專利名稱：基板移送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于移送在制造電子組件中使用的基板的基板移送裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池(Solar Cell)、半導(dǎo)體元件、顯示裝置等(以下，稱為“電子組件”)需要通過多種工序制造。這樣的制造工序包括在用于制造電子組件的基板(Substrate)上沉積導(dǎo)體、半導(dǎo)體、電介質(zhì)等薄膜的沉積工序；為了將沉積的薄膜形成為規(guī)定圖案而進行的蝕刻工序；去除異物等的清洗工序等。這些工序分別在不同的工藝腔室內(nèi)進行。為了將在工藝腔室之間的基板移送時間等最小化而提高生產(chǎn)率，并且為了便于維護管理工藝腔室， 利用了工藝腔室一體化的基板處理裝置。這種基板處理裝置根據(jù)工藝腔室的配置形式，分為集中式和直列式。圖1是集中式基板處理裝置的概略圖，圖2是直列式基板處理裝置的概略圖。參照圖1，集中式基板處理裝置100是以移送腔室101為中心配置多個工藝腔室 102的結(jié)構(gòu)。S卩，工藝腔室102圍繞移送腔室101配置。參照圖2，直列式的基板處理裝置100是沿X軸方向長長地形成移送腔室101，而工藝腔室102沿X軸方向隔開規(guī)定間距配置。在直列式基板處理裝置100中，工藝腔室102 以移送基板101為基準配置在移送腔室101的兩側(cè)(Y軸方向)。這樣如圖1所示的集中式的基板處理裝置100和如圖2所示的直列式的基板處理裝置100中，在移送腔室101內(nèi)設(shè)置用于移送基板(未圖示)的基板移送裝置103?；逡扑脱b置103反復(fù)進行將基板裝載到與工序流程所對應(yīng)的工藝腔室102內(nèi)， 在該工藝腔室102內(nèi)的作業(yè)結(jié)束時卸載基板，之后向下一個工序流程所對應(yīng)的工藝腔室 102裝載的工序?；逡扑脱b置103包括為了裝載或卸載基板而支承基板的臂1031?；逡扑脱b置103使臂1031在工藝腔室102和移送腔室101之間移動，從而執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序。臂1031具有足夠長的長度，以使整個基板能夠位于工藝腔室102內(nèi)部， 或整個基板能夠位于工藝腔室102外部。因此，基板移送裝置103整體具有相當大的尺寸。參照圖1，集中式的基板處理裝置100中，基板移送裝置103以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)以使臂1031朝向裝載或卸載基板的工藝腔室102。因此，集中式基板處理裝置100中，為了防止基板移送裝置103旋轉(zhuǎn)時與工藝腔室102碰撞，移送腔室101需要形成較大尺寸。當移送腔室101的尺寸變大時，臂1031也要移動較長行程(stroke)，所以基板移送裝置103 也應(yīng)形成為更大尺寸。這樣，不僅增加用于制造基板移送裝置103和移送腔室101的制造費用，還增加基板移送裝置103執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序的過程中基板的移動距離，從而存在作業(yè)時間延長的問題。參照圖2，直列式的基板處理裝置100中，基板移送裝置100向X軸方向移動以使臂1031位于用于裝載或卸載基板的工藝腔室102側(cè)。然后，基板移送裝置103以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，從而使臂1031朝向配置在移送腔室101兩側(cè)的工藝腔室102中的一個。因此， 在直列式的基板處理裝置100，為了防止基板移送裝置103旋轉(zhuǎn)時與工藝腔室102碰撞，而且能夠沿X軸方向移動，移送腔室101需要形成較大尺寸。當移送腔室101的尺寸變大時， 臂1031也要移動較長行程(Stroke)，所以基板移送裝置103也應(yīng)形成為更大尺寸。這樣， 不僅增加用于制造基板移送裝置103和移送腔室101的制造費用，還增加基板移送裝置103 執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序的過程中基板的移動距離，從而存在作業(yè)時間延長的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決如上所述問題而提出，本發(fā)明的目的在于提供一種基板移送裝置，可降低整體尺寸的同時，為了執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序能夠移動較長行程 (Stroke)0本發(fā)明涉及的基板移送裝置可以包括底架，設(shè)有底部齒條；移動臂，結(jié)合有與所述底部齒條嚙合的移動小齒輪，并且可移動地結(jié)合在所述底架上；驅(qū)動單元，為了轉(zhuǎn)動所述移動小齒輪而移動所述移動臂；連接機構(gòu)，結(jié)合有隨著所述移動小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的連接齒條及隨著所述連接齒條的移動而旋轉(zhuǎn)的連接小齒輪，當所述移動臂從所述底架突出地移動時，向所述移動臂突出的方向移動而從所述移動臂突出；以及支承臂，用于支承基板， 并且結(jié)合有隨著所述連接小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的支承齒條。當所述連接機構(gòu)從所述移動臂突出地移動時，所述支承臂可以從所述連接機構(gòu)向所述連接機構(gòu)突出的方向突出地移動。 為了使所述連接機構(gòu)和所述支承臂以所述底架為基準向第一方向和與所述第一方向相反的第二方向突出，所述驅(qū)動單元可以使所述移動臂向所述第一方向和所述第二方向移動。根據(jù)本發(fā)明的基板移送裝置可以包括底架；臂機構(gòu)，用于移動基板，并且包括在從所述底架突出的第一位置及相互重疊地層疊在所述底架的第二位置之間移動的多個臂 (Arm)；驅(qū)動單元，移動所述臂中的某一個，使所述臂位于所述第一位置或所述第二位置中的某一位置；以及聯(lián)動機構(gòu)，結(jié)合在所述臂上，并且通過所述驅(qū)動單元移動所述臂中的某一個而使其余臂聯(lián)動地移動。所述聯(lián)動機構(gòu)可以包括多個小齒輪，用于將所述驅(qū)動單元的直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動；以及多個齒條，與所述小齒輪嚙合，將所述小齒輪的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動。所述驅(qū)動單元可以移動所述臂中的某一個，以使所述臂機構(gòu)以所述底架為基準向第一方向和與所述第一方向相反的第二方向突出。


圖1是集中式的基板處理裝置的概略圖。圖2是直列式的基板處理裝置的概略圖。圖3及圖4是本發(fā)明涉及的基板移送裝置的概略立體圖。圖5是本發(fā)明涉及的基板移送裝置的概略側(cè)視圖。圖6是本發(fā)明涉及的基板移送裝置的概略分解立體圖。圖7及圖8是用于說明本發(fā)明涉及的基板移送裝置的動作關(guān)系的概念圖。圖9及圖10是用于說明本發(fā)明涉及的輔助小齒輪的動作關(guān)系的概念圖。圖11是本發(fā)明涉及的第一連接小齒輪的概略立體圖。圖12是表示本發(fā)明涉及的引導(dǎo)機構(gòu)的結(jié)合關(guān)系的概略主視圖。圖13是本發(fā)明涉及的第一游隙補償機構(gòu)和第二游隙補償機構(gòu)的概略立體圖。
圖14及圖15是用于說明本發(fā)明涉及的第一游隙補償機構(gòu)和第二游隙補償機構(gòu)的動作關(guān)系的概念圖。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明涉及的基板移送裝置的優(yōu)選實施例。參照圖3至圖5，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1包括臂機構(gòu)2，用于移動基板(未圖示)；聯(lián)動機構(gòu)3 (在圖5中示出)，用于相互聯(lián)動地移動所述臂機構(gòu)2所具有的多個臂 (Arm)21、22、23 ；以及驅(qū)動單元4，提供用于移動所述臂機構(gòu)2的驅(qū)動力。所述臂機構(gòu)2結(jié)合在底架Ia上。所述基板是用于制造太陽能電池(Solar Cell)、半導(dǎo)體元件、顯示裝置等電子組件時使用。例如，所述基板可以是玻璃(Glass)基板、金屬(Metal)基板、塑料 (Plastic)基板等。所述臂21、22、23可以通過所述驅(qū)動單元4和所述聯(lián)動機構(gòu)3從所述底架Ia突出地移動。由此，所述臂21、22、23各自可以分擔(dān)實現(xiàn)用于執(zhí)行裝載工序和卸載工序的行程。 因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以使所述臂21、22、23移動較長行程(Stroke)，以便執(zhí)行對所述基板的裝載工序和卸載工序。所述臂21、22、23可以通過所述驅(qū)動單元4和所述聯(lián)動機構(gòu)3在所述底架Ia上相互重疊而層疊地移動。所以，本發(fā)明涉及的基板移送裝置 1可以形成為與所述臂21、22、23實現(xiàn)的行程相比相對小的尺寸。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1能夠減小整體尺寸的同時，為了執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序可以將所述臂機構(gòu)2移動較長行程。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1由所述聯(lián)動機構(gòu)3來聯(lián)動地移動所述臂21、22、23。 所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括分別與所述臂21、22、23結(jié)合的小齒輪(Pinion Gear)和齒條 (Rack Gear)。