本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜板存儲(chǔ)盒。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制造或液晶面板生產(chǎn)領(lǐng)域中，陣列工序中的光刻工藝的曝光過程需要采用掩膜板(也就是常說的“MASK”)對(duì)基板進(jìn)行曝光，掩膜板一般存放在存儲(chǔ)盒中，使用時(shí)，需要將掩膜板從存儲(chǔ)盒中取出放置在掩膜板工作臺(tái)，才能進(jìn)行后續(xù)的曝光過程。

而現(xiàn)有技術(shù)中的存儲(chǔ)盒，如圖1所示，其包括盒體1，所述盒體1的頂面開設(shè)有用于容置掩膜板100的容置倉2，所述容置倉2的兩側(cè)對(duì)稱開設(shè)有夾持槽3，在放置掩膜板100時(shí)，如圖2所示，當(dāng)將掩膜板100向存儲(chǔ)盒1中放入時(shí)，參考向下箭頭所指方向，掩膜板100豎向設(shè)置，兩個(gè)人分別在掩膜板100的兩側(cè)用手抓住掩膜板100的兩個(gè)頂角，然后將掩膜板100的兩側(cè)邊緣分別卡入夾持槽3中，沿著夾持槽3向下滑入其中即可；而當(dāng)將掩膜板100從存儲(chǔ)盒1中取出時(shí)，參考向上箭頭所指方向，兩個(gè)人分別從掩膜板100的兩側(cè)用手抓住掩膜板100的兩個(gè)頂角，然后將掩膜板100向上提拉，掩膜板100的邊緣將從夾持槽3中滑出。因而在放入和取出兩個(gè)過程中，掩膜板100需要從夾持槽3中滑入和滑出，這會(huì)造成對(duì)掩膜板100的邊緣的刮傷；另外，需要人工在掩膜板的兩側(cè)抓握用力，加之，掩膜板100的邊緣可觸碰區(qū)域較少，一般僅有1cm的寬度區(qū)域，豎向放入或提拉時(shí)，人手握住邊緣，不易用力，操作很不方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提出一種掩膜板存儲(chǔ)盒，便于掩膜板的取出，避免損壞其邊緣，方便，可靠。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種掩膜板存儲(chǔ)盒，包括盒本體，所述盒本體的頂部沿豎向開設(shè)有用于容置掩膜板的容置槽，所述容置槽的內(nèi)部沿其寬度方向的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)豎向滑軌，所述豎向滑軌能夠在所述容置槽中沿豎向滑動(dòng)；兩個(gè)所述豎向滑軌的相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別連接有能夠自動(dòng)夾緊或松開的夾具條，一個(gè)所述夾具條對(duì)應(yīng)掩膜板的一側(cè)部邊緣；所述夾具條的中部通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述豎向滑軌的中部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

其中，所述容置槽中設(shè)置有滑槽，所述豎向滑軌與所述滑槽滑動(dòng)連接。

其中，所述滑槽中設(shè)置有滾珠，所述滾珠滾動(dòng)設(shè)置于所述豎向滑軌的底面與所述滑槽之間。

其中，所述豎向滑軌設(shè)置有豎向自鎖結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述豎向滑軌向上滑出一定高度后，所述豎向自鎖結(jié)構(gòu)在豎向上鎖緊所述豎向滑軌。

其中，所述豎向自鎖結(jié)構(gòu)包括垂直設(shè)置于所述豎向滑軌的底面的可自動(dòng)伸縮的彈簧柱，初始時(shí)，所述彈簧柱壓縮于所述所述豎向滑軌的底面與所述滑槽之間，當(dāng)所述豎向滑軌向上滑動(dòng)至所述彈簧柱移出所述容置槽的頂端時(shí)，所述彈簧柱自動(dòng)彈出并卡設(shè)于所述容置槽的頂面。

其中，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述豎向滑軌的側(cè)部的第一連接軸和設(shè)置于所述夾具條的側(cè)部的第二連接軸，所述第一連接軸開設(shè)有軸孔，所述第二連接軸插入所述軸孔中可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

其中，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括角度限位結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述夾具條相對(duì)所述豎向滑軌旋轉(zhuǎn)一定角度后，所述角度限位結(jié)構(gòu)鎖緊所述夾具條。

其中，所述夾具條相對(duì)所述豎向滑軌的旋轉(zhuǎn)角度為90度。

其中，所述角度限位結(jié)構(gòu)包括在所述軸孔的側(cè)部開設(shè)的弧形缺口、設(shè)置于所述第二連接軸的側(cè)部的弧形擋塊，所述弧形擋塊可在所述弧形缺口中滑動(dòng)。

