1.一種傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述步驟s1中，成型的中間柱（2）的柱體（21）頂面具有與柱體（21）一體成型且同軸布置的連接部（22），所述連接部（22）的側(cè)面相對柱體（21）的側(cè)面向外延伸形成第一弧面（23），所述連接部（22）的頂面向上凸起形成第二弧面（24）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述步驟s2中，成型的基片（3）的頂面向下凹陷形成上寬下窄的圓臺腔（31）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，第一弧面（23）的曲率半徑r1為0.5~1mm，第二弧面（24）的曲率半徑r2為5~8mm，中間柱（2）的高度h為10~15mm，柱體（21）的直徑d1為1.6~2.4mm，連接部（22）頂面外圓的直徑d2為2~2.8mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述基片（3）的直徑l為9mm~15mm，所述基片（3）的厚度d為0.5mm~2.5mm，所述基片（3）底面至圓臺腔（31）底面的距離d為0.2mm~1mm，圓臺腔（31）頂面圓直徑l2為4mm~8mm，圓臺腔（31）底面圓直徑l1為2mm~6mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述熔融加熱的具體過程包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述中間柱（2）的柱體（21）底面中心向上凹陷形成錐形的定位槽（25），所述成型模具（1）的第二型腔（13）腔底中心向上凸起形成與定位槽（25）配合的定位釘（15），中間柱（2）置于第二型腔（13）內(nèi)時(shí)，定位釘（15）卡設(shè)于定位槽（25）內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，成型模具（1）的成型面（11）中心開設(shè)有與基片（3）底面外圓匹配的限位槽（16），第一型腔（12）開設(shè)于限位槽（16）的槽底面中心。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述成型模具（1）為石墨模具，成型模具（1）的底面中心開設(shè)有用于與抽真空設(shè)備連通的負(fù)壓腔（17），所述負(fù)壓腔（17）的邊緣部分向上延伸至第一型腔（12）和負(fù)壓腔（17）之間形成傘狀結(jié)構(gòu)的殼體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傘狀微半球諧振子的成型方法，其特征在于，所述負(fù)壓腔（17）的側(cè)壁面為上窄下寬的錐形面。