空氣，而是從獨立的助燃性氣體供給噴嘴供給助燃性氣體，因此能夠實現燃燒室中的廢氣的可靠的燃燒、可靠的高溫化。因此，在排氣筒內流動的空氣有助于廢氣燃燒而成的燃燒氣體的冷卻、裝置的冷卻，能夠提高冷卻效率。
[0028]通過在燃燒室的周圍配置多個燃燒器，并且配置多個助燃性氣體供給噴嘴，能夠使燃燒室的內部溫度以大致均勻的狀態(tài)高溫化。
[0029]特別是，配置在燃燒室的周圍的多個燃燒器在與燃燒室的中心軸正交的平面內傾斜地配置，并且多個助燃性氣體供給噴嘴也在與燃燒室的中心軸正交的平面內傾斜地配置。因此，通過燃燒器形成的火焰與從助燃性氣體供給噴嘴噴射的助燃性氣體形成以中心軸為中心的漩渦狀的流動，將廢氣卷入該漩渦狀的流動，從而能夠實現高效的燃燒。
[0030]此外，在燃燒室中配置有刮板，該刮板具有貫通該燃燒室的一個端部且配置為能夠旋轉的軸、以及安裝于該軸上且刮除在燃燒室的內表面附著的附著物的刮除構件，從而即使伴隨于廢氣的燃燒或者分解而產生的粉塵附著在燃燒室的內表面，也能夠將該粉塵刮掉。
【附圖說明】
[0031]圖1是對處理裝置的整體結構進行說明的示意圖。
[0032]圖2是對配置在燃燒室的燃燒器與助燃性氣體供給噴嘴的關系進行說明的圖。
[0033]圖3是對燃燒室與刮板進行說明的圖。
【具體實施方式】
[0034]以下，對本發(fā)明的處理裝置進行說明。本發(fā)明的處理裝置通過使從半導體、液晶面板或者太陽電池等的制造工序生成的硅烷、乙硅烷、乙硼烷、磷化氫、三氫化砷、三氟化氮、氟化硅、氯化硅等具有毒性的特殊材料氣體、或者四氟化碳、六氟化硫等對地球環(huán)境帶來負面影響的氟利昂氣體、具有爆炸性的氫氣等廢氣燃燒或者分解而無害化并排出。
[0035]本發(fā)明的處理裝置構成為，向燃燒室內供給需無害化的廢氣并且供給助燃性氣體，通過對燃燒器進行點火而將燃燒室內保持為高溫狀態(tài)，由此能夠使所供給的廢氣燃燒而無害化，或者在高溫下分解而無害化。并且，本發(fā)明的處理裝置構成為，能夠將無害化后的廢氣(以下稱作“無害化氣體”)從與燃燒室連接的排氣筒排出。
[0036]在本發(fā)明中，要向燃燒室供給而無害化的廢氣不限于可燃性氣體或非可燃性氣體，以從半導體、液晶面板或者太陽電池等的制造工序生成的廢氣作為對象。在這樣的廢氣中，有的廢氣是可燃性氣體并能夠通過燃燒而無害化的氣體，有的廢氣是非可燃性氣體并能夠在高溫區(qū)域內分解而無害化的氣體等。因此，通過向燃燒室供給助燃性氣體，能夠將該燃燒室內保持為可燃燒濃度，通過對燃燒器進行點火而能夠保持高溫區(qū)域。
[0037]燃燒器的結構并不特別限定，能夠使用可使天然氣、液化石油氣等燃料氣體與空氣、氧氣等助燃性氣體混合而成的混合氣體燃燒的結構。另外，設置在燃燒室的燃燒器的數量并不限定，只要是能夠使供給至該燃燒室的廢氣燃燒、或者保持分解所需的足夠高的溫度的數量即可。因此，優(yōu)選根據供給至燃燒室的廢氣的成分、流量、以及燃燒室的粗度等條件適當地設定。
[0038]特別是，優(yōu)選不使火焰的方向朝向燃燒室的中心，而是配置為能夠繞該中心回旋，以便能夠使燃燒器燃燒室內的溫度均衡。通過這樣配置燃燒器，能夠在燃燒室的內部形成漩渦狀的氣流，能夠消除或者減少所供給的廢氣的燃燒不均、分解不均。
[0039]作為向燃燒室供給的助燃性氣體，能夠采用空氣或者氧氣。特別是，若考慮價格、得到的容易度等條件，則優(yōu)選空氣。在該情況下，能夠在框體的內部設置鼓風機或者風扇，通過驅動該鼓風機或者風扇而直接向燃燒室供給作為助燃性氣體的空氣。
