專利名稱：一種硅片擴(kuò)散設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片擴(kuò)散設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前，在晶硅太陽電池?cái)U(kuò)散設(shè)備中，待反應(yīng)氣體通過爐尾處的進(jìn)氣管導(dǎo)入爐體內(nèi)，并在爐體內(nèi)某點(diǎn)釋放，然后擴(kuò)散至整個(gè)爐腔。由于進(jìn)氣管直徑遠(yuǎn)小于擴(kuò)散爐管直徑，這導(dǎo)致與進(jìn)氣管同一水平線上的氣體比爐管上端及底部的氣體受到后續(xù)氣體的推動(dòng)力稍大，該處與爐管上端及底部的氣體濃度不一致，將導(dǎo)致硅片上下部的摻雜不均勻性。此外，由于進(jìn)入爐體的待反應(yīng)氣體尚未混合充分，混合氣體因空間位置不同而在成分、密度存在差異，這將導(dǎo)致硅片摻雜不均勻，導(dǎo)致太陽電池局部較大的漏電、較大的接觸電阻及較大的載流子復(fù)合速率，從而降低太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種硅片擴(kuò)散設(shè)備，提高爐體內(nèi)不同空間位置的待反應(yīng)氣體成分、密度的均勻性，從而提高硅片摻雜均勻性，以提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。為達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種硅片擴(kuò)散設(shè)備，包括爐體、所述爐體連接有用于通入氣體的進(jìn)氣管，所述爐體內(nèi)設(shè)有至少一緩沖隔板，所述緩沖隔板將所述爐體隔離成用于使所述氣體緩沖并充分混合的緩沖腔，以及用于使所述氣體和硅片摻雜反應(yīng)的摻雜腔?！ぷ鳛樯鲜龇桨傅母倪M(jìn)，所述緩沖隔板設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管口端。作為上述方案的改進(jìn)，所述緩沖隔板設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管口 2cm-8cm處。作為上述方案的改進(jìn)，所述緩沖隔板設(shè)有通孔。作為上述方案的改進(jìn)，所述通孔為圓形孔、橢圓形孔、方形孔、矩形孔、菱形孔或多邊形孔。作為上述方案的改進(jìn)，所述通孔間隔均勻。作為上述方案的改進(jìn)，所述通孔大小相等。作為上述方案的改進(jìn),所述通孔的直徑或邊長為2mm-4cm。作為上述方案的改進(jìn)，所述緩沖隔板為石英板。作為上述方案的改進(jìn)，所述緩沖隔板的尺寸小于或等于所述爐體的內(nèi)徑。實(shí)施本實(shí)用新型，具有如下有益效果:本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備在現(xiàn)有的爐體內(nèi)增設(shè)至少一緩沖隔板，所述緩沖隔板將所述爐體隔離成緩沖腔和摻雜腔。待反應(yīng)氣體通過進(jìn)氣管進(jìn)入緩沖腔，待反應(yīng)氣體在緩沖腔內(nèi)緩沖和充分混合，并經(jīng)緩沖隔板中的通孔進(jìn)入摻雜腔，待反應(yīng)氣體和硅片在摻雜腔內(nèi)進(jìn)行摻雜反應(yīng)。由于緩沖隔板的阻擋和緩沖，使得待反應(yīng)氣體充分混合；此外，緩沖隔板與爐體內(nèi)徑相差較小，且緩沖隔板的通孔大小相等、間隔均勻，待反應(yīng)氣體經(jīng)過通孔從不同的空間位置同時(shí)進(jìn)入摻雜腔，提高了待反應(yīng)氣體的均勻性，從而提高了硅片摻雜均勻性，減少太陽電池局部漏電、較大的接觸電阻及載流子的復(fù)合速率，以提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣。

圖1為本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。結(jié)合圖1至圖4所示，本實(shí)用新型提供了一種硅片擴(kuò)散設(shè)備的多種實(shí)施方式，包括爐體1、所述爐體I連接有用于通入氣體的進(jìn)氣管2，所述爐體I內(nèi)設(shè)有至少一緩沖隔板3，所述緩沖隔板3將所述爐體I隔離成用于使所述氣體緩沖并充分混合的緩沖腔11，以及用于使所述氣體和娃片摻雜反應(yīng)的摻雜腔12。緩沖隔板3將爐體I隔離成緩沖腔11和摻雜腔12，待反應(yīng)氣體在進(jìn)入摻雜腔12發(fā)生化學(xué)反應(yīng)前，先在緩沖腔11內(nèi)被充分混合和緩沖，減弱了局部空間壓力過大導(dǎo)致的不均勻性。所述緩沖隔板3設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管2 口端。優(yōu)選的，所述緩沖隔板3設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管2 口 2cm-8cm處。更佳的，所述緩沖隔板3設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管2 口 3cm-5cm處。參見圖2至圖4，所述緩沖隔板3設(shè)有通孔31。所述通孔31為圓形孔、橢圓形孔、方形孔、矩形孔、菱形孔或多邊形孔，但不限于此。優(yōu)選的，所述通孔31間隔均勻。優(yōu)選的，所述通孔31大小相等。更佳的，所述通孔31間隔均勻且大小相等。緩沖隔板3的通孔31大小相等、間隔均勻，待反 應(yīng)氣體經(jīng)過通孔31從緩沖腔11不同的空間位置同時(shí)進(jìn)入摻雜腔12，提高了待反應(yīng)氣體的均勻性，從而提高了硅片摻雜均勻性。優(yōu)選的，所述通孔31的直徑或邊長為2mm-4cm。更佳的，所述通孔31的直徑或邊長為 3mm-3cm0進(jìn)一步優(yōu)選的，所述通孔31為圓形孔。