均溫板結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種均溫板結(jié)構(gòu)及其制造方法，包括:一本體、一毛細(xì)結(jié)構(gòu)、一工作流體，所述本體具有一冷凝區(qū)及一蒸發(fā)區(qū)及一腔室，所述冷凝區(qū)及該蒸發(fā)區(qū)分設(shè)于該腔室的兩側(cè)，所述蒸發(fā)部具有一第一側(cè)面及一第二側(cè)面，所述第一側(cè)面具有一凸部;所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)設(shè)于前述腔室內(nèi)表面;該工作流體填充于前述腔室內(nèi)，并通過(guò)機(jī)械加工的方式成型該凸部起到支撐結(jié)構(gòu)及增加結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的作用，可大幅度降低制造者成本。
【專利說(shuō)明】均溫板結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于ー種均溫板結(jié)構(gòu)，尤其涉及ー種可大幅降低制造成本的均溫板結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨現(xiàn)行電子設(shè)備逐漸以輕薄作為標(biāo)榜的宣傳，所以各項(xiàng)元件皆須隨的縮小尺寸，但電子設(shè)備的尺寸縮小伴隨而來(lái)產(chǎn)生的熱，變成電子設(shè)備與系統(tǒng)改善性能的主要障礙。無(wú)論形成電子元件的半導(dǎo)體尺寸不斷地縮小，仍持續(xù)地要求増加性能。
[0003]當(dāng)半導(dǎo)體尺寸縮小，結(jié)果熱通量増加，熱通量増加所造成將產(chǎn)品冷卻的挑戰(zhàn)超過(guò)僅僅是全部熱的增加，因?yàn)闊嵬康膲埣釉斐稍诓煌瑫r(shí)間和不同長(zhǎng)度尺寸會(huì)過(guò)熱，可能導(dǎo)致電子故障或損毀。
[0004]所以本領(lǐng)域技術(shù)人員為解決上述現(xiàn)有技術(shù)因散熱空間狹小的問(wèn)題，以ー種VC(Vapor chamber)Heat Sink置于chip上方作為散熱器使用，為了增加毛細(xì)極限,利用銅柱coating燒結(jié)、燒結(jié)柱、發(fā)泡柱等毛細(xì)結(jié)構(gòu)用來(lái)支撐作為回流道，但由于微均溫板上下壁厚較薄(1.5mm以下應(yīng)用)，利用上述此毛細(xì)結(jié)構(gòu)作為支撐的習(xí)知結(jié)構(gòu)于應(yīng)用在微均溫板上，會(huì)造成該微均溫板在有銅柱、燒結(jié)柱或發(fā)泡柱的地方才有支撐，而其余未設(shè)有的處即形成塌限或凹陷，造成該微均溫板結(jié)構(gòu)的整體平面度與強(qiáng)度無(wú)法維持，因此無(wú)法實(shí)現(xiàn)薄型化。
[0005]上述均溫板中的工作流體當(dāng)由蒸發(fā)區(qū)域受熱域產(chǎn)生蒸發(fā)，工作流體由液態(tài)轉(zhuǎn)換為汽態(tài)，汽態(tài)的工作流體至均溫板的冷凝區(qū)域后由汽態(tài)冷凝轉(zhuǎn)化成為液態(tài)，再回流到蒸發(fā)區(qū)域繼續(xù)循環(huán)，均溫板的冷凝區(qū)域通常為光滑面，又或者為具有燒結(jié)的毛細(xì)結(jié)構(gòu)態(tài)樣，汽態(tài)的工作流體在該冷凝區(qū)域冷凝成液態(tài)小水珠狀后，因重力或毛細(xì)結(jié)構(gòu)的關(guān)系使得可回流至蒸發(fā)區(qū)域，但前述習(xí)知冷凝區(qū)域的結(jié)構(gòu)由于系呈光滑面，致使冷凝后的液態(tài)水珠需儲(chǔ)至一定容積方才依重カ垂滴，造成其回流效率實(shí)顯不足，且因液態(tài)工作流體回流速率過(guò)慢，使得蒸發(fā)區(qū)域中無(wú)工作流體而產(chǎn)生干燒的狀態(tài)，令熱傳導(dǎo)效率大幅降低；若為加強(qiáng)工作流體的回流效率則增設(shè)毛細(xì)結(jié)構(gòu)則為習(xí)知不可或缺的結(jié)構(gòu)，但此一毛細(xì)結(jié)構(gòu)(如燒結(jié)體或網(wǎng)格)的設(shè)置則令均溫板無(wú)法實(shí)現(xiàn)薄型化的功效。
[0006]薄型化熱板主要是通過(guò)蝕刻的方式于該板體開設(shè)溝槽做毛細(xì)結(jié)構(gòu)或于板體上形成支撐結(jié)構(gòu)，但由于蝕刻的缺點(diǎn)為精度不住，以及加工時(shí)耗費(fèi)時(shí)間，令薄型化熱板或均溫板制造成本無(wú)法降低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種可降低制造成本的均溫板結(jié)構(gòu)。
[0008]為達(dá)上述目的本實(shí)用新型提供一種均溫板結(jié)構(gòu)，包括:一本體，具有一冷凝區(qū)及一蒸發(fā)區(qū)及一腔室，所述冷凝區(qū)及該蒸發(fā)區(qū)分設(shè)于該腔室的兩側(cè)；ー凸部，系選擇由該蒸發(fā)區(qū)或冷凝區(qū)其中任ー凸起所構(gòu)形；一毛細(xì)結(jié)構(gòu)，設(shè)于前述腔室表面；一工作流體，填充于前述腔室內(nèi)。
[0009]優(yōu)選的是，所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體的周邊處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
