專利名稱：排氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種排氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
考慮到半導(dǎo)體制造工藝中所使用的化學(xué)物質(zhì)種類繁多，且多數(shù)是有毒、腐蝕性、易 燃性或易爆性等特質(zhì)，因此在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)配置有排氣系統(tǒng)。一般，為了避免不兼容的化學(xué)物質(zhì)使用相同的排氣管路而造成爆炸燃燒或排氣管 路材質(zhì)與輸送化學(xué)物質(zhì)間的不兼容性導(dǎo)致管路腐蝕破損進(jìn)而造成有害物質(zhì)外泄等危險，原 則上是將整個工藝排氣系統(tǒng)根據(jù)氣體的特質(zhì)而劃分為多個排氣子系統(tǒng)。圖1顯示了現(xiàn)有技 術(shù)中的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖，如圖1所示，整個排氣系統(tǒng)大致分為酸(Acid)排氣子系統(tǒng) 11、堿(Alkaline)排氣子系統(tǒng)12、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑(Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)13和一 般排氣子系統(tǒng)14，其中的每一個排氣子系統(tǒng)均包括排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)、排氣壓力控制 點(diǎn)、風(fēng)管集管和排風(fēng)機(jī)等設(shè)備。具體來講，酸排氣子系統(tǒng)11包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)111、壓力控制 點(diǎn)112、風(fēng)管集管113和酸排風(fēng)機(jī)114 ；堿排氣子系統(tǒng)12包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)121、壓力控制點(diǎn) 122、風(fēng)管集管123和堿排風(fēng)機(jī)124 ；揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)13包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)131、 壓力控制點(diǎn)132、風(fēng)管集管133和有機(jī)排風(fēng)機(jī)134 ；—般排氣子系統(tǒng)14包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)141、 壓力控制點(diǎn)142、風(fēng)管集管143和一般排風(fēng)機(jī)144。所述每一個排氣子系統(tǒng)的工作原理大致 相同，包括所述排氣壓力控制點(diǎn)的壓力感測器用于實(shí)時感測待測氣體的壓力，并根據(jù)所述 排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力，控制對應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作 (例如開始工作、加快或減慢運(yùn)轉(zhuǎn)速度、停止工作等)。由上可知，所述排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是很重要的參考點(diǎn)，零點(diǎn)位有輕微的波動 都會使排氣壓力控制點(diǎn)的控制不穩(wěn)定，從而影響排風(fēng)機(jī)的運(yùn)作?，F(xiàn)有排氣子系統(tǒng)的排氣壓 力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是單獨(dú)設(shè)置在室外，并配置有保護(hù)罩，以避免雨淋及風(fēng)吹，但實(shí)際不能徹底 解決外界環(huán)境條件對排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)的穩(wěn)定性影響，不可避免地會受到室外環(huán)境條 件的干擾影響，而引起零點(diǎn)位壓力波動，造成排氣壓力控制點(diǎn)的不穩(wěn)定，從而引起排氣系統(tǒng) 壓力波動，影響半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種排氣系統(tǒng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中的排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn) 設(shè)置在室外易受外界環(huán)境條件影響而引起零點(diǎn)位壓力波動，造成排氣系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定的問 題。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種排氣系統(tǒng)，包括至少一個排氣子系統(tǒng)，所述排氣 子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，所述排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)
置在室內(nèi)?？蛇x地，在所述排氣系統(tǒng)包括多個排氣子系統(tǒng)時，與所述多個排氣子系統(tǒng)對應(yīng)的 多個壓力基準(zhǔn)點(diǎn)合在一起設(shè)置在室內(nèi)。
可選地，所述多個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)聯(lián)合在一起，構(gòu)成一個共用壓力基準(zhǔn)
點(diǎn)ο可選地，所述排氣系統(tǒng)包括酸排氣子系統(tǒng)、堿排氣子系統(tǒng)、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣 子系統(tǒng)和一般排氣子系統(tǒng)?？蛇x地，所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置于室內(nèi)的零點(diǎn)箱，所述一個或多個排氣子系統(tǒng) 的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)配置在所述零點(diǎn)箱內(nèi)。可選地，所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室，所述一個或多個排氣子系統(tǒng) 的壓力控制點(diǎn)配置在所述中控室內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng)，將其中排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置 在室內(nèi)，可避免受到外界環(huán)境條件的干擾，壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定，確保排氣系 統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。