所述小齒輪將所述驅(qū)動單元4的直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動，所述齒條將所述小齒輪的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動。由此，當所述臂21、22、23中的某一個通過所述驅(qū)動單元4進行直線運動時，所述小齒輪將直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動，而所述齒條將所述旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動，從而所述臂21、22、23可以相互聯(lián)動而進行直線運動。這樣，所述臂21、 22,23能夠通過所述聯(lián)動機構(gòu)3聯(lián)動地移動而從所述底架Ia突出，或能夠通過所述聯(lián)動機構(gòu)3聯(lián)動地移動從而在所述底架Ia上相互重疊地層疊。為了移動所述臂21、22、23可以利用帶(Belt)式、線(Wire)式、滾珠絲杠(Ball screw)式、缸(Cylinder)式，但本發(fā)明涉及的基板移送裝置1通過利用小齒輪和齒條的聯(lián)動機構(gòu)3來聯(lián)動移動所述臂21、22、23，從而可獲得如下的作用效果。首先，為了移動所述臂21、22、23而利用帶式時，存在如下問題。對所述基板的沉積工序、蝕刻工序等是在大致80°C 180°C的高溫下進行。即，用于執(zhí)行所述沉積工序、蝕刻工序等的工藝腔室(未圖示)內(nèi)部被設(shè)定成相當高的高溫環(huán)境，根據(jù)工序類型所述各工藝腔室可以設(shè)定為不同溫度。所以，當用于移動所述臂21、22、23的帶子在所述工藝腔室之間移動時，隨著溫度變化所述帶子進行伸縮。因此，根據(jù)所述工藝腔室內(nèi)部的溫度、所述臂 21、22、23在所述工藝腔室中滯留的時間等，所述帶子的伸縮程度不同，而且根據(jù)所述帶子的伸縮程度，所述臂21、22、23的移動距離也變化。因此，利用帶式的臂21、22、23存在不能將所述基板移動恒定距離的問題。為了移動所述臂21、22、23而利用線式時，也存在如下問題，由于所述線根據(jù)溫度變化發(fā)生收縮、膨脹等引起的變形，所以不能將所述基板移動恒定距離。因此，為了移動所述臂21、22、23而利用帶式或線式時，存在降低所述裝載工序和卸載工序的準確性的問題。與此不同，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1采用了利用小齒輪和齒條的聯(lián)動機構(gòu)3， 所以即使執(zhí)行對所述基板的裝載工序和卸載工序的過程中溫度發(fā)生變化，也能夠?qū)⑺龌逡苿雍愣ň嚯x。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1能夠提高所述裝載工序和卸載工序的準確性。其次，為了移動所述臂21、22、23而利用滾珠絲杠式時，需要在每個所述臂21、22、 23上結(jié)合滾珠絲杠的同時，要具備用于旋轉(zhuǎn)所述滾珠絲杠的電機。即，需要與所述臂21、 22,23的數(shù)量相當?shù)亩鄠€電機。由此，材料費用增加的同時，存在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中難以控制所述電機的問題。而且，所述電機分別與所述臂21、22、23結(jié)合時， 增加所述臂21、22、23的重量，從而存在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中所述臂21、
22、23發(fā)生下垂的問題。與此相反，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1通過利用小齒輪和齒條的聯(lián)動機構(gòu)3來聯(lián)動移動所述臂21、22、23，因此能夠利用一個驅(qū)動單元4來移動所述臂21、22、23，從而能夠降低材料費的同時，在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中可便于控制所述臂21、22、
23。而且，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可減輕所述臂21、22、23的重量，從而能夠防止在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中所述臂21、22、23發(fā)生下垂的問題。其次，為了移動所述臂21、22、23而利用缸式時，需要在每個所述臂21、22、23上結(jié)合缸體。由此，材料費增加的同時，存在在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中難以控制所述缸體的問題。而且，通過所述缸體分別與所述臂21、22、23結(jié)合，可增加所述臂21、22、 23具有的重量，從而存在在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中所述臂21、22、23可能發(fā)生下垂的問題。與此不同，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1通過利用小齒輪和齒條的聯(lián)動機構(gòu)3來聯(lián)動移動所述臂21、22、23，因此能夠利用一個驅(qū)動單元4來移動所述臂21、22、23，從而能夠降低材料費用的同時，在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中可便于控制所述臂21、 22、23。而且，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可減輕所述臂21、22、23具有的重量，從而能夠防止在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中所述臂21、22、23發(fā)生下垂的問題。下面參照附圖詳細說明所述臂機構(gòu)2、所述聯(lián)動機構(gòu)3以及所述驅(qū)動單元4的優(yōu)選實施例。參照圖3至圖5，所述臂機構(gòu)2包括移動臂21、連接機構(gòu)22以及支承臂23。所述移動臂21可移動地結(jié)合在所述底架Ia上。以圖5為基準時，所述移動臂21 位于所述底架Ia的上側(cè)，所述連接機構(gòu)22位于所述移動臂21的上側(cè)，所述支承臂23位于所述連接機構(gòu)22的上側(cè)。如圖4所示，所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22以及所述支承臂 23能夠以從所述底架Ia突出的方式移動。所述連接機構(gòu)22可以從所述移動臂21向所述移動臂21從所述底架Ia突出的方向突出地移動。所述支承臂23可以從所述連接機構(gòu)22 向所述移動臂21從所述底架Ia突出的方向突出地移動。所以，所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22以及所述支承臂23能夠分擔(dān)實現(xiàn)用于執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的行程。因此， 本發(fā)明涉及的基板移送裝置1為了執(zhí)行對所述基板的所述裝載工序和卸載工序，能夠使所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22以及所述支承臂23移動較長行程。
如圖3及5所示，所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22以及所述支承臂23可相互重疊而層疊位于所述底架Ia上。所以，與所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22以及所述支承臂23 所實現(xiàn)的行程相比，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以形成為較小的尺寸。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可減小整體尺寸的同時，能夠為了執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序?qū)⑺霰蹤C構(gòu)2移動較長行程。由此，能夠減小基板處理裝置(未圖示)中設(shè)置本發(fā)明涉及的基板移送裝置1的移送腔室(未圖示)的尺寸。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1 不僅能夠降低用于制造移送腔室的制造費用，還能夠縮短在執(zhí)行對所述基板的裝載工序和卸載工序的過程中所述基板的移動距離，從而縮短作業(yè)時間。本發(fā)明涉及的基板移送裝置 1均可適用于集中式基板處理裝置(未圖示)和直列式基板處理裝置(未圖示)。所述移動臂21可以向第一方向(A箭頭方向)和與所述第一方向相反的第二方向 (B箭頭方向)移動。所述移動臂21可以從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。當所述移動臂21從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動時，所述連接機構(gòu) 22從所述移動臂21向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。而且，所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。即，隨著所述移動臂21向所述第一方向(A箭頭方向)移動，所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。所述移動臂21可以從所述底架Ia向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。當所述移動臂21從所述底架Ia向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動時，所述連接機構(gòu) 22從所述移動臂21向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。