本發(fā)明涉及尾氣處理
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：tft-lcd制造行業(yè)干法刻蝕設(shè)備及化學(xué)氣相沉積設(shè)備等設(shè)備因其在制程工藝中會使用到特殊氣體，諸如cf4/sf6/cl2/nf3/n2o等，這些氣體若直接排放至大氣環(huán)境中會造成環(huán)境污染，按照行業(yè)通用做法，會在這兩種主設(shè)備系統(tǒng)上增加輔機(jī)，即尾氣處理設(shè)備，對有害氣體進(jìn)行分解除害，尾氣處理目前多采用燃燒加水洗的方案，在實際運(yùn)用中需使用天然氣及水等資源，針對資源節(jié)約，現(xiàn)行的節(jié)能方案如下：當(dāng)尾氣處理設(shè)備接收到cf4/sf6/cl2/nf3/n2o信號時，會啟動“高火模式”(額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣。針對資源節(jié)約，現(xiàn)行的節(jié)能方案如下：干法刻蝕設(shè)備配套尾氣處理設(shè)備代號atlas，目前節(jié)能模式啟用狀況如下：當(dāng)atlas接收到cf4/sf6/cl2信號時，atlas會啟動“高火模式”(額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表1所示：表1模式天然氣氧氣水高火模式120slm150slm10slm普通模式22slm0slm10slm化學(xué)氣相沉積設(shè)備配套尾氣處理設(shè)備代號neptune，目前節(jié)能模式啟用狀況如下：當(dāng)neptune接收到nf3/n2o信號時，neptune會啟動“高火模式”(額外加入天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”即不使用額外天然氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表2所示：表2模式天然氣水高火模式125slm20slm普通模式89slm20slm上述是現(xiàn)有技術(shù)中干法刻蝕設(shè)備用的atlas或化學(xué)氣相沉積設(shè)備用的neptune尾氣處理設(shè)備，在現(xiàn)行的節(jié)能模式下，只能根據(jù)特氣有無使用進(jìn)行對天然氣及氧氣的有限節(jié)能，當(dāng)主設(shè)備處于待料不生產(chǎn)狀態(tài)時，尾氣處理設(shè)備無法做到進(jìn)一步的節(jié)能，尾氣處理設(shè)備用的去離子水將會持續(xù)消耗。技術(shù)實現(xiàn)要素：為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)，根據(jù)主設(shè)備的不同設(shè)備狀態(tài)實現(xiàn)節(jié)能處理模式和普通處理模式的切換，來實現(xiàn)更好的控制和節(jié)約資源的目的。本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：本發(fā)明公開了一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：主設(shè)備檢測其當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)，并根據(jù)當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)生成對應(yīng)的狀態(tài)信號，并發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式；尾氣處理設(shè)備根據(jù)對應(yīng)的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對應(yīng)的預(yù)設(shè)值；尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理。進(jìn)一步地，所述設(shè)備狀態(tài)包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；所述狀態(tài)信號包括第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號；所述處理模式包括節(jié)能處理模式和普通處理模式；所述預(yù)設(shè)值包括第一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值；所述第二預(yù)設(shè)值大于所述第一預(yù)設(shè)值；所述第一狀態(tài)、所述第一狀態(tài)信號、所述節(jié)能處理模式以及所述第一預(yù)設(shè)值分別對應(yīng)；所述第二狀態(tài)、所述第二狀態(tài)信號、所述普通處理模式以及所述第二預(yù)設(shè)值分別對應(yīng)。進(jìn)一步地，所述步驟“主設(shè)備檢測其當(dāng)前的狀態(tài)，并根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)生成對應(yīng)的狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備”進(jìn)一步包括步驟：主設(shè)備檢測其當(dāng)前的狀態(tài)為第一狀態(tài)時，根據(jù)所述第一狀態(tài)生成對應(yīng)的第一狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第一狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；或，主設(shè)備檢測其當(dāng)前的狀態(tài)為第二狀態(tài)時，根據(jù)所述第二狀態(tài)生成對應(yīng)的第二狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第二狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備。進(jìn)一步地，所述步驟“尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式”進(jìn)一步包括步驟：尾氣處理設(shè)備接收所述第一狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第一狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的節(jié)能處理模式；或，尾氣處理設(shè)備接收所述第二狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第二狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的普通處理模式。