[0010]優(yōu)選的是，所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體的周邊處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
[0011]優(yōu)選的是，所述本體具有一第一板體及一第二板體所述第一、ニ板體對(duì)應(yīng)蓋合并共同界定前述腔室，所述冷凝區(qū)設(shè)于該第一板體ー側(cè)，該蒸發(fā)區(qū)設(shè)于該第二板體ー側(cè)。
[0012]優(yōu)選的是，所述本體為ー扁狀管體。
[0013]優(yōu)選的是，所述凸體具有一自由端，該自由端與該冷凝區(qū)相連接，即所述凸體與該冷凝區(qū)間具有前述毛細(xì)結(jié)構(gòu)。
[0014]優(yōu)選的是，所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體的另ー側(cè)處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
[0015]優(yōu)選的是，所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體的另ー側(cè)處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
[0016]通過(guò)本實(shí)用新型可大幅降低均溫板的制造成本，并進(jìn)ー步可提升制造精度者?！緦＠綀D】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的立體分解圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的立體組合圖；
[0019]圖3為本實(shí)朋新型均溫板結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的剖視圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)第二實(shí)施例的剖視圖；
[0021]圖5為本實(shí)朋新型均溫板結(jié)構(gòu)第三實(shí)施例的剖視圖；
[0022]圖6為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)第四實(shí)施例的剖視圖；
[0023]圖7為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第一實(shí)施例的步驟流程圖；
[0024]圖8為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第二實(shí)施例的步驟流程圖；
[0025]圖9為本實(shí)朋新型均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第三實(shí)施例的步驟流程圖；
[0026]圖10為本實(shí)用新型均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第四實(shí)施例的步驟流程圖。
[0027][符號(hào)說(shuō)明]
[0028]本體 11
[0029]第一板體Ila
[0030]第二板體Ilb
[0031]凸部111
[0032]凸體1111
[0033]自由端Illla
[0034]毛細(xì)結(jié)構(gòu)2
[0035]工作流體3
[0036]冷凝區(qū)112
[0037]蒸發(fā)區(qū)113
[0038]腔室114【具體實(shí)施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)描述:
[0040]請(qǐng)參閱第1、2、3圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的立體分解及組合與剖視圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)，系包含:一本體11、ー凸部111、一毛細(xì)結(jié)構(gòu)2、一工作流體3;
[0041]所述本體11具有一冷凝區(qū)112及一蒸發(fā)區(qū)113及一腔室114，并所述本體11更具有一第一板體Ila及一第二板體Ilb所述第一、ニ板體lla、llb對(duì)應(yīng)蓋合并共同界定前述腔室114，所述冷凝區(qū)112設(shè)于該第一板體Ila—側(cè)，該蒸發(fā)區(qū)113設(shè)于該第二板體Ilbー側(cè)，即所述冷凝區(qū)112及該蒸發(fā)區(qū)113分設(shè)于該腔室114的兩側(cè)并相互對(duì)應(yīng)。
[0042]所述凸部111系選擇由該蒸發(fā)區(qū)113或冷凝區(qū)112其中任一或二者(蒸發(fā)區(qū)113、冷凝區(qū)112)都凸起所構(gòu)形，本實(shí)施例的所述凸部111具有多個(gè)凸體1111，所述凸體1111系由該蒸發(fā)區(qū)113向相反該蒸發(fā)區(qū)113的方向延仲所構(gòu)成，并該凸體1111具有一自由端1111a，該自由端Illla與前述冷凝區(qū)112連接，該本體11相鄰所述凸體1111的周邊處系對(duì)應(yīng)呈凹狀，本實(shí)施例的所述凸體1111系通過(guò)壓浮花法所成型，故所述凸體1111的另ー側(cè)系呈平坦?fàn)睢?br> [0043]所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2設(shè)于前述腔室114表面，即所述凸體1111與該冷凝區(qū)112間具有前述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2，該工作流體3填充于前述腔室114內(nèi)。
