專利名稱：氣密光罩盒構造的制作方法
技術領域：
本實用新型有關一種用于保存與運輸光罩的光罩盒，具體而言是指一種密封效果佳的氣密光罩盒構造。
背景技術：
近年來電子產(chǎn)品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展，而欲滿足這個產(chǎn)品發(fā)展的方向，用于電子產(chǎn)品中的核心半導體元件或液晶顯示元件的芯片就需微小化與具有高效能，而欲使芯片微小化與具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細化，因此現(xiàn)有的集成電路線徑已由早期的0. 25微米發(fā)展至90 45納米，而芯片上集成電路線徑的微細化的成敗主要在于半導體工藝中的黃光微影工藝技術，而其關鍵設備是在于光罩。由于光罩在作業(yè)環(huán)境中，存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì)會附著于光罩表面，且在經(jīng)長時間儲存或晶圓曝光工藝的加熱后，會于光罩表面產(chǎn)生微粒附著、結晶、又或霧化等現(xiàn)象，而直接影響到光罩在黃光微影工藝中的透光率，進而使光罩上的圖形失真，其會造成半導體元件或液晶顯示元件良率降低，且增加清理與改善的時間，造成生產(chǎn)量降低，相對上也會提高營運的成本。因此，光罩在保存或運送時，用于收納的光罩盒需能有效防止微粒侵入，以避免光罩表面附著塵埃。而現(xiàn)有光罩盒是由可相對開蓋合的本體與蓋體所組成，且本體與蓋體之間形成有一可容置光罩的容置空間，由于光罩盒在收納光罩時因時間長、或因運輸過程中的氣壓變化，使微?；蛩畾饪赡軓谋倔w與蓋體相對蓋合的接縫表面的間隙侵入，進而附著于光罩表面，為此，當需要長時間存放或運輸時，會于該光罩盒的本體與蓋體的接縫處的環(huán)狀周緣粘著有一膠帶，借以提高其密封性，但其因本體與蓋體后側樞軸結構呈凸出狀，且前側可用于選擇性扣固本體與蓋體的嵌扣結構也呈凸出狀，而造成膠帶無法貼合于本體與蓋體接縫的周緣表面，進而影響到本體與蓋體的氣密性。為此，如日本專利特開平2001-301877可見光罩盒于本體與蓋體的接縫相互套合，并于本體與蓋體之間插入以硬質(zhì)塑料材料一體成形的軸片，使之可以固定，且將軸片的各翼部插入形成于本體與蓋體的接縫緣部的安裝溝孔內(nèi)，使本體與蓋體接合時，該本體與蓋體及軸片的外表面成平滑地形成本體與蓋體及軸片的光罩盒。另，如中國臺灣專利公告第I2218M號的光罩盒具有本體與關閉本體開口部的蓋體，本體與蓋體在其一邊以軸片形狀開合自在地連接，在相對的另一邊部分可將蓋體閉鎖及解除閉鎖，其特征在于可閉鎖及解除閉鎖的閉鎖機構是于本體與蓋體的接縫的內(nèi)部方向設凹部，同時在該凹部內(nèi)設可動的關閉滑板，借由使該關閉滑板于該凹部內(nèi)可動使之具有可將蓋體閉鎖及解除閉鎖的閉鎖機構，使光罩盒的該側面部分成平面狀態(tài)。前述專利均在于提高膠帶與光罩盒接縫處的貼合面積，減少因高低表面產(chǎn)生的未貼合現(xiàn)象，但其仍然需要在光罩盒的接縫周緣粘貼膠帶，增加作業(yè)時間與成本；況且其并未消除光罩盒的本體與蓋體接縫表面間的間隙，因此一旦膠帶未粘貼完善，或因長時間存放與外力等因素，而造成膠帶剝離時，環(huán)境中的微粒、水氣或有害物質(zhì)仍會侵入光罩盒內(nèi)部，無法確保內(nèi)部光罩的潔凈度；最后，使用者更需要花時間去除光罩盒的膠帶，如未能有效清理干凈，將影響到該光罩盒之后的密封效果，進而縮短或減少該光罩盒的使用壽命或次數(shù)。換言之，如能直接提升光罩盒的本體與蓋體間的接縫處密封效果，不僅可克服前述的問題與不便，同時可確保光罩在收納時的潔凈度，且能增加光罩管理的便利性，進一步可提升生產(chǎn)的良品率、增加產(chǎn)量與降低成本。