進(jìn)一步地，所述步驟“尾氣處理設(shè)備根據(jù)對應(yīng)的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應(yīng)的預(yù)設(shè)值”進(jìn)一步包括步驟：當(dāng)啟動節(jié)能處理模式時，所述預(yù)設(shè)值為所述第一預(yù)設(shè)值，尾氣處理設(shè)備根據(jù)節(jié)能處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第一預(yù)設(shè)值；或，當(dāng)啟動普通處理模式時，尾氣處理設(shè)備根據(jù)普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第二預(yù)設(shè)值。進(jìn)一步地，所述步驟“尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號，根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式”之后還包括步驟：尾氣處理設(shè)備判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設(shè)備向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號。進(jìn)一步地，還包括步驟：主設(shè)備判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；若未接收到，主設(shè)備發(fā)出與狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。本發(fā)明還公開了一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)，采用上述尾氣處理監(jiān)控方法，包括：主設(shè)備和尾氣處理設(shè)備；所述主設(shè)備包括：第一檢測模塊，用于檢測其當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)；狀態(tài)信號生成模塊，用于根據(jù)當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)生成對應(yīng)的狀態(tài)信號；第一發(fā)送模塊，用于發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；所述尾氣處理設(shè)備包括：第二接收模塊，用于接收所述主設(shè)備發(fā)送的所述狀態(tài)信號；啟動模塊，用于根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式；調(diào)整模塊，用于根據(jù)對應(yīng)的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應(yīng)的預(yù)設(shè)值；處理模塊，用于根據(jù)用量為所述預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理。進(jìn)一步地，所述尾氣處理設(shè)備還包括：第二判斷模塊，用于判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；第二發(fā)送模塊，用于當(dāng)判斷完成當(dāng)前的處理模式啟動時，向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號；所述主設(shè)備還包括：第一接收模塊，用于接收所述尾氣處理設(shè)備發(fā)送的啟動完成信號。進(jìn)一步地，所述主設(shè)備還包括：第一判斷模塊，用于判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；所述第一發(fā)送模塊還用于當(dāng)判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)未接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號時，發(fā)出與狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少具有以下任意一項有益效果：1、通過根據(jù)主設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)切換不同的處理模式，實現(xiàn)當(dāng)主設(shè)備處于需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)時，啟動節(jié)能處理模式，減少用于尾氣處理的物料的用量，避免大量資源浪費；2、當(dāng)主設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)為需要普通處理模式的第二狀態(tài)時，主設(shè)備自動將“第二狀態(tài)信號”發(fā)送給尾氣處理設(shè)備，尾氣處理設(shè)備自動切換為“普通處理模式”，采用切換處理模式的方式使本發(fā)明更具有靈活性；3、本發(fā)明的設(shè)備改造簡單、容易實現(xiàn)，對產(chǎn)品工藝不會有任何影響，與現(xiàn)有技術(shù)可以很好的匹配，利于大規(guī)模量產(chǎn)實現(xiàn)。附圖說明下面將以明確易懂的方式，結(jié)合附圖說明優(yōu)選實施方式，對本發(fā)明予以進(jìn)一步說明。圖1為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的主要步驟示意圖；圖2為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的完整步驟示意圖；圖3為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的步驟示意圖；圖4為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的干法刻蝕設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程圖；圖5為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的化學(xué)氣相沉積設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程圖；圖6為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的步驟示意圖；圖7為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的干法刻蝕設(shè)備普通處理模式啟動流程圖；圖8為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的化學(xué)氣相沉積設(shè)備普通處理模式啟動流程圖；圖9為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的主要組成示意圖；圖10為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的完整組成示意圖。