本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體微電子、平板顯示及光電子技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種滾輪氣浮混合式傳送裝置。

背景技術(shù)：

工件的傳送過(guò)程是各類機(jī)械制造、電子制造的一項(xiàng)必要的環(huán)節(jié)。在目前光電技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用的各類傳送裝置中，傳統(tǒng)的滾輪支承式傳送裝置占有相當(dāng)大的比例。薄板類工件在搬運(yùn)途中會(huì)被空氣中的粉塵污染顆粒附著。在使用傳統(tǒng)的滾輪式傳送裝置傳送時(shí)，由于其需要多滾輪支承傳送，工件與滾輪之間摩擦傳動(dòng)中，大量粉塵污染顆粒附著在滾輪上，粉塵污染物在滾輪表面累積又造成工件表面污損或劃痕，甚至直接導(dǎo)致工件缺陷，重者損毀報(bào)廢。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，旨在解決工件在傳送時(shí)，工件與滾輪之間摩擦傳動(dòng)中，大量粉塵污染顆粒附著在滾輪上，粉塵污染物在滾輪表面累積又造成工件表面污損或劃痕，甚至直接導(dǎo)致工件缺陷，重者損毀報(bào)廢的問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下：

一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括:支承框架、氣浮支承機(jī)構(gòu)、滾輪傳送機(jī)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述支承框架包括兩個(gè)傳送立板和兩個(gè)底板，所述兩個(gè)傳送立板垂直安裝在所述兩個(gè)底板上；

所述氣浮支承機(jī)構(gòu)一側(cè)固定在氣浮立支板上，所述氣浮立支板的兩端垂直固定在所述兩個(gè)底板上；

所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)包括多個(gè)傳動(dòng)支承軸，所述傳動(dòng)支承軸的兩端通過(guò)滾珠軸承固定在所述傳送立板上，每個(gè)傳動(dòng)支承軸安裝有兩個(gè)導(dǎo)向支承滾輪，每個(gè)傳動(dòng)支承軸一端外接有一個(gè)第二磁齒輪，多個(gè)第二磁齒輪位于所述多個(gè)傳動(dòng)支承軸的同一側(cè)；

所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和電機(jī)減速器組件，所述傳動(dòng)軸通過(guò)磁齒輪支板和滾珠軸承固定在所述傳送立板的外側(cè)，所述傳動(dòng)軸上安裝有一個(gè)第二錐齒輪及多個(gè)第一磁齒輪，所述多個(gè)第一磁齒輪和所述多個(gè)第二磁齒輪一一對(duì)應(yīng)，所述電機(jī)減速器組件通過(guò)電機(jī)連接板和電機(jī)支板固定在所述傳送立板上，所述電機(jī)減速器組件上安裝有一個(gè)第一錐齒輪并位于電機(jī)連接板上，所述第一錐齒輪與第二錐齒輪相配合。

所述兩個(gè)底板平行放置，所述兩個(gè)傳送立板互相平行。

所述多個(gè)傳動(dòng)支承軸等間隔平行排列。

所述導(dǎo)向支承滾輪套在所述傳動(dòng)支承軸上，由鎖緊螺母緊固鎖緊楔形環(huán)的方式可移動(dòng)安裝在所述傳動(dòng)支承軸上。

所述傳動(dòng)支承軸上的磁齒輪與所述傳動(dòng)軸上的磁齒輪垂直非接觸放置。

所述氣浮支承機(jī)構(gòu)包括多個(gè)氣浮支承單元，所述多個(gè)氣浮支承單元分別等間距分布在兩個(gè)傳動(dòng)支承軸之間。

所述氣浮支承單元包括多孔陶瓷板、非金屬固定塊、下通氣塊和密封橡膠圈，所述非金屬固定塊固定在下通氣塊的上方，所述非金屬固定塊與下 通氣塊的連接位置處設(shè)有密封橡膠圈，所述多孔陶瓷板固定至所述固定塊上方。

所述氣浮立支板通過(guò)定位支承塊和定位夾板可移動(dòng)限定在兩個(gè)傳送立板之間的平行位置。

所述傳送裝置包括檢測(cè)傳感元件，所述檢測(cè)傳感元件包括入口工件檢測(cè)傳感元件、出口工件檢測(cè)傳感元件和中間減速檢測(cè)傳感元件，分別安裝在所述傳送裝置的入口、出口及中間位置。

所述兩個(gè)底板的四個(gè)端部位置處分別設(shè)有水平調(diào)整螺釘和水平調(diào)整螺母。

有益效果:本實(shí)用新型中間工藝區(qū)采用氣浮支承結(jié)構(gòu)非接觸支承工件，邊緣與滾輪接觸摩擦傳動(dòng)，在傳送時(shí)，大幅度降低了薄板類工件、特種板類工件在傳送中的工藝區(qū)摩擦，減少工件傳送振動(dòng)，大幅度提高了易碎工件、薄板工件和特種板類工件良品率，同時(shí)節(jié)約傳送裝置制造成本，提高投資回報(bào)率。

