技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種氣浮真空吸附搬送裝置，該裝置包括：下工作平臺(tái)、上搬送工作平臺(tái)、四柱臺(tái)板間隙限位機(jī)構(gòu)、氣浮真空吸附交換搬送氣動(dòng)控制系統(tǒng)；下工作平臺(tái)為工藝制程設(shè)備的工作平臺(tái)，配置運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)、工藝制程功能機(jī)構(gòu)以及相關(guān)機(jī)架組成工藝制程設(shè)備；上搬送工作平臺(tái)為工藝制程設(shè)備上下料搬送設(shè)備的搬送工作平臺(tái)，配置相關(guān)運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)組成自動(dòng)搬送移載設(shè)備；四柱臺(tái)板間隙限位機(jī)構(gòu)與下工作平臺(tái)和上搬送工作平臺(tái)連接；氣浮真空吸附交換搬送氣動(dòng)控制系統(tǒng)與下工作平臺(tái)和上搬送工作平臺(tái)連接。本實(shí)用新型使超薄玻璃基板類工件、超薄柔性顯示基板工藝制程上下料搬送中工件無(wú)變形，大幅度提高了良品率，從而能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模、自動(dòng)化生產(chǎn)線制造。

技術(shù)研發(fā)人員：安志強(qiáng);田鵬明;張遼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京京城清達(dá)電子設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼：201620978886
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.29
技術(shù)公布日：2017.07.25