不穩(wěn)定，從而引起排氣系統(tǒng) 壓力波動(dòng)，影響半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，有必要提供一種排氣系統(tǒng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中的排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn) 設(shè)置在室外易受外界環(huán)境條件影響而引起零點(diǎn)位壓力波動(dòng)，造成排氣系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定的問(wèn) 題?！N排氣系統(tǒng)，包括若干排氣子系統(tǒng)與零點(diǎn)箱，所述排氣子系統(tǒng)各包括壓力基準(zhǔn) 點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，所述各壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置于所述零點(diǎn)箱內(nèi)，所述零點(diǎn)箱設(shè)置于室內(nèi)。上述排氣系統(tǒng)將各排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)，可避免受到外界環(huán)境條 件的干擾，壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定，確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

圖1為一種排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖2，其為本實(shí)用新型的排氣系統(tǒng)在一個(gè)實(shí)施例中的架構(gòu)示意圖。所述排 氣系統(tǒng)包括酸(Acid)排氣子系統(tǒng)21、堿(Alkaline)排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑 (Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)24。可選地，在其他實(shí)施方式中，可以 根據(jù)所需排出的化學(xué)物質(zhì)的特質(zhì)安排對(duì)應(yīng)的排氣子系統(tǒng)，例如熱(Heat)排氣子系統(tǒng)、易爆 性或易燃性氣體(Flammable或Combustible)排氣子系統(tǒng)、氨(NH3)排氣子系統(tǒng)、氮氧化物 (NOX)排氣子系統(tǒng)、臭氧(03)排氣子系統(tǒng)等。所述排氣系統(tǒng)包括若干排氣子系統(tǒng)，每一個(gè)排氣子系統(tǒng)都包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力 控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管。所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)用于提供零點(diǎn)位壓力，所述壓力控制點(diǎn)用于控 制所述排風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)管集管作為排氣通道連通工廠室內(nèi)和廢氣處理裝置，所述排風(fēng)機(jī)則 設(shè)置在所述風(fēng)管集管的至少一端。分言之，酸排氣子系統(tǒng)21包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、壓力控制 點(diǎn)212、風(fēng)管集管213和酸排風(fēng)機(jī)214 ；堿排氣子系統(tǒng)22包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、壓力控制點(diǎn) 222、風(fēng)管集管223和堿排風(fēng)機(jī)224 ；揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231、 壓力控制點(diǎn)232、風(fēng)管集管233和有機(jī)排風(fēng)機(jī)234 ； —般排氣子系統(tǒng)24包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241、 壓力控制點(diǎn)242、風(fēng)管集管243和一般排風(fēng)機(jī)244。各排氣子系統(tǒng)的所述壓力控制點(diǎn)用于根 據(jù)對(duì)應(yīng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的零點(diǎn)位壓力來(lái)控制對(duì)應(yīng)的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作，例如可以通 過(guò)所述排風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去。本實(shí)施方式中，所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置在室內(nèi)的零點(diǎn)箱26。所述零點(diǎn)箱26用 于將所述酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng)22中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮 發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣子系統(tǒng)24中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn) 241集中設(shè)置。進(jìn)一步地，在酸排氣子系統(tǒng)21、堿排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子 系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)24所采用的零點(diǎn)位壓力相同或相近時(shí)，所述對(duì)應(yīng)各個(gè)排氣子系 統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、221、231、241還可以相互聯(lián)合在一起，構(gòu)成一個(gè)共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn)，以 為各排氣子系統(tǒng)提供一個(gè)共用的零點(diǎn)位壓力。亦即，所述排氣系統(tǒng)中的酸排氣子系統(tǒng)21、堿 排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)24能共用一個(gè)零點(diǎn)位 壓力，確保用以作為所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)參考的零點(diǎn)位壓力保持一致性。同時(shí)，由于多個(gè)排 氣子系統(tǒng)共用一個(gè)零點(diǎn)位壓力基準(zhǔn)點(diǎn)，無(wú)須在各個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)進(jìn) 行分散的控制，管理和控制更容易，并且更利于各排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)的檢測(cè)。所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室25，可以將所述的酸排氣子系統(tǒng)21中 的壓力控制點(diǎn)212、堿排氣子系統(tǒng)22中的壓力控制點(diǎn)222、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力控制點(diǎn)232和一般排氣子系統(tǒng)24中的壓力控制點(diǎn)242集中設(shè)置在中控室25內(nèi)。這樣，透過(guò)中控室25就可以向所述的多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā)出控制指令，以令相 應(yīng)的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行運(yùn)作，便于進(jìn)行集中管控。為避免受到外界環(huán)境條件的干擾，在本實(shí)施方式中，每一個(gè)排氣子系統(tǒng)中的壓力 基準(zhǔn)點(diǎn)均被設(shè)置在室內(nèi)。具體地，酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng)22 中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣子 系統(tǒng)24中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241通過(guò)傳輸線設(shè)置在室內(nèi)。上述排氣系統(tǒng)在工作時(shí)，透過(guò)中控室25向所述對(duì)應(yīng)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā) 出控制指令，所述壓力控制點(diǎn)以集中設(shè)置在置于室內(nèi)的零點(diǎn)箱26中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的 零點(diǎn)位壓力為基準(zhǔn)，控制對(duì)應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作(例如開(kāi)始工作、 加快或減慢運(yùn)轉(zhuǎn)速度、停止工作等)，可以將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去，實(shí) 施有效的排氣作業(yè)，確保工廠內(nèi)氣體處于穩(wěn)定的狀態(tài)。上述排氣系統(tǒng)通過(guò)集中設(shè)置于室內(nèi)的壓力控制點(diǎn)與壓力基準(zhǔn)點(diǎn)，可獲得穩(wěn)定的零 點(diǎn)位壓力并進(jìn)行穩(wěn)定的控制，避免了受到外界環(huán)境條件的干擾，確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
權(quán)利要求一種排氣系統(tǒng)，包括若干排氣子系統(tǒng)與零點(diǎn)箱，所述排氣子系統(tǒng)各包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，其特征在于，所述各壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置于所述零點(diǎn)箱內(nèi)，所述零點(diǎn)箱設(shè)置于室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)聯(lián) 合在一起，構(gòu)成一個(gè)共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述各排氣子系統(tǒng)由酸排氣子系統(tǒng)、堿 排氣子系統(tǒng)、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)、一般排氣子系統(tǒng)、熱排氣子系統(tǒng)、易爆性或易 燃性氣體排氣子系統(tǒng)、氨排氣子系統(tǒng)、氮氧化物排氣子系統(tǒng)、臭氧排氣子系統(tǒng)組成的組中選 取。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室，至 少一個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)設(shè)置于所述中控室內(nèi)。
專利摘要一種排氣系統(tǒng)，包括若干排氣子系統(tǒng)與零點(diǎn)箱，排氣子系統(tǒng)各包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，各壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置于零點(diǎn)箱內(nèi)，零點(diǎn)箱設(shè)置于室內(nèi)。本排氣系統(tǒng)將壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)，可避免受到外界環(huán)境條件的干擾，壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定，確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
文檔編號(hào)F24F7/06GK201569102SQ20092025586
公開(kāi)日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2009年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月24日
發(fā)明者孫屏 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司;無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司