其中，所述夾具條包括相互扣合的第一夾持部和第二夾持部，所述第一夾持部的一端和所述第二夾持部的一端鉸接后并與所述豎向滑軌連接，所述第一夾持部的另一端和所述第二夾持部的另一端可開合設(shè)置，且所述第一夾持部的另一端和所述第二夾持部的另一端的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有緩沖墊。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒，其在容置槽中設(shè)置豎向滑軌，利用豎向滑軌在容置槽中豎向滑動(dòng)，并帶動(dòng)夾具條一起豎向運(yùn)動(dòng)，而夾具條用來夾持掩膜板，當(dāng)需要將掩膜板放入容置槽存放時(shí)，拉動(dòng)豎向滑軌向上滑動(dòng)并帶動(dòng)夾具條一起滑出容置槽，再將夾具條相對(duì)豎向滑軌轉(zhuǎn)動(dòng)至與放置有掩膜板的掩膜板工作臺(tái)平行，這時(shí)可以打開夾具條將掩膜板夾持在夾具條中，無需人力預(yù)先抬起掩膜板，之后將夾具條回轉(zhuǎn)至與豎向滑軌平行，然后豎向滑軌向下滑動(dòng)并帶動(dòng)夾具條和掩膜板一起滑入容置槽中即可；反之，當(dāng)需要將掩膜板從容置槽中取出時(shí)，只需要拉動(dòng)豎向滑軌，就可以帶動(dòng)夾具條和掩膜板一起向上滑動(dòng)并滑出容置槽，這時(shí)，將夾具條相對(duì)豎向滑軌旋轉(zhuǎn)至掩膜板的大部分面積支撐于掩膜板工作臺(tái)上后，打開夾具條，使得夾具條松開對(duì)掩膜板的邊緣的夾持，這時(shí)旋轉(zhuǎn)夾具條使其移開掩膜板即可，掩膜板也就放置在掩膜板工作臺(tái)上，無需人力搬動(dòng)，因此，在放入和取出的過程中，都不需要掩膜板的邊緣有額外的相對(duì)滑動(dòng)摩擦，避免損壞其邊緣，方便，可靠。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的存儲(chǔ)盒的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中的存儲(chǔ)盒在裝卸掩膜板時(shí)的狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒在裝卸掩膜板時(shí)的狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒的夾具條與掩膜板配合的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒的夾具條的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的斷面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：100-掩膜板；1-盒體；2-容置倉；3-夾持槽；10-盒本體；101-容置槽；11-豎向滑軌；12-夾具條；13-旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；121-第一夾持部；122-第二夾持部；131-第一連接軸；132-第二連接軸；133-軸孔；134-弧形缺口；135-弧形擋塊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施方式來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

如圖3和圖4所示，一種掩膜板存儲(chǔ)盒，包括盒本體10，所述盒本體10的頂部沿豎向開設(shè)有用于容置掩膜板100的容置槽101，所述容置槽101的內(nèi)部沿其寬度方向的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)豎向滑軌11，所述豎向滑軌11能夠在所述容置槽101中沿豎向滑動(dòng)；兩個(gè)所述豎向滑軌11的相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別連接有能夠自動(dòng)夾緊或松開的夾具條12，一個(gè)所述夾具條12對(duì)應(yīng)掩膜板100的一側(cè)部邊緣；所述夾具條12的中部通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13與所述豎向滑軌11的中部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒，其在容置槽101中設(shè)置豎向滑軌11，利用豎向滑軌11在容置槽101中豎向滑動(dòng)，并帶動(dòng)夾具條12一起豎向運(yùn)動(dòng)，而夾具條12用來夾持掩膜板100，如圖4所示，當(dāng)需要將掩膜板100放入容置槽101存放時(shí)，拉動(dòng)豎向滑軌11向上滑動(dòng)并帶動(dòng)夾具條12一起滑出容置槽101，再將夾具條12相對(duì)豎向滑軌11轉(zhuǎn)動(dòng)至與放置有掩膜板100的掩膜板工作臺(tái)平行，這時(shí)可以打開夾具條12將掩膜板100夾持在夾具條12中，無需人力預(yù)先抬起掩膜板100，之后將夾具條12回轉(zhuǎn)至與豎向滑軌11平行，然后豎向滑軌11向下滑動(dòng)并帶動(dòng)夾具條12和掩膜板100一起滑入容置槽101中即可；反之，當(dāng)需要將掩膜板100從容置槽101中取出時(shí)，只需要拉動(dòng)豎向滑軌11，就可以帶動(dòng)夾具條12和掩膜板100一起向上滑動(dòng)并滑出容置槽101，這時(shí)，將夾具條12相對(duì)豎向滑軌11旋轉(zhuǎn)至掩膜板100的大部分面積支撐于掩膜板工作臺(tái)上后，打開夾具條12，使得夾具條12松開對(duì)掩膜板100的邊緣的夾持，這時(shí)旋轉(zhuǎn)夾具條12使其移開掩膜板100即可，掩膜板100也就放置在掩膜板工作臺(tái)上，無需人力搬動(dòng)，因此，在放入和取出的過程中，都不需要掩膜板100的邊緣有額外的相對(duì)滑動(dòng)摩擦，避免損壞其邊緣，方便，可靠。

具體地，所述容置槽101中設(shè)置有滑槽，所述豎向滑軌11與所述滑槽滑動(dòng)連接。進(jìn)一步地，為了使得豎向滑軌11滑動(dòng)更加省力，更加方便，所述滑槽中設(shè)置有滾珠，所述滾珠滾動(dòng)設(shè)置于所述豎向滑軌11的底面與所述滑槽之間。因而在豎向滑軌11沿著滑槽滑動(dòng)時(shí)，豎向滑軌11可以通過滾珠的滾動(dòng)作用移動(dòng)，不僅省力，而且減少磨損。

