專利名稱：模具和模具的制造方法以及防反射膜的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及模具和模具的制造方法以及防反射膜的制造方法。在此所說的“模具”包含用于各種加工方法(壓印、鑄造)的模具，有時(shí)也稱為壓模。另外，也能用于印刷(包括納米印刷)。
背景技術(shù)：
通常，為了減少表面反射、提高光的透射量，對(duì)用于電視、便攜電話等的顯示裝置、相機(jī)鏡頭等光學(xué)元件施行防反射技術(shù)。其原因是，例如，如光入射到空氣和玻璃的界面的情況那樣在光通過折射率不同的介質(zhì)的界面的情況下，由于菲涅耳反射等導(dǎo)致光的透射量減少，視認(rèn)性下降。近年來，作為防反射技術(shù)，在基板表面形成將凹凸的周期控制為可見光(入=380nm 780nm)波長(zhǎng)以下的微細(xì)凹凸圖案的方法受到關(guān)注(參照專利文獻(xiàn)I至4)。構(gòu)成 發(fā)揮防反射功能的凹凸圖案的凸部的2維大小是IOnm以上且不到500nm。該方法利用所謂蛾眼(Motheye，蛾子的眼睛)結(jié)構(gòu)的原理，使相對(duì)于入射到基板的光的折射率沿著凹凸的深度方向從入射介質(zhì)的折射率開始連續(xù)地變化至基板的折射率為止，由此抑制想要防止反射的波段的反射。除了能夠涵蓋較寬的波段來發(fā)揮入射角依賴性小的防反射作用以外，蛾眼結(jié)構(gòu)還具有能夠應(yīng)用于較多的材料、能夠?qū)纪箞D案直接形成于基板等優(yōu)點(diǎn)。其結(jié)果是，能夠以低成本提供高性能的防反射膜(或者防反射表面)。作為蛾眼結(jié)構(gòu)的制造方法，使用對(duì)鋁進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而得到的陽(yáng)極氧化多孔氧化鋁層的方法受到關(guān)注(專利文獻(xiàn)2至4)。在此，簡(jiǎn)單地說明對(duì)鋁進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而得到的陽(yáng)極氧化多孔氧化鋁層。以往，利用了陽(yáng)極氧化的多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)體的制造方法作為能夠形成有規(guī)則地排列的納米級(jí)的圓柱狀細(xì)孔(微細(xì)凹部)的簡(jiǎn)易方法而受到關(guān)注。當(dāng)在硫酸、草酸或者磷酸等酸性電解液或者堿性電解液中浸潰基材并將該基材作為陽(yáng)極而施加電壓時(shí)，就能夠在基材的表面同時(shí)進(jìn)行氧化和溶解，在該表面形成具有細(xì)孔的氧化膜。該圓柱狀細(xì)孔相對(duì)于氧化膜垂直地取向，在一定的條件下(電壓、電解液的種類、溫度等)表現(xiàn)出自組織的規(guī)則性，因此在各種功能材料中的應(yīng)用受到期待。在特定的條件下形成的多孔氧化鋁層，從與膜面垂直的方向看時(shí)，取大致正六邊形的單元在二維上以最高密度填充的排列。各個(gè)單元在其中央具有細(xì)孔，細(xì)孔的排列具有周期性。單元是局部的皮膜的溶解和生長(zhǎng)的結(jié)果所形成的，在被稱為阻擋層的細(xì)孔底部，皮膜的溶解和生長(zhǎng)同時(shí)進(jìn)行。已知這時(shí)單元的尺寸即相鄰細(xì)孔的間隔(中心間的距離)相當(dāng)于阻擋層的厚度的大致2倍，與陽(yáng)極氧化時(shí)的電壓大致成比例。另外，已知細(xì)孔的直徑依賴于電解液的種類、濃度、溫度等，但通常是單元的尺寸(從與膜面垂直的方向看時(shí)的單元的最長(zhǎng)對(duì)角線的長(zhǎng)度)的1/3的程度。這樣的多孔氧化鋁的細(xì)孔在特定的條件下形成具有高規(guī)則性(具有周期性)的排列，另外，根據(jù)條件形成在某種程度上規(guī)則性紊亂的排列或者不規(guī)則(不具有周期性)的排列。在專利文獻(xiàn)2中公開了使用在表面具有陽(yáng)極氧化多孔氧化鋁膜的壓模來形成防反射膜(防反射表面)的方法。另外，在專利文獻(xiàn)3中公開了通過重復(fù)進(jìn)行鋁的陽(yáng)極氧化和孔徑擴(kuò)大處理來形成細(xì)孔的孔徑連續(xù)地變化的錐形形狀的凹部的技木。本申請(qǐng)人在專利文獻(xiàn)4中公開了使用微細(xì)凹部具有階梯狀側(cè)面的氧化鋁層來形成防反射膜的技木。另外，如在專利文獻(xiàn)1、2以及4中記載的那樣，除了蛾眼結(jié)構(gòu)(微觀結(jié)構(gòu))以外，設(shè)置比蛾眼結(jié)構(gòu)大的凹凸結(jié)構(gòu)(宏觀結(jié)構(gòu))，由此能夠?qū)Ψ婪瓷淠?防反射表面)附加防眩功能。構(gòu)成發(fā)揮防眩功能的凹凸的凸部的2維大小是Iym以上且不到IOOy m。在本說明書中為了參照而引用專利文獻(xiàn)1、2以及4的全部公開內(nèi)容。 通過利用陽(yáng)極氧化多孔氧化鋁膜，能夠容易地制造用于在表面形成蛾眼結(jié)構(gòu)的模具(以下稱為“蛾眼用模具”。)。特別是，當(dāng)如專利文獻(xiàn)2和4所記載的那樣，將鋁的陽(yáng)極氧化膜的表面直接用作模具時(shí)，減少制造成本的效果較大。將能夠形成蛾眼結(jié)構(gòu)的蛾眼用模具的表面的結(jié)構(gòu)稱為“反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)”。作為使用了蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性樹脂的方法。首先，在基板上附加光固化性樹脂。然后，將施行了脫模處理的蛾眼用模具的凹凸表面在真空中按壓于光固化性樹脂，由此，將光固化性樹脂填充于蛾眼用模具的表面的凹凸結(jié)構(gòu)中。然后，對(duì)凹凸結(jié)構(gòu)中的光固化性樹脂照射紫外線，使光固化性樹脂固化。