附圖說(shuō)明

圖1為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的三維結(jié)構(gòu)圖；

圖2為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的二維側(cè)視圖；

圖3為圖1中氣浮支承單元的剖面圖；

圖4為圖1中導(dǎo)向支承滾輪的剖面圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不限于以下實(shí)施例。

圖1為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的三維結(jié)構(gòu)圖；圖4為圖1中導(dǎo)向支承滾輪07的剖面圖。如圖1所示，一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，包括:支承框架、氣浮支承機(jī)構(gòu)、滾輪傳送機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和檢測(cè)傳感元件。

支承框架包括兩個(gè)平行放置的傳送立板04和兩個(gè)平行放置的底板01，兩個(gè)傳送立板04垂直安裝在所述兩個(gè)底板01上，支承框架起到支承整個(gè)裝置的作用，裝置四角由水平調(diào)整螺釘13和水平調(diào)整螺母14調(diào)整至水平，保證與上下流裝置銜接時(shí)傳送穩(wěn)定。

氣浮支承機(jī)構(gòu)一側(cè)固定在氣浮立支板02上，氣浮立支板02的兩端垂直固定在兩個(gè)底板01上，氣浮支承機(jī)構(gòu)包括多個(gè)氣浮支承單元03等間距地分布在傳動(dòng)支承軸08之間。氣浮支承機(jī)構(gòu)通過(guò)壓縮空氣從微孔中噴射氣流的方式實(shí)現(xiàn)氣浮作用，將工件托起，起到非接觸的支承作用。

滾輪傳送機(jī)構(gòu)包括多個(gè)等間隔平行排列傳動(dòng)支承軸08，傳動(dòng)支承軸08的兩端通過(guò)滾珠軸承20固定在傳送立板04上，每個(gè)傳動(dòng)支承軸08的兩端各有一個(gè)導(dǎo)向支承滾輪07，導(dǎo)向支承滾輪07可在傳動(dòng)支承軸08上橫向移動(dòng)，如圖4所示，導(dǎo)向支承滾輪07通過(guò)鎖緊楔形環(huán)28和鎖緊螺母29緊固，實(shí)現(xiàn)滾輪位置的靈活快速調(diào)節(jié)。每個(gè)傳動(dòng)支承軸08一端外接有一個(gè)第二磁齒輪09，多個(gè)第二磁齒輪09位于多個(gè)傳動(dòng)支承軸08的同一側(cè)。

驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸10和電機(jī)減速器組件17，傳動(dòng)軸10通過(guò)磁齒輪支板12和滾珠軸承20固定在傳送立板04的外側(cè)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接板16上的第一錐齒輪18轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)軸10上的第二錐齒輪15與連接在電機(jī)減速器組件17上的第一錐齒輪18咬合，從而驅(qū)動(dòng)第二錐齒輪15轉(zhuǎn)動(dòng)。電機(jī)減速器組件17通過(guò)電機(jī)連接板16和電機(jī)支板19固定在傳送立板04上，傳動(dòng)支承軸08上的第二磁 齒輪09與傳動(dòng)軸10上的第一磁齒輪11垂直非接觸放置，可起到防振作用，在傳送易碎、超薄工件時(shí)無(wú)沖擊力作用，磁齒輪之間通過(guò)磁力作用傳輸動(dòng)力，傳動(dòng)軸10帶動(dòng)傳動(dòng)支承軸08同步轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，在傳送韌性高且非易碎的工件時(shí)，磁齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)可以改裝成為同步帶和同步帶輪或直齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，以降低制造成本。

檢測(cè)傳感元件包括入口工件檢測(cè)傳感元件06、出口工件檢測(cè)傳感元件05和中間減速檢測(cè)傳感元件21，分別安裝在傳送裝置的入口、出口及中間位置。工件傳送過(guò)程中，檢測(cè)傳感元件將工件位置的信號(hào)傳到控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)對(duì)工件傳送過(guò)程進(jìn)行控制，保證工件在傳送中所處位置的可靠性。

圖2為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的二維側(cè)視圖，如圖2所示，氣浮立支板02通過(guò)定位支承塊22和定位夾板23固定及調(diào)節(jié)自身在裝置中的橫向最優(yōu)位置。

圖3為圖1中氣浮支承單元03的剖面圖，如圖3所示，氣浮支承單元03由多孔陶瓷板24、非金屬固定塊25、下通氣塊26和密封橡膠圈27組成，非金屬固定塊25固定在下通氣塊26的上方，并與與下通氣塊的連接位置處設(shè)有密封橡膠圈27，多孔陶瓷板24固定至非金屬固定塊25的上方。

以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的一種自動(dòng)運(yùn)輸機(jī)器人的差動(dòng)轉(zhuǎn)向行走驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。