技術(shù)編號(hào)：12032340
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)TFT-LCD制造行業(yè)干法刻蝕設(shè)備及化學(xué)氣相沉積設(shè)備等設(shè)備因其在制程工藝中會(huì)使用到特殊氣體，諸如CF4/SF6/CL2/NF3/N2O等，這些氣體若直接排放至大氣環(huán)境中會(huì)造成環(huán)境污染，按照行業(yè)通用做法，會(huì)在這兩種主設(shè)備系統(tǒng)上增加輔機(jī)，即尾氣處理設(shè)備，對(duì)有害氣體進(jìn)行分解除害，尾氣處理目前多采用燃燒加水洗的方案，在實(shí)際運(yùn)用中需使用天然氣及水等資源，針對(duì)資源節(jié)約，現(xiàn)行的節(jié)能方案如下：當(dāng)尾氣處理設(shè)備接收到CF4/SF6/CL2/NF...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。