而且，所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。即，隨著所述移動臂21向所述第二方向(B箭頭方向)的移動，所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23從所述底架Ia向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。這樣，所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23可以以所述底架Ia為基準，沿著所述移動臂21的移動方向向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)中的任一方向突出地移動。因此，當本發(fā)明涉及的基板移送裝置1適用于直列式基板處理裝置時，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也不必旋轉(zhuǎn)即可執(zhí)行對于配置在移送腔室兩側(cè)的工藝腔室的裝載工序和卸載工序。所以，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1所適用的直列式基板處理裝置， 不必在所述移送腔室中確保所述基板移送裝置1旋轉(zhuǎn)所需的空間，從而進一步減小所述移送腔室的尺寸，還可以縮短執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序所需的作業(yè)時間。所述移動臂21整體可以形成為矩形板狀。所述底架Ia可以形成為與所述移動臂 21的尺寸大致相同，或者比所述移動臂21的尺寸大。所述底架Ia整體可以形成為矩形板狀。參照圖3至圖5，所述連接機構(gòu)22位于所述移動臂21與所述支承臂23之間。所述連接機構(gòu)22可移動地結(jié)合在所述移動臂21上。在所述連接機構(gòu)22上可移送地結(jié)合有所述支承臂23。如圖4所示，所述連接機構(gòu)22可以從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。如圖5所示，所述連接機構(gòu)22可以移動為，在所述底架Ia上相互重疊而層疊地位于所述移動臂21和所述支承臂23之間。參照圖3至圖5，所述連接機構(gòu)22可以包括多個連接臂221、222。所述連接臂221、222可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3相互聯(lián)動地移動。例如，所述連接機構(gòu)22可以包括第一連接臂221及第二連接臂222。所述第一連接臂221可移動地結(jié)合在所述移動臂21上。所述第一連接臂221可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3而隨著所述移動臂21的移動而聯(lián)動移動。當所述移動臂21從所述底架Ia突出地移動時，所述第一連接臂221從所述移動臂21向所述移動臂21突出的方向突出地移動。所述第二連接臂222設(shè)在所述第一連接臂221和所述支承臂23之間。所述第二連接臂222與所述第一連接臂221可移動地結(jié)合。所述第二連接臂 222可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3而隨著所述第一連接臂221的移動而聯(lián)動移動。當所述第一連接臂221從所述移動臂21突出地移動時，所述第二連接臂222從所述第一連接臂221向所述第一連接臂221突出的方向突出地移動。所述支承臂23可移動地結(jié)合在所述第二連接臂222。所述支承臂23可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3而隨著所述第二連接臂222的移動而聯(lián)動移動。當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時，所述支承臂23從所述第二連接臂222向所述第二連接臂222突出的方向突出地移動。雖然未圖示，所述連接機構(gòu)22也可以包括一個連接臂221。此時，所述連接臂221 面向所述底架Ia的一面可以與所述移動臂21可移動地結(jié)合。所述連接臂221面向所述支承臂23的另一面上可移動地結(jié)合有所述支承臂23。雖然未圖示，所述連接機構(gòu)22也可以包括三個以上的連接臂221。此時，所述連接臂221可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3相互聯(lián)動地移動。在所述連接臂221中位于最接近所述底架Ia的連接臂可以與所述移動臂21可移動地結(jié)合。在所述連接臂221中位于最接近所述支承臂23的連接臂可以與所述支承臂23可移動地結(jié)合。參照圖5及圖6，所述連接臂221、222可以分別包括兩個連接架221a、221b、22h、 222b。所述連接架221a、221b、22h、222b分別形成為沿所述移動臂21的移動方向的長條狀。在所述連接架221a、221b、22h、222b上分別結(jié)合有所述聯(lián)動機構(gòu)3。所以，所述連接架 221a、221b、22^i、222b可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3相互聯(lián)動地移動。所述連接架221a、221b、 22h、222b分別在與所述移動臂21的移送方向相垂直的方向(C軸方向)隔開規(guī)定間距。 因此，能夠減少所述連接臂221、222各自所具有的重量，從而能夠防止所述連接臂221、222 各自重量引起的下垂現(xiàn)象。當所述連接臂221、222分別包括兩個連接架221a、221b、22h、222b時，雖然能夠減少所述連接臂221、222各自所具有的重量，但相應(yīng)地降低用于支承所述支承臂23的支承力。因此，可能發(fā)生所述支承臂23下垂的現(xiàn)象。當所述支承臂23上支承有基板時，所述支承臂23發(fā)生下垂的可能性高。為了防止發(fā)生這種所述支承臂23下垂，在所述連接臂221、 222中至少一個可以包括用于增強支承力的加固部件22a。所述加固部件22a與所述連接臂221、222各自所具有的兩個連接架221a、221b、 222a,222b連接，從而能夠增強所述連接臂221、222具有的支承力。例如，所述連接機構(gòu)22 包括所述第一連接臂221和所述第二連接臂222時，所述加固部件2 可以與所述第一連接臂221具有的兩個連接架221a、221b連接。因此，所述加固部件2 可以增強所述第一連接臂221具有的支承力，從而能夠增強用于支承所述支承臂23的第二連接臂222具有的支承力。雖然未圖示，所述加固部件2 也可以僅形成在所述第二連接臂222上，也可以均形成在所述第一連接臂221和所述第二連接臂222上。所述加固部件2 可以沿所述移動臂21的移動方向形成為短于所述連接臂221、222的長度的長度。所述加固部件2 整體可以形成為矩形板狀。雖然未圖示，所述加固部件2 也可以追加形成在所述支承臂23上。參照圖3至圖5，所述支承臂23可移動地結(jié)合在所述連接機構(gòu)22上。以圖5為基準時，所述支承臂23位于所述連接機構(gòu)22的上側(cè)。如圖4所示，所述支承臂23可以從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。所述支承臂23可以在所述底架Ia上與所述移動臂21及所述支承臂23相互重疊而層疊地移動。當所述連接機構(gòu)22包括多個連接臂221、222時，所述支承臂23可移動地結(jié)合在所述連接臂221、222中位于最接近所述支承臂23的連接臂。例如，當所述連接機構(gòu)22包括所述第一連接臂221和所述第二連接臂222時，所述支承臂23可以與所述第二連接臂222可移動地結(jié)合。所述支承臂23可以從所述第二連接臂222向所述第一連接臂221突出移動的方向突出地移動。參照圖5及圖6，所述支承臂23可以包括兩個支承架23a、23b。所述支承架23a、 2 沿所述移動臂21的移動方向形成長條(Bar)狀。在所述支承架23a、2!3b上可分別結(jié)合有所述聯(lián)動機構(gòu)3。因此，所述支承架23a、2!3b可以通過所述聯(lián)動機構(gòu)3相互聯(lián)動地移動。 當所述第二連接臂222包括兩個連接架22h、222b時，在兩個連接架22h、222b上可移動地分別結(jié)合有所述支承架23a、23b。所述支承架23a、2!3b分別在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向)隔開規(guī)定間距。因此，能夠減少所述支承臂23具有的重量，從而能夠防止所述支承臂23的重量引起的下垂。所述支承臂23可以支承所述基板。以圖5為基準時，所述基板被支承在所述支承臂23的上側(cè)。所述支承臂23可以包括用于支承所述基板的支承部件231。如圖4的放大圖所示，所述支承部件231整體可以形成為圓盤狀。所述支承部件231可以包括槽2311， 形成在中央部分；支承面2312，由所述槽2311形成為環(huán)形。所述基板被所述支承面2312接觸支承。因此，所述支承臂23通過所述槽2311減少所述支承部件231與所述基板接觸的面積，從而降低所述基板被損傷的機會，并且可以通過所述支承面2312用足夠的支承力支承所述基板。所述槽2311可以形成為圓盤狀。所述支承面2312可以形成為圓環(huán)狀。所述支承臂23也可以包括多個所述支承部件231。此時，所述支承部件231可以沿著所述移動臂21的移動方向隔開規(guī)定間距設(shè)置多個。參照圖5至圖8，所述聯(lián)動機構(gòu)3可以相互聯(lián)動地移動所述臂21、22、23。所述聯(lián)動機構(gòu)3可以與所述臂機構(gòu)2結(jié)合。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括多個小齒輪及多個齒條。