專利名稱：載料器傳送裝置和應用該裝置傳送載料器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種載料器例如晶片承載器的傳送裝置和應用該裝置傳送載料器的方法。特別是本發(fā)明涉及這樣一種載料器傳送裝置，它包括能夠同時識別用于校正機器人手臂位置的圖像標記和待傳送載料器的條形碼的影像識別裝置，替代了識別條形碼的單獨裝置，以及一種用該載料器傳送裝置傳送該載料器的方法。
一般而言，半導體生產(chǎn)線考慮到工作效率，它包括多個場地、多個空間等工作區(qū)。例如，預定的加工過程在安裝在這些場地的諸多半導體生產(chǎn)設(shè)備中進行。在各個設(shè)備中待加工的晶片承載器主要由操作者來傳送。
這時，由于這些操作者所產(chǎn)生的諸多微粒的存在，半導體芯片可能被污染。近來，對該晶片承載器傳送自動化作了積極的研究，使這些半導體芯片的污染降至最小，而且該自動化的開發(fā)達到了相當?shù)乃健?br> 該晶片承載器的自動傳送以這樣的方式進行，該晶片承載器從料庫中運出，并由一晶片承載器的傳送裝置傳送到一相關(guān)的設(shè)備中。
特別是，當該晶片承載器從該料庫中出來，一具有該晶片承載器信息的條形碼附著在該晶片承載器上。一條形碼識別裝置讀該條形碼，并將讀出的信息傳輸?shù)揭恢饔嬎銠C。該主計算機將該晶片承載器的信息傳輸?shù)皆撓嚓P(guān)的設(shè)備。
以后，該晶片承載器裝在該晶片承載器的傳送裝置上。該晶片承載器的傳送裝置沿著一預置的運輸線移動。當該晶片承載器的傳送裝置到達該設(shè)備的前面時，裝在該晶片承載器傳送裝置中的影像識別裝置識別一附著在該設(shè)備上的位置校正圖像標記。
根據(jù)該識別到的信息，一機器人手臂的位置被校正，用該機器人手臂將該晶片承載器裝在該設(shè)備上。該設(shè)備然后查驗從主計算機傳輸來的該晶片承載器的信息并執(zhí)行隨后的加工。
然而，因為在由于系統(tǒng)失誤而將晶片承載器意外地裝在其他設(shè)備上時，不能查驗該晶片承載器的信息，會使這種傳送該晶片承載器的方法失敗。
為克服這一缺陷，近來，一種能讀該晶片承載器上的條形碼的條形碼識別裝置提供在該設(shè)備中。換句話說，當裝在該設(shè)備中的條形碼識別裝置讀裝在該設(shè)備的一載料器的該晶片承載器上的條形碼時，該條形碼信息輸入到該設(shè)備的一控制部件。該控制部件查驗該輸入的條形碼信息是否與從該主計算機傳輸來的該條形碼信息相同。如果相同，則執(zhí)行該加工。
然而，由于安裝在各個設(shè)備中的這些條形碼識別裝置價格昂貴，因此該方法增加了安裝成本。
此外，由于要停下該設(shè)備的工作，在其內(nèi)安裝該條形碼識別裝置，因而該方法降低了生產(chǎn)率。
因此，本發(fā)明的目的是去除附加安裝的條形碼識別裝置而提供一影像識別單元，替代該條形碼識別裝置，該單元能夠同時識別用來校正一機器人手臂位置的圖像標記和一晶片承載器的條形碼。
根據(jù)本發(fā)明的一方面的內(nèi)容，一傳送載料器的裝置包括一在其上安裝該載料器的支承件；一從該支承件卸下該載料器并將該卸下的載料器安裝在一加工設(shè)備上，或從加工設(shè)備卸下該載料器，并將該卸下的載料器安裝在該支承件上的機器人手臂；一用來支承和移動所說支承件和所說的機器人手臂的運輸單元；以及一安裝在該機器人手臂中的影像識別單元，以便同時識別一附著在該載料器上的條形碼和一用來校正該機器人手臂位置的圖像標記，該圖像標記附著在設(shè)備中。
作為最佳方案，該影像識別單元可以是一CCD攝影機。該CCD攝影機包括一具有焦距的鏡頭，它使該條形碼和該圖像標記的攝影清晰；一CCD傳感器，它響應于來自該鏡頭的入射光通量，輸出一影像信號；以及與該鏡頭可拆地連接的殼體，它包封該CCD傳感器。
作為本發(fā)明的一個實施例，該鏡頭的焦距為25mm，在工作距離為250mm、視野為52mm的條件下，該圖像標記的寬度為52mm。
