1.一種三自由度機(jī)械臂裝置，其特征在于，包括：
X軸機(jī)構(gòu)(1)，包括：支撐架(1-1)、第一傳動(dòng)部件(1-2)、X軸導(dǎo)軌(1-3)及若干X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)，所述X軸導(dǎo)軌(1-3)與所述支撐架(1-1)連接，所述若干X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)活動(dòng)設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌(1-3)上，所述第一傳動(dòng)部件(1-2)一端與所述支撐架(1-1)一端連接，另一端穿過所述若干X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)與所述支撐架(1-1)另一端連接；
若干Y軸機(jī)構(gòu)(2)，包括：支撐臂(2-1)、Y軸導(dǎo)軌(2-2)、Y軸驅(qū)動(dòng)部件(2-8)及第二傳動(dòng)部件(2-3)，所述支撐臂(2-1)與所述若干X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)連接，所述Y軸導(dǎo)軌(2-2)設(shè)置在所述支撐臂(2-1)內(nèi)，所述Y軸驅(qū)動(dòng)部件(2-8)活動(dòng)設(shè)置在所述支撐臂(2-1)的一端，所述第二傳動(dòng)部件(2-3)一端套接在所述Y軸驅(qū)動(dòng)部件(2-8)上，另一端設(shè)置在所述支撐臂(2-1)另一端；
若干Z軸機(jī)構(gòu)(3)，包括：Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)、升降導(dǎo)軌(3-2)、Z軸導(dǎo)軌(3-8)及第三傳動(dòng)部件(3-10)，所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)與所述第二傳動(dòng)部件(2-3)連接，所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)與所述Y軸導(dǎo)軌(2-2)活動(dòng)連接，所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)與所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)活動(dòng)連接，所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)與所述第三傳動(dòng)部件(3-10)連接，所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)通過所述第三傳動(dòng)部件(3-10)帶動(dòng)所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)動(dòng)作，所述升降導(dǎo)軌(3-2)與所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述第一傳動(dòng)部件包括：
X軸正時(shí)帶輪(1-2-2)，與所述X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)的輸出軸連接；
第一X軸惰輪(1-2-1)，設(shè)置在所述X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)上；
第二X軸惰輪(1-2-3)，設(shè)置在所述X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)上；
X軸正時(shí)皮帶(1-2-4)，一端與所述支撐架(1-1)一端連接，另一端依次穿過所述第一X軸惰輪(1-2-1)、X軸正時(shí)帶輪(1-2-2)及第二X軸惰輪(1-2-3)與所述支撐架(1-1)另一端連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述支撐臂包括：
臂梁(2-1-4)，一端設(shè)置有臂后蓋(2-1-5)，另一端設(shè)置有臂前蓋(2-1-3)；
連接蓋板(2-1-1)，與所述臂梁(2-1-4)連接；
臂上蓋(2-1-2)，與所述臂梁(2-1-4)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)部件包括：
Y軸正時(shí)帶輪(2-3-4)，與所述Y軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(2-8)的輸出軸連接；
帶輪支架(2-3-1)，設(shè)置在所述支撐臂(2-1)另一端；
Y軸惰輪(2-3-2)，活動(dòng)設(shè)置在所述帶輪支架(2-3-1)上；
Y軸正時(shí)皮帶(2-3-3)，一端套接在所述Y軸正時(shí)帶輪(2-3-4)上，另一端套接在所述Y軸惰輪(2-3-2)上，所述Y軸正時(shí)皮帶(2-3-3)與所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述第三傳動(dòng)部件包括：
齒輪(3-10-2)，與所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)的輸出軸連接；
齒條(3-10-1)，設(shè)置在所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)上，所述齒輪(3-10-2)與所述齒條(3-10-1)嚙合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述機(jī)械臂裝置還包括：
X軸位置傳感器(1-5)，設(shè)置在所述X軸驅(qū)動(dòng)部件(1-4)上；
Y軸信號(hào)卡(2-7)，設(shè)置在所述第二傳動(dòng)部件(2-3)上，所述Y軸信號(hào)卡(2-7)固定位置與所述第二傳動(dòng)部件(2-3)初始相位位置相一致；
Y軸位置傳感器(2-9)，設(shè)置在所述Y軸驅(qū)動(dòng)部件(2-8)上；
Z軸信號(hào)卡(3-7)，設(shè)置在所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)上，所述Z軸信號(hào)卡(3-7)固定位置與所述Z軸機(jī)構(gòu)(3)在Z軸方向上的初始位置相一致；
Z軸位置傳感器(3-12)，設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述Z軸機(jī)構(gòu)還包括：
升降部件(3-3)，設(shè)置在所述升降導(dǎo)軌(3-2)上；
所述升降部件包括：氣缸(3-3-1)及連接器(3-2-2)，所述氣缸(3-3-2)一端與所述升降導(dǎo)軌(3-2)連接，另一端與所述連接器(3-3-2)連接，所述連接器(3-3-2)活動(dòng)設(shè)置在所述升降導(dǎo)軌(3-2)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂裝置，其特征在于，所述Z軸機(jī)構(gòu)還包括：
位置保持部件(3-11)，設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)及Z軸導(dǎo)軌(3-8)上；
所述位置保持部件(3-11)包括：均衡器(3-11-1)、滑輪支架(3-11-3)、第一滑輪(3-11-5)、第二滑輪(3-11-4)及第三滑輪(3-11-2)，所述均衡器(3-11-1)設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)上，所述第三滑輪(3-11-2)設(shè)置在所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)上，所述滑輪支架(3-11-3)設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)部件(3-9)上，所述第二滑輪(3-11-4)及第一滑輪(3-11-5)設(shè)置在所述滑輪支架(3-11-3)上，所述均衡器(3-11-1)的拉線依次繞過所述第一滑輪(3-11-5)、第二滑輪(3-11-4)及第三滑輪(3-11-2)與所述Z軸導(dǎo)軌(3-8)連接。
9.一種機(jī)械手平臺(tái)系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手平臺(tái)系統(tǒng)包括如權(quán)利要求1-8任一一項(xiàng)所述的三自由度機(jī)械臂裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的機(jī)械手平臺(tái)系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手平臺(tái)系統(tǒng)還包括：
框架裝置(5)，與所述X軸機(jī)構(gòu)(1)連接，所述框架裝置(5)上設(shè)置有若干功能模塊(4)，所述Z軸機(jī)構(gòu)(1)在所述框架裝置(5)上對(duì)所述功能模塊(4)進(jìn)行動(dòng)作；
所述框架裝置包括：支撐框架(5-1)，所述支撐框架(5-1)上設(shè)置有若干功能模塊(4)，所述Z軸機(jī)構(gòu)(1)在所述支撐框架(5-1)上對(duì)所述功能模塊(4)進(jìn)行動(dòng)作。