專利名稱：一種工件干燥裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及到工件的干燥裝置，尤其涉及一種對硅塊、硅料等工件的干燥裝置。
背景技術：
在對工件比如硅塊、硅料清洗后，需要再對其進行干燥，為使硅塊、硅料等工件快 速干燥并保證在干燥過程中不被二次污染，現(xiàn)有的技術都不能達到快速干燥且不被二次污 染，現(xiàn)有的干燥是將清洗后的工件通過循環(huán)吹熱空氣或氮氣實現(xiàn)，由于循環(huán)使用的空氣或 氮氣中有很多塵埃等其它雜質還會再次污染清洗后的工件，對于要求高的工件來說是不允 許有任何污染的。 因此，如何實現(xiàn)工件在干燥中不被二次污染是業(yè)內亟待解決的一個技術問題。
實用新型內容本實用新型是要解決現(xiàn)有的工件清洗裝置不能快速干燥清洗后的工件及在干燥
中會被二次污染的技術問題，提供一種能快速干燥且不會被二次污染的裝置。 為解決上述技術問題，本實用新型提供的技術方案是一種工件干燥裝置，包括容
器和容器內的工件籃，其中所述容器是密閉的容器，該容器上設置有密封蓋和真空釋放壓
力的開關，設置有一抽真空的真空泵與該容器連接，該容器內還設置有多個加熱器。 所述加熱器為陶瓷紅外加熱器，密封蓋與一驅動氣缸連接，一真空壓力表與該容
器連接，真空泵與容器之間通過真空波紋管連接，容器上還設置有一氣體進入管，該管上設
置有密封開關，所述工件籃放置在兩條平行的轉軸上，一電動馬達與該轉軸通過鏈輪鏈條連接。 與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的容器是密閉的容器，通過抽真空的真空泵將容器 抽成真空，旋轉裝置帶動工件籃上轉動，容器內設置有加熱器，清洗后的硅塊、硅料等工件 在工件籃內轉動，工件在真空狀態(tài)下旋轉并被加熱，使水分迅速蒸發(fā)，干燥快速且在干燥過 程中不會被二次污染，干燥完成后，通過用高純度的氮氣等氣體通過容器上設置的氣體進 入管充氣，減壓開蓋，保證工件潔凈。
以下結合附圖和實施例對本實用新型作出詳細的說明，其中


圖1是本實用新型一實例的連接示意圖。
具體實施方式如
圖1所示的工件干燥裝置，包括容器1和容器內的工件籃2，容器1是密閉的真 空容器，該容器上設置有密封蓋3和真空釋放壓力的開關4，密封蓋3是由一驅動氣缸打開 和關閉，這樣可以使密封蓋更加密閉，真空釋放壓力的開關4與外界相接，可以通過此開關來控制容器內部的壓力，用一抽真空的真空泵5將容器1內的空氣抽出，使容器成為真空容 器，使硅塊、硅料等工件在干燥過程中不被空氣的雜質污染，在真空泵5與容器之間連接有 真空波紋管，使連接頭可以運動而又不會破壞密封狀態(tài)，容器1內設置的多個加熱器6為陶 瓷紅外加熱器，通過加熱器使工件上的水能快速蒸發(fā)，容器1還設置有一真空壓力表7，該 真空壓力表7可以觀察內的壓力等情況，根據(jù)容器內的情況來控制其壓力。 工件籃2放置在容器1內水平設置的兩條平行的轉軸9上，外部的一電動馬達10 與轉軸9通過鏈輪鏈條連接，電動馬達10轉動時工件籃2被帶動快速旋轉其內的工件也同 時快速旋轉，工件上的水被甩掉并使水分迅速蒸發(fā)，結合上述的加熱器，清洗后的工件能快 速干燥。 在容器1上還設置有一條氣體進入管8，并在管上設置有一密封開關81，在抽真空 時此開關是關閉的，當工件干燥后，通過此氣體進入管8通入高純度的氮氣或其它稀有氣 體充氣減壓開蓋，可保證了工件不直接與外部空氣接觸，同時減少外界對真空容器的壓力， 使硅塊、硅料等工件不被二次污染，保證工件潔凈。 以上結合較佳實施方式對本實用新型進行了具體描述，但是本技術領域內的技術 人員可以對這些實施方式做出多種變更或變化，這些變更和變化應落入本實用新型保護的 范圍之內。
權利要求一種工件干燥裝置，包括容器(1)和容器內的工件籃(2)，其特征在于所述容器(1)是密閉的容器，該容器上設置有密封蓋(3)和真空釋放壓力的開關(4)，設置有一抽真空的真空泵(5)與該容器連接，該容器內還設置有多個加熱器(6)。
2. 根據(jù)權利要求1所述的工件干燥裝置，其特征在于所述加熱器(6)為陶瓷紅外加 熱器。
3. 根據(jù)權利要求2所述的工件干燥裝置，其特征在于所述密封蓋(3)與一驅動氣缸 連接。
4. 根據(jù)權利要求3所述的工件干燥裝置，其特征在于設置有一真空壓力表(7)與該 容器連接。
5. 根據(jù)權利要求4所述的工件干燥裝置，其特征在于所述真空泵(5)與容器之間通 過真空波紋管連接。
6. 根據(jù)權利要求1至5任一項所述的工件干燥裝置，其特征在于所述容器(1)上還設置有一氣體進入管(8)，該管上設置有密封開關(81)。
7. 根據(jù)權利要求6所述的工件干燥裝置，其特征在于所述工件籃(2)放置在兩條平 行的轉軸(9)上，一電動馬達(10)與該轉軸通過鏈輪鏈條連接。
專利摘要本實用新型公開了一種工件干燥裝置，包括容器和容器內的工件籃，所述容器是密閉的容器，并在其上設置有密封蓋和真空釋放壓力的開關，一抽真空的真空泵與該容器連接，在容器內設置有多個加熱器，密封蓋與一驅動氣缸連接，所述容器上設置有一氣體進入管，該管上設置有密封開關，工件籃放置在兩條平行的轉軸上。清洗后的工件在真空狀態(tài)下隨工件籃一起旋轉并被加熱器加熱，使水分能迅速蒸發(fā)，干燥快速且不會被空氣二次污染，保證了工件潔凈。
文檔編號F26B7/00GK201488477SQ200920134788
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月14日 優(yōu)先權日2009年8月14日
發(fā)明者左國軍 申請人:常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司