作為選擇方案，該CCD攝影機還可包括一與該鏡頭連接的伸縮環(huán)，從而可使該鏡頭的焦距更精細地調(diào)節(jié)。在該工作距離為250mm、該視野為52mm以及該鏡頭的焦距為25mm的條件，該伸縮環(huán)的焦距為3mm。為了更精確地測量，在該工作距離為200mm、該視野為52mm以及該鏡頭的焦距為25mm的條件下，該伸縮環(huán)的焦距為3mm。
根據(jù)本發(fā)明另一方面的內(nèi)容，第一條形碼信息從一晶片承載器上的該條形碼讀出，并傳輸?shù)揭恢饔嬎銠C。該晶片承載器裝在一晶片承載器傳送裝置的支承件上，并移動到一加工設(shè)備。當一與該晶片承載器傳送裝置的一機器人手臂連接的CCD攝影機對著該條形碼時，第二條形碼信息從該條形碼讀出并傳輸?shù)皆撝饔嬎銠C。然后確定，第一條形碼信息是否與第二條形碼信息相同。如果相同，則移動該CCD攝影機到該設(shè)備上方預定距離的某一位置，從而使該CCD攝影機相互隔開地對著用于該設(shè)備位置校正的圖像標記。然后，從該圖像標記檢測出一系列實際坐標值。將檢測到的一系列坐標值與一系列參考值相比較，以便計算誤差值。根據(jù)該計算出的誤差值，校正該晶片承載器的安裝位置。然后，使該晶片承載器安裝在校正過的位置上。
作為最佳方案，該預定距離為250mm，該CCD攝影機鏡頭的焦距為25mm，該圖像標記的寬度為52mm。
根據(jù)本發(fā)明的最佳實施例，一晶片承載器的傳送裝置包括在其上安裝該晶片承載器的支承件；一從該支承件卸下該晶片承載器并將該卸下的晶片承載器安裝在一加工設(shè)備上，或從加工設(shè)備卸下該晶片承載器，并將卸下的晶片承載器安裝在該支承件上的機器人手臂；一支承和移動該支承件和該機器人手臂的運輸單元；以及一安裝在該機器人手臂中的CCD攝影機，以便同時識別一附著在該晶片承載器上的條形碼和一用來校正該機器人手臂位置的圖像標記，該圖像標記安裝在設(shè)備中，其中，該CCD攝影機包括一具有焦距的鏡頭，它使該條形碼和該圖像標記的攝影清晰；一CCD傳感器，它響應于來自該鏡頭的入射光通量，輸出一影像信號；以及與該鏡頭可拆地連接的殼體，它包封該CCD傳感器。在工作距離為250mm及視野為52mm的條件下，該鏡頭的焦距為25mm，該圖像標記的寬度為52mm。
本發(fā)明上述目的和其它優(yōu)點將通過參照附圖對本發(fā)明最佳實施作詳細描述而變得更加明顯，其中

圖1為根據(jù)本發(fā)明的半導體生產(chǎn)線設(shè)備布置簡略方框圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明傳送載料器的裝置實施例的簡略透視圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明的影像識別單元實施例的簡略透視圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明的另一個影像識別單元實施例的簡略透視圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明用于位置校正的圖像標記實施例的頂視圖；以及圖6為表示根據(jù)本發(fā)明的載料器傳送裝置的影像識別單元的攝影過程。
以下將參照附圖更全面地說明本發(fā)明，在諸附圖中表示了本發(fā)明的最佳實施例。然而，本發(fā)明可以按多種不同的形式來實施，不應限于以下給出的這些實施例。然而這些實施例是這樣提出的，它的披露是全面徹底的，對于本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，完全表達了本發(fā)明的范圍。
為便于說明，本發(fā)明將通過布置在一半導體生產(chǎn)線場地的一些設(shè)備的實例來說明，而一載料器描述為一晶片承載器。