其后，將蛾眼用模具從基板分離，由此，在基板的表面形成轉(zhuǎn)印了蛾眼用模具的凹凸結(jié)構(gòu)的光固化性樹脂的固化物層。使用了光固化性樹脂的防反射膜的制造方法記載于例如專利文獻(xiàn)4中?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特表2001-517319號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :特表2003-531962號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :特開2005-156695號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 國(guó)際公開第2006/059686號(hào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題為了有效地批量生產(chǎn)防反射膜，優(yōu)選例如使用輥狀蛾眼用模具以輥對(duì)輥方式制造防反射膜。輥狀蛾眼用模具例如能通過將塊狀鋁圓筒用作基材進(jìn)行陽(yáng)極氧化和蝕刻來制造。但是，當(dāng)用該方法制作的模具用于重復(fù)轉(zhuǎn)印而多孔氧化鋁層磨損吋，需要更換整個(gè)輥狀模具。另外，作為輥狀模具的制造方法，還存在以下方法在具有撓性的高分子膜上形成鋁層，對(duì)鋁層的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化，由此形成多孔氧化鋁層后，將高分子膜固定于輥狀支撐體的外周面。用該方法制作的輥狀模具即使當(dāng)多孔氧化鋁層發(fā)生了磨損時(shí)，也只要?jiǎng)冸x高分子膜即可，成本較低。另ー方面，將高分子膜固定為輥狀，因此，在用該方法制作的輥狀蛾眼用模具的外周面上存在接縫。因此，用該方法制作的輥狀蛾眼用模具無法無接縫地形成蛾眼結(jié)構(gòu)。上述問題不限于蛾眼用模具，在表面具有多孔氧化鋁層的輥狀模具中是共同的問題。 本發(fā)明的主要目的在于提供簡(jiǎn)單地制造在表面具有多孔氧化鋁層的無接縫的輥狀模具的方法。特別是提供簡(jiǎn)單地制造無接縫的輥狀蛾眼用模具的方法。用于解決問題的方案本發(fā)明的模具的制造方法是在表面具有多孔氧化鋁層的模具的制造方法，包含エ序(a)，準(zhǔn)備圓筒狀支撐體；エ序(b)，在上述圓筒狀支撐體的外周面上形成絕緣層；エ序
(C)，通過在上述絕緣層上沉積鋁來形成鋁膜；以及エ序(d)，通過對(duì)上述鋁膜的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成具有多個(gè)微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層。在某實(shí)施方式中，上述絕緣層是有機(jī)絕緣層。在某實(shí)施方式中，上述エ序(b)包括エ序(e)，在上述圓筒狀支撐體的上述外周面上，通過附加固化性樹脂來形成固化性樹脂層；以及エ序(f)，使上述固化性樹脂固化。在某實(shí)施方式中，上述エ序(e)包括利用電鍍法形成上述固化性樹脂層的エ序。在某實(shí)施方式中，上述エ序(e)包括利用噴鍍涂覆形成上述固化性樹脂層的エ序。在某實(shí)施方式中，上述固化性樹脂包含丙烯酸三聚氰胺。在某實(shí)施方式中，上述固化性樹脂包含尿烷。在某實(shí)施方式中，上述固化性樹脂包含聚酰胺酸。在某實(shí)施方式中，上述圓筒狀支撐體是圓筒狀金屬管。在某實(shí)施方式中，上述圓筒狀支撐體是金屬套筒。在某實(shí)施方式中，在上述有機(jī)絕緣層和上述多孔氧化鋁層之間形成有無機(jī)基底層。在某實(shí)施方式中，上述無機(jī)基底層包含Si02。在某實(shí)施方式中，上述無機(jī)基底層的厚度是50nm以上且300nm以下。在某實(shí)施方式中，在上述無機(jī)基底層和上述多孔氧化鋁層之間形成有緩沖層，上述緩沖層包含鋁、氧或氮，上述鋁的含有率具有在上述多孔氧化鋁層側(cè)比上述無機(jī)基底層側(cè)高的分布。本發(fā)明的其它模具的制造方法是在表面具有多孔氧化鋁層的模具的制造方法，包含エ序(a)，準(zhǔn)備輥狀支撐體和筒狀樹脂膜；エ序(b)，使上述筒狀樹脂膜貼緊到上述輥狀支撐體的外周面上；エ序(C)，通過在上述筒狀樹脂膜上沉積鋁來形成鋁膜；以及エ序(d)，通過對(duì)上述鋁膜的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成具有多個(gè)微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層。在某實(shí)施方式中，上述筒狀樹脂膜是聚酰亞胺膜。在某實(shí)施方式中，在上述エ序(a)和(b)中，上述聚酰亞胺膜的酰亞胺化率是99%以下。在某實(shí)施方式中，上述輥狀支撐體是具有撓性的金屬套筒，上述エ序(b)包括使上述金屬套筒撓曲的エ序；在使上述金屬套筒撓曲的狀態(tài)下，將上述金屬套筒插入上述筒狀樹脂膜的エ序；以及通過使上述金屬套筒的撓曲復(fù)原來使上述筒狀樹脂膜貼緊到上述金屬套筒的外周面上的エ序。