附圖標(biāo)號說明：100、主設(shè)備，110、第一檢測模塊，120、狀態(tài)信號生成模塊，130、第一發(fā)送模塊，140、第一判斷模塊，150、第一接收模塊，200、尾氣處理設(shè)備，210、第二接收模塊，220、啟動模塊，230、調(diào)整模塊，240、處理模塊，250、第二判斷模塊，260、第二發(fā)送模塊。具體實施方式為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對照附圖說明本發(fā)明的具體實施方式。顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，并獲得其他的實施方式。為使圖面簡潔，各圖中只示意性地表示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分，它們并不代表其作為產(chǎn)品的實際結(jié)構(gòu)。另外，以使圖面簡潔便于理解，在有些圖中具有相同結(jié)構(gòu)或功能的部件，僅示意性地繪示了其中的一個，或僅標(biāo)出了其中的一個。在本文中，“一個”不僅表示“僅此一個”，也可以表示“多于一個”的情形。圖1為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的主要步驟示意圖。如圖1所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：s100、主設(shè)備檢測其當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)，并根據(jù)當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)生成對應(yīng)的狀態(tài)信號，并發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；s200、尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式；s300、尾氣處理設(shè)備根據(jù)對應(yīng)的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對應(yīng)的預(yù)設(shè)值；s400、尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理。優(yōu)選的，所述設(shè)備狀態(tài)包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中第一狀態(tài)是指主設(shè)備當(dāng)前需要啟動節(jié)能處理模式的狀態(tài)，第二狀態(tài)是指主設(shè)備當(dāng)前需要啟動普通處理模式的狀態(tài)；所述狀態(tài)信號包括第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號；所述處理模式包括節(jié)能處理模式和普通處理模式；所述預(yù)設(shè)值包括第一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值；所述第二預(yù)設(shè)值大于所述第一預(yù)設(shè)值；所述第一狀態(tài)、所述第一狀態(tài)信號、所述節(jié)能處理模式以及所述第一預(yù)設(shè)值分別對應(yīng)；所述第二狀態(tài)、所述第二狀態(tài)信號、所述普通處理模式以及所述第二預(yù)設(shè)值分別對應(yīng)。具體的，本發(fā)明適用于tft-lcd制造行業(yè)中，其中主設(shè)備包括但不限于干法刻蝕設(shè)備及化學(xué)氣相沉積設(shè)備。本發(fā)明是根據(jù)當(dāng)主設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)來選擇對應(yīng)的處理模式進(jìn)行尾氣處理，該設(shè)備狀態(tài)主要包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，以主設(shè)備為干法刻蝕設(shè)備或化學(xué)氣相沉積設(shè)備為例，說明其第一狀態(tài)和第二狀態(tài)的判定，具體如下：1、第一狀態(tài)對于干法刻蝕設(shè)備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)是否有基板，若在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)無基板搬入(即未接收到基板搬入信號)，則說明干法刻蝕設(shè)備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)。對于化學(xué)氣相沉積設(shè)備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)是否有基板或是否有氣流，若均無，則說明化學(xué)氣相沉積設(shè)備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)。2、第二狀態(tài)對于第二狀態(tài)的判斷具體包括以下三個方面：21、若主設(shè)備在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)接收到有基板搬入(即接收到基板搬入信號)，則說明主設(shè)備為來料狀態(tài)，即為需要普通處理模式的第二狀態(tài)。22、本發(fā)明還增加手動控制方式實現(xiàn)普通處理模式的切換，即當(dāng)操作人員手動執(zhí)行普通處理模式切換時，主設(shè)備接收到操作人員輸入的手動信號，則認(rèn)為主設(shè)備為需要普通處理模式的第二狀態(tài)。23、本發(fā)明還包括檢測是否有預(yù)設(shè)的需要執(zhí)行普通處理模式的執(zhí)行信號，比如對于化學(xué)氣相沉積設(shè)備，一般會定時執(zhí)行recipe操作，而recipe操作會產(chǎn)生需要處理的廢氣，因此當(dāng)主設(shè)備執(zhí)行recipe操作時，認(rèn)為其處于第二狀態(tài)，需要采用普通處理模式。