本公開(kāi)涉及真空類(lèi)設(shè)備的傳動(dòng)，具體涉及一種傳動(dòng)裝置、輸送裝置和真空設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、真空類(lèi)設(shè)備廣泛用于半導(dǎo)體或者光伏材料制造。真空類(lèi)設(shè)備通常需要在真空的腔體外和腔室內(nèi)使用各種傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，通過(guò)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)由真空的腔體外向腔室內(nèi)的動(dòng)力傳遞，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)真空的腔室內(nèi)的物料輸送、精確定位等功能。

2、在真空設(shè)備的腔室內(nèi)需要多個(gè)運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)時(shí)，需要在真空設(shè)備的腔體上開(kāi)多個(gè)孔。腔體外的動(dòng)力源需要通過(guò)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)腔室內(nèi)的運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。因此，傳動(dòng)結(jié)構(gòu)需要穿過(guò)孔，并且孔需要密封。這就導(dǎo)致真空設(shè)備腔體上的密封的孔較多，增加了真空設(shè)備的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種傳動(dòng)裝置、輸送裝置和真空設(shè)備，解決了由于真空設(shè)備腔體上的開(kāi)孔較多，導(dǎo)致真空設(shè)備的泄漏風(fēng)險(xiǎn)高的問(wèn)題。

2、第一方面，本公開(kāi)的實(shí)施例提供了一種傳動(dòng)裝置，應(yīng)用于真空設(shè)備，所述真空設(shè)備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述傳動(dòng)裝置包括：動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)，所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于所述腔室的外側(cè)，與動(dòng)力源連接，所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過(guò)所述腔體進(jìn)入所述腔室，在所述動(dòng)力源的驅(qū)動(dòng)下，所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)，其中，所述第一軸線與所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的軸線重合；第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述腔室內(nèi)，與所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接，所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)在所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下繞所述第一軸線旋轉(zhuǎn)；至少一個(gè)第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述腔室內(nèi)，與所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳動(dòng)連接，在所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)。

3、在一些實(shí)施例中，所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)之間的傳動(dòng)連接包括以下連接中的至少一種：帶傳動(dòng)、鏈條傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)。

4、在一些實(shí)施例中，所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)之間的傳動(dòng)連接包括帶傳動(dòng)；其中，所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括：第一軸，與所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接；至少一個(gè)第一帶輪，套裝在所述第一軸上，并隨所述第一軸旋轉(zhuǎn)；其中，所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括：第一傳送帶，繞在一個(gè)所述第一帶輪上；至少一個(gè)第二帶輪，所述第一傳送帶繞在一個(gè)所述第二帶輪上，以利用所述第一傳送帶將所述第一帶輪的轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給所述第二帶輪；第二軸，與所述第二帶輪連接，并隨所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。

5、在一些實(shí)施例中，傳動(dòng)裝置還包括：張緊結(jié)構(gòu)，與所述第一傳送帶抵接，被配置為對(duì)所述第一傳送帶進(jìn)行張緊。

6、在一些實(shí)施例中，所述張緊結(jié)構(gòu)包括：支撐件，與所述腔體相對(duì)固定設(shè)置；旋轉(zhuǎn)件，所述旋轉(zhuǎn)件的第一端與所述支撐件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且所述旋轉(zhuǎn)件具有凸起；調(diào)整件，所述調(diào)整件的第一端與所述旋轉(zhuǎn)件第二端螺接，所述調(diào)整件的第二端與所述支撐件抵接；其中，通過(guò)調(diào)節(jié)所述調(diào)整件的第二端與所述旋轉(zhuǎn)件的第二端的距離，實(shí)現(xiàn)所述凸起對(duì)所述第一傳送帶的壓緊力。

7、在一些實(shí)施例中，所述第一傳送帶的材質(zhì)包括金屬。

8、在一些實(shí)施例中，傳動(dòng)裝置還包括：第三傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述腔室內(nèi)，與所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳動(dòng)連接，在所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)。