實用新型內(nèi)容因此，本實用新型的主要目的在提供一種能確保光罩表面的潔凈度、且密封效果佳的氣密光罩盒構造。又，本實用新型的另一主要目的系在提供一種自身密合性佳的氣密光罩盒構造， 借以減少不必要的黏貼膠帶與清理工具，而能有效節(jié)省其作業(yè)時間與成本，進一步可延長或增加光罩盒的使用壽命與次數(shù)。為達到上述目的，本實用新型主要是通過下列的技術手段來具體實現(xiàn)前述的目的與效能；一種氣密光罩盒構造，其包含有一開口向上的本體及一開口向下的蓋體，且本體與蓋體選擇性相對蓋合形成一容置光罩的存放空間；其中本體與蓋體在蓋合的接縫處分別形成有一相對的開口周緣，且本體與蓋體的開口周緣分別具有一相互嵌套接合的嵌接部，又本體與蓋體至少其中之一的嵌接部在相對接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件。所述本體與所述蓋體的材質(zhì)選自金屬或塑料。所述彈性密合件以射出溶合方式形成于所述本體的嵌接部對應所述蓋體的嵌接部的頂緣接合表面上。所述本體的嵌接部在相對所述蓋體的嵌接部的其中至少一個接合表面形成有一道扣環(huán)槽，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對應該扣環(huán)槽的壓接部，所述彈性密合件通過該壓接部與該扣環(huán)槽接合于所述本體的嵌接部上。所述本體的嵌接部上形成有一嵌扣部，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對應該嵌扣部的嵌套部，所述彈性密合件通過該嵌套部套接于所述本體的嵌扣部上。所述本體上的彈性密合件是由軟質(zhì)、且具彈性回復預力的塑料材質(zhì)所制成。所述彈性密合件選自橡膠、硅膠或熱塑性彈性體。所述本體選自丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物，而所述彈性密合件選自能與其破壞性溶合的人工膠。所述本體與所述蓋體的內(nèi)部周緣任意處設有兩片以上肋片，且所述本體與所述蓋體的外側表面另具有兩個以上能防止所述本體與蓋體變形的上下沿伸的相對邊肋。所述本體與所述蓋體的內(nèi)部在對應光罩的角落邊緣分設有一相對錯位的限壓件， 該限壓件的自由端具有一能承接或壓掣光罩上下表面的承壓部，又該限壓件進一步在該承壓部一側凸伸有一能貼抵光罩側邊表面的推抵部。借此，通過前述技術手段的展現(xiàn)，讓本實用新型的光罩盒可借由軟質(zhì)的彈性密合件的設計，使其能吸收本體與蓋體的接合表面的間隙，而能提升自身的密封效果，可有效防止外部微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒內(nèi)部，進一步提高光罩收納時的潔凈度，可避免光罩表面因微粒、水氣或有害物質(zhì)附著而受到污染，故可提升其附加價值，并可提高其經(jīng)濟效益。

[0023] 玄圖1為本實用新型光罩 構造的展開示意圖，其說明各組件的形態(tài)及其相對關系；圖2為本實用新型光罩盒構造蓋合時的示意圖；[0025]圖3為本實用新型光罩盒構造的局部放大示意圖；[0026]圖4為本實用新型光罩盒構造的剖面示意圖；[0027]圖5為本實用新型光罩盒構造的局部剖面放大示意圖；[0028]圖6為本實用新型光罩盒構造另一實施例的局部剖面放大示意圖；[0029]圖7為本實用新型光罩盒構造再一實施例的局部剖面放大示意圖。[0030]附圖標記說明[0031]10本體 100邊肋[0032]11開口周緣 12嵌接部[0033]120扣環(huán)槽 122嵌扣部[0034]13接軸部 14滑條[0035]15扣塊 16肋片[0036]17限壓件 18承壓部[0037]19推抵部 20蓋體[0038]200邊肋 21開口周緣[0039]22嵌接部 23接軸部[0040]24扣條 26肋片[0041]27限壓件 28承壓部[0042]29推抵部 30彈性密合件[0043]35彈性密合件 36壓接部[0044]40彈性密合件 42嵌套部[0045]50光罩
具體實施方式
為進一步了解本實用新型的構成、特征及其它目的，以下舉本實用新型的若干較佳實施例，并配合附圖詳細說明如后，同時讓熟悉該項技術領域者能夠具體實施。本實用新型是一種供收納、保存運送用于制造半導體元件或液晶顯示元件等的光罩的氣密光罩盒構造，隨附圖例示的本實用新型光罩盒的具體實施例及其構件中，所有關于前與后、左與右、頂部與底部、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用于方便進行描述，并非限制本實用新型，也并非將其構件限制于任何位置或空間方向。附圖與說明書中所指定的尺寸，當可在不離開本實用新型的權利要求范圍內(nèi)，根據(jù)本實用新型的具體實施例的設計與需求而進行變化。