當所述臂21、22、23中的某一個通過所述驅(qū)動單元4移動時，所述小齒輪將直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動，所述齒條將所述小齒輪的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動。由此，所述臂21、22、23可以相互聯(lián)動地移動。所述小齒輪分別以所述移動臂21的移動方向為基準，能夠以位于各個所述臂 21、22、23的中間部分的方式與所述臂21、22、23結(jié)合。所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括底部齒條31，與所述底架Ia結(jié)合；移動小齒輪32，與所述移動臂21結(jié)合；連接齒條33和連接小齒輪34，與所述連接機構(gòu)22結(jié)合；以及支承齒條 35，與所述支承臂23結(jié)合。所述底部齒條31設(shè)在所述底架Ia的面向所述移動臂21的面上。以圖5為基準時，所述底部齒條31設(shè)在所述底架Ia的上面。所述底部齒條31可以沿所述移動臂21的移送方向形成為與所述底架Ia具有的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個底部齒條31。所述底部齒條31在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。所述移動小齒輪32可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述移動臂21上。所述移動小齒輪32與所述底部齒條31嚙合地結(jié)合在所述移動臂21上。所述移動小齒輪32可以通過所述移動臂 21的移動與所述底部齒條31嚙合而旋轉(zhuǎn)。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個所述移動小齒輪32。例如，所述聯(lián)動機構(gòu)2可以包括兩個移動小齒輪32。此時，所述移動小齒輪32可旋轉(zhuǎn)地分別結(jié)合在所述移動臂21的兩側(cè)面上。所述移動臂21的兩側(cè)面是面向與所述移動臂 21的移動方向相垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)的兩個側(cè)面。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述移動小齒輪32數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述底部齒條31。所述底部齒條31設(shè)在所述底架 Ia的能夠與所述移動小齒輪32嚙合的位置。所述移動小齒輪32可以向所述移動臂21的移動方向并以所述移動臂21的長度為基準，以位于所述移動臂21的中間部分的方式與所述移動臂21結(jié)合。所述連接齒條33與所述連接機構(gòu)22結(jié)合。所述連接齒條33可以形成為沿所述移動臂21的移動方向具有與所述連接機構(gòu)22的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個連接齒條33。此時，所述連接齒條33以在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定距離的方式結(jié)合在所述連接機構(gòu)22上。所述連接小齒輪34可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述連接機構(gòu)22上。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個所述連接小齒輪；34。此時，所述連接小齒輪34可旋轉(zhuǎn)地分別結(jié)合在所述連接機構(gòu)22的兩側(cè)面上。所述連接機構(gòu)22的兩側(cè)面是面向與所述移動臂21的移動方向相垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)的兩個側(cè)面。所述連接小齒輪34可以向所述移動臂21 的移動方向以所述連接機構(gòu)22具有的長度為基準，以位于所述連接機構(gòu)22的中間部分的方式與所述連接機構(gòu)22結(jié)合。當所述連接機構(gòu)22包括多個連接臂221、222時，所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括分別與所述連接臂221、222結(jié)合的多個連接齒條33和多個連接小齒輪34。例如，當所述連接機構(gòu) 22包括所述第一連接臂221和所述第二連接臂222時，所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括第一連接齒條331、第一連接小齒輪341、第二連接齒條332、第二連接小齒輪342。所述第一連接齒條331與所述第一連接臂221結(jié)合。所述第一連接齒條331可以與所述移動小齒輪32嚙合，并隨著所述移動小齒輪32的旋轉(zhuǎn)而移動。當所述第一連接齒條331隨著所述移動小齒輪32的旋轉(zhuǎn)而移動時，結(jié)合有所述第一連接齒條331的所述第一連接臂221也移動。所述第一連接齒條331設(shè)在所述第一連接臂221的面向所述移動臂21 的面上。以圖5為基準時，所述第一連接齒條331設(shè)在所述第一連接臂221的底面。所述第一連接齒條331可以形成為，沿所述移動臂21的移動方向具有與所述第一連接臂221的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個第一連接齒條331。此時，所述第一連接齒條331在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。當所述第一連接臂221包括兩個連接架221a、221b時，所述第一連接齒條331分別設(shè)在所述連接架221a、221b上。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述移動小齒輪32數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述第一連接齒條331。所述第一連接齒條331設(shè)在所述第一連接臂221 的與所述移動小齒輪32嚙合的位置。所述第一連接小齒輪341可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述第一連接臂221上。所述第一連接小齒輪341可以隨著所述第一連接臂221的移動而旋轉(zhuǎn)。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個所述第一連接小齒輪341。所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括兩個第一連接小齒輪341。此時，所述第一連接小齒輪341可旋轉(zhuǎn)地分別結(jié)合在所述第一連接臂221的兩側(cè)面上。所述第一連接臂221的兩側(cè)面是面向與所述移動臂21的移動方向相垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)的兩個側(cè)面。當所述第一連接臂221包括兩個連接架221a、221b時，所述第一連接小齒輪341分別設(shè)在所述連接架221a、221b上。所述第一連接小齒輪341可以向所述移動臂 21的移動方向以所述第一連接臂221具有的長度為基準，以位于所述第一連接臂221的中間部分的方式與所述第一連接臂221結(jié)合。所述第二連接齒條332與所述第二連接臂222結(jié)合。所述第二連接齒條332可以與所述第一連接小齒輪341嚙合，并隨著所述第一連接小齒輪341的旋轉(zhuǎn)而移動。當所述第二連接齒條332隨著所述第一連接小齒輪341的旋轉(zhuǎn)而移動時，結(jié)合有所述第二連接齒條332的所述第二連接臂222也移動。所述第二連接齒條332設(shè)在所述第二連接臂222的面向所述第一連接臂221的面上。以圖5為基準時，所述第二連接齒條332設(shè)在所述第二連接臂222的底面。所述第二連接齒條332可以形成為，沿所述移動臂21的移動方向具有與所述第二連接臂222的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個第二連接齒條 332。此時，所述第二連接齒條332在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。當所述第二連接臂222包括兩個連接架22h、222b 時，所述第二連接齒條332分別設(shè)在所述連接架22h、222b上。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述第一連接小齒輪341數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述第二連接齒條332。所述第二連接齒條332 設(shè)在所述第二連接臂222的與所述第一連接小齒輪332嚙合的位置。所述第二連接小齒輪342可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述第二連接臂222上。所述第二連接小齒輪342可以隨著所述第二連接臂222的移動而旋轉(zhuǎn)。所述聯(lián)動機構(gòu)3也可以包括多個所述第二連接小齒輪342。所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括兩個第二連接小齒輪342。此時，所述第二連接小齒輪342可旋轉(zhuǎn)地分別結(jié)合在所述第二連接臂222的兩側(cè)面上。所述第二連接臂222的兩側(cè)面是面向與所述移動臂21的移動方向相垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)的兩個側(cè)面。當所述第二連接臂222包括兩個連接架22h、222b時，所述第二連接小齒輪342分別設(shè)在所述連接架22h、222b上。所述第二連接小齒輪342可以向所述移動臂 21的移動方向以所述第二連接臂222具有的長度為基準，以位于所述第二連接臂222的中間部分的方式與所述第二連接臂222結(jié)合。在圖5中示出了，當所述移動臂21、所述第一連接臂221、所述第二連接臂222以及所述支承臂23在所述底架Ia上相互重疊而層疊時，所述移動小齒輪32、所述第一連接小齒輪341以及所述第二連接小齒輪342并不位于同一垂直線上的情況，但所述移動小齒輪32、所述第一連接小齒輪341以及所述第二連接小齒輪 342可以位于同一垂直線上。參照圖5至圖8，所述支承齒條35結(jié)合在所述支承臂23上。所述支承齒條35可以與所述第二連接小齒輪342嚙合，并隨著所述第二連接小齒輪342的旋轉(zhuǎn)而移動。當所述支承齒條35隨著所述第二連接小齒輪342的旋轉(zhuǎn)而移動時，結(jié)合有所述支承齒條35的所述支承臂23也移動。所述支承齒條35設(shè)在所述支承臂23的面向所述第二連接臂222 的面上。以圖5為基準時，所述支承齒條35設(shè)在所述支承臂23的底面。所述支承齒條35 可以形成為，沿所述移動臂21的移動方向具有與所述支承臂23的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動結(jié)構(gòu)3也可以包括多個支承齒條35。此時，所述支承齒條35在與所述移動臂21的移