9、在一些實(shí)施例中，所述第二帶輪的數(shù)量為多個(gè)；其中，所述第三傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括：第二傳送帶，繞在另一個(gè)所述第二帶輪上；至少一個(gè)第三帶輪，所述第二傳送帶繞在一個(gè)所述第三帶輪上，以利用所述第二傳送帶將所述第二帶輪的轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給所述第三帶輪；第三軸，與所述第三帶輪連接，并隨所述第三帶輪旋轉(zhuǎn)。

10、在一些實(shí)施例中，所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)包括：磁流體，所述磁流體與所述腔體密封連接。

11、第二方面，本公開(kāi)的實(shí)施例提供了一種輸送裝置，應(yīng)用于真空設(shè)備，所述真空設(shè)備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述輸送裝置包括：如第一方面所述的傳動(dòng)裝置，由所述腔室的外側(cè)穿過(guò)所述腔體進(jìn)入所述腔室；載具，與所述傳動(dòng)裝置的位于所述腔室內(nèi)的部分連接，在所述傳動(dòng)裝置的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)。

12、第三方面，本公開(kāi)的實(shí)施例提供了一種真空設(shè)備，包括：腔體，所述腔體形成真空的腔室；如第二方面所述的輸送裝置，被配置為輸送所述腔室內(nèi)的物料。

13、本公開(kāi)實(shí)施例提供的一種傳動(dòng)裝置，應(yīng)用于真空設(shè)備。真空設(shè)備包括腔體，腔體形成真空的腔室。其中，傳動(dòng)裝置包括：動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)、第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和至少一個(gè)第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于腔室的外側(cè)，與動(dòng)力源連接。動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過(guò)腔體進(jìn)入腔室。在動(dòng)力源的驅(qū)動(dòng)下，動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。其中，第一軸線與動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的軸線重合。第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于腔室內(nèi)，與動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接。第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)在動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。至少一個(gè)第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于腔室內(nèi)，與第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳動(dòng)連接，在第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)。動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)和第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)動(dòng)力由腔體外側(cè)向腔室的傳遞，第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和至少一個(gè)第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)動(dòng)力在腔室內(nèi)的多級(jí)傳遞。該傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)了在真空腔室內(nèi)進(jìn)行多級(jí)傳動(dòng)，減少了在腔體上的開(kāi)孔數(shù)量，即減少了需要密封的孔的數(shù)量，降低了真空設(shè)備的制造難度、制造成本和泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種傳動(dòng)裝置，其特征在于，應(yīng)用于真空設(shè)備，所述真空設(shè)備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述傳動(dòng)裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)之間的傳動(dòng)連接包括以下連接中的至少一種：帶傳動(dòng)、鏈條傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)之間的傳動(dòng)連接包括帶傳動(dòng)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述張緊結(jié)構(gòu)包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一傳送帶的材質(zhì)包括金屬。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二帶輪的數(shù)量為多個(gè)；

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)包括：

10.一種輸送裝置，其特征在于，應(yīng)用于真空設(shè)備，所述真空設(shè)備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述輸送裝置包括：

11.一種真空設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本公開(kāi)涉及真空類(lèi)設(shè)備的傳動(dòng)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳動(dòng)裝置、輸送裝置和真空設(shè)備，解決了由于真空設(shè)備腔體上的開(kāi)孔較多，導(dǎo)致真空設(shè)備的泄漏風(fēng)險(xiǎn)高的問(wèn)題。本公開(kāi)實(shí)施例提供的一種傳動(dòng)裝置包括：動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)、第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和至少一個(gè)第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于腔室的外側(cè)，與動(dòng)力源連接。第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)位于腔室內(nèi)且傳動(dòng)連接。動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過(guò)腔體進(jìn)入腔室，與第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)連接。動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輸入結(jié)構(gòu)和第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。該傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)了在真空的腔室內(nèi)進(jìn)行多級(jí)傳動(dòng)，減少了在腔體上的開(kāi)孔數(shù)量，即減少了需要密封的孔的數(shù)量，降低了泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：祁文杰,盧秋霞,劉群
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拉普拉斯（西安）科技有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240130
技術(shù)公布日：2024/12/19