專利名稱：硅片自動下料設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
硅片自動下料設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及硅片生產(chǎn)線上的下料設(shè)備，尤其涉及一種實現(xiàn)多道的硅片自動下料設(shè)備。
背景技術(shù)：
[0002]目前大多數(shù)硅片下料，都是人工下料，不僅效率低，浪費勞動力，而且易損壞硅片和影響硅片電池轉(zhuǎn)換率，再就是很多的硅片下料機(jī)產(chǎn)能低下。如圖I所示現(xiàn)有技術(shù)中的下料機(jī)，當(dāng)5道硅片從傳送機(jī)A的開始端沿箭頭a傳送到尾端時，這時候硅片分兩個方向 (箭頭b方向)，通過轉(zhuǎn)送機(jī)B向兩邊傳動收取到承載盒，然后承載盒傳到下料機(jī)C的上層(C 的下層為空承載盒放置區(qū))，等待人工取出。當(dāng)5片硅片收到承載盒里面時，下一次的5片硅片也從A開始傳動，這樣就形成了一個源源不斷的過程。整個過程時間很長，產(chǎn)能很低， 不能滿足大規(guī)模硅片的生產(chǎn)需要，而且易產(chǎn)生碎片。實用新型內(nèi)容[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片自動下料設(shè)備，能大大提高產(chǎn)能，效率高，降低了勞動強(qiáng)度，也降低了成本，同時該設(shè)備易于制造和安裝。[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種硅片自動下料設(shè)備，包括[0005]第一傳送機(jī)構(gòu)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)包括均處于同一水平面上的至少兩組第一傳送帶，每組所述第一傳送帶用于與濕制程設(shè)備對接以傳送來自于濕制程設(shè)備的硅片；[0006]傳送方向與所述第一傳送機(jī)構(gòu)相同的第二傳送帶和第三傳送帶，所述第二傳送帶和第三傳送帶分別與兩組所述第一傳送帶對接，所述第二傳送帶和第三傳送帶下方設(shè)置有轉(zhuǎn)角傳送裝置，所述轉(zhuǎn)角傳送裝置包括升降機(jī)構(gòu)、與升降機(jī)構(gòu)連接的分段間隔設(shè)置的三個傳動面，三個所述傳動面處于同一水平面上并與所述第二傳送帶和第三傳送帶的傳動方向垂直用于將所述第二傳送帶上的硅片轉(zhuǎn)送至所述第三傳送帶，且相鄰兩個所述傳動面之間形成在所述升降機(jī)構(gòu)提升后供所述第二傳送帶或第三傳送帶穿設(shè)的間隙；[0007]與所述第三傳送帶對接且傳送方向相同的第二傳送機(jī)構(gòu)，用于將硅片送至下料區(qū)；[0008]第一傳感器，所述第一傳感器設(shè)置于所述第二傳送帶和第三傳送帶與所述第一傳送帶對接的位置上用于在硅片到達(dá)所述第二傳送帶和第三傳送帶時發(fā)出第一位置信號；[0009]第二傳感器，所述第二傳感器設(shè)置于所述轉(zhuǎn)角傳送裝置的位置上用于在硅片到達(dá)所述轉(zhuǎn)角傳送裝置時發(fā)出第二位置信號；[0010]第三傳感器，所述第三傳感器設(shè)置于所述第三傳送帶與所述第二傳送機(jī)構(gòu)對接的位置上用于在硅片到達(dá)所述第二傳送機(jī)構(gòu)時發(fā)出第三位置信號。[0011]作為優(yōu)選，所述下料區(qū)包括外傳動機(jī)構(gòu)、收板機(jī)構(gòu)和第四傳感器，其中[0012]所述外傳動機(jī)構(gòu)包括上傳送臺和下傳送臺，所述上傳送臺設(shè)置有用于傳送滿載硅片承載盒的第四傳送帶，與所述第二傳送機(jī)構(gòu)處于同一水平面上且傳送方向相同，所述下4傳送臺設(shè)置有用于傳送空載硅片承載盒的第五傳送帶并且其傳送方向與所述第四傳送帶相反；[0013]所述收板機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第二傳送機(jī)構(gòu)沿傳送方向的末端，包括第一升降臺，所述第一升降臺上設(shè)置有在不同的升降位置處可分別與所述第四傳送帶對接以承托所述傳輸滿載硅片承載盒或與所述第五傳送帶對接以承托傳輸所述空載硅片承載盒的第六傳送帶;[0014]所述第四傳感器設(shè)置于所述收板機(jī)構(gòu)的位置上，感應(yīng)硅片承載盒的空載/滿載信號用于控制所述第一升降臺和所述第六傳送帶的動作。