12動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。當所述第二支承臂 23包括兩個支承架23a、2 時，所述支承齒條35分別設(shè)在所述支承架23a、2 上。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述第二連接小齒輪342數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述支承齒條35。所述支承齒條35設(shè)在所述支承臂23的與所述第二連接小齒輪342嚙合的位置。參照圖5至圖8，所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括移動齒條36。所述移動齒條36結(jié)合在所述移動臂21上。所述移動齒條36與所述第一連接小齒輪341嚙合。所述第一連接小齒輪341分別與所述移動齒條36和所述第二連接齒條332嚙合。因此，當所述第一連接臂 221移動時，所述第一連接小齒輪341隨著所述移動齒條36旋轉(zhuǎn)的同時使所述第二連接齒條332移動。當所述第二連接齒條332隨著所述第一連接小齒輪341的旋轉(zhuǎn)而移動時，結(jié)合有所述第二連接齒條332的所述第二連接臂222也移動。所述移動齒條36設(shè)在所述移動臂21面向所述底架Ia的面的相反面上。以圖5為基準時，所述移動齒條36設(shè)在所述移動臂21的上面。所述移動齒條36可以形成為沿所述移動臂21的移動方向具有與所述移動臂21的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動結(jié)構(gòu)3也可以包括多個移動齒條36。此時，所述移動齒條36在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述第一連接小齒輪341數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述移動齒條36。所述移動齒條36設(shè)在所述移動臂21的與所述第一連接小齒輪341嚙合的位置。參照圖5至圖8，所述聯(lián)動機構(gòu)3可以包括第三連接齒條333。所述第三連接齒條 333結(jié)合在所述第一連接臂221上。所述第三連接齒條333與所述第二連接小齒輪342嚙合。所述第二連接小齒輪342分別與所述第三連接齒條333和所述支承齒條35嚙合。因此，當所述第二連接臂222移動時，所述第二連接小齒輪342隨著所述第三連接齒條333旋轉(zhuǎn)的同時使所述支承齒條35移動。當所述支承齒條35隨著所述第二連接小齒輪342的旋轉(zhuǎn)而移動時，結(jié)合有所述支承齒條35的所述支承臂23也移動。所述第三連接齒條333設(shè)在所述第一連接臂221的設(shè)有所述第一連接齒條331的面相反的另一面上。以圖5為基準時，所述第三連接齒條333設(shè)在所述第一連接臂221的上面。所述第三連接齒條333可以形成為，沿所述移動臂21的移動方向具有與所述第一連接臂221的長度相應(yīng)的長度。所述聯(lián)動結(jié)構(gòu)3也可以包括多個第三連接齒條333。此時，所述第三連接齒條333在與所述移動臂21的移動方向垂直的方向(C軸方向，在圖6中示出)相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。所述聯(lián)動機構(gòu)3包括與所述第二連接小齒輪342數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的所述第三連接齒條333。所述第三連接齒條333設(shè)在所述第一連接臂221的與所述第二連接小齒輪342嚙合的位置。下面，參照圖5至圖8詳細說明所述臂機構(gòu)2與所述聯(lián)動機構(gòu)3的動作關(guān)系。首先，如圖5所示，所述臂機構(gòu)2所具有的臂21、22、23在所述底架Ia上處于相互重疊而層疊的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，所述驅(qū)動單元4(在圖4中示出)向所述第一方向(A 箭頭方向)移動所述臂21、22、23中的某一個。例如，所述驅(qū)動單元4可以向所述第一方向 (A箭頭方向)移動所述移動臂21。其次，當所述移動臂21向所述第一方向(A箭頭方向)移動時，如圖7所示，所述移動臂21從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。隨著所述移動臂21 的移動，所述移動小齒輪32與所述底部齒條31嚙合，并沿著所述底部齒條31進行旋轉(zhuǎn)。當所述移動小齒輪32隨著所述底部齒條31旋轉(zhuǎn)時，與所述移動小齒輪32嚙合的所述第一連接齒條331向所述第一方向(A箭頭方向)移動。
其次，當所述第一連接齒條331向所述第一方向(A箭頭方向)移動時，如圖7所示，所述第一連接臂221從所述移動臂21向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。隨著所述第一連接臂221的移動，所述第一連接小齒輪341與所述移動齒條36嚙合，并沿著所述移動齒條36進行旋轉(zhuǎn)。當所述第一連接小齒輪341隨著所述移動齒條36旋轉(zhuǎn)時，與所述第一連接小齒輪341嚙合的所述第二連接齒條332向所述第一方向(A箭頭方向)移動。其次，當所述第二連接齒條332向所述第一方向(A箭頭方向)移動時，如圖7所示，所述第二連接臂222從所述第一連接臂221向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。 隨著所述第二連接臂222的移動，所述第二連接小齒輪342與所述第三連接齒條333嚙合， 并沿著所述第三連接齒條333進行旋轉(zhuǎn)。當所述第二連接小齒輪342隨著所述第三連接齒條333旋轉(zhuǎn)時，與所述第二連接小齒輪342嚙合的所述支承齒條35向所述第一方向(A箭頭方向)移動。其次，當所述支承齒條35向所述第一方向(A箭頭方向)移動時，如圖7所示，所述支承臂23從所述第二連接臂222向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動。如上所述，由于所述臂21、22、23通過所述聯(lián)動機構(gòu)3相互聯(lián)動地移動，所以可以位于從所述底架 Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出的位置。所述臂21、22、23從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動的狀態(tài)下，當所述驅(qū)動單元4(在圖4中示出)向所述第二方向(B箭頭方向)移動所述移動臂21時，如圖5所示，所述臂21、22、23可以在所述底架Ia上相互重疊而層疊地移動。而且，當所述驅(qū)動單元4(在圖4中示出)向所述第二方向(B箭頭方向)進一步移動所述移動臂21時，如圖8所示，所述臂21、22、23可以從所述底架Ia向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。參照圖5、圖9及圖10，所述聯(lián)動機構(gòu)3所具有的小齒輪32、34中至少一個可以包括第一輔助小齒輪3a (在圖9中示出)和第二輔助小齒輪3b (在圖9中示出)。所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北相互連接地形成。因此，所述第一輔助小齒輪3a 和所述第二輔助小齒輪北一同旋轉(zhuǎn)。所述第一輔助小齒輪3a與所述聯(lián)動機構(gòu)3所具有的齒條31、33、35中的第一齒條3c (在圖9中示出)嚙合。所述第二輔助小齒輪北與所述聯(lián)動機構(gòu)3所具有的齒條31、33、35中的第二齒條3d(在圖9中示出)嚙合。所述第一齒條 3c和所述第二齒條3d結(jié)合在不同的臂21、22、23。所述第一輔助小齒輪3a與所述第一齒條3c嚙合，可以沿著所述第一齒條3c旋轉(zhuǎn)。所述第二輔助小齒輪北與所述第二齒條3d 嚙合，可以使所述第二齒條3d移動。如圖10所示，所述第一輔助小齒輪3a具有的第一直徑Dl比所述第二輔助小齒輪北具有的第二直徑D2小。所以，當所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北以規(guī)定角度R旋轉(zhuǎn)時，所述第二輔助小齒輪北比所述第一輔助小齒輪3a旋轉(zhuǎn)的距離Ll旋轉(zhuǎn)更長距離L2。因此，與所述第一輔助小齒輪3a沿著所述第一齒條3c旋轉(zhuǎn)的距離相比，所述第二輔助小齒輪北能夠移動所述第二齒條3d更長距離。所以，本發(fā)明涉及的基板移送裝置 1能夠縮短向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)移動所述臂21、 22,23時所需的時間，從而能夠縮短執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序時所需的作業(yè)時間。