[0040]在本發(fā)明的處理裝置中，設置在燃燒室的燃燒器以及助燃性氣體供給噴嘴無需一定直接安裝于燃燒室，只要構成為能夠安裝燃燒器、助燃性氣體供給噴嘴即可。即，燃燒器、助燃性氣體供給噴嘴無需固定在燃燒室的規(guī)定位置，也可以構成為在該規(guī)定位置預先設置燃燒器、助燃性氣體供給噴嘴的安裝部，并能夠向該安裝部裝卸。
[0041]以下，使用附圖對本實施例的處理裝置的結構進行說明。
[0042]處理裝置A具有:一個端部(在本實施例中為圖1的左側的端部)la被封堵的燃燒室1、與燃燒室1正交地連接于該燃燒室1的另一個端部lb的排氣筒2、形成在燃燒室1的端部la側的廢氣供給口 3、設置在比廢氣供給口 3靠排氣筒2側的位置的燃燒器4、設置在比燃燒器4靠排氣筒2側的位置的助燃性氣體供給噴嘴5、以及收納燃燒室1以及排氣筒2的框體10。
[0043]燃燒室1的姿態(tài)以及排氣筒2的姿態(tài)不限，在本實施例中，燃燒室1的長邊方向沿橫向配置，沿縱向配置的排氣筒2與該燃燒室1連接。燃燒室1與排氣筒2的連接部要求氣密性，因此兩者通過焊接而連接。
[0044]燃燒室1形成為圓筒狀，其粗度根據包括需無害化的廢氣的量在內的處理條件而設定為最佳的尺寸。特別是，由于燃燒室1的端部lb側焊接于排氣筒2，因此燃燒室1由端部la側的簡體lc、端部lb側的筒體Id構成，以便在對該燃燒室1的內部進行維護檢查時有利。并且，這些筒體lc、ld經由凸緣le而螺栓接合，構成燃燒室1。
[0045]廢氣供給口 3設置在燃燒室1的被封堵的端部la側的簡體lc。在筒體lc的側面形成有具有凸緣3b的管接頭3a，廢氣導入管11與該凸緣3b連接。該廢氣導入管11的端部11a貫通框體10地設置，與未圖示的廢氣的生成源連接。
[0046]燃燒器4設置在比廢氣供給口 3靠排氣筒2側的位置。為了安裝燃燒器4，在構成燃燒室1的筒體Id上設置有多個管接頭狀的安裝構件4a，燃燒器4以能夠裝卸的方式安裝于各個安裝構件4a。
[0047]如圖2所示，安裝構件4a等角度地設置在燃燒室1的外周面的三個位置，各個安裝構件4a并不指向燃燒室1的中心，而形成為稍微傾斜的狀態(tài)。因此，由燃燒器4形成的火焰如該圖(b)所示向逆時針方向回旋，將供給至燃燒室1的端部la側的廢氣卷入該回旋流，能夠得到良好的混合狀態(tài)。
[0048]在安裝于在燃燒室1設置的安裝構件4a的燃燒器4上分別連接有混合氣體配管12。該混合氣體配管12構成為，與設置在框體10的內部的攪拌器13連接，并能夠將通過該攪拌器13形成的混合氣體向燃燒器4供給。
[0049]在攪拌器13上連接有與未圖示的燃料氣體供給源連接且通過流量計14a而被監(jiān)視流量的燃料氣體配管14、與設置在框體10的內部的鼓風機15連接且通過流量計16a而被監(jiān)視流量的空氣配管16。并且，通過一邊監(jiān)視各流量計14a、16a —邊操作攪拌器13，能夠形成與使所供給的燃料氣體完全燃燒而言充足的空氣的混合比的混合氣體，并向燃燒器4供給。
[0050]在向燃燒器4供給混合氣體之后，對從該燃燒器4噴射的混合氣體進行點火的機構并不特別限定，能夠在安裝構件4a的附近配置未圖示的火花塞進行點火。
[0051]助燃性氣體供給噴嘴5設置于在燃燒室1配置的廢氣供給口 3與燃燒器4之間，或者比燃燒器4靠排氣筒2側的位置，供給使存在于燃燒室1的內部的未燃燒狀態(tài)的廢氣再次燃燒所需的助燃性氣體。設置于燃燒室1的助燃性氣體供給噴嘴5的數量不限，根據所供給的廢氣的成分、流量等條件而設定最佳的數量。
[0052]在本實施例中，助燃性氣體供給噴