[0015]作為優(yōu)選，所述收板機(jī)構(gòu)和第二傳送機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有緩存機(jī)構(gòu)，所述緩存機(jī)構(gòu)包括第二升降臺和兩面貫通的硅片緩存框架，所述第二傳送機(jī)構(gòu)垂直貫穿所述硅片緩存框架，所述第二升降臺與所述硅片緩存框架連接用于在垂直于所述第二傳送機(jī)構(gòu)的傳送方向上升降所述硅片緩存框架。[0016]作為優(yōu)選，所述第二傳送機(jī)構(gòu)包括支架、承托平臺、設(shè)于承托平臺兩側(cè)的多個滾輪、分設(shè)于所述承托平臺兩側(cè)的滾輪上用于傳輸硅片的第七傳送帶，以及用于帶動所述滾輪轉(zhuǎn)動的電機(jī)，[0017]所述承托平臺由固定部和伸縮部組成，所述固定部與支架固定連接，所述固定部與伸縮部之間通過氣缸連接，所述氣缸的伸縮方向與所述第七傳送帶的傳送方向一致；[0018]所述滾輪成對設(shè)置,構(gòu)成每對滾輪的兩個滾輪對應(yīng)地分設(shè)于承托平臺兩側(cè),所述滾輪至少包括一對傳動滾輪、一對第一從動滾輪、一對第二從動滾輪和一對第三從動滾輪; 一對所述傳動滾輪分別固定于一傳動軸的兩端，所述傳動軸設(shè)于承托平臺的固定部一側(cè)的端部，所述傳動軸與電機(jī)連接；[0019]一對所述第一從動滾輪設(shè)于第一輪軸的兩端，第一輪軸設(shè)于承托平臺的伸縮部一側(cè)的端部，一對所述第二從動滾輪設(shè)于第二輪軸的兩端，所述第二輪軸設(shè)于所述伸縮部靠近所述固定部的一端，一對所述第三從動滾輪設(shè)于第三輪軸的兩端，所述第三輪軸設(shè)于所述伸縮部下方的支架上，所述第三輪軸低于所述第二輪軸，所述第二輪軸低于所述第一輪軸，且所述第二輪軸相較于所述第一輪軸和第三輪軸最靠近所述固定部；[0020]所述第七傳送帶分別依次繞過所述承托平臺兩側(cè)的傳動滾輪、第一從動滾輪、第二從動滾輪和第三從動滾輪，使所述第七傳送帶分別在經(jīng)過位于同一側(cè)的所述第二從動滾輪和第三從動滾輪之后迂回形成多段折疊段。[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的硅片自動下料設(shè)備的有益效果在于[0022]I、通過在第二傳送帶和第三傳送帶之間設(shè)置轉(zhuǎn)角傳送裝置，使得硅片在傳送過程中由兩道輸入轉(zhuǎn)變成一道輸出，提高了產(chǎn)能，并且應(yīng)用到多道下料設(shè)備中可以省去現(xiàn)有技術(shù)中輸出端重復(fù)的裝置；[0023]2、外傳動機(jī)構(gòu)實現(xiàn)自動進(jìn)出承載盒作業(yè)，人工將空載硅片承載盒放置外傳動機(jī)構(gòu)的下層傳動上，從上層傳動上面取走滿載硅片承載盒，減少了人工的勞動強(qiáng)度，同時進(jìn)一步增加了產(chǎn)能。


[0024]圖I為現(xiàn)有技術(shù)中下料機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0025]圖2為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的平面結(jié)構(gòu)示意圖；[0026]圖3為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的轉(zhuǎn)角傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0027]圖4為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0028]圖5為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)與外傳動機(jī)構(gòu)配合工作的示意圖一；[0029]圖6為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)與外傳動機(jī)構(gòu)配合工作的示意圖二；[0030]圖7為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的緩存機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0031]圖8為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的第二傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0032]圖9為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的第二傳送機(jī)構(gòu)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。