[0044]請(qǐng)參閱第4圖，系為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第二實(shí)施例的剖視圖，如圖所示，本實(shí)施例與前述第一實(shí)施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實(shí)例與前述第一實(shí)施例的不同處系為所述蒸發(fā)區(qū)113的多個(gè)凸體1111相對(duì)的另一側(cè)是呈凹狀。
[0045]請(qǐng)參閱第5圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第三實(shí)施例的剖視圖，如圖所示，本實(shí)施例系與前述第一實(shí)施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實(shí)例與前述第一實(shí)施例的不同處是為所述凸部111具有多個(gè)凸體1111，所述凸體1111是由該冷凝區(qū)112向相反該冷凝區(qū)112的方向延伸所構(gòu)成，該本體11相鄰所述凸體1111的周邊處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
[0046]請(qǐng)參閱第6圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第四實(shí)施例的剖視圖，如圖所示，本實(shí)施例是與前述第一、ニ、三實(shí)施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實(shí)例與前述第一、ニ、三實(shí)施例的不同處為所述本體11系為ー扁狀管體。
[0047]請(qǐng)參閱第7圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第一實(shí)施例的步驟流程圖，并一井參閱前述第I?6圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟:
[0048]S1:提供一第一板體及一第二板體；
[0049]提供一第一板體Ila及一第二板體11b，所述第一、ニ極體IlaUlb是為導(dǎo)熱性質(zhì)較佳的材料，如銅或鋁材質(zhì)。
[0050]S2:通過(guò)機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、ニ板體其中任一成型至少ー凸體；
[0051]通過(guò)以機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、ニ板體IlaUlb其中任一上成型至少ー凸體1111，所述機(jī)械加工可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工其中任一，所述沖壓加エ亦可選擇以壓浮花法或壓模法或打凸法其中任一方式形成該凸體。
[0052]S3:將第一、ニ板體對(duì)應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。[0053]將通過(guò)機(jī)械加工成型凸體1111后將第一、ニ板體lla、llb對(duì)應(yīng)蓋合,并將該第一、ニ板體IlaUlb以焊接或擴(kuò)散接合的方式進(jìn)行封閉，并進(jìn)行抽真空以及填入工作流體3等作業(yè)。請(qǐng)參閱第8圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第二實(shí)施例的步驟流程圖，井一并參閱第I?6圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟:
[0054]S1:提供一第一板體及一第二板體；
[0055]S2:通過(guò)機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、ニ板體其中任一成型至少ー凸體；
[0056]S3:將第一、ニ板體對(duì)應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。
[0057]本實(shí)施例部分步驟與前述第一實(shí)施例相同，故在此將不再贅述，惟木實(shí)施例與前述第一實(shí)施例的不同處系為所述步驟S2:通過(guò)機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、ニ板體其中任一成型至少ー凸體此ー步驟后更具有ー步驟S4:。
[0058]所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2可選用燒結(jié)粉末結(jié)構(gòu)或置入網(wǎng)格體或開設(shè)溝槽的方式于該第一、ニ板體IlaUlb另外設(shè)置毛細(xì)結(jié)構(gòu)2。
[0059]請(qǐng)參閱第9圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第三實(shí)施例的步驟流程圖，并一井參閱第I?6圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟:
[0060]Al:提供一扁平管體；