如圖1所示，多眾的加工設(shè)備在一通道11的兩側(cè)按預定的間隔布置，一傳送晶片承載器51的晶片承載器的傳送裝置60沿該通道11設(shè)置。從一料庫40卸出多個該晶片承載器并將這些晶片承載器安裝在這些晶片承載器傳送裝置60上的一系列設(shè)備設(shè)置在該通道11的一端部區(qū)域。
換句話說，該料庫40、一機械接口運輸器(MIC)50和一工作臺30布置在該區(qū)域內(nèi)。在該料庫40內(nèi)，儲存眾多具有多個晶片承載器51的承載器盒。這些晶片承載器51在傳送到該料庫40前后暫時在該MIC 50上等待，且這些晶片承載器51的等待狀態(tài)由該MIC 50識別。操作者將這些承載器盒放在該工作臺30上，并將該晶片承載器從該承載器盒中取出。
該MIC 50包括一出口53，從該料庫40運出的晶片承載器在裝到該傳送裝置50以前在該出口53內(nèi)等待；以及一進口52，從該晶片承載器傳送裝置60卸下的該晶片承載器51在運進該料庫40以前在該進口52內(nèi)等待。一般地說，該進口52和出口53由一運輸帶組成。
此外，一用來識別具有與該晶片承載器51有關(guān)信息的條形碼識別單元54安裝在該出口53內(nèi)，該晶片承載器51等待裝到該傳送裝置60上，例如根據(jù)一般用于半導體生產(chǎn)60條形碼39規(guī)則形成的條形碼。
另一方面，一用于位置校正、包括分別具有預定直徑的三個圓形標記的圖像標記21水平地形成在該加工設(shè)備20上。
參照圖1至圖3，根據(jù)本發(fā)明傳送晶片承載器的方法和裝置，以下將作更為詳細的描述。
如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的該晶片承載器傳送裝置60包括一在其上安裝一晶片承載器51的支承件62；一機器人手臂63，它用來將該晶片承載器51從該支承件62卸下并裝在該加工設(shè)備20上或裝在該MIC 50的進口52，或?qū)⒃摼休d器51從該加工設(shè)備20或從該MIC 50的出口53卸下并裝在該支承件62上；一運輸單元61，它用來支承該支承件62和該機器人手臂63，并沿著該通道11來回運動；一CCD攝影機70，它同時識別用來校正該機器人手臂63位置的一圖像標記和該晶片承載器51的一條形碼。
該CCD攝影機70安裝在用來夾持該晶片承載器51的機器人手臂63的夾持件65的前表面。該CCD攝影機70的鏡頭面對該支承件而安裝。
參照圖3，該CCD攝影機70包括一鏡頭71，其焦距在相同條件下使該晶片承載器51的條形碼和用來在該加工設(shè)備20上作位置校正的圖像碼21清晰地攝影；一CCD傳感器74，它響應于從該鏡頭71入射的光通量，輸出一影像信號；以及一殼體75，它與該鏡頭可拆地連接，該CCD傳感器安裝在其內(nèi)。
重要的是選擇一合適的鏡頭71，以便該CCD攝影機70能夠在相同條件下清晰地攝影該晶片承載器51的條形碼51a和該加工設(shè)備20上的圖像標記21。
該鏡頭71的選擇可通過兩種方法來進行。一種方法是選擇一種鏡頭71，能夠精確識別該條形碼51a并根據(jù)所選擇的鏡頭71調(diào)整該圖像標記的尺寸。另一種方法是選擇一種鏡頭71，它適合于該圖像標記21，并根據(jù)所選擇的鏡頭71，調(diào)整該條形碼51a的形狀。然而實際上很難改變該條形碼51a的形狀。因此，本發(fā)明將通過第一種方法的實例來描述，該方法選擇能夠精確識別該條形碼51a的鏡頭71，然后根據(jù)所選擇的鏡頭71，調(diào)整該圖像標記21的尺寸。
一傳統(tǒng)的CCD攝影機采用焦距為12mm的一鏡頭71和一半英寸的CCD傳感器74，可以從距離為250mm處攝影一圖像標記21。此時視野(FOV)的寬度大約為110mm。這意味著，當該CCD攝影機用12mm焦距的鏡頭在距離為250mm處攝影時，該圖像標記在寬度為110mm的區(qū)域內(nèi)可被清晰地攝影。