更佳的，所述圓形通孔31的直徑為3mm-3cm0需要說明的是，所述緩沖隔板3為石英板，但不限于此。還需要說明的是，所述緩沖隔板3的尺寸小于或等于所述爐體I的內(nèi)徑。優(yōu)選的，所述緩沖隔板3的尺寸略小于或等于所述爐體I的內(nèi)徑。下面以具體實(shí)施例進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板的多種實(shí)施方式:參見圖2，圖2提供了硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第一實(shí)施例，所述緩沖隔板3設(shè)有通孔31，所述通孔31間隔均勻且大小相等。所述通孔31為圓形孔，其直徑為3mm。參見圖3，圖3提供了硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第二實(shí)施例，所述緩沖隔板3設(shè)有通孔31，所述通孔31間隔均勻且大小相等。所述通孔31為方形孔，其邊長為1cm。參見圖4，圖4提供了硅片擴(kuò)散設(shè)備的緩沖隔板第三實(shí)施例，所述緩沖隔板3設(shè)有通孔31，所述通孔31間隔均勻且大小相等。所述通孔31為正六邊形孔，其邊長為5mm。綜上所述，本實(shí)用新型硅片擴(kuò)散設(shè)備在現(xiàn)有的爐體I內(nèi)增設(shè)至少一緩沖隔板3，所述緩沖隔板3將所述爐體I隔離成緩沖腔11和摻雜腔12。待反應(yīng)氣體通過進(jìn)氣管2進(jìn)入緩沖腔11，待反應(yīng)氣體在緩沖腔11內(nèi)緩沖和充分混合，并經(jīng)緩沖隔板3中的通孔31進(jìn)入摻雜腔12，待反應(yīng)氣體和硅片在摻雜腔12內(nèi)進(jìn)行摻雜反應(yīng)。由于緩沖隔板3的阻擋和緩沖，使得待反應(yīng)氣體充分混合；此外，緩沖隔板3與爐體I內(nèi)徑相差較小，且緩沖隔板3的通孔31大小相等、間隔均勻，待反應(yīng)氣體經(jīng)過通孔31從不同的空間位置同時(shí)進(jìn)入摻雜腔12，提高了待反應(yīng)氣體的均勻性，從而提高了硅片摻雜均勻性。硅片摻雜不均勻會(huì)存在以下問題:摻雜少(方阻高)區(qū)域，易漏電且接觸電阻較大；摻雜高(方阻低)區(qū)域，載流子復(fù)合速率大。由于漏電、大的接觸電阻、大載流子復(fù)合都是降低光電轉(zhuǎn)換效率的因素之一。因此，本實(shí)用新型提高了硅片摻雜均勻性，有效減少太陽電池局部漏電、較大的接觸電阻及載流子復(fù)合速率，從而提高了太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍?！?br> 權(quán)利要求1.一種硅片擴(kuò)散設(shè)備，包括爐體、所述爐體連接有用于通入氣體的進(jìn)氣管，其特征在于，所述爐體內(nèi)設(shè)有至少一緩沖隔板，所述緩沖隔板將所述爐體隔離成用于使所述氣體緩沖并充分混合的緩沖腔，以及用于使所述氣體和硅片摻雜反應(yīng)的摻雜腔。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述緩沖隔板設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管口端。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述緩沖隔板設(shè)于靠近所述進(jìn)氣管口 2cm_8cm 處。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述緩沖隔板設(shè)有通孔。
5.如權(quán)利要求4所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述通孔為圓形孔、橢圓形孔、方形孔、矩形孔或菱形孔。
6.如權(quán)利要求5所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述通孔間隔均勻。
7.如權(quán)利要求5所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述通孔大小相等。
8.如權(quán)利要求5所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述通孔的直徑或邊長為2mm-4cm0
9.如權(quán)利要求Γ8任一項(xiàng)所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述緩沖隔板為石英板。
10.如權(quán)利 要求9所述的硅片擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述緩沖隔板的尺寸小于或等于所述爐體的內(nèi)徑。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片擴(kuò)散設(shè)備，包括爐體、所述爐體連接有用于通入氣體的進(jìn)氣管，所述爐體內(nèi)設(shè)有至少一緩沖隔板，所述緩沖隔板將所述爐體隔離成用于使所述氣體緩沖并充分混合的緩沖腔，以及用于使所述氣體和硅片摻雜反應(yīng)的摻雜腔。采用本實(shí)用新型，提高爐體內(nèi)不同空間位置的待反應(yīng)氣體成分、密度的均勻性，從而提高硅片摻雜均勻性，減少太陽電池局部漏電、較大的接觸電阻及載流子的復(fù)合速率，以有效提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣。
文檔編號(hào)H01L31/18GK203103336SQ20122072770
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者胡海平, 班群, 方結(jié)彬, 何達(dá)能, 陳剛 申請(qǐng)人:廣東愛康太陽能科技有限公司