請參照圖1、2及4所示，本實用新型氣密光罩盒構造包含有一開口向上的本體10 及一開口向下的蓋體20，其中本體10與蓋體20可選擇性相對蓋合形成一容置光罩50的存放空間，且該本體10與蓋體20的材質(zhì)可選自金屬或塑料，本實用新型是以硬質(zhì)的ABS塑料 (苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚合而成)為主要實施例。而關于本實用新型較佳實施例的詳細構成，則仍請參看圖1、2、3及4所示，其中本體10與蓋體20在蓋合的接縫處分別形成有一相對的開口周緣11、21，且本體10與蓋體20 的開口周緣11、21分別具有一突出狀的嵌接部12、22，嵌接部12、22呈相對錯位狀，使本體 10與蓋體20蓋合時可借由該兩嵌接部12、22相互嵌套接合，并令本體10與蓋體20于接縫處的內(nèi)外表面呈平齊狀(且前述本體10與蓋體20的嵌接部也可互換)，又本體10與蓋體 20至少其中之一的嵌接部12、22于至少其中一相對接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件30，該彈性密合件30是由軟質(zhì)、且具彈性回復預力的塑料材質(zhì)所制成，該彈性密合件30可選自如橡膠、硅膠、人工膠、TPV (Thermoplastic Vulcanizate，熱塑性硫化橡膠)>TPE (Thermoplastic Elastomer，熱塑性彈性體)或TPEE (熱塑性聚酯彈性體)等等，本實用新型選自可與本體10與蓋體20的ABS塑料(Acrylonitrile Butadiene Styrene,丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)進行破壞性溶合的人工膠(如和泰股份有限公司生產(chǎn)的EMPILON HA系列產(chǎn)品)，而另外配合參看圖5所示，本實用新型的較佳實施例是將該彈性密合件30以射出溶合方式形成于本體10的嵌接部12對應蓋體20嵌接部22 的頂緣接合表面上(其也可為粘合或嵌卡，如圖6、7的實施例，后面會有說明)，且前述蓋體20蓋合于本體10上時，蓋體20的嵌接部22相對接合表面適可緊壓該彈性密合件30變形，以完全消除本體10與蓋體20蓋合時接縫處接合表面的間隙，達到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的。又本體10與蓋體20在一側邊上形成有相對的接軸部13、23，使本體10與蓋體20 可利用接軸部13、23相對樞接、且能相對樞轉(zhuǎn)啟閉，再者該接軸部13、23可形成突出于光罩盒側邊的外部或內(nèi)部。另本體10與蓋體20異于接軸部13、23的側邊分別形成有相對交錯的一滑條14與一扣條M，其中滑條14上滑設有一扣塊15，該扣塊15可在本體10與蓋體 20相對蓋合時滑扣于扣條M上，使光罩盒的本體10與蓋體20產(chǎn)生閉鎖的效果，令蓋體20 無法被掀起，且當扣塊15滑離扣條M時，可產(chǎn)生釋放的效果，使蓋體20可相對本體10掀開，而開啟該光罩盒。再者本體10與蓋體20的內(nèi)部周緣任意處設有兩片以上肋片16、26，其能防止本體 10與蓋體20變形，且本體10與蓋體20的外側表面另具有兩個以上上下延伸的相對邊肋 100、200，其能進一步確保本體10與蓋體20的外形，借此可防止本體10與蓋體20相對嵌套的嵌接部12、22產(chǎn)生偏移，以確保彈性密合件30消除間隙的效能，并能提高本體10與蓋體20的結構強度。更特別的是本體10與蓋體20的內(nèi)部在對應光罩50的四個角落邊緣分設有一相對錯位的限壓件17、27，限壓件17、27的自由端具有一能承接或壓掣光罩50上下表面的承壓部18、28，又限壓件17、27進一步于承壓部18J8 —側凸伸有一可貼抵光罩50 側邊表面的推抵部19、29，使本體10與蓋體20相對蓋合時，可利用限壓件17、27將光罩50 限制定位于光罩盒內(nèi)部，且通過承壓部18J8與推抵部19、四能產(chǎn)生定位與壓掣作用，防止光罩50在光罩盒因偏移或晃動而產(chǎn)生靜電，可避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50或各限壓件17、27的接觸表面。借此，光罩盒的本體10與蓋體20在蓋合的接縫處，可利用彈性密合件30產(chǎn)生密封效果，以避免微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入，而組構成一可收納、保存運輸光罩50的氣密光罩盒構造，且可將前述本體10作為蓋體、而蓋體20作為本體，其也可達到相同功能。