在某實(shí)施方式中，上述多孔氧化鋁層具有從表面的法線方向看時(shí)2維大小為50nm以上且不到500nm的多個(gè)凹部，還包含工序(g)，通過使上述多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸來使上述多孔氧化鋁層的上述多個(gè)微細(xì)凹部擴(kuò)大；以及工序(h)，在上述工序(g)后，通過進(jìn)一步對(duì)上述鋁膜的上述表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來使上述多個(gè)微細(xì)凹部生長(zhǎng)，在上述工序(h)后，進(jìn)一步進(jìn)行上述工序(g)和上述工序(h)。本發(fā)明的模具是利用在上述任一內(nèi)容中記載的制造方法制作的模具，具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向看時(shí)2維大小為50nm以上且不到500nm的多個(gè)微細(xì)凹部。本發(fā)明的防反射膜的制造方法包含準(zhǔn)備上述模具和被加工物的工序；以及在上述模具和上述被加工物的表面之間附加了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過對(duì)上述紫外線固化樹脂照射紫外線來固化上述紫外線固化樹脂的工序。本發(fā)明的其它防反射膜的制造方法包含準(zhǔn)備上述模具、輥狀芯材以及被加工物 的工序；將上述輥狀芯材插入上述金屬套筒的內(nèi)側(cè)的工序；以及在上述模具和上述被加工物的表面之間附加了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過隔著上述模具對(duì)上述紫外線固化樹脂照射紫外線來固化上述紫外線固化樹脂的工序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，提供簡(jiǎn)單地制造在表面具有多孔氧化鋁層的無接縫的輥狀模具的方法。


圖I的(a) (d)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法的圖。圖2是在高分子膜上按順序形成了 SiO2層、緩沖層、鋁膜的基材的、浸潰到磷酸水溶液后的截面SEM像。圖3的(a) (d)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法的圖。圖4的(a) (f)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法的圖。圖5是從金屬套筒的軸向看到的光學(xué)像，(a)是未撓曲的狀態(tài)，(b)是撓曲的狀態(tài)。圖6的(a) (e)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法的圖。圖7的(a) (f)分別是實(shí)施例I 6的蛾眼用模具的表面SEM像。圖8是參考例2的Ta2O5層的表面SEM像。圖9的(a) (e)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的蛾眼用模具100A的制造方法的圖。圖10是蛾眼用模具100A的示意性截面圖。圖11是輥狀蛾眼用模具100A的多孔氧化鋁層的截面SEM像。圖12是用于說明用蛾眼用模具100A來形成防反射膜的工序的示意性截面圖。圖13的(a) (C)是用于說明用本發(fā)明的實(shí)施方式的模具IOOb來形成防反射膜的工序的不意圖。圖14的(a) (C)是用于說明用本發(fā)明的實(shí)施方式的模具100來形成防反射膜的工序的示意性截面圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式的模具和模具的制造方法，但本發(fā)明不限于示例的實(shí)施方式。此外，本發(fā)明的模具的制造方法是制造適用于為了形成例如具有蛾眼結(jié)構(gòu)的防反射膜的輥狀模具的方法。下面，參照?qǐng)DI的(a) (d)說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法。圖I的(a) (d)是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法的示意性截面圖。首先，如圖I的(a)所示，準(zhǔn)備圓筒狀支撐體12。能將圓筒狀金屬管用作支撐體12。還能將金屬套筒用作支撐體12。此外，下面以將圓筒狀金屬管用作支撐體12的情況為例進(jìn)行說明。在本說明書中，圓筒狀金屬管是指由厚度為I. Omm以上的金屬制成的圓筒。作為圓筒狀金屬管，例如能使用由鋁制成的管、由不銹鋼(例如，JIS規(guī)格SUS304)制成的管。另 夕卜，金屬套筒是指由厚度為0. 02mm以上且I. Omm以下的金屬制成的圓筒。作為金屬套筒，例如能使用用鎳、不銹鋼、鈦中的任一個(gè)或者包含它們之中的至少I個(gè)的合金所形成的金
屬套筒。當(dāng)用輥狀模具通過輥對(duì)輥方式轉(zhuǎn)印凹凸結(jié)構(gòu)時(shí)，某種程度的剛性是必需的。金屬管的剛性較高，因此，將金屬管用作支撐體12而制作的模具存在剛性較高而能直接用于輥對(duì)輥方式的優(yōu)點(diǎn)。另ー方面，將具有撓性的金屬套筒用作支撐體12而制作的模具的剛性較低，因此，如后述那樣，例如，能在將芯材插入到金屬套筒的內(nèi)部的狀態(tài)下用于輥對(duì)輥方式。此外，在本發(fā)明中，金屬套筒具有撓性表示金屬套筒軟到當(dāng)對(duì)金屬套筒的外周面上的一部分施加カ時(shí)能容易地使金屬套筒撓曲的程度。此外，從剛性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選金屬管的厚度是6mm以上，進(jìn)一步優(yōu)選是IOmm以上。然后，如圖I的(b)所示，在支撐體12的外周面上形成絕緣層16。絕緣層16例如是有機(jī)絕緣層。作為有機(jī)絕緣層的材料，例如能使用樹脂。例如，通過在支撐體12的外周面上附加固化性樹脂來形成固化性樹脂層，之后，通過使固化性樹脂固化來在支撐體12的外周面上形成有機(jī)絕緣層。固化性樹脂層例如利用電鍍法來形成。作為電鍍法，例如能使用公知的電鍍涂覆方法。例如，首先，洗凈支撐體12。然后，將支撐體12浸潰到存積有包含電鍍樹脂的電鍍液的電鍍槽。在電鍍槽中設(shè)置有電極。當(dāng)利用陽(yáng)離子電鍍來形成固化性樹脂層吋，將支撐體12設(shè)為陰極，將設(shè)置在電鍍槽內(nèi)的電極設(shè)為陽(yáng)極，使電流在支撐體12和陽(yáng)極之間流動(dòng)，使電鍍樹脂析出到支撐體12的外周面上，由此形成固化性樹脂層。當(dāng)利用陽(yáng)離子電鍍來形成固化性樹脂層吋，將支撐體12設(shè)為陽(yáng)極，將設(shè)置在電鍍槽內(nèi)的電極設(shè)為陰極而使電流流動(dòng)，由此形成固化性樹脂層。