·[0033]主要附圖標(biāo)記說明[0034]100-空載硅片承載盒200-滿載硅片承載盒[0035]I-第一傳送帶2-第二傳送帶[0036]3-第三傳送帶4-第四傳送帶[0037]5-第五傳送帶6-收板機(jī)構(gòu)[0038]61-第六傳送帶62-第一升降臺[0039]7-第二傳送機(jī)構(gòu)71-支架[0040]72-第七傳送帶73-驅(qū)動輪[0041]74-氣缸75-傳動滾輪[0042]76-第一從動滾輪77-第二從動滾輪[0043]78-第三從動滾輪701-伸縮部[0044]7011-伸縮部的蓋板702-固定部[0045]7021-固定部的蓋板703-折疊段[0046]8-轉(zhuǎn)角傳送裝置81、82、83_傳動面[0047]801、802-間隙9-緩存機(jī)構(gòu)[0048]91-硅片緩存框架92-第二升降臺[0049]10-第一傳感器20-第二傳感器[0050]30-第三傳感器40-第四傳感器[0051]11-外傳動機(jī)構(gòu)751-傳動軸[0052]761-第一輪軸771-第二輪軸[0053]781-第三輪軸具體實施方式
[0054]
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型的硅片自動下料設(shè)備作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對本實用新型的限定。[0055]圖I為現(xiàn)有技術(shù)中下料機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的轉(zhuǎn)角傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)與外傳動機(jī)構(gòu)配合工作的示意圖一；圖6為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的收板機(jī)構(gòu)與外傳動機(jī)構(gòu)配合工作的示意圖二 ；圖7為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的緩存機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的第二傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9 為本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的第二傳送機(jī)構(gòu)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2至圖9所示，以5道硅片輸入變3道硅片輸出的下料機(jī)為例說明，本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備，包括[0056]第一傳送機(jī)構(gòu)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)包括均處于同一水平面上的至少兩組第一傳送帶1，本實施例中給出了 5道硅片輸入結(jié)構(gòu)，S卩，第一傳送機(jī)構(gòu)包括5組第一傳送帶1，每組第一傳送帶I與濕制程設(shè)備對接用于傳送來自于濕制程設(shè)備的硅片；[0057]傳送方向與第一傳送機(jī)構(gòu)相同的第二傳送帶2和第三傳送帶3，第二傳送帶2和第三傳送帶3分別與兩組第一傳送帶I對接，第二傳送帶2和第三傳送帶3下方設(shè)置有轉(zhuǎn)角傳送裝置8，轉(zhuǎn)角傳送裝置8包括升降機(jī)構(gòu)(圖中未示出，可以采用升降氣缸等一切能夠?qū)崿F(xiàn)升降功能的設(shè)備)、與升降機(jī)構(gòu)連接的分段間隔設(shè)置的三個傳動面81、82、83，三個傳動面81、82、83處于同一水平面上并與第二傳送帶2和第三傳送帶3的傳動方向垂直用于將第二傳送帶2上的硅片轉(zhuǎn)送至第三傳送帶3，且相鄰兩個傳動面，即傳動面81、82之間以及傳動面82、83之間，形成的間隙801、802分別供第二傳送帶2和第三傳送帶3穿設(shè)；[0058]與第三傳送帶3對接且傳送方向相同的第二傳送機(jī)構(gòu)7，用于將硅片送至下料區(qū)；[0059]第一傳感器10，第一傳感器10設(shè)置于第二傳送帶2和第三傳送帶3與第一傳送帶 