當將所述臂21、22、23在所述底架Ia上相互重疊而層疊的方向定義為垂直方向時，所述聯(lián)動機構(gòu)3所具有的小齒輪32、34中包括所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北的小齒輪32、34可以設(shè)置在水平方向。所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北在所述垂直方向相互隔開規(guī)定距離。也可以將所述聯(lián)動機構(gòu)3所具有的齒條31、 33、35中與所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北嚙合的所述第一齒條3c和所述第二齒條3d設(shè)置于水平方向?？梢詫⑺雎?lián)動機構(gòu)3所具有的小齒輪32、34中不包括所述第一輔助小齒輪3a和所述第二輔助小齒輪北的小齒輪32、34，如圖5所示的設(shè)置于所述垂直方向，將與此嚙合的齒條31、33、35也設(shè)置于所述垂直方向。例如，如圖11所示，所述第一連接小齒輪331可以包括第一輔助連接小齒輪331a 及第二輔助連接小齒輪331b。所述第一輔助連接小齒輪331a和所述第二輔助連接小齒輪 331b相互連接。所述第一輔助連接小齒輪331a與所述移動齒條36嚙合。所述第二輔助連接小齒輪331b與所述第二連接齒條332嚙合。所述第二輔助連接小齒輪331b直徑比所述第一輔助連接小齒輪331a的直徑大。由此，當結(jié)合有所述第一連接小齒輪331的第一連接臂221移動時，所述第二輔助連接小齒輪331b可以比所述第一輔助連接小齒輪331a旋轉(zhuǎn)的距離旋轉(zhuǎn)更長距離。因此，與所述第一連接小齒輪331隨著所述移動齒條36旋轉(zhuǎn)的距離相比，所述第二輔助連接小齒輪331b使所述第二連接齒條332移動更長距離，從而能夠增加所述第二連接臂222的移動速度。所述第一輔助連接小齒輪331a和所述第二輔助連接小齒輪331b可以設(shè)在所述水平方向。所述第一輔助連接小齒輪331a和所述第二輔助連接小齒輪331b可以在所述垂直方向相互隔開規(guī)定距離。所述移動齒條36和所述第二連接齒條332可以設(shè)成在所述水平方向相互隔開規(guī)定距離。所述移動齒條36和所述第二連接齒條332可以設(shè)成分別與所述第一輔助連接小齒輪331a和所述第二輔助連接小齒輪331b嚙合的部分對置。參照圖4至圖8，所述驅(qū)動單元4移動所述臂21、22、23中的某一個。所述驅(qū)動單元4可以移動所述臂21、22、23中的某一個，以便使所述臂機構(gòu)2以所述底架Ia為基準向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)突出。所述驅(qū)動單元4可以結(jié)合在所述移動臂21上。由此，所述驅(qū)動單元4可以移動所述移動臂21。當所述驅(qū)動單元4移動所述移動臂21時，與所述移動臂21結(jié)合的移動小齒輪32旋轉(zhuǎn)。由此，所述連接機構(gòu)22和所述支承臂23可以聯(lián)動地移動。雖然未圖示，所述驅(qū)動單元4也可以結(jié)合在所述連接機構(gòu)22或所述支承臂23上。此時，所述驅(qū)動單元4可以移動所述連接機構(gòu)22或所述支承臂23。所述驅(qū)動單元4向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)移動所述移動臂21。當所述驅(qū)動單元4向所述第一方向(A箭頭方向)移動所述移動臂21時， 結(jié)合在所述移動臂21的移動小齒輪32向順時針方向旋轉(zhuǎn)。由此，所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23向所述第一方向(A箭頭方向)移動。當所述驅(qū)動單元4向所述第二方向(B箭頭方向)移動所述移動臂21時，結(jié)合有所述移動臂21的移動小齒輪32向逆時針方向旋轉(zhuǎn)。由此，所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23向所述第二方向(B箭頭方向) 移動。所述驅(qū)動單元4移動所述移動臂21以使所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23位于第一位置和第二位置中的某一位置。所述第一位置是所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23從所述底架Ia突出的位置。例如，所述第一位置是如圖7所示的所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23從所述底架Ia向所述第一方向(A箭頭方向)突出的位置，以及如圖8所示，所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23 從所述底架Ia向所述第二方向(B箭頭方向)突出的位置。所述第二位置是如圖5所示的所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23在所述底架Ia上重疊而層疊的位置。參照圖4及圖6，所述驅(qū)動單元4可以是直線電機(Linear motor)。此時，所述驅(qū)動單元4包括設(shè)在所述底架Ia上的線圈機構(gòu)41及結(jié)合在所述移動臂21上的移動機構(gòu) 42。所述線圈機構(gòu)41固定設(shè)置在所述底架Ia上。所述移動機構(gòu)42可移動地設(shè)在所述底架Ia上。在所述移動機構(gòu)42上設(shè)有多個永久磁鐵421。所述永久磁鐵421設(shè)在所述移動機構(gòu)42中面向所述線圈機構(gòu)41的面上。所述永久磁鐵421可以沿所述移動臂21的移動方向相鄰地設(shè)置。所述移動機構(gòu)42可以通過作用在所述線圈機構(gòu)41與所述永久磁鐵421 之間的電磁力向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)移動。隨著所述移動機構(gòu)42的移動，結(jié)合在所述移動機構(gòu)42上的移動臂21可以向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)移動。雖然未圖示，所述驅(qū)動單元4也可以利用使用液壓缸或氣缸的缸式、使用電機、齒條和小齒輪等的齒輪式、使用電機和滾珠絲杠等的滾珠絲杠式、使用電機、滑輪和帶子等的帶式等來移動所述移動臂21。雖然未圖示，所述驅(qū)動單元4可以包括結(jié)合在所述底架 Ia上的直線運動(Linear motion)導(dǎo)軌及結(jié)合在所述移動機構(gòu)42上的直線運動(Linear motion)塊。結(jié)合在所述移動機構(gòu)42上的直線運動塊可移動地結(jié)合在在所述底架Ia上結(jié)合的直線運動導(dǎo)軌上。因此，所述移動機構(gòu)42可以通過所述直線運動導(dǎo)軌和所述直線運動塊進行直線移動。參照圖4及圖6，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也可以包括多個所述臂機構(gòu)2。所述臂機構(gòu)2可移動地分別結(jié)合在所述底架Ia上。所述臂機構(gòu)2分別結(jié)合在所述驅(qū)動單元4 的兩側(cè)。因此，所述臂機構(gòu)2可以通過所述驅(qū)動單元4一同移動。在所述驅(qū)動單元4上可以結(jié)合有所述臂機構(gòu)4各自具有的移動臂21。所述移動臂21可分別結(jié)合在所述移動機構(gòu) 42的兩側(cè)。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可獲得如下的作用效果。第一，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1，當大型基板時，所述臂機構(gòu)2分擔(dān)支承所述基板，從而能夠防止所述基板具有的重量引起的所述臂機構(gòu)2下垂。第二，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1，通過一個驅(qū)動單元4來移動所述臂機構(gòu)2，從而能夠降低材料費用。第三，本發(fā)明涉及的基板移送裝置 1，能夠在執(zhí)行所述裝載工序和卸載工序的過程中容易控制所述臂機構(gòu)2移動相同距離。參照圖12，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括多個引導(dǎo)機構(gòu)5。所述引導(dǎo)機構(gòu)5分別引導(dǎo)所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23進行直線移動。所述引導(dǎo)機構(gòu)5可以沿著所述移動臂21、所述連接機構(gòu)22及所述支承臂23的移動方向長長地形成。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括第一引導(dǎo)機構(gòu)51、第二引導(dǎo)機構(gòu)52、第三引導(dǎo)機構(gòu)53及第四引導(dǎo)機構(gòu)M。所述第一引導(dǎo)機構(gòu)51位于所述底架Ia和所述移動臂21之間。所述第一引導(dǎo)機構(gòu)51結(jié)合在所述底架Ia上。所述移動臂21可移動地結(jié)合在第一引導(dǎo)機構(gòu)51上。所述第一引導(dǎo)機構(gòu)51引導(dǎo)所述移動臂21進行直線移動。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也可以包括多個所述第一引導(dǎo)機構(gòu)51。所述第一引導(dǎo)機構(gòu)51可以是直線運動導(dǎo)軌。所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52位于所述移動臂21和所述第一連接臂221之間。