然而，包含在該傳統(tǒng)CCD攝影機70之內(nèi)的12mm焦距和110mm視野的鏡頭不能對具有32mm寬度的該條形碼精確地聚焦。
因此，在本發(fā)明中，將選擇一種也能夠精確識別該條形碼51a的鏡頭。作為選擇能夠精確識別該條形碼51a的鏡頭71的條件，該工作距離為250mm，以及該條形碼51a的寬度為32mm、400個像素。相應地，該視野確定為52mm。所以，選擇了焦距為25mm的鏡頭。
此外，改變該圖像標記以適合所選鏡頭71的52mm視野。
參照圖5，該圖像標記21包括在一矩形墊片21a上以相同的間隔形成的三個圓形標記21b、21c和21c′。為了適合該鏡頭71的52mm視野，該墊片21a的寬度為52mm，該中心圓標記21b的直徑為5mm，另二個圓形標記21c和21c′的直徑為8mm。
下面將描述用該晶片承載器傳送裝置傳送這些晶片承載器的方法。
首先，操作者將該晶片承載器盒從該料庫40中取出，并將該承載器盒放在該工作臺30上。操作者然后從該承載器盒取出該晶片承載器51，將一條形碼51a附著在該晶片承載器51上，并把該晶片承載器51放在該MIC 50的該出口53內(nèi)。
放在該出口53內(nèi)的該晶片承載器51由安裝在該出口53下的一運輸器向著該通道11移動。在移動期間，一條形碼閱讀器54，即一條形碼識別裝置，讀附著在該晶片承載器51上的該條形碼51a。該讀出的條形碼信息然后被傳輸?shù)讲Υ嬖谠撝饔嬎銠C內(nèi)。
此后，該晶片承載器傳送裝置60從該主計算機接收到一條傳送該晶片承載器51的指令，通過該通道11向該MIC 50接近。然后，該機器人手臂63的該夾持件64夾持該晶片承載器51，并把該晶片承載器裝在支承件62上。此后，裝在該支承件62上的該晶片承載器51由該晶片承載器傳送裝置60沿著一預置的運輸路線向著該加工設(shè)備20移動。
當該晶片承載器的傳送裝置60到達該加工設(shè)備20的前方，該機器人手臂63移動該CCD攝影機到某一位置，此時，相對于該附著在該晶片承載器51上面的該條形碼的攝影距離大約為250mm。
如圖6所示，該CCD攝影機70攝影該晶片承載器51的條形碼，并將對應于該被攝影的條形碼51a的一影像信號傳輸給該主計算機。然后，該主計算機將該對應于該影象信號的條形碼信息與在該晶片承載器在該出口53移動時由該條形碼閱讀器54讀出的該條形碼信息進行比較，來確定從其中分別讀出過條形碼信息的這兩個晶片承載器51是否相同。如果確定這兩晶片承載器51相同，該主計算機命令該晶片承載器的傳送裝置60將該晶片承載器51裝在該加工設(shè)備20上。
根據(jù)來自該主計算機的裝入指令，該機器人手臂63將該CCD攝影機70移動到某一位置上，此時，相對于位于該加工設(shè)備20一預定區(qū)域上的該圖像標記21的攝影距離大約為250mm。
該CCD攝影機70對該圖像標記21進行攝影，并把該圖像標記21的一些實際坐標值傳輸?shù)皆摼休d器的傳送裝置60的一控制部件。該控制部件將該傳輸?shù)降囊恍嶋H坐標值與預置的一些參考坐標值進行比較，并計算誤差值。根據(jù)該誤差值，該機器人手臂63的晶片承載器的裝入位置得以校正。
此后，該機器人手臂63的夾持件65夾持該晶片承載器51并將該晶片承載器裝在該加工設(shè)備的正確位置上。
此后，該被裝晶片預定的加工由該加工設(shè)備來完成。
如上所述，本發(fā)明由于應用安裝在該晶片承載器的傳送設(shè)備中的CCD攝影機同時識別該加工設(shè)備上的該圖像標記和該晶片承載器的該條形碼，替代應用一CCD攝影機和條形碼閱讀器分別識別該圖像標記和該條形碼，從而降低了成本，否則安裝多臺條形碼識別裝置會提高成本；并提高了生產(chǎn)率，否則需要把加工設(shè)備停下來，安裝這些條形碼識別裝置從而使生產(chǎn)率下降。
此外，如圖4所示的本發(fā)明該CCD攝影機70的另一個實施例，在該鏡頭171和殼體175之間還包括一伸縮環(huán)172，以便更精確地調(diào)整該鏡頭171的焦距。