I對接的位置上用于感應(yīng)硅片到達(dá)第三傳送帶3時的第一位置信號，根據(jù)該第一位置信號， 第二傳送帶2和第三傳送帶3變?yōu)楦咚僖岳_前后5片硅片組的間距，以進(jìn)一步提高整體傳送速度；[0060]第二傳感器20，第二傳感器20設(shè)置于轉(zhuǎn)角傳送裝置8的位置上用于感應(yīng)硅片到達(dá)轉(zhuǎn)角傳送裝置8時的第二位置信號；第三傳感器30，第三傳感器30設(shè)置于第三傳送帶3與第二傳送機(jī)構(gòu)7對接的位置上用于感應(yīng)硅片到達(dá)第二傳送機(jī)構(gòu)7的第三位置信號。根據(jù)該第二位置信號和第三位置信號，控制第二傳送帶2、第三傳送帶3和轉(zhuǎn)角傳送裝置8的運行狀態(tài)。其中，第三傳送帶3上的硅片將被直接傳送到第二傳送機(jī)構(gòu)7上，第二傳送帶2上的硅片到達(dá)轉(zhuǎn)角傳送裝置8位置時，轉(zhuǎn)角傳送裝置8的升降機(jī)構(gòu)提升，第二傳送帶2和第三傳送帶3沒入間隙801、802內(nèi)，傳動面81、82、83提升至高過第二傳送帶2和第三傳送帶3，托起硅片后將其轉(zhuǎn)送到第三傳送帶3上，然后轉(zhuǎn)角傳送裝置8下降復(fù)位，硅片即被置于第三傳送帶3上，完成硅片的轉(zhuǎn)向，硅片接下來被第三傳送帶3傳送。轉(zhuǎn)角傳送裝置8等待下一片硅片到來。第二傳送帶2、第三傳送帶3完成前一批硅片的傳送后，復(fù)位到接收下一批硅片的狀態(tài)。[0061]作為改進(jìn)，本實用新型的實施例的硅片自動下料設(shè)備的下料區(qū)包括外傳動機(jī)構(gòu)、 收板機(jī)構(gòu)和第四傳感器，其中[0062]外傳動機(jī)構(gòu)11包括上傳送臺和下傳送臺，上傳送臺設(shè)置有用于傳送滿載硅片承載盒的第四傳送帶4，與第二傳送機(jī)構(gòu)7處于同一水平面上且傳送方向相同，下傳送臺設(shè)置有用于傳送空載硅片承載盒的第五傳送帶5并且其傳送方向與第四傳送帶4相反；[0063]收板機(jī)構(gòu)6設(shè)置于第二傳送機(jī)構(gòu)7沿傳送方向的末端,包括第一升降臺62,第一升降臺上設(shè)置有在不同的升降位置處可分別對接于第四傳送帶4以承托傳輸滿載硅片承載盒200和第五傳送帶5以承托傳輸空載娃片承載盒100的第六傳送帶61,第六傳送帶6承托第五傳送帶5送來的空載硅片承載盒，滿載硅片承載盒被第一升降臺62的不斷頂升的過程中，陸續(xù)收取第二傳送機(jī)7構(gòu)送來的硅片，硅片承載盒滿載后，被第六傳送帶6送至第四傳送帶4 ；[0064]如圖2、圖5和圖6所不,第四傳感器40設(shè)置于收板機(jī)構(gòu)6的位置上,感應(yīng)娃片承載盒的空載/滿載信號，用于控制第一升降臺62和第六傳送帶61的動作。第一升降臺62 下降到如圖5所示位置，在第四傳感器40感應(yīng)到的信號控制下，第六傳送帶61傳送方向與第五傳送帶5的傳送方向相同,接收空載娃片承載盒100,而后第一升降臺62上升,第六傳送帶61在第四傳感器40感應(yīng)信號控制下承托空載硅片承載盒100收納第二傳送機(jī)構(gòu)7送來的硅片，然后調(diào)整到如圖6所示位置，第六傳送帶61傳送方向與第四傳送帶4的傳送方向相同，將滿載硅片承載盒200送至第四傳送帶4實現(xiàn)硅片最終下料。[0065]作為進(jìn)一步改進(jìn)，收板機(jī)構(gòu)6和第二傳送機(jī)構(gòu)7之間設(shè)置有緩存機(jī)構(gòu)9，緩存機(jī)構(gòu) 9包括第二升降臺92和兩面貫通的硅片緩存框架91，第二傳送機(jī)構(gòu)7垂直貫穿硅片緩存框架91，第二升降臺92與硅片緩存框架91連接，用于在垂直于第二傳送機(jī)構(gòu)7的傳送方向上升降硅片緩存框架91，與第二傳送機(jī)構(gòu)7配合逐次對硅片緩存框架91進(jìn)行插片，此結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)，不再贅述。