另外，本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng)，可以將對應(yīng)多個排氣子系統(tǒng)中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)集中 在一起設(shè)置在室內(nèi)，除可避免受到外界環(huán)境條件的干擾之外，還可以使得整個排氣系統(tǒng)的 多個排氣子系統(tǒng)共用一個壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力，在確保零點(diǎn)位壓力穩(wěn)定和統(tǒng)一的同 時，也利于管控。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的排氣系統(tǒng)中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置都是在室外，存在壓 力基準(zhǔn)點(diǎn)易受外界環(huán)境條件影響而引起零點(diǎn)位壓力波動，造成排氣系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定的問題。有鑒于此，本發(fā)明的發(fā)明人設(shè)計了一種排氣系統(tǒng)，將其中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在可 以免受外界環(huán)境干擾的室內(nèi)，確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。請參閱圖2，其為本發(fā)明的排氣系統(tǒng)在一個實(shí)施例中的架構(gòu)示意圖。預(yù)先需說明的 是，所述排氣系統(tǒng)是應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工廠中，用于將半導(dǎo)體器件制造過程中所產(chǎn)生的化 學(xué)物質(zhì)排出。所述化學(xué)物質(zhì)大多有毒、腐蝕性、易燃性或易爆性等特質(zhì)，因此在工廠內(nèi)配置 排氣系統(tǒng)就顯得相當(dāng)重要。如圖2所示，所述排氣系統(tǒng)包括酸(Acid)排氣子系統(tǒng)21、堿(Alkaline)排氣子系 統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑(Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M。需說明 的是，在本實(shí)施例中，所述排氣系統(tǒng)大致分為上述四個排氣子系統(tǒng)，但并不以此為限，在其 他實(shí)施例中，可以根據(jù)所需排出的化學(xué)物質(zhì)的特質(zhì)，將整個排氣系統(tǒng)劃分為更多的排氣子 系統(tǒng)，例如熱(Heat)排氣子系統(tǒng)、易爆性或易燃性氣體(Flammable或Combustible)排氣 子系統(tǒng)、氨(NH3)排氣子系統(tǒng)、氮氧化物(NOX)排氣子系統(tǒng)、臭氧(O3)排氣子系統(tǒng)等。在本實(shí)施例中，所述排氣系統(tǒng)包括四個排氣子系統(tǒng)，其中的每一個排氣子系統(tǒng)都 包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管。所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)用于提供零點(diǎn)位壓力，所述壓力控制點(diǎn)用于控制所述排風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)管集管作為排氣通道連通工廠室內(nèi)和廢氣處 理裝置，所述排風(fēng)機(jī)則設(shè)置在所述風(fēng)管集管的至少一端。具體來講，酸排氣子系統(tǒng)21包括 壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、壓力控制點(diǎn)212、風(fēng)管集管213和酸排風(fēng)機(jī)214;堿排氣子系統(tǒng)22包括壓力 基準(zhǔn)點(diǎn)221、壓力控制點(diǎn)222、風(fēng)管集管223和堿排風(fēng)機(jī)224 ；揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng) 23包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231、壓力控制點(diǎn)232、風(fēng)管集管233和有機(jī)排風(fēng)機(jī)234 ；—般排氣子系統(tǒng) 24包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)Ml、壓力控制點(diǎn)M2、風(fēng)管集管243和一般排風(fēng)機(jī)M4。在實(shí)際應(yīng)用中， 對于其中的每一個排氣子系統(tǒng)來講，所述壓力控制點(diǎn)用于根據(jù)所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的零點(diǎn) 位壓力來控制所述排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作，例如可以通過所述排風(fēng)機(jī)的運(yùn) 轉(zhuǎn)將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去。特別地，為避免受到外界環(huán)境條件的干擾，在本實(shí)施例中，每一個排氣子系統(tǒng)中的 壓力基準(zhǔn)點(diǎn)均被設(shè)置在室內(nèi)。具體地，酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng) 22中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣 子系統(tǒng)M中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241通過傳輸線設(shè)置在室內(nèi)。為便于對所述多個壓力基準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行集中管控，本實(shí)施例還提供了設(shè)置在室內(nèi)的零 點(diǎn)箱26。這樣，就可以將所述的酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng)22中 的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣子系 統(tǒng)M中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241集中設(shè)置在零點(diǎn)箱沈內(nèi)。更進(jìn)一步地，在酸排氣子系統(tǒng)21、堿 排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M所采用的零點(diǎn)位壓 力相同或相近時，所述對應(yīng)各個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、221、231、241還可以相互聯(lián) 合在一起，構(gòu)成一個共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn)，以提供共用的一個零點(diǎn)位壓力給所述多個排氣子系 統(tǒng)。