之后，通過進(jìn)行洗凈エ序、燒結(jié)エ序等來形成有機(jī)絕緣層。作為電鍍樹脂，例如能使用聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、三聚氰胺樹脂、尿烷樹脂或它們的混合物。作為形成固化性樹脂層的方法，除了電鍍法以外，例如能使用噴鍍涂覆。例如，用尿烷類樹脂、聚酰胺酸，利用噴涂法、靜電涂覆法在支撐體12的外周面上形成固化性樹脂層。作為尿烷類樹脂，例如能使用由日本涂料(ペィン卜)株式會(huì)社生產(chǎn)的暢銷品。除上述以外，可以使用浸涂法、輥涂法。例如，當(dāng)將熱固化性聚酰胺酸用作固化性樹脂時(shí)，在利用浸涂法涂敷聚酰胺酸而形成了固化性樹脂層后，將聚酰胺酸加熱到300°C左右，由此可以形成有機(jī)絕緣層。例如能從日立化成工業(yè)株式會(huì)社購(gòu)入聚酰胺酸。在支撐體12的外周面上設(shè)置絕緣層16，由此在支撐體12和形成于絕緣層16上的鋁膜(圖I的(C)所示的鋁膜18)之間絕緣。當(dāng)支撐體12和鋁膜18之間的絕緣不充分時(shí)，在后述的重復(fù)陽(yáng)極氧化工序和蝕刻工序的蛾眼用模具的制造工序中，當(dāng)進(jìn)行蝕刻時(shí)，在支撐體12和鋁膜18之間發(fā)生局部電池反應(yīng)，由此有時(shí)在鋁膜18中形成直徑為Iu m左右的凹陷。如果使用這種形成有較大的凹陷的蛾眼用模具，則無法制作形成有期望的蛾眼結(jié)構(gòu)的防反射膜。另外，當(dāng)支撐體12和鋁膜18之間的絕緣不充分時(shí)，在后述的陽(yáng)極氧化工序中，有時(shí)還在支撐體12中流過電流。當(dāng)在支撐體12中流過電流時(shí)，在包括支撐體12和鋁膜18的整個(gè)基材中流過過多的電流，因此，從安全性的觀點(diǎn)來看不是優(yōu)選的。如示出實(shí)施例后述的那樣，在形成絕緣層16(例如，使電鍍樹脂固化所得的層、使尿烷類樹脂固化所得的層、使聚酰胺酸固化所得的層)后，通過進(jìn)行鋁的沉積和陽(yáng)極氧化 而制作的模具能使鋁膜18和支撐體12之間充分地絕緣。能通過設(shè)置絕緣層16來抑制上述蝕刻工序的局部電池反應(yīng)的發(fā)生以及陽(yáng)極氧化工序中的過多電流。如示出實(shí)施例后述的那樣，當(dāng)比較使電鍍樹脂固化所得的層、使利用噴鍍涂覆附加的尿烷類樹脂固化所得的層、以及使利用浸涂法附加的聚酰胺酸固化所得的層時(shí)，后形成的鋁膜18的貼緊性的高低順序是使電鍍樹脂固化所得的層>使尿烷類樹脂固化所得的層 > 使聚酰胺酸固化所得的層。絕緣層16可以是無機(jī)絕緣層。作為無機(jī)絕緣層的材料，能使用例如SiO2或者Ta205。無機(jī)絕緣層的臺(tái)階覆蓋性較低，因此，當(dāng)在支撐體的表面存在凹凸時(shí)，有時(shí)支撐體與鋁膜導(dǎo)通。例如，如示出參考例后述的那樣，當(dāng)在支撐體的表面存在異物(例如，用于支撐體表面的加工的研磨顆粒的殘留物)時(shí)，有時(shí)支持體與鋁膜通過異物導(dǎo)通。另外，當(dāng)支撐體表面的鏡面性較低并存在凹凸形狀時(shí)，易于導(dǎo)通。此外，作為無機(jī)絕緣層而設(shè)置SiO2層或者Ta2O5層后，充分地得到鋁膜18的針對(duì)無機(jī)絕緣層的貼緊性。如示出實(shí)施例和參考例后述的那樣，有機(jī)絕緣層與無機(jī)絕緣層相比，能提高形成在絕緣層上的鋁膜18表面的鏡面性。如示出參考例后述的那樣，在支撐體的外周面上形成無機(jī)絕緣層后，在無機(jī)絕緣層的表面形成有與支撐體表面的凹凸形狀對(duì)應(yīng)的凹凸形狀。其結(jié)果是，當(dāng)在無機(jī)絕緣層的表面形成鋁膜時(shí)，鋁膜表面的鏡面性變低。另一方面，如示出實(shí)施例后述的那樣，形成在有機(jī)絕緣層上的鋁膜18表面的鏡面性不受支撐體12表面的凹凸形狀影響而較高。此外，即使在設(shè)置無機(jī)絕緣層的情況下，通過提高支撐體12表面的鏡面性，也能提高形成在無機(jī)絕緣層上的鋁膜18表面的鏡面性。在后述的實(shí)施例中，針對(duì)使電鍍樹脂固化所得的層、使利用噴鍍涂覆附加的尿烷類樹脂固化所得的層、以及使利用浸涂法附加的聚酰胺酸固化所得的層，當(dāng)比較形成在絕緣層16上的鋁膜18表面的鏡面性時(shí)，鋁膜18表面的鏡面性的高低順序是使尿烷類樹脂固化所得的層 > 使電鍍樹脂固化所得的層 > 使聚酰胺酸固化所得的層。當(dāng)形成在絕緣層16上的鋁膜18表面的鏡面性高時(shí)，后形成的多孔氧化鋁層(圖I的(d)所示的多孔氧化鋁層14)表面的平坦性變高。多孔氧化鋁層14表面的平坦性高的蛾眼用模具例如適用于為了形成透明類型的防反射結(jié)構(gòu)的蛾眼用模具的制作。此外，透明類型的防反射結(jié)構(gòu)是指不具有防眩作用的防反射結(jié)構(gòu)。
然后，如圖I的(C)所示，通過在絕緣層16上沉積鋁來形成鋁膜18。鋁膜18例如如圖I的(c)所示，形成于絕緣層16的整個(gè)表面。鋁膜18能通過例如一邊使在外周面上形成有絕緣層16的支撐體12旋轉(zhuǎn)，一邊使鋁蒸鍍來形成。此外，下面，如圖I的(c)所示，將具有支撐體12、形成在支撐體12的外周面上的絕緣層16以及形成在絕緣層16上的鋁膜18的基材稱為模具基材10。接著，如圖I的(d)所示，通過對(duì)鋁膜18的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成在表面具有多個(gè)微細(xì)凹部(細(xì)孔)的多孔氧化鋁層14。這樣，得到在表面具有多孔氧化鋁層14的模具100。模具100的多孔氧化鋁層14是對(duì)形成在支撐體12的外周面上的絕緣層16上所形成的鋁膜18的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化而形成的，因此，在多孔氧化鋁層14的表面沒有接縫。這樣，由于在模具100的表面沒有接縫，因此，能無接縫地轉(zhuǎn)印多孔氧化鋁層14的多個(gè)細(xì)孔被反轉(zhuǎn)的形狀。