[0066]作為更進(jìn)一步改進(jìn)，第二傳送機(jī)構(gòu)7包括支架71、承托平臺、設(shè)于承托平臺兩側(cè)的多個滾輪、分設(shè)于承托平臺兩側(cè)的滾輪上用于傳輸硅片的第七傳送帶72，以及用于帶動滾輪轉(zhuǎn)動的電機(jī)(圖中未示出)；[0067]承托平臺由固定部702和伸縮部701組成，固定部702與支架71固定連接，固定部702與伸縮部701之間通過氣缸74連接，氣缸的伸縮方向與第七傳送帶72的傳送方向一致；滾輪成對設(shè)置，構(gòu)成每對滾輪的兩個滾輪對應(yīng)地分設(shè)于承托平臺兩側(cè)，滾輪至少包括一對傳動滾輪75、一對第一從動滾輪76、一對第二從動滾輪77和一對第三從動滾輪78 ; — 對傳動滾輪75分別固定于一傳動軸751的兩端，傳動軸751設(shè)于承托平臺的固定部702 — 側(cè)的端部，傳動軸751與電機(jī)連接；一對第一從動滾輪76設(shè)于第一輪軸761的兩端，第一輪軸761設(shè)于承托平臺的伸縮部701 —側(cè)的端部，一對第二從動滾輪77設(shè)于第二輪軸771的兩端，第二輪軸771設(shè)于伸縮部701靠近固定部702的一端,一對第三從動滾輪78設(shè)于第三輪軸781的兩端，第三輪軸781設(shè)于伸縮部701下方的支架上，第三輪軸781低于第二輪軸771，第二輪軸771低于第一輪軸761，且第二輪軸771相較于第一輪軸761和第三輪軸 781最靠近固定部702 ;第七傳送帶72分別依次繞過承托平臺兩側(cè)的傳動滾輪75、第一從動滾輪76、第二從動滾輪77和第三從動滾輪78，使第七傳送帶72分別在經(jīng)過位于同一側(cè)的第二從動滾輪77和第三從動滾輪78之后迂回形成多段折疊段703。[0068]以上實施例僅為本實用新型的示例性實施例，不用于限制本實用新型，本實用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實用新型的實質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對本實用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片自動下料設(shè)備，其特征在于，包括第一傳送機(jī)構(gòu)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)包括均處于同一水平面上的至少兩組第一傳送帶， 每組所述第一傳送帶用于與濕制程設(shè)備對接以傳送來自于濕制程設(shè)備的硅片；傳送方向與所述第一傳送機(jī)構(gòu)相同的第二傳送帶和第三傳送帶，所述第二傳送帶和第三傳送帶分別與兩組所述第一傳送帶對接，所述第二傳送帶和第三傳送帶下方設(shè)置有轉(zhuǎn)角傳送裝置，所述轉(zhuǎn)角傳送裝置包括升降機(jī)構(gòu)、與升降機(jī)構(gòu)連接的分段間隔設(shè)置的三個傳動面，三個所述傳動面處于同一水平面上并與所述第二傳送帶和第三傳送帶的傳動方向垂直用于將所述第二傳送帶上的硅片轉(zhuǎn)送至所述第三傳送帶，且相鄰兩個所述傳動面之間形成在所述升降機(jī)構(gòu)提升后供所述第二傳送帶或第三傳送帶穿設(shè)的間隙；與所述第三傳送帶對接且傳送方向相同的第二傳送機(jī)構(gòu)，用于將硅片送至下料區(qū)； 第一傳感器，所述第一傳感器設(shè)置于所述第二傳送帶和第三傳送帶與所述第一傳送帶對接的位置上用于在硅片到達(dá)所述第二傳送帶和第三傳送帶時發(fā)出第一位置信號；第二傳感器，所述第二傳感器設(shè)置于所述轉(zhuǎn)角傳送裝置的位置上用于在硅片到達(dá)所述轉(zhuǎn)角傳送裝置時發(fā)出第二位置信號；第三傳感器，所述第三傳感器設(shè)置于所述第三傳送帶與所述第二傳送機(jī)構(gòu)對接的位置上用于在硅片到達(dá)所述第二傳送機(jī)構(gòu)時發(fā)出第三位置信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片自動下料設(shè)備，其特征在于，所述下料區(qū)包括外傳動機(jī)構(gòu)、收板機(jī)構(gòu)和第四傳感器，其中所述外傳動機(jī)構(gòu)包括