以圖12 為基準時，所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52結(jié)合在所述第一連接臂221的底面，并且與所述移動臂21的上面可移動地結(jié)合。所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52引導(dǎo)所述第一連接臂221進行直線移動。當所述第一連接臂221從所述移動臂21突出地移動時，所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52也從所述移動臂21突出地移動。由此，所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52能夠加強用于支承從所述移動臂21突出的第一連接臂221的支承力。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也可以包括多個所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52。所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52可以是直線運動導(dǎo)軌。雖然未圖示，在所述移動臂21的上面也可以設(shè)置可移動地結(jié)合有所述第二引導(dǎo)機構(gòu)52的直線運動塊。所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53位于所述第一連接臂221和所述第二連接臂222之間。以圖12為基準時，所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53結(jié)合在所述第二連接臂222的底面，并且與所述第一連接臂221的上面可移動地結(jié)合。所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53引導(dǎo)所述第二連接臂222進行直線移動。當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時，所述第三引導(dǎo)機構(gòu) 53也從所述第一連接臂221突出地移動。由此，所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53能夠加強用于支承從所述第一連接臂221突出的第二連接臂222的支承力。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也可以包括多個所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53。所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53可以是直線運動導(dǎo)軌。雖然未圖示，在所述第一連接臂221的上面也可以設(shè)置可移動地結(jié)合有所述第三引導(dǎo)機構(gòu)53的直線運動塊。所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M位于所述第二連接臂222和所述支承臂23之間。以圖12 為基準時，所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M結(jié)合在所述支承臂23的底面，并且與所述第二連接臂222 的上面可移動地結(jié)合。所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M引導(dǎo)所述支承臂23進行直線移動。當所述支承臂23從所述第二連接臂222突出地移動時，所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M也從所述第二連接臂 222突出地移動。由此，所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M能夠加強用于支承從所述第二連接臂222突出的支撐臂23的支承力。本發(fā)明涉及的基板移送裝置1也可以包括多個所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M。所述第四引導(dǎo)機構(gòu)討可以是直線運動導(dǎo)軌。雖然未圖示，在所述第二連接臂222的上面也可以設(shè)置可移動地結(jié)合有所述第四引導(dǎo)機構(gòu)M的直線運動塊。參照圖5、圖13至圖15，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括第一游隙補償機構(gòu)6。當所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22突出地移動時，所述第一游隙補償機構(gòu) 6能夠防止在所述支承齒條35及與所述支承齒條嚙合的連接小齒輪34之間產(chǎn)生游隙 (Backlash)。游隙(Backlash)是指當一對齒輪嚙合時齒面之間產(chǎn)生的縫隙。一對齒輪順利咬合旋轉(zhuǎn)需要規(guī)定的游隙，當所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22突出地移動后，游隙可能導(dǎo)致所述支承臂23因振動等而晃動。因此，所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22突出地移動后，游隙可能成為降低所述裝載工序和卸載工序的準確性的原因。所述第一游隙補償機構(gòu)6 防止所述支承臂23從所述連接機構(gòu)22突出地移動后在所述支承齒條35及與所述支承齒條35嚙合的連接小齒輪34之間產(chǎn)生游隙(Backlash)，從而能夠防止所述支承臂23由于振動等原因晃動，由此能夠提高所述裝載工序和卸載工序的準確性。當所述連接機構(gòu)22包括所述第一連接臂221和所述第二連接臂222時，所述第一游隙補償機構(gòu)6能夠防止在所述支承齒條35及所述第二連接小齒輪342之間產(chǎn)生游隙。當所述支承臂23從所述第二連接臂222突出地移動時，在與所述支承臂23從所述第二連接臂222突出的方向相反的方向側(cè)，所述支承齒條35和所述第二連接小齒輪342之間可能產(chǎn)生游隙。因此，所述第一游隙補償機構(gòu)6使所述支承臂23向與所述支承臂23從所述第二連接臂222突出的方向相反的方向移動，從而能夠防止在所述支承齒條35及所述第二連接小齒輪342之間產(chǎn)生游隙。參照圖5及圖14，所述第一游隙補償機構(gòu)6可以包括第一外罩61、第一移動部件 62、第一彈性部件63及第一止動件64。所述第一外罩61結(jié)合在所述連接機構(gòu)22上。當所述連接機構(gòu)22包括所述第一連接臂221和所述第二連接臂222時，所述第一外罩61可結(jié)合在所述第二連接臂222上。 所述第一外罩61整體可以形成為長方體狀。所述第一移動部件62與所述第一外罩61可移動地結(jié)合。所述第一移動部件62 的一端和另一端以所述第一外罩61為基準位于所述第一外罩61的外側(cè)。所述第一移動部件62的一端和另一端之間的部分插入在所述第一外罩61內(nèi)。所述第一外罩61包括用于插入所述第一移動部件62的貫穿孔(未圖示)。所述第一移動部件62的一端和另一端的尺寸比在所述第一外罩61內(nèi)形成的貫穿孔大。所述第一彈性部件63的一側(cè)被所述第一外罩61支承，另一側(cè)被所述第一移動部件62支承。由此，所述第一移動部件62可以通過所述第一彈性部件63進行彈性移動。所述第一彈性部件63可以是彈簧。所述第一止動件64結(jié)合在所述支承臂23上。當所述支承臂23從所述第二連接臂222突出地移動時，所述第一止動件64移動并接近所述第一移動部件62并與所述第一移動部件62接觸。在此過程中，所述第一止動件64可以向所述支承臂23從所述第二連接臂222突出的方向推壓所述第一移動部件62，從而壓縮所述第一彈性部件63。當所述支承臂23從所述第二連接臂222突出移動結(jié)束了時，所述第一彈性部件63由于恢復(fù)力而被拉伸，從而將所述第一移動部件62向與所述支承臂23從所述第二連接臂222突出的方向相反的方向推出。由此，所述第一止動件64被所述第一移動部件62推壓而向與所述支承臂 23從所述第二連接臂222突出的方向相反的方向移動。因此，當所述支承臂23從所述第二連接臂222突出地移動時，所述第一游隙補償機構(gòu)6使所述支承臂23向與所述支承臂23 從所述第二連接臂222突出的方向相反的方向移動，從而能夠防止在所述支承齒條35及所述第二連接小齒輪342之間產(chǎn)生游隙。參照圖5、圖14及圖15，所述支承臂23可以從所述第二連接臂222向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括兩個第一游隙補償機構(gòu)6、6'。任一第一游隙補償機構(gòu)6，如圖14所示， 當所述支承臂23從所述第二連接臂222向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動后，將所述支承臂23向所述第二方向(B箭頭方向)移動規(guī)定間距。由此，防止在所述支承齒條 35及所述第二連接小齒輪342之間產(chǎn)生游隙。另一個第一游隙補償機構(gòu)6'，如圖15所示， 當所述支承臂23從所述第二連接臂222向所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動后，將所述支承臂23向所述第一方向(A箭頭方向)移動規(guī)定間距。由此，防止在所述支承齒條 35及所述第二連接小齒輪342之間產(chǎn)生游隙。所述第一游隙補償機構(gòu)6、6'相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。所述第一游隙補償機構(gòu) 6,6'分別包括所述第一外罩61、61'、所述第一移動部件62、62'、所述第一彈性部件63、 63'以及第一止動件64、64'。所述第一游隙補償機構(gòu)6、6'設(shè)置成使所述第一移動部件 62,62'及所述第一止動件64、64'位于相對稱的方向。
