廢氣的處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種廢氣的處理裝置，其用于通過使例如從半導(dǎo)體的制造工序排出的廢氣燃燒或者熱分解而無害化并排出。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，已知半導(dǎo)體制造工序中的特定的工序生成對人體具有毒性的氣體、對地球環(huán)境帶來負面影響的氣體。在將這樣的有害的氣體向大氣放出時，要求進行毒性物質(zhì)的除去、無害化。因此，提出了能夠通過使這樣的廢氣燃燒或者分解而無害化，從而滿足上述要求的廢氣的處理裝置(例如參照專利文獻1、2)。
[0003]專利文獻1所記載的廢氣的處理裝置具有:筒狀的燃燒室，該燃燒室的一端被封堵，并被導(dǎo)入需無害化的廢氣與反應(yīng)促進氣體；以及排氣筒，其與該燃燒室的另一端正交地連接，助燃性氣體從該排氣筒的一端流入，從該排氣筒的另一端排出燃燒廢氣。從燃燒室的一端側(cè)導(dǎo)入廢氣與作為反應(yīng)促進氣體而從氫、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷等選出的氣體，由該反應(yīng)促進氣體與廢氣構(gòu)成的混合氣體以層流狀態(tài)向排氣筒側(cè)流動。雖然該混合氣體具有可燃性，但不包含具有助燃性的氧。
[0004]另一方面，作為助燃性氣體，例如空氣高速地流入排氣筒，該助燃氣體的一部分與設(shè)置在排氣筒與燃燒室的交叉部分的擋板碰撞，形成與燃燒室的混合氣體混合的渦旋流。因此，通過利用設(shè)置在燃燒室的火花塞這樣的點火裝置進行點火，能夠使廢氣、反應(yīng)促進氣體、以及空氣混合而成的氣體燃燒，由此廢氣通過燃燒或者分解而無害化。此外，無害化后的廢氣在排氣筒的內(nèi)部流動并導(dǎo)入至洗滌器，伴隨于燃燒或者分解而產(chǎn)生的粉塵通過洗滌器被捕集，并且在充分冷卻后向大氣排出。
[0005]在專利文獻1所記載的廢氣的處理裝置中，用作助燃性氣體的空氣不僅發(fā)揮對廢氣與反應(yīng)促進氣體的混合氣體進行助燃的作用，還發(fā)揮用于對燃燒廢氣進行冷卻的冷卻氣體的作用。因此，需要大量的空氣。
[0006]專利文獻2所記載的廢氣的處理裝置構(gòu)成為，在一端被封堵的燃燒室的一端側(cè)設(shè)置有需無害化的廢氣的供給路，并且在比該供給路靠另一端側(cè)的位置設(shè)置有燃燒器。將氫氣、LNG、LPG、城市煤氣等燃料氣體與空氣供給至燃燒器，通過使它們的混合氣體燃燒，能夠使廢氣在高溫區(qū)域燃燒或者分解而無害化。另外，在與燃燒室的另一端側(cè)連接的燃燒氣體搬運通路中，通過與下游側(cè)連接的洗滌器從上游側(cè)吸引空氣，并從燃燒室吸引廢氣燃燒而成的燃燒氣體。
[0007]在專利文獻2所記載的廢氣的處理裝置中，在燃燒室與燃燒氣體搬運通路的交叉點未設(shè)置有擋板。因此，從燃燒氣體搬運通路的上游側(cè)吸引的空氣的一部分作為燃燒室內(nèi)的廢氣的助燃性氣體而發(fā)揮作用，但該空氣的大部分具有對燃燒氣體進行冷卻的作用。
[0008]在先技術(shù)文獻
[0009]專利文獻
[0010]專利文獻1:日本專利第2963792號公報
[0011]專利文獻2:日本特開2003-083531號公報
[0012]在專利文獻1所記載的廢氣的處理裝置中，使在排氣筒內(nèi)高速流通并與擋板碰撞的空氣與在燃燒室內(nèi)產(chǎn)生的需無害化的廢氣和反應(yīng)促進氣體的混合氣體混合，并通過火花塞進行點火而使其燃燒。即，在燃燒室內(nèi)產(chǎn)生的混合氣體是可燃性氣體，但在使該混合氣體燃燒時需要作為助燃性氣體的空氣。但是，根據(jù)從排氣筒流入燃燒室的空氣的量的不同，擔心難以使存在于該燃燒室的混合氣體完全燃燒。
[0013]在專利文獻2所記載的廢氣的處理裝置中，通過使用燃燒器，能夠提高燃燒室內(nèi)的溫度。但是，在廢氣是可燃性氣體的情況下，燃燒室內(nèi)形成氧不足的狀態(tài)，為了使該廢氣燃燒而需要作為助燃性氣體的空氣，存在難以使廢氣完全燃燒的顧慮。