特別地，所述豎向滑軌11設(shè)置有豎向自鎖結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述豎向滑軌11向上滑出一定高度后，所述豎向自鎖結(jié)構(gòu)在豎向上鎖緊所述豎向滑軌11。優(yōu)選的，所述豎向自鎖結(jié)構(gòu)包括垂直設(shè)置于所述豎向滑軌11的底面的可自動(dòng)伸縮的彈簧柱，初始時(shí)，所述彈簧柱壓縮于所述所述豎向滑軌11的底面與所述滑槽之間，當(dāng)所述豎向滑軌11向上滑動(dòng)至所述彈簧柱移出所述容置槽101的頂端時(shí)，所述彈簧柱自動(dòng)彈出并卡設(shè)于所述容置槽101的頂面。在本實(shí)施例中，豎向滑軌11向上滑出的一定高度的具體數(shù)值，是根據(jù)掩膜板100放入容置槽101中的高度來確定的，因而同樣的，為了在掩膜板100被移出容置槽101之后，在豎向上將豎向滑軌11固定，以免其因重力作用自由下落，彈簧柱的設(shè)置位置應(yīng)該與豎向滑軌11向上滑出的一定高度的具體數(shù)值對(duì)應(yīng)，因此，通過彈簧柱的自動(dòng)伸縮特性，其能夠收縮于豎向滑軌11與滑槽之間，其也能夠彈出并卡設(shè)在容置槽101的頂面，也就是盒本體的頂面，從而在豎向上及時(shí)限位，而當(dāng)再次需要將豎向滑軌11滑入容置槽101時(shí)，擠壓彈簧柱使其收縮即可。

如圖5、6所示，所述夾具條12包括相互扣合的第一夾持部121和第二夾持部122，所述第一夾持部121的一端和所述第二夾持部122的一端鉸接后并與所述豎向滑軌11連接，所述第一夾持部121的另一端和所述第二夾持部122的另一端可開合設(shè)置，且所述第一夾持部121的另一端和所述第二夾持部122的另一端的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有緩沖墊。這種夾具條12利用其可開合的一端部用于夾持掩膜板，因而在裝入或取出掩膜板的過程中，只需要第一夾持部121和第二夾持部122打開或閉合即可，無需掩膜板從一端滑入另一端。

如圖7所示，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13包括設(shè)置于所述豎向滑軌11的側(cè)部的第一連接軸131和設(shè)置于所述夾具條12的側(cè)部的第二連接軸132，所述第一連接軸131開設(shè)有軸孔133，所述第二連接軸132插入所述軸孔133中可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。在本實(shí)施例中，豎向滑軌11和夾具條12通過軸孔133與第二連接軸132的可轉(zhuǎn)動(dòng)配合實(shí)現(xiàn)了兩者的可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。然而，在實(shí)際使用過程中，為了使得夾具條12的旋轉(zhuǎn)方向以及旋轉(zhuǎn)角度與預(yù)設(shè)的要求相匹配，從而滿足裝卸掩膜板100，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13還包括角度限位結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述夾具條12相對(duì)所述豎向滑軌11旋轉(zhuǎn)一定角度后，所述角度限位結(jié)構(gòu)鎖緊所述夾具條12。其中，所述角度限位結(jié)構(gòu)包括在所述軸孔133的側(cè)部開設(shè)的弧形缺口134、設(shè)置于所述第二連接軸132的側(cè)部的弧形擋塊135，所述弧形擋塊135可在所述弧形缺口134中滑動(dòng)。因此，第二連接軸132的轉(zhuǎn)動(dòng)角度與戶型缺口134和弧形擋塊135有關(guān)，也就說，弧形擋塊135在弧形缺口134中的旋轉(zhuǎn)角度即為第二連接軸132的旋轉(zhuǎn)角度，也即為夾具條12的旋轉(zhuǎn)角度，通過對(duì)該角度的控制，可以較好地管控掩膜板100的取放位置，優(yōu)選的，在本實(shí)施例中，由于容置槽101為豎向的，因而掩膜板在其中放置也是豎向的，而掩膜板在使用時(shí)為水平的，因此夾具條需要在豎向和水平兩個(gè)位置工作，因而，所述夾具條12相對(duì)所述豎向滑軌11的旋轉(zhuǎn)角度為90度。

總之，本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)盒，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并通過豎向滑軌和夾具條的配合，實(shí)現(xiàn)了掩膜板的裝卸，整個(gè)過程中無需人力抬起掩膜板，掩膜板的邊緣也不會(huì)因?yàn)樾枰瑒?dòng)而磨損，因而能夠很好地保護(hù)掩膜板，也能夠節(jié)省人力。

以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本實(shí)用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實(shí)用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制?；诖颂幍慕忉?，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本實(shí)用新型的其它具體實(shí)施方式，這些方式都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。