需要說明的是，本發(fā)明并不對執(zhí)行信號限定為recipe執(zhí)行信號，也可以是需要執(zhí)行普通處理模式的其他執(zhí)行信號，此處僅作為示例說明。而對于第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號的生成，具體如下：1、當(dāng)主設(shè)備為第一狀態(tài)時，主設(shè)備端通過“scrubberidle”do信號on實現(xiàn)“第一狀態(tài)信號”發(fā)出，該信號再通過通信線傳至尾氣處理設(shè)備，尾氣處理設(shè)備自動轉(zhuǎn)為“節(jié)能處理模式”。2、當(dāng)主設(shè)備為第二狀態(tài)時，則輸出“scrubberidle”do信號off實現(xiàn)“第二狀態(tài)信號”發(fā)出，該信號再通過通信線傳至尾氣處理設(shè)備，尾氣處理設(shè)備自動轉(zhuǎn)為“普通處理模式”。圖2為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法完整步驟示意圖。如圖2所示，優(yōu)選的，對上述實施例進(jìn)行改進(jìn)，所述步驟s200“尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號，根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式”之后還包括步驟：s250、尾氣處理設(shè)備判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設(shè)備向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號。如圖2所示，優(yōu)選的，對上述實施例進(jìn)行改進(jìn)，還包括步驟：s500、主設(shè)備判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；若未接收到，主設(shè)備發(fā)出與狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。下面分別通過第一狀態(tài)和第二狀態(tài)來介紹本發(fā)明的兩個具體的實施例。實施例一：圖3為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的步驟示意圖；如圖3所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：s110、主設(shè)備檢測其當(dāng)前的狀態(tài)為第一狀態(tài)時，根據(jù)所述第一狀態(tài)生成對應(yīng)的第一狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第一狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；s210、尾氣處理設(shè)備接收所述第一狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第一狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的節(jié)能處理模式；s250、尾氣處理設(shè)備判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設(shè)備向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號；s310、當(dāng)啟動節(jié)能處理模式時，尾氣處理設(shè)備根據(jù)節(jié)能處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第一預(yù)設(shè)值；s410、尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述第一預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理；s500、主設(shè)備判斷自發(fā)出第一狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述第一狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；若未接收到，主設(shè)備發(fā)出與第一狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。上述實施例是對本發(fā)明主設(shè)備為第一狀態(tài)時，尾氣處理設(shè)備啟動節(jié)能處理模式處理尾氣的方法的闡述。具體的，本發(fā)明中當(dāng)啟動節(jié)能處理模式時，尾氣處理設(shè)備根據(jù)節(jié)能處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第一預(yù)設(shè)值，尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述第一預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理，其中物料、第一預(yù)設(shè)值為根據(jù)經(jīng)驗和主設(shè)備不同而設(shè)的，不作具體限定。以主設(shè)備為干法刻蝕設(shè)備或化學(xué)氣相沉積設(shè)備為例，當(dāng)節(jié)能處理模式啟動時，尾氣處理設(shè)備用于處理尾氣的物料的用量具體如下：1、主設(shè)備為干法刻蝕設(shè)備，節(jié)能處理模式狀況下：天然氣lng為1.8slm，水消耗量為0.2slm。2、主設(shè)備為化學(xué)氣相沉積設(shè)備，節(jié)能處理模式狀況下：天然氣lng為24slm，水消耗量由0.4slm。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明主設(shè)備在第一狀態(tài)時明顯降低了物料的用量，節(jié)約了資源。下面分別以干法刻蝕設(shè)備和化學(xué)氣相沉積設(shè)備為例詳細(xì)介紹本發(fā)明節(jié)能處理模式的啟動流程。具體的，圖4為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的干法刻蝕設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程圖。如圖4所示，干法刻蝕設(shè)備為主設(shè)備，尾氣處理設(shè)備表示為scrubber，節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：401、主設(shè)備內(nèi)無基板時間超過預(yù)設(shè)時間t1，說明主設(shè)備為第一狀態(tài)。