此外，以在高分子膜的一端和另一端空出間隙的方式將高分子膜固定到圓筒狀支撐體的外周面上后，對(duì)間隙附加樹脂來形成樹脂層，由此埋住間隙，然后，通過在高分子膜和樹脂層上沉積鋁來形成鋁膜后，對(duì)鋁膜的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化，由此形成多孔氧化鋁層，這樣也能得到形成有無接縫的多孔氧化鋁層的輥狀模具。但是，該輥狀模具在樹脂層的附近產(chǎn)生應(yīng)力集中，由此高分子膜有可能剝離。另外，在轉(zhuǎn)印工序中，樹脂層因?yàn)檗D(zhuǎn)印壓力而易于被剝下，所剝下的樹脂有可能附著于被轉(zhuǎn)印物并在被轉(zhuǎn)印物的表面產(chǎn)生損傷。在利用本發(fā)明的實(shí)施方式的制造方法制作的輥狀模具100中，在支撐體12的外周面上形成有絕緣層16，因此，沒有如上所述的間隙、樹脂層，不會(huì)發(fā)生該問題。本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法如在后面詳述的那樣，能在輥狀蛾眼用模具的制造中使用。如參照?qǐng)DI的(d)所說明的，能在進(jìn)行鋁膜18的陽(yáng)極氧化后，通過重復(fù)蝕刻和陽(yáng)極氧化來制作蛾眼用模具。該蛾眼用模具的制造方法與使用圓筒狀鋁管進(jìn)行陽(yáng)極氧化和蝕刻的情況相比，存在下面的優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)使用鋁管進(jìn)行陽(yáng)極氧化和蝕刻時(shí)，在蝕刻工序中，在鋁管的內(nèi)部所包含的雜質(zhì)元素和其周邊的鋁之間發(fā)生局部電池反應(yīng)，由此有時(shí)形成直徑為Iu m左右的凹陷。在本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法中，鋁膜18通過在絕緣層16上沉積鋁來形成。因此，能形成純度高的鋁膜18。此時(shí)，在上述蝕刻工序中，能抑制局部電池反應(yīng)的發(fā)生，因此，能抑制上述凹陷的發(fā)生。另外，在使用鋁管進(jìn)行陽(yáng)極氧化和蝕刻的情況下，當(dāng)提高純度時(shí)，也能抑制局部電池反應(yīng)的發(fā)生，但有時(shí)鋁管的剛性降低。為了提高剛性，只要添加雜質(zhì)即可，但當(dāng)存在雜質(zhì)時(shí),如上所述在蝕刻工序中，有時(shí)發(fā)生由在雜質(zhì)和雜質(zhì)周邊的鋁之間發(fā)生的局部電池反應(yīng)所導(dǎo)致的凹陷。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的模具的制造方法，即使將包含雜質(zhì)的鋁管用作支撐體12，支撐體12和鋁膜18被絕緣層16絕緣，在鋁膜18中，不會(huì)發(fā)生由鋁管內(nèi)部的雜質(zhì)導(dǎo)致的局部電池反應(yīng)，因此，能將支撐體12設(shè)為期望的純度，設(shè)為期望的剛性。上面以將由鋁、不銹鋼制成的圓筒狀管用作支撐體12的情況為例進(jìn)行了說明，但例如當(dāng)使用金屬套筒時(shí)，也可以在利用電鍍法形成有機(jī)絕緣層后，通過進(jìn)行鋁膜的成膜工序和陽(yáng)極氧化工序來制造模具。另外，當(dāng)使用金屬套筒時(shí)，也可以是通過在金屬套筒的外周面上，用噴鍍涂覆、浸涂法附加固化性樹脂(例如，聚酰胺酸、尿烷類樹脂)來形成固化性樹脂層，之后，通過使固化性樹脂固化來形成絕緣層16。另外，當(dāng)使用金屬套筒時(shí)，也可以在金屬套筒的外周面上形成無機(jī)絕緣層作為絕緣層16。支撐體12是圓筒狀，因此，例如與圓柱狀支撐體相比較輕。因此，用支撐體12制作的模具100、模具基材 10存在操作容易的優(yōu)點(diǎn)。例如，能比較簡(jiǎn)單地進(jìn)行重復(fù)上述陽(yáng)極氧化、后述的蛾眼用模具的制造エ序中的陽(yáng)極氧化工序和蝕刻エ序的作業(yè)。特別是當(dāng)制造用于在大面積防反射膜的制造中使用的輥狀蛾眼用模具時(shí)，模具或者模具基材變大，因此，是有利的。另外，如參照?qǐng)DI說明的那樣，當(dāng)利用電鍍法形成有機(jī)絕緣層時(shí)，除了在電鍍液中浸潰的エ序以外，根據(jù)需要進(jìn)行作為前處理的洗凈エ序、電鍍エ序后的洗凈エ序、燒結(jié)エ序，由于支撐體12較輕，因此，也能比較簡(jiǎn)單地進(jìn)行該エ序。另外，當(dāng)使用用圓柱狀支撐體制作的模具進(jìn)行轉(zhuǎn)印時(shí)，有時(shí)在模具中積存熱。使用圓筒狀支撐體制作的模具也存在能抑制轉(zhuǎn)印エ序中的熱的積蓄的優(yōu)點(diǎn)。如上所述，能將圓筒狀金屬管、金屬套筒用作支撐體12。金屬套筒存在與圓筒狀金屬管相比較輕的優(yōu)點(diǎn)。另ー方面，圓筒狀金屬管與例如具有撓性的金屬套筒相比剛性較高。因此，將金屬管用作支撐體12所制作的模具如上述那樣，存在能直接在輥對(duì)輥方式中使用的優(yōu)點(diǎn)。在此，將具有撓性的金屬套筒用作支撐體12所制作的模具例如能在將芯材插入到金屬套筒的內(nèi)部的狀態(tài)下在輥對(duì)輥方式中使用。用金屬管制作的模具存在不需要如使用具有撓性的金屬套筒制作的模具那樣將芯材插入到內(nèi)部的エ序的優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)將有機(jī)絕緣層設(shè)為絕緣層16時(shí)，有機(jī)絕緣層的厚度從絕緣性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選是例如7 u m以上。本發(fā)明的發(fā)明者在電鍍エ序中，通過改變施加電壓來制作有機(jī)絕緣層的厚度不同的多個(gè)模具基材，調(diào)查絕緣性后發(fā)現(xiàn)，尤其在設(shè)置有厚度為7pm以上的有機(jī)絕緣層的模具基材中得到充分的絕緣性。