經(jīng)由上述的說明，本實用新型在實際運用時，則如圖1、圖2及圖4所揭示，當使用者欲將光罩50收納于光罩盒內(nèi)時，將蓋體20向上相對本體10掀開，且將光罩50置于本體 10的限壓件17上，并利用限壓件17的承壓部18與推抵部19相對光罩50頂撐及定位，接著將蓋體20向下相對本體10蓋合，使蓋體20可利用其限壓件27的承壓部觀與推抵部四相對光罩50壓掣及定位，令光罩50完全夾限于光罩盒的本體10與蓋體20之間。且本體10與蓋體20在蓋合時，由于本體10開口周緣11的嵌接部12具有彈性密合件30，因此當蓋體20利用嵌接部22相對蓋合時，蓋體20可利用嵌接部22的接合表面緊壓該設于本體10嵌接部12上的彈性密合件30產(chǎn)生具彈性回復預力的變形，其能完全消除本體10與蓋體20在蓋合時相對接合表面的間隙，使光罩盒本身具有極佳的密封效果，而達到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的，以確保光罩盒內(nèi)光罩50的潔凈度。同時由于本體10與蓋體20相對蓋合時，可利用限壓件17、27將光罩50完全夾限定位，故可防止光罩50在光罩盒因偏移或晃動而產(chǎn)生靜電，而具有避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50或各限壓件17、27接觸表面的效果。又本實用新型另有一實施例，其如圖6所示，該光罩盒的本體10嵌接部12在相對蓋體20嵌接部22的其中至少一接合表面形成有一道扣環(huán)槽120，而環(huán)狀的彈性密合件35 具有對應該扣環(huán)槽120的壓接部36，使彈性密合件35能通過壓接部36與扣環(huán)槽120接合于本體10嵌接部12上，且前述蓋體20蓋合于本體10上時，蓋體20的嵌接部22相對接合表面適可緊壓該彈性密合件35變形，以完全消除本體10與蓋體20蓋合時接縫處接合表面的間隙，達到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的，其一樣能具有前述的優(yōu)點與實用價值。再者，該彈性密合件40并另有一實施例，其如圖7所示，該光罩盒的本體10嵌接部12上形成有一較小的嵌扣部122，而環(huán)狀的彈性密合件40具有對應該嵌扣部122的“門” 形嵌套部42，使彈性密合件40能通過嵌套部42套接于本體10的嵌扣部122上，且彈性密合件40并至少對應本體10與蓋體20的嵌接部12、22接縫處的其中之一接合表面，如此當蓋體20蓋合于本體10上時，蓋體20的嵌接部22接合表面可緊壓該彈性密合件40變形， 以消除本體10與蓋體20蓋合時接縫處的間隙，其一樣具有本實用新型前述防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入的效果。經(jīng)由前述技術手段的實現(xiàn)，使得本實用新型至少具有下列的效能與功效增進1、通過本實用新型光罩盒的彈性密合件30設計，使光罩盒本身可產(chǎn)生較佳的密封效果，而能消除本體10與蓋體20接縫處的間隙，故不論是長時間存放或于氣壓變化較大的環(huán)境中運輸，均能有效防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒，以確保光罩盒內(nèi)光罩50 的潔凈度，進而提高工藝良品率。2、由于本實用新型的光罩盒的本體10與蓋體20相對蓋合時，可利用限壓件17、 27將光罩50限制定位于光罩盒內(nèi)部，且通過承壓部18J8與推抵部19、四的定位與壓掣作用，可避免光罩50在光罩盒內(nèi)任意偏移或晃動，防止因摩擦而產(chǎn)生靜電，故可有效避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50的接觸表面。3、且本實用新型的光罩盒的本體10與蓋體20相對蓋合時，利用其彈性密合件30 的氣密作用，而有有效防止水氣侵入，減少光罩50表面積聚水氣形成霧霾的機會，如此可消除、最小化或充分地控制霧霾形成與環(huán)境調(diào)整，減少光罩50清洗的次數(shù)，以降低生產(chǎn)的成本。 4、又本實用新型的光罩盒因本身即具有極佳的密封效果，因此在長時間存放或運輸時，不需要使用膠帶來粘貼本體10與蓋體20間的接縫，而能減少不必要的粘貼與清理工作，除能節(jié)省人力、時間與成本外，更能延長或增加光罩盒的使用壽命或次數(shù)，可有效提升其經(jīng)濟效益。