雖然在第一實施例中，對于該CCD攝影機，選擇了焦距為25mm的鏡頭，而在該工作距離為250mm、視野為52mm的情況下，當更精確計算時，可取的焦距為27.4mm。然而，實際生產(chǎn)鏡頭的焦距限定在一定精密程度內(nèi)。所以，對于27.4mm焦距值，選擇最接近的焦距值為25mm的鏡頭。
于是，為了從25mm焦距的鏡頭獲得與27.4mm焦距鏡頭相同的效果，一3mm焦距的伸縮環(huán)172與該殼體175相耦合。
當用該包括該伸縮環(huán)172的CCD攝影機對該條形碼51a和該圖像標記21進行攝影時，當該工作距離為200mm時，該視野的寬度大約為55mm；當該工作距離為250mm時，該視野寬度為66mm。這就意味著，當用25mm焦距的鏡頭171在距離為200mm處對該條形碼51a和該圖像標記21進行攝影時，55mm的寬度區(qū)域清晰可見；而在250mm距離處，66mm的寬度區(qū)域清晰可見。
如前所述，包括該伸縮環(huán)的該CCD攝影機能夠更精確地調(diào)整該鏡頭的該焦距，藉此可更精確地識別該條形碼和該圖像標記。
以上用傳送晶片承載器的傳送裝置描述了本發(fā)明。然而明顯的是，本發(fā)明可修改為其它包括用在一半導體生產(chǎn)線的一影像識別單元的傳送裝置。此外，以上采用該CCD攝影機描述了該影像識別單元。然而，也同樣明顯的是，其它一些裝置也可用作該影像識別單元。
此外，在本發(fā)明中，首先選擇能夠精確識別該條形碼和該圖像標記的鏡頭，然后調(diào)整該圖像標記的尺寸。然而，也可先選擇適合于該圖像標記的鏡頭，再調(diào)整該條形碼的形狀。
如前所述，根據(jù)本發(fā)明，該晶片承載器的條形碼和用于位置校正的該圖像標記，可以通過改變安裝在傳送多個晶片承載器的該晶片承載器傳送裝置中該影像識別單元的該鏡頭和改變附著在該加工設(shè)備上的該圖像標記，同時進行識別。因此，不需要單獨的用于識別該條形碼的條形碼閱讀器。這可降低安裝成本。此外，不需要將該加工設(shè)備停下來安裝該條形碼閱讀器。這導致生產(chǎn)率的提高。
以上參照多個實施例對本發(fā)明進行了描述，然而明顯的是，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在以上描述的啟示下，多種替換、修改和變型的方案將是顯而易見的。因此，本發(fā)明包括所有這種替換、修改和變型，因為它們都落入所附權(quán)利要求的精神和保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1．一種傳送載料器的裝置，包括一在其上安裝所說載料器的支承件；一機器人手臂，從所說支承件卸下所說載料器并將所說的載料器安裝在一加工設(shè)備上，或從所說的加工設(shè)備卸下所說的載料器，并將所說的載料器裝在所說的支承件上；一用來支承和移動所說支承件和所說的機器人手臂的運輸單元；以及一安裝在所說機器人手臂上的影像識別裝置，用來同時識別一附著在所說載料器上的條形碼和一用來校正所說加工設(shè)備上的安裝位置的圖像標記。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所說裝置，其特征在于，所說的影像識別裝置為一CCD攝影機。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所說的裝置，其特征在于，所說的CCD攝影機包括一鏡頭，其具有一焦距使其能清晰攝影所說的條形碼和所說的圖像標記；一CCD傳感器，它響應于來自所說鏡頭的入射光通量，輸出一影像信號；以及一殼體，所說的鏡頭與它可拆地連接，所說的CCD傳感器安裝在其內(nèi)。
4．根據(jù)權(quán)利要求3所說的裝置，其特征在于，所說的鏡頭，在一工作距離為250mm以及一視野為52mm的條件下，具有25mm的焦距。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所說的裝置，其特征在于，所說的圖像標記的寬度為52mm。