需要說明的是，t1可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。402、主設(shè)備通過“scrubberidle”do信號on，發(fā)送第一狀態(tài)信號。403、scrubber接受第一狀態(tài)信號，啟動節(jié)能處理模式。404、scrubber判斷是否完成節(jié)能處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行409。405、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設(shè)備。406、主設(shè)備判斷在預(yù)設(shè)時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行408。需要說明的是，t2可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。407、scrubber節(jié)能處理模式啟動完成。408、發(fā)送啟動錯誤警報信號。409、排查fault原因。具體的，圖5為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的化學(xué)氣相沉積設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程圖。如圖5所示，化學(xué)氣相沉積設(shè)備為主設(shè)備，尾氣處理設(shè)備表示為scrubber，節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：501、主設(shè)備內(nèi)無基板時間超過預(yù)設(shè)時間t1或無氣流時間超過預(yù)設(shè)時間t3，說明主設(shè)備為第一狀態(tài)。需要說明的是，t1和t3可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。502、主設(shè)備通過“scrubberidle”do信號on，發(fā)送第一狀態(tài)信號。503、scrubber接受第一狀態(tài)信號，啟動節(jié)能處理模式。504、尾氣處理設(shè)備判斷是否完成節(jié)能處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行509。505、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設(shè)備。506、主設(shè)備判斷在預(yù)設(shè)時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行508。需要說明的是，t2可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。507、scrubber節(jié)能處理模式啟動完成。508、發(fā)送啟動錯誤警報信號。509、排查fault原因。實施例二：對上述實施例一進(jìn)行改進(jìn)，得到優(yōu)選的實施例二，圖6為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的步驟示意圖。如圖6所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟s120、主設(shè)備檢測其當(dāng)前的狀態(tài)為第二狀態(tài)時，根據(jù)所述第二狀態(tài)生成對應(yīng)的第二狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第二狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備；s220、尾氣處理設(shè)備接收所述第二狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第二狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的普通處理模式；s250、尾氣處理設(shè)備判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設(shè)備向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號；s320、當(dāng)啟動普通處理模式時，尾氣處理設(shè)備根據(jù)普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第二預(yù)設(shè)值；s420、尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述第二預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理；s500、主設(shè)備判斷自發(fā)出第二狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述第二狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；若未接收到，主設(shè)備發(fā)出與第二狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。上述實施例是對本發(fā)明普通處理模式啟動(即主設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)為來料狀態(tài)時)方法的闡述。具體的，本發(fā)明中當(dāng)啟動普通處理模式時，尾氣處理設(shè)備根據(jù)普通處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第二預(yù)設(shè)值，尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述第二預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理，其中物料、第二預(yù)設(shè)值為根據(jù)經(jīng)驗和主設(shè)備不同而設(shè)的，不作具體限定。以主設(shè)備為干法刻蝕設(shè)備或化學(xué)氣相沉積設(shè)備為例，當(dāng)普通處理模式啟動時，尾氣處理設(shè)備用于處理尾氣的物料的用量具體如下：3、主設(shè)備為干法刻蝕設(shè)備，普通處理模式狀況下：天然氣lng為/22slm，水消耗量為10slm。4、主設(shè)備為化學(xué)氣相沉積設(shè)備，普通處理模式狀況下：天然氣lng為89slm，水消耗量由20slm。