當(dāng)將有機(jī)絕緣層設(shè)為絕緣層16時(shí)，優(yōu)選在有機(jī)絕緣層和鋁膜18之間例如形成無機(jī)氧化物的無機(jī)基底層。能通過設(shè)置無機(jī)基底層來提高有機(jī)絕緣層與鋁膜18的貼緊性。作為無機(jī)氧化物的層，優(yōu)選例如形成氧化硅層或氧化鈦層。作為無機(jī)基底層，可以形成無機(jī)氮化物的層。作為無機(jī)氮化物的層，優(yōu)選例如是氮化硅層。優(yōu)選在無機(jī)基底層上形成含有鋁的緩沖層。緩沖層起到提高無機(jī)基底層與鋁膜18的貼緊性的作用。另外，緩沖層保護(hù)無機(jī)基底層不受酸的影響。優(yōu)選緩沖層包含鋁和氧或氮。氧或氮的含有率可以是恒定的，特別是，優(yōu)選鋁的含有率具有在鋁膜18側(cè)比無機(jī)基底層側(cè)高的分布。其原因是在熱膨脹系數(shù)等物理值的整合上是優(yōu)異的。緩沖層內(nèi)的鋁的含有率的厚度方向的分布可以階段地變化，也可以連續(xù)地變化。例如，在用鋁和氧形成緩沖層的情況下，以越是接近鋁膜18的層，氧含有率越逐漸降低的方式形成多個(gè)氧化鋁層，在最上層的上面形成鋁膜18。換言之，以鋁的含有率具有在鋁膜18側(cè)比無機(jī)基底層側(cè)高的分布的方式形成多個(gè)氧化鋁層。以越是接近鋁膜18的層，氧含有率越逐漸降低的方式形成多個(gè)氧化鋁層，由此越是接近鋁膜18的層，越能提高熱膨脹系數(shù)，越能接近鋁膜18的熱膨脹系數(shù)。其結(jié)果是，能形成應(yīng)對(duì)通過重復(fù)進(jìn)行比較低溫的陽(yáng)極氧化和比較高溫的蝕刻而產(chǎn)生的熱應(yīng)カ的能力強(qiáng)的、貼緊性聞的招I旲18。例如，在用2個(gè)氧化鋁層構(gòu)成緩沖層的情況下，可以采用以下構(gòu)成無機(jī)基底層(例如SiO2層)側(cè)的氧化鋁層的氧含有率是30at%以上且60at %以下，鋁膜18側(cè)的氧化鋁層的氧含有率是5at%以上且30at%以下，并且2個(gè)氧化鋁層的氧含有率滿足上述關(guān)系。在用3個(gè)氧化鋁層構(gòu)成緩沖層的情況下，可以采用以下構(gòu)成例如，無機(jī)基底層側(cè)的氧化鋁層的氧含有率是35at%以上且60at%以下，中間的氧化鋁層的氧含有率是20at%以上且35at%以下，鋁膜18側(cè)的氧化鋁層的氧含有率是5at%以上且20at%以下，并且3個(gè)氧化鋁層的氧含有率滿足上述關(guān)系。當(dāng)然，也可以用4個(gè)以上的氧化鋁層構(gòu)成緩沖層。此外，可以通過例如X線光電子分光法(ESCA)來求出氧含有率。例如，緩沖層能使用下面的(1)-(3)的3種方法來形成。

(I)使用Ar氣體與O2氣體的混合氣體以及包含氧元素的Al靶并利用反應(yīng)性濺射法進(jìn)行成膜。此時(shí)，優(yōu)選靶中的氧含有率在lat%以上且40at%以下的范圍內(nèi)。當(dāng)靶中的氧含有率不到1&〖％時(shí)，在靶中含有氧的效果消失，當(dāng)超過40&丨％時(shí)，無需使用O2氣體。(2)將純Ar氣體和包含氧元素的Al靶用作濺射氣體并利用反應(yīng)性濺射法進(jìn)行成膜。此時(shí)，優(yōu)選靶中的氧含有率在5at%以上且60at%以下的范圍內(nèi)。當(dāng)靶中的氧含有率不到5at%時(shí)，有時(shí)無法在形成的氧化鋁層中含有充分量的氧，當(dāng)超過60at%時(shí)，有時(shí)所形成的氧化鋁層包含的氧元素的含有率變得過高。當(dāng)無機(jī)基底層側(cè)的氧化鋁層所包含的氧元素的含有率超過60at%時(shí)，有時(shí)無機(jī)基底層(SiO2)與氧化鋁層的貼緊性降低。(3)使用純Al靶并利用反應(yīng)性濺射法進(jìn)行成膜。此時(shí)，將濺射所用的混合氣體的Ar氣體與O2氣體的流量比設(shè)為超過2 : 0且2 : I以下的程度。當(dāng)Ar氣體與O2氣體的流量比超過2 I時(shí)，有時(shí)所形成的氧化鋁層包含的氧元素的含有率變得過高。此外，可以使用包括單一的氧化鋁層的緩沖層。另外，包含鋁和氮的緩沖層也能與上述同樣地形成。另外，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選緩沖層的厚度是Ium以下。如上所述，優(yōu)選當(dāng)用無機(jī)氧化物或無機(jī)氮化物形成無機(jī)基底層時(shí)，通過對(duì)無機(jī)氧化物或無機(jī)氮化物添加雜質(zhì)來使無機(jī)基底層的熱膨脹系數(shù)與相鄰的有機(jī)絕緣層、緩沖層的熱膨脹系數(shù)整合。例如，在將氧化硅層形成為無機(jī)基底層的情況下，通過添加鍺(Ge)、磷(P)或硼(B)來增大熱膨脹系數(shù)。當(dāng)對(duì)氧化硅例如添加5質(zhì)量％的Ge時(shí)，熱膨脹系數(shù)成為約2. 8X 10_6/°C，增大到不添加Ge時(shí)的大約3倍。如上所述，無機(jī)基底層能用濺射法來制作。例如，能用DC反應(yīng)性濺射法、RF濺射法來制作。優(yōu)選無機(jī)基底層的厚度是500nm以下,進(jìn)一步優(yōu)選是300nm以下。當(dāng)無機(jī)基底層較厚時(shí)，無機(jī)基底層的形成時(shí)間不必要地變長(zhǎng)。另外，當(dāng)無機(jī)基底層的厚度超過500nm時(shí)，根據(jù)由無機(jī)基底層和鋁膜18之間的熱膨脹系數(shù)的不同導(dǎo)致的熱應(yīng)力(剪切應(yīng)力)，有時(shí)鋁膜18的貼緊性降低。從鋁膜18的貼緊性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選無機(jī)基底層的厚度是50nm以上?？梢韵氲疆?dāng)用濺射法進(jìn)行成膜時(shí)，當(dāng)膜內(nèi)產(chǎn)生一定量以上的針孔時(shí)，貼緊性降低，因此，優(yōu)選針孔少。從抑制針孔的產(chǎn)生的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選無機(jī)基底層的厚度是70nm以上。例如，在利用RF濺射法形成 15nm、30nm、50nm、70nm、lOOnm、150nm 以及 300nm 這 7 種 SiO2 層后，在是 50nm 以上的情況下，貼緊性不存在問題，在是厚度為70nm以上的情況下，能抑制針孔的產(chǎn)生。