也就是說，所述排氣系統(tǒng)中的酸排氣子系統(tǒng)21、堿排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排 氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M能共用一個零點(diǎn)位壓力，確保用以作為所述多個排氣子 系統(tǒng)參考的零點(diǎn)位壓力保持一致性；同時，由于多個排氣子系統(tǒng)共用一個零點(diǎn)位壓力基準(zhǔn) 點(diǎn)，相比于現(xiàn)有技術(shù)的各個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)分散設(shè)置且在出現(xiàn)波動時需要分散控 制來說，管理和控制更容易，并且更利于各排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)的檢測。另外，在本實(shí)施例中，還提供了設(shè)置在室內(nèi)的中控室25，可以將所述的酸排氣子系 統(tǒng)21中的壓力控制點(diǎn)212、堿排氣子系統(tǒng)22中的壓力控制點(diǎn)222、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣 子系統(tǒng)23中的壓力控制點(diǎn)232和一般排氣子系統(tǒng)M中的壓力控制點(diǎn)242集中設(shè)置在中控 室25內(nèi)。這樣，透過中控室25就可以向所述的多個排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā)出控制指 令，以令相應(yīng)的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行運(yùn)作，便于進(jìn)行集中管控。上述排氣系統(tǒng)在工作時，透過中控室25向所述對應(yīng)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā) 出控制指令，所述壓力控制點(diǎn)以設(shè)置在室內(nèi)的零點(diǎn)箱中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的零點(diǎn)位壓力為 基準(zhǔn)，控制對應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作(例如開始工作、加快或減慢運(yùn) 轉(zhuǎn)速度、停止工作等)，可以將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去，實(shí)施有效的排氣 作業(yè)，確保工廠內(nèi)氣體處于穩(wěn)定的狀態(tài)。本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng)，主要在于將各個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)， 可避免受到外界環(huán)境條件的干擾，能由所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)獲得穩(wěn)定的零點(diǎn)位壓力，確保排氣 系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種排氣系統(tǒng)，包括至少一個排氣子系統(tǒng)，所述排氣子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控 制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，其特征在于，所述排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，在所述排氣系統(tǒng)包括多個排氣子系統(tǒng) 時，所述多個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)集中設(shè)置在室內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述多個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)聯(lián) 合在一起，構(gòu)成一個共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求2所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣系統(tǒng)包括酸排氣子系統(tǒng)、堿排 氣子系統(tǒng)、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)和一般排氣子系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求1、2或3所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于室內(nèi)的零點(diǎn)箱，所 述一個或多個排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)配置在所述零點(diǎn)箱內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1、2或3所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室，所 述一個或多個排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)配置在所述中控室內(nèi)。
全文摘要
一種排氣系統(tǒng)，所述排氣系統(tǒng)包括至少一個排氣子系統(tǒng)，其中的排氣子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管，所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)是設(shè)置在室內(nèi)，以提供不受外界環(huán)境影響的零點(diǎn)位壓力信號。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明通過提供排氣系統(tǒng)，將壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)，可避免受到外界環(huán)境條件的干擾，壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定，確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
文檔編號F24F7/06GK102072544SQ20091024631
公開日2011年5月25日 申請日期2009年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月25日
發(fā)明者孫屏 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司