[0014]專利文獻1、2所記載的在排氣筒、燃燒氣體搬運通路中流動的空氣具有針對包括燃燒室內(nèi)的廢氣在內(nèi)的可燃性氣體的作為助燃性氣體的功能、從燃燒室吸引燃燒后的生成氣體的功能、以及針對處理裝置的冷卻功能。特別是，為了發(fā)揮充分的冷卻效果，需要使空氣在排氣筒、燃燒氣體搬運通路內(nèi)高速且大量地流動。其結(jié)果是，燃燒室內(nèi)的溫度產(chǎn)生極限，在廢氣中含有燃燒溫度高的成分或者分解溫度高的成分的情況下，擔心產(chǎn)生難以對這些成分進行無害化的問題。
[0015]另外，根據(jù)供給至燃燒室的廢氣的性質(zhì)、量的不同，無法保證從排氣筒、燃燒氣體搬運通路流入燃燒室的空氣的量是對于使該廢氣完全燃燒而言充足的量。因此，與燃燒室內(nèi)的燃燒無關(guān)，擔心產(chǎn)生未燃燒狀態(tài)的廢氣、未反應(yīng)狀態(tài)的廢氣。這樣的未燃燒廢氣、未反應(yīng)廢氣被在排氣筒、燃燒氣體搬運通路中流動的大量的空氣稀釋，存在降低至可燃燒范圍濃度以下的顧慮。在該情況下，存在難以充分地無害化的顧慮。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]發(fā)明要解決的課題
[0017]本發(fā)明的目的在于提供一種用于使廢氣合理地燃燒或者熱分解而無害化的廢氣的處理裝置。
[0018]用于解決課題的方法
[0019]為了解決上述課題，本發(fā)明的廢氣的處理裝置具有:燃燒室，該燃燒室的一個端部被封堵，使所供給的廢氣燃燒或者分解而無害化；排氣筒，其與所述燃燒室的另一個端部連接，將在該燃燒室內(nèi)無害化后的廢氣排出；以及框體，其收納所述燃燒室以及排氣筒，在所述燃燒室中，在被封堵的一個端部側(cè)設(shè)置有供給需無害化的廢氣的廢氣供給口，并且在比該廢氣供給口靠排氣筒側(cè)的位置設(shè)置有燃燒器，此外，在該燃燒器與廢氣供給口之間、或者比該燃燒器靠排氣筒側(cè)的位置設(shè)置有供給助燃性氣體的助燃性氣體供給噴嘴。
[0020]在上述廢氣的處理裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選為，在所述燃燒室的周圍配置有多個燃燒器，并且配置有多個助燃性氣體供給噴嘴。
[0021 ] 另外，在上述任一廢氣的處理裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選為，配置在所述燃燒室的周圍的多個燃燒器相對于該燃燒室的中心軸傾斜地配置，并且多個助燃性氣體供給噴嘴也相對于燃燒室的中心軸傾斜地配置。
[0022]另外，在上述任一廢氣的處理裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選為，在所述燃燒室中配置有刮板，該刮板具有貫通該燃燒室的一個端部并配置為能夠旋轉(zhuǎn)的軸、以及安裝于該軸上并刮除在所述燃燒室的內(nèi)表面附著的附著物的刮除構(gòu)件。
[0023]發(fā)明效果
[0024]在本發(fā)明的廢氣的處理裝置(以下簡稱作“處理裝置”)中，在一個端部被封堵的燃燒室中設(shè)置有供給需無害化的廢氣的廢氣供給口，在比該廢氣供給口靠排氣筒側(cè)的位置設(shè)置有燃燒器，在該燃燒器與廢氣供給口之間、或者比該燃燒器靠排氣筒側(cè)的位置設(shè)置有助燃性氣體供給噴嘴。因此，在燃燒室的內(nèi)部存在未燃燒狀態(tài)的廢氣的情況下，能夠生成該廢氣與從助燃性氣體供給噴嘴供給的助燃性氣體的混合氣體，并能夠使生成的混合氣體燃
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[0025]即，通過設(shè)置于燃燒室的助燃性氣體供給噴嘴獨立地供給助燃性氣體，能夠單獨地調(diào)整該燃燒室內(nèi)的氧濃度。因此，在廢氣是可燃性氣體，燃燒室內(nèi)的氣氛形成為氧不足這樣的情況下，能夠消除氧不足，可靠地促進燃燒。
[0026]因此，不會在燃燒室內(nèi)存在有未燃燒狀態(tài)的廢氣，能夠?qū)⒃撊紵覂?nèi)的溫度保持為更高的溫度的狀態(tài)，因此，能夠使需無害化的廢氣中所包含的燃燒溫度高的成分可靠地燃燒，或者使分解溫度高的成分可靠地分解而無害化。
[0027]特別是，在使廢氣燃燒時，由于不利用在排氣筒內(nèi)流動的