技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，屬于半導(dǎo)體微電子、平板顯示及光電子技術(shù)領(lǐng)域，包括：氣浮支承機(jī)構(gòu)、滾輪傳送機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)傳感元件以及支承框架，氣浮支承機(jī)構(gòu)提供支承工件的非接觸的作用力，滾輪傳送機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)提供傳送的動(dòng)力并起到支承作用，檢測(cè)傳感元件在裝置整個(gè)傳送行程中檢測(cè)工件，保證工件有效到達(dá)每一個(gè)位置且能被監(jiān)測(cè)到，支承框架起到支承整個(gè)裝置的作用。本實(shí)用新型使薄板類工件、特種板類工件在傳送中與傳送面工藝區(qū)無(wú)摩擦，減少工件傳送振動(dòng)，大幅度提高了易碎工件、薄板工件以及特種板類工件良品率，同時(shí)節(jié)約氣浮傳送裝置制造成本，提高投資回報(bào)率。

技術(shù)研發(fā)人員：安志強(qiáng);張凱;葛成重
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京京城清達(dá)電子設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼：201620802859
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.27
技術(shù)公布日：2017.03.15