[0061]提供至少一端為開放狀的扁平狀管體。
[0062]A2:通過(guò)機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部ー側(cè)成型至少ー凸體；
[0063]通過(guò)以機(jī)械加工的方式選擇于前述管體內(nèi)部ー側(cè)成型至少ー凸體1111，所述機(jī)械加工是可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工其中任一，所述沖壓加工也可選擇以壓浮花法或壓模法或打凸法其中任一方式形成該凸體1111。
[0064]A3:將該管體兩端封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。
[0065]將通過(guò)機(jī)械加工成型凸體后該扁平管體呈開放狀的一端以焊接或擴(kuò)散接合的方式進(jìn)行封閉，并進(jìn)行抽真空以及填入工作流體等作業(yè)。
[0066]請(qǐng)參閱第10圖，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第四實(shí)施例的步驟流程圖，并一井參閱第I?6圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟:
[0067]Al:提供一扁平管體；
[0068]A2:通過(guò)機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部ー側(cè)成型至少ー凸體；
[0069]A3:將該管體兩端封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。
[0070]本實(shí)施例部分步驟系與前述第三實(shí)施例相同，故在此將不再贅述，惟本實(shí)施例與前述第一實(shí)施例的不同處系為步驟A2:通過(guò)機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部ー側(cè)成型至少ー凸體此ー步驟后更具有ー步驟A4:于該管體內(nèi)部成型一毛細(xì)結(jié)構(gòu)2，所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2可選用燒結(jié)粉末結(jié)構(gòu)或置入網(wǎng)格體或開設(shè)溝槽的方式于該管體內(nèi)部另外設(shè)置毛細(xì)結(jié)構(gòu)2。
[0071]以上實(shí)施例中所述的機(jī)械加工均可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工或滾輾加工或刻印加工或鑄造加工其中任一。
[0072]通過(guò)本發(fā)明的均溫板結(jié)構(gòu)及其制造方法可進(jìn)ー步提供一種可節(jié)省制造エ時(shí)以及提升制造精度的均溫板結(jié)構(gòu)以及制造方法。
【權(quán)利要求】
1.一種均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 一本體，具有一冷凝區(qū)及一蒸發(fā)區(qū)及一腔室，所述冷凝區(qū)及該蒸發(fā)區(qū)分設(shè)于該腔室的兩側(cè)； ー凸部，選擇由該蒸發(fā)區(qū)或冷凝區(qū)其中任ー凸起所構(gòu)形； 一毛細(xì)結(jié)構(gòu)，設(shè)于前述腔室表面； 一工作流體，填充于前述腔室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體的周邊處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
3.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)之方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體之周邊處系對(duì)應(yīng)呈凹狀。
4.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述本體具有一第一板體及一第二板體，所述第一、ニ板體對(duì)應(yīng)蓋合并共同界定前述腔室，所述冷凝區(qū)設(shè)于該第一板體一偵れ該蒸發(fā)區(qū)設(shè)于該第二板體ー側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述本體為ー扁狀管體。
6.如權(quán)利要求2所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述凸體具有一自由端，該自由端與該冷凝區(qū)相連接，即所述凸體與該冷凝區(qū)間具有前述毛細(xì)結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體之另ー側(cè)處是對(duì)應(yīng)呈凹狀。
8.如權(quán)利要求1所述的均溫板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中所述凸部具有多個(gè)凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體之另ー側(cè)處對(duì)應(yīng)呈凹狀。
【文檔編號(hào)】F28D15/04GK203432427SQ201320404020
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月8日
【發(fā)明者】楊修維 申請(qǐng)人:奇鋐科技股份有限公司