參照圖5、圖13至圖15，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括第二游隙補償機構(gòu)7。當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時，所述第二游隙補償機構(gòu)7能夠防止在所述第二連接齒條332及與所述第一連接小齒輪341之間產(chǎn)生游隙 (Backlash)。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1能夠防止所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動后，所述第二連接臂222由于振動等原因晃動，從而能夠提高所述裝載工序和卸載工序的準確性。當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時，在與所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出的方向相反的方向側(cè)，所述第二連接齒條332和所述第一連接小齒輪341之間可能產(chǎn)生游隙。因此，所述第二游隙補償機構(gòu)7使所述第二連接臂 222向與所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出的方向相反的方向移動，從而能夠防止在所述第二連接齒條332和所述第一連接小齒輪341之間產(chǎn)生游隙。參照圖5及圖14，所述第二游隙補償機構(gòu)7可以包括第二外罩71、第二移動部件 72、第二彈性部件73及第二止動件74。所述第二外罩71結(jié)合在所述第二連接臂222上。所述第二外罩71整體可以形成為長方體狀。所述第二移動部件72與所述第二外罩71可移動地結(jié)合。所述第二移動部件72 的一端和另一端以所述第二外罩71為基準位于所述第二外罩71的外側(cè)。所述第二移動部件72的一端和另一端之間的部分插入在所述第二外罩71內(nèi)。所述第二外罩71包括用于插入所述第二移動部件72的貫穿孔(未圖示)。所述第二移動部件72的一端和另一端的尺寸比在所述第二外罩71內(nèi)形成的貫穿孔大。所述第二彈性部件73的一側(cè)被所述第二外罩71支承，另一側(cè)被所述第二移動部件72支承。由此，所述第二移動部件72可以通過所述第二彈性部件73進行彈性移動。所述第二彈性部件73可以是彈簧。所述第二止動件74結(jié)合在所述第一連接臂221上。當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時，所述第二移動部件72移動接近所述第二止動件74并與所述第二止動件74接觸。在此過程中，所述第二外罩71可以向所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出的方向推壓所述第二彈性部件72，從而壓縮所述第二彈性部件73。 當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出移動結(jié)束了時，所述第二彈性部件73由于恢復(fù)力而被拉伸并將所述第二外罩71向與所述第二連接臂222從所述第一連接臂221 突出的方向相反的方向推出。由此，所述第二連接臂222向與所述第一連接臂221突出的方向相反的方向移動。因此，當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出地移動時， 所述第二游隙補償機構(gòu)7使所述第二連接臂222向與所述第二連接臂222從所述第一連接臂221突出的方向相反的方向移動，從而能夠防止在所述第二連接齒條332及所述第一連接小齒輪341之間產(chǎn)生游隙。參照圖5、圖14及圖15，所述第二連接臂222可以從所述第一連接臂221向所述第一方向(A箭頭方向)和所述第二方向(B箭頭方向)突出地移動。因此，本發(fā)明涉及的基板移送裝置1可以包括兩個第二游隙補償機構(gòu)7、7'。任一第二游隙補償機構(gòu)7，如圖14 所示，當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221向所述第一方向(A箭頭方向)突出地移動后，將所述第二連接臂222向所述第二方向(B箭頭方向)移動規(guī)定間距。由此，防止在所述第二連接齒條332和所述第一連接小齒輪341之間產(chǎn)生游隙。另一個第二游隙補償機構(gòu)7'，如圖15所示，當所述第二連接臂222從所述第一連接臂221向所述第二方向(B 箭頭方向)突出地移動后，將所述第二連接臂222向所述第一方向(A箭頭方向)移動規(guī)定間距。由此，防止在所述第二連接齒條332和所述第一連接小齒輪341之間產(chǎn)生游隙。所述第二游隙補償機構(gòu)7、7'相互隔開規(guī)定間距設(shè)置。所述第二游隙補償機構(gòu) 7、7'分別包括所述第二外罩71、71'、所述第二移動部件72、72'、所述第二彈性部件73、 73'以及第二止動件74、74'。所述第二游隙補償機構(gòu)7、7'設(shè)置成使所述第二移動部件 72,72'及所述第二止動件74、74'位于相對稱方向。參照圖5及圖13至圖15，所述第一游隙補償機構(gòu)6所具有的第一外罩6和所述第二游隙補償機構(gòu)7'所具有的第二外罩7'也可以形成為一體。而且，所述第一游隙補償機構(gòu)6'所具有的第一外罩6'和所述第二游隙補償機構(gòu)7所具有的第二外罩7也可以形成為一體。在圖14及圖15中示出了所述第一游隙補償機構(gòu)6、6'和所述第二游隙補償機構(gòu) 7,7'在所述垂直方向上并列設(shè)置的情況，但如圖13所示，所述第一游隙補償機構(gòu)6、6'和所述第二游隙補償機構(gòu)7、7'也可以在所述水平方向上并列設(shè)置。如上所述，本發(fā)明能夠減小整體大小的同時，也能夠?qū)崿F(xiàn)對基板執(zhí)行裝載工序和卸載工序時移動較長行程，從而能夠降低材料費用的同時縮短執(zhí)行裝載工序和卸載工序時所需的時間。而且，本發(fā)明由于利用了小齒輪和齒條，所以即使在執(zhí)行裝載工序和卸載工序的過程中發(fā)生溫度變化，也能夠?qū)⒒逡苿哟_切距離，從而提高裝載工序和卸載工序的準確性。以上說明的本發(fā)明并不限定于上述的實施例及附圖，對于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)可以進行多種替換、變形及變更。
權(quán)利要求
1.一種基板移送裝置，其特征在于，包括 底架，設(shè)有底部齒條；移動臂，結(jié)合有與所述底部齒條嚙合的移動小齒輪，并且可移動地結(jié)合在所述底架上；驅(qū)動單元，為了轉(zhuǎn)動所述移動小齒輪而移動所述移動臂；連接機構(gòu)，結(jié)合有隨著所述移動小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的連接齒條及隨著所述連接齒條的移動而旋轉(zhuǎn)的連接小齒輪，當所述移動臂從所述底架突出地移動時，從所述移動臂向所述移動臂突出的方向突出地移動；以及支承臂，用于支承基板，并且結(jié)合有隨著所述連接小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的支承齒條； 當所述連接機構(gòu)從所述移動臂突出地移動時，所述支承臂從所述連接機構(gòu)向所述連接機構(gòu)突出的方向突出地移動，為了使所述連接機構(gòu)和所述支承臂以所述底架為基準向第一方向和與所述第一方向相反的第二方向突出，所述驅(qū)動單元使所述移動臂向所述第一方向和所述第二方向移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元移動所述移動臂，以使所述移動臂、所述連接機構(gòu)及所述支承臂位于第一位置和第二位置中的某一位置，所述移動臂、所述連接機構(gòu)及所述支承臂在位于所述第一位置時從所述底架突出，而在位于所述第二位置時，在所述底架上相互重疊地層疊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元包括設(shè)在所述底架上的線圈機構(gòu)及結(jié)合在所述移動臂上且設(shè)有多個永久磁鐵的移動機構(gòu)，所述移動臂隨著所述移動機構(gòu)的移動而移動，該移動機構(gòu)通過作用在所述線圈機構(gòu)與所述永久磁鐵之間的電磁力而移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元使所述移動臂向所述第一方向移動，從而使所述移動小齒輪向順時針方向旋轉(zhuǎn)，而且使所述移動臂向所述第二方向移動，從而使所述移動小齒輪向逆時針方向旋轉(zhuǎn)；所述連接機構(gòu)隨著所述連接齒條的移動而移動； 所述支承臂隨著所述支承齒條的移動而移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，所述連接機構(gòu)包括設(shè)在所述移動臂與所述支承臂之間的第一連接臂，及設(shè)在所述第一連接臂和所述支承臂之間的第二連接臂；在所述第一連接臂上結(jié)合有與所述移動小齒輪嚙合并隨著所述移動小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的第一連接齒條，及隨著所述第一連接臂的移動而旋轉(zhuǎn)的第一連接小齒輪；在所述第二連接臂上結(jié)合有與所述第一連接小齒輪嚙合并隨著所述第一連接小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動的第二連接齒條，及隨著所述第二連接臂的移動而旋轉(zhuǎn)的第二連接小齒輪； 所述支承齒條與所述第二連接小齒輪嚙合并隨著所述第二連接小齒輪的旋轉(zhuǎn)而移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板移送裝置，其特征在于，在所述移動臂上結(jié)合有與所述第一連接小齒輪嚙合的移動齒條，所述第一連接小齒輪包括與所述移動齒條嚙合的第一輔助連接小齒輪，及與所述第一輔助連接小齒輪連接并與所述第二連接齒條嚙合的第二輔助連接小齒輪； 所述第二輔助連接小齒輪的直徑比所述第一輔助連接小齒輪的直徑大。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，包括第一