由上述數(shù)據(jù)可以看出，本發(fā)明在節(jié)能處理模式下相比于普通處理模式下明顯減少了物料的用量。下面分別以干法刻蝕設(shè)備和化學(xué)氣相沉積設(shè)備為例詳細(xì)介紹本發(fā)明普通處理模式的啟動流程。具體的，圖7為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的干法刻蝕設(shè)備普通處理模式啟動流程圖。如圖7所示，干法刻蝕設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：701、主設(shè)備接收到基板搬入信號或手動信號。702、主設(shè)備通過“scrubberidle”do信號off，發(fā)送第二狀態(tài)信號；703、scrubber接受第二狀態(tài)信號，啟動普通處理模式。704、scrubber判斷是否完成普通處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行709。705、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設(shè)備。706、主設(shè)備判斷在預(yù)設(shè)時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行708。需要說明的是，t2可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。707、scrubber普通處理模式啟動完成；708、發(fā)送啟動錯誤警報信號。709、排查fault原因。具體的，圖8為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的化學(xué)氣相沉積設(shè)備普通處理模式啟動流程圖。如圖8所示，化學(xué)氣相沉積設(shè)備節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：801、主設(shè)備接收到基板搬入信號或recipe自動執(zhí)行信號或手動信號。802、主設(shè)備通過“scrubberidle”do信號off，發(fā)送第二狀態(tài)信號；803、scrubber接受第二狀態(tài)信號，啟動普通處理模式。804、尾氣處理設(shè)備判斷是否完成普通處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行809。805、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設(shè)備。806、主設(shè)備判斷在預(yù)設(shè)時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行808。需要說明的是，t2可以為任意設(shè)定的時間，此處可設(shè)為1～9999s中的任意一個。807、scrubber普通處理模式啟動完成。808、發(fā)送啟動錯誤警報信號。809、排查fault原因。圖9為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的主要組成示意圖，如圖9所示，一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)，采用上述尾氣處理監(jiān)控方法，包括：主設(shè)備100和尾氣處理設(shè)備200；所述主設(shè)備100包括：第一檢測模塊110，用于檢測其當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)；狀態(tài)信號生成模塊120，用于根據(jù)當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)生成對應(yīng)的狀態(tài)信號；第一發(fā)送模塊130，用于發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設(shè)備200；所述尾氣處理設(shè)備200包括：第二接收模塊210，用于接收所述主設(shè)備發(fā)送的所述狀態(tài)信號；啟動模塊220，用于根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應(yīng)的處理模式；調(diào)整模塊230，用于根據(jù)對應(yīng)的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應(yīng)的預(yù)設(shè)值；處理模塊240，用于根據(jù)用量為所述預(yù)設(shè)值的物料對尾氣進(jìn)行處理。圖10為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的完整組成示意圖，如圖10所示，優(yōu)選的，所述尾氣處理設(shè)備200還包括：第二判斷模塊250，用于判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動；第二發(fā)送模塊260，用于當(dāng)判斷完成當(dāng)前的處理模式啟動時，向主設(shè)備100發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對應(yīng)的啟動完成信號；所述主設(shè)備100還包括：第一接收模塊150，用于接收所述尾氣處理設(shè)備200發(fā)送的啟動完成信號。優(yōu)選的，所述主設(shè)備100還包括：第一判斷模塊140，用于判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號；所述第一發(fā)送模塊130還用于當(dāng)判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預(yù)設(shè)時間內(nèi)未接收到尾氣處理設(shè)備200發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應(yīng)的啟動完成信號時，發(fā)出與狀態(tài)信號相對應(yīng)的啟動錯誤報警信號。本系統(tǒng)中各模塊之間的信息交互、執(zhí)行過程等內(nèi)容與上述方法實施例基于同一構(gòu)思，具體內(nèi)容可參見本發(fā)明方法實施例中的敘述，此處不再贅述。在上述實施例中，對各個實施例的描述都各有側(cè)重，某個實施例中沒有詳述的部分，可以參見其他實施例的相關(guān)描述。應(yīng)當(dāng)說明的是，上述實施例均可根據(jù)需要自由組合。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本
技術(shù)領(lǐng)域：
的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。當(dāng)前第1頁12