上傳送臺和下傳送臺，所述上傳送臺設(shè)置有用于傳送滿載硅片承載盒的第四傳送帶，與所述第二傳送機(jī)構(gòu)處于同一水平面上且傳送方向相同，所述下傳送臺設(shè)置有用于傳送空載硅片承載盒的第五傳送帶并且其傳送方向與所述第四傳送帶相反；所述收板機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第二傳送機(jī)構(gòu)沿傳送方向的末端，包括第一升降臺，所述第一升降臺上設(shè)置有在不同的升降位置處可分別與所述第四傳送帶對接以承托所述傳輸滿載硅片承載盒或與所述第五傳送帶對接以承托傳輸所述空載硅片承載盒的第六傳送帶； 所述第四傳感器設(shè)置于所述收板機(jī)構(gòu)的位置上感應(yīng)硅片承載盒的空載/滿載信號用于控制所述第一升降臺和所述第六傳送帶的動作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片自動下料設(shè)備，其特征在于，所述收板機(jī)構(gòu)和第二傳送機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有緩存機(jī)構(gòu)，所述緩存機(jī)構(gòu)包括第二升降臺和兩面貫通的硅片緩存框架，所述第二傳送機(jī)構(gòu)垂直貫穿所述硅片緩存框架，所述第二升降臺與所述硅片緩存框架連接用于在垂直于所述第二傳送機(jī)構(gòu)的傳送方向上升降所述娃片緩存框架。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片自動下料設(shè)備，其特征在于，所述第二傳送機(jī)構(gòu)包括支架、承托平臺、設(shè)于承托平臺兩側(cè)的多個滾輪、分設(shè)于所述承托平臺兩側(cè)的滾輪上用于傳輸硅片的第七傳送帶，以及用于帶動所述滾輪轉(zhuǎn)動的電機(jī)，所述承托平臺由固定部和伸縮部組成，所述固定部與支架固定連接，所述固定部與伸縮部之間通過氣缸連接，所述氣缸的伸縮方向與所述第七傳送帶的傳送方向一致；所述滾輪成對設(shè)置，構(gòu)成每對滾輪的兩個滾輪對應(yīng)地分設(shè)于承托平臺兩側(cè)，所述滾輪至少包括一對傳動滾輪、一對第一從動滾輪、一對第二從動滾輪和一對第三從動滾輪；一對所述傳動滾輪分別固定于一傳動軸的兩端，所述傳動軸設(shè)于承托平臺的固定部一側(cè)的端部，所述傳動軸與電機(jī)連接；一對所述第一從動滾輪設(shè)于第一輪軸的兩端，第一輪軸設(shè)于承托平臺的伸縮部一側(cè)的端部，一對所述第二從動滾輪設(shè)于第二輪軸的兩端，所述第二輪軸設(shè)于所述伸縮部靠近所述固定部的一端，一對所述第三從動滾輪設(shè)于第三輪軸的兩端，所述第三輪軸設(shè)于所述伸縮部下方的支架上，所述第三輪軸低于所述第二輪軸，所述第二輪軸低于所述第一輪軸，且所述第二輪軸相較于所述第一輪軸和第三輪軸最靠近所述固定部；所述第七傳送帶分別依次繞過所述承托平臺兩側(cè)的傳動滾輪、第一從動滾輪、第二從動滾輪和第三從動滾輪，使所述第七傳送帶分別在經(jīng)過位于同一側(cè)的所述第二從動滾輪和第三從動滾輪之后迂回形成多段折疊段。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片自動下料設(shè)備，包括用于傳送來自于濕制程設(shè)備的硅片的第一傳送機(jī)構(gòu)，其包括第一傳送帶；傳送方向與第一傳送機(jī)構(gòu)相同且分別與第一傳送帶對接的第二傳送帶和第三傳送帶；與第三傳送帶對接且傳送方向相同的第二傳送機(jī)構(gòu)，用于將硅片送至下料區(qū)；用于感應(yīng)硅片到達(dá)第二傳送帶和第三傳送帶時的第一傳感器；用于感應(yīng)硅片到達(dá)所述轉(zhuǎn)角傳送裝置時的第二傳感器；用于感應(yīng)硅片到達(dá)第二傳送機(jī)構(gòu)的第三傳感器。本實用新型的硅片自動下料設(shè)備，能大大提高產(chǎn)能，效率高，降低了勞動強(qiáng)度，也降低了成本，同時該設(shè)備易于制造和安裝。
文檔編號B65G49/07GK202743929SQ201220415728
公開日2013年2月20日 申請日期2012年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月21日
發(fā)明者戴秋喜, 查俊 申請人:庫特勒自動化系統(tǒng)(蘇州)有限公司