另外，優(yōu)選當(dāng)將有機(jī)絕緣層設(shè)為絕緣層16時(shí)，進(jìn)行有機(jī)絕緣層表面的等離子灰化。能通過進(jìn)行等離子灰化來提高有機(jī)絕緣層與形成在有機(jī)絕緣層上的鋁膜18的貼緊性。下面，示出制作鋁膜的成膜條件不同的多個(gè)模具基材(圖I的(C)所示的模具基材10)，對(duì)由成膜條件的不同造成的對(duì)鋁膜的貼緊性的影響進(jìn)行調(diào)查的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。如下所示，以6種成膜條件制作模具基材。此外，下面將以6種成膜條件形成的模具基材稱為模具基材30A、30B、30C、30D、30E以及30F。首先，準(zhǔn)備由不銹鋼制成的基板(5cmX10cm)。下面，在基板的表面利用電鍍法形成厚度為15pm的有機(jī)絕緣層。作為電鍍樹脂，使用丙烯酸三聚氰胺樹脂。下面，如下所示，改變成膜條件來形成鋁膜。
模具基材30A在有機(jī)絕緣層(厚度為15 y m的丙烯酸三聚氰胺層)的表面直接形成厚度為Ium的鋁膜。在模具基材30B中，在對(duì)有機(jī)絕緣層的表面進(jìn)行等離子灰化后，利用濺射法按順序形成厚度為IOOnm的無機(jī)基底層(SiO2層)；緩沖層(AI0層(厚度為150nm)及以越接近鋁膜則氧含有率越逐漸降低的方式形成的氧化鋁層(厚度為150nm));以及Ium的鋁膜。在模具基材30C中，在進(jìn)行等離子灰化后，按順序形成厚度為IOOnm的SiO2層；緩沖層(AI0層(厚度為200nm)及以越接近鋁膜則氧含有率越逐漸降低的方式形成的氧化鋁層(厚度為200nm));以及Iym的鋁膜。在模具基材30D和30E中，在進(jìn)行了等離子灰化后，形成厚度與模具基材30C相同的SiO2層、具有與模具基材30C的緩沖層相同的構(gòu)成且厚度相同的緩沖層。模具基材30C與模具基材30D及30E的鋁膜的濺射功率不同。模具基材30D及30E與模具基材30B及30C相比，降低了形成鋁膜時(shí)的濺射功率。另外，模具基材30E與模具基材30B、30C以及30D相比，提高了形成AIO層時(shí)的濺射功率。在模具基材30F中，在進(jìn)行等離子灰化后，按順序形成厚度為IOOnm的SiO2層；緩沖層(AI0層(厚度為400nm)及以越接近鋁膜則氧含有率越逐漸降低的方式形成的氧化鋁層(厚度為400nm));以及I y m的鋁膜。鋁膜和AIO層的濺射功率設(shè)為與模具基材30E相同。如下所示，利用剝離試驗(yàn)對(duì)模具基材30A 30F的鋁的貼緊性進(jìn)行了評(píng)價(jià)。在形成在有機(jī)絕緣層上的鋁膜中，用裁紙刀形成有5X5個(gè)I份為IcmX Icm的正方形格子。此外，斷縫到達(dá)有機(jī)絕緣層的表面。將粘貼膠帶(由帕瑪色魯(パーマセル)株式會(huì)社生產(chǎn)的聚酰亞胺膠帶)貼緊到形成斷縫的區(qū)域的鋁膜后，剝下粘貼膠帶，按照與粘貼膠帶一起被剝下的份數(shù)對(duì)鋁膜的貼緊性進(jìn)行了評(píng)價(jià)。如果剝離份數(shù)是5張以下，則判斷貼緊性是充分的。在表I中示出結(jié)果。另外，在磷酸水溶液中浸潰100分鐘，對(duì)鋁膜的貼緊性進(jìn)行了研究。磷酸水溶液被用作后述的蛾眼用模具的制造エ序的蝕刻液。因此，若將模具基材浸潰到磷酸水溶液中時(shí)發(fā)生鋁膜的剝離，則存在當(dāng)使用模具基材進(jìn)行蛾眼用模具的制造エ序時(shí)，鋁膜剝離，無法制造期望的蛾眼用模具的可能性。針對(duì)浸潰到磷酸水溶液時(shí)的鋁膜的貼緊性，以目測(cè)對(duì)水溶液有無白濁進(jìn)行了研究。關(guān)于表I的“磷酸水溶液浸潰后的水溶液的白池”，示為，◎:幾乎無白濁、〇少量白濁、A :白濁。
而且，通過使用模具基材30A 30F重復(fù)進(jìn)行陽(yáng)極氧化和蝕刻來制作蛾眼用模具。蛾眼用模具通過交替地進(jìn)行5次陽(yáng)極氧化工序和蝕刻エ序(5次陽(yáng)極氧化，4次蝕刻)來制作。陽(yáng)極氧化工序是使用草酸水溶液(濃度為0. 3wt%，液溫為18°C )并施加80V進(jìn)行37秒鐘，蝕刻エ序是使用磷酸水溶液(濃度為lmol/1，液溫為30°C )進(jìn)行29分鐘。針對(duì)得到的蛾眼用模具進(jìn)行與上述相同的剝離試驗(yàn)。在表I中示出結(jié)果。[表I]
權(quán)利要求
1.一種在表面具有多孔氧化鋁層的模具的制造方法，包含 工序(a)，準(zhǔn)備圓筒狀支撐體； 工序(b)，在上述圓筒狀支撐體的外周面上形成絕緣層； 工序(C)，通過在上述絕緣層上沉積鋁來形成鋁膜；以及 工序(d)，通過對(duì)上述鋁膜的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成具有多個(gè)微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制造方法， 上述絕緣層是有機(jī)絕緣層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法， 上述工序(b)包括 工序(e)，在上述圓筒狀支撐體的上述外周面上，通過附加固化性樹脂來形成固化性樹脂層；以及 工序(f)，使上述固化性樹脂固化。