6．根據(jù)權(quán)利要求3所說的裝置，其特征在于，所說的CCD攝影機還包括一與所說鏡頭連接的伸縮環(huán)，用來更細微地調(diào)整所說鏡頭的所說焦距。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所說的裝置，其特征在于，所說的伸縮環(huán)，在工作距離為250mm、視野為52mm以及所說鏡頭的所說焦距為25mm的條件下，具有3mm的焦距。
8．根據(jù)權(quán)利要求6所說的裝置，其特征在于，所說的伸縮環(huán)，在工作距離為200mm、視野為52mm以及所說鏡頭的所說焦距為25mm的條件下，具有3mm的焦距。
9．根據(jù)權(quán)利要求1所說的裝置，其特征在于，所說的載料器為一晶片承載器。
10．一種傳送一晶片承載器的方法，包括以下步驟從所說的晶片承載器的一條形碼讀取第一條形碼信息，并把所說第一條形碼信息傳輸給一主計算機；將所說的晶片承載器裝在一晶片承載器的傳送裝置的一支承件上，并將所說的晶片承載器移向相關(guān)的加工設(shè)備；將安裝在所說晶片承載器傳送裝置機器人手臂上的一CCD攝影機移動到一對著所說條形碼的上部并隔開一預定距離的位置，從所說的條形碼讀取第二條形碼信息，并把所說的第二條形碼信息傳輸給所說的主計算機；確定所說的第一條形碼信息是否等于所說的第二條形碼信息；如果確定所說的第一條形碼信息等于所說的第二條形碼信息，則移動所說的CCD攝影機到對著用于在所說加工設(shè)備上的位置校正的圖像標記上部并隔開一預定距離的位置，檢測所說圖像標記的實際坐標值，通過將檢測到的所說的實際坐標值與參考值比較，計算誤差值，并根據(jù)所說的誤差值，校正所說晶片承載器的裝入位置；以及將所說的晶片承載器安裝在校正過的裝入位置上。
11．根據(jù)權(quán)利要求10所說的方法，其特征在于，所說的預定距離為250mm，所說的CCD攝影機的所說鏡頭具有25mm的焦距，以及所說圖像標記的寬度為52mm。
12．一種傳送晶片承載器的裝置，包括一在其上安裝所說晶片承載器的支承件；一機器人手臂，從所說支承件卸下所說的晶片承載器并將所說的晶片承載器安裝在一加工設(shè)備上，或從所說的加工設(shè)備卸下所說的晶片承載器并將所說的晶片承載器安裝在所說的支承件上；一用來支承和移動所說支承件和所說機器人手臂的運輸單元；以及一安裝在所說機器人手臂上的CCD攝影機，用來同時識別一附著在所說晶片承載器上的條形碼和一用于在所說加工設(shè)備上的位置校正的圖像標記，其中，所說的CCD攝影機包括一鏡頭，其具有一焦距，它可清晰攝影所說的條形碼和所說的圖像標記；一CCD傳感器，它響應于來自所說鏡頭的入射光通量，輸出一影像信號；以及一殼體，所說的鏡頭與它可拆地連接，所說的CCD傳感器安裝在其內(nèi)，以及在工作距離為250mm、視野為52mm的條件下，所說的鏡頭的焦距為25mm，所說的圖像標記的寬度為52mm。
13．根據(jù)權(quán)利要求12所說的裝置，其特征在于，所說的CCD攝影機還包括一與所說鏡頭連接的伸縮環(huán)，用來更細微地調(diào)整所說鏡頭的所說焦距。
全文摘要
一種傳送晶片承載器的裝置,通過改變它的鏡頭和一圖像標記的尺寸,可同時識別該晶片承載器的條形碼和附著在加工設(shè)備上的用于位置校正的該圖像標記。從而不需要單獨的條形碼閱讀器來識別該條形碼,這樣減少了安裝成本。此外,不要求該加工設(shè)備停下來安裝該條形碼閱讀器,因而提高了生產(chǎn)率。
文檔編號B65G1/00GK1220963SQ98109309
公開日1999年6月30日 申請日期1998年5月26日 優(yōu)先權(quán)日1997年12月26日
發(fā)明者安正三, 樸權(quán)洙 申請人:三星電子株式會社