權利要求1.一種氣密光罩盒構造，其包含有一開口向上的本體及一開口向下的蓋體，且該本體與蓋體選擇性相對蓋合形成一容置光罩的存放空間；其特征在于，所述本體與所述蓋體在蓋合的接縫處分別形成有一相對的開口周緣，且所述本體與所述蓋體的開口周緣分別具有一相互嵌套接合的嵌接部，又所述本體與蓋體至少其中之一的嵌接部在相對接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件。
2.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的材質(zhì)選自金屬或塑料。
3.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述彈性密合件以射出溶合方式形成于所述本體的嵌接部對應所述蓋體的嵌接部的頂緣接合表面上。
4.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體的嵌接部在相對所述蓋體的嵌接部的其中至少一個接合表面形成有一道扣環(huán)槽，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對應該扣環(huán)槽的壓接部，所述彈性密合件通過該壓接部與該扣環(huán)槽接合于所述本體的嵌接部上。
5.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體的嵌接部上形成有一嵌扣部，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對應該嵌扣部的嵌套部，所述彈性密合件通過該嵌套部套接于所述本體的嵌扣部上。
6.依權利要求1或3或4或5所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體上的彈性密合件是由軟質(zhì)、且具彈性回復預力的塑料材質(zhì)所制成。
7.依權利要求6所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述彈性密合件選自橡膠、硅膠或熱塑性彈性體。
8.依權利要求6所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體選自苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚物，而所述彈性密合件選自能與其破壞性溶合的人工膠。
9.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的內(nèi)部周緣任意處設有兩片以上肋片，且所述本體與所述蓋體的外側表面另具有兩個以上能防止所述本體與蓋體變形的上下沿伸的相對邊肋。
10.依權利要求1所述的氣密光罩盒構造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的內(nèi)部在對應光罩的角落邊緣分設有一相對錯位的限壓件，該限壓件的自由端具有一能承接或壓掣光罩上下表面的承壓部，又該限壓件進一步在該承壓部一側凸伸有一能貼抵光罩側邊表面的推抵部。
專利摘要本實用新型涉及一種氣密光罩盒構造，特別是指一種密封性佳、且可防止微粒侵入的氣密光罩盒構造，其是由可相對蓋合的一本體與一蓋體所組成，且本體與蓋體之間形成有一容置光罩的空間，本實用新型的特色在于本體與蓋體的至少其中之一，在兩者相對蓋合的其中一接合表面上設有一道軟質(zhì)的彈性密合件，通過本實用新型的設計，可借由軟質(zhì)的彈性密合件使光罩盒的本體與蓋體的接合表面產(chǎn)生較佳的貼合性與氣密性，如此可有效防止外部微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒內(nèi)部，以提升光罩儲存時的潔凈度，可避免光罩表面因微粒、水氣或有害物質(zhì)附著而破壞表面圖案，而能用于保存或運輸光罩。
文檔編號B65D55/02GK202193337SQ20112028721
公開日2012年4月18日 申請日期2011年8月9日 優(yōu)先權日2011年8月9日
發(fā)明者陳明生 申請人:陳明生