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的制造方法， 上述工序(e)包括利用電鍍法形成上述固化性樹脂層的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的制造方法， 上述工序(e)包括利用噴鍍涂覆形成上述固化性樹脂層的工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述固化性樹脂包含丙烯酸三聚氰胺。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至5中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述固化性樹脂包含尿烷。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至5中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述固化性樹脂包含聚酰胺酸。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至8中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述圓筒狀支撐體是圓筒狀金屬管。
10.根據(jù)權(quán)利要求I至8中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述圓筒狀支撐體是金屬套筒。
11.一種在表面具有多孔氧化鋁層的模具的制造方法，包含 工序(a)，準(zhǔn)備輥狀支撐體和筒狀樹脂膜； 工序(b)，使上述筒狀樹脂膜貼緊到上述輥狀支撐體的外周面上； 工序(C)，通過在上述筒狀樹脂膜上沉積鋁來形成鋁膜；以及 工序(d)，通過對(duì)上述鋁膜的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成具有多個(gè)微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造方法， 上述筒狀樹脂膜是聚酰亞胺膜。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造方法， 在上述工序(a)和(b)中，上述聚酰亞胺膜的酰亞胺化率是99%以下。
14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述輥狀支撐體是具有撓性的金屬套筒，上述工序(b)包括 使上述金屬套筒撓曲的工序； 在使上述金屬套筒撓曲的狀態(tài)下，將上述金屬套筒插入上述筒狀樹脂膜的工序；以及 通過使上述金屬套筒的撓曲復(fù)原來使上述筒狀樹脂膜貼緊到上述金屬套筒的外周面上的工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求I至14中的任一項(xiàng)所述的制造方法， 上述多孔氧化鋁層具有從表面的法線方向看時(shí)2維大小為50nm以上且不到500nm的多個(gè)凹部， 還包含工序(g)，通過使上述多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸來使上述多孔氧化鋁層的上述多個(gè)微細(xì)凹部擴(kuò)大；以及 工序(h)，在上述工序(g)后，通過進(jìn)一步對(duì)上述鋁膜的上述表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來使上述多個(gè)微細(xì)凹部生長(zhǎng)， 在上述工序(h)后，進(jìn)一步進(jìn)行上述工序(g)和上述工序(h)。
16.一種利用權(quán)利要求I至15中的任一項(xiàng)所述的制造方法制作的模具， 具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向看時(shí)2維大小為50nm以上且不到500nm的多個(gè)微細(xì)凹部。
17.—種防反射膜的制造方法,包含 準(zhǔn)備權(quán)利要求16所述的模具和被加工物的工序；以及 在上述模具和上述被加工物的表面之間附加了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過對(duì)上述紫外線固化樹脂照射紫外線來固化上述紫外線固化樹脂的工序。
18.—種防反射膜的制造方法,包含 準(zhǔn)備權(quán)利要求16所述的模具、輥狀芯材以及被加工物的工序； 將上述輥狀芯材插入上述金屬套筒的內(nèi)側(cè)的工序；以及 在上述模具和上述被加工物的表面之間附加了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過對(duì)上述紫外線固化樹脂照射紫外線來固化上述紫外線固化樹脂的工序。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供簡(jiǎn)單地制造在表面具有多孔氧化鋁層的無接縫的輥狀模具的方法，本發(fā)明的模具的制造方法是在表面具有多孔氧化鋁層的模具(100)的制造方法，包含準(zhǔn)備圓筒狀支撐體(12)的工序；在圓筒狀支撐體的外周面上形成絕緣層(16)的工序；通過在絕緣層上沉積鋁來形成鋁膜(18)的工序；以及通過對(duì)鋁膜(18)的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化來形成具有多個(gè)微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層(14)的工序。
文檔編號(hào)B29L7/00GK102770254SQ20118001046
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2011年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月24日
發(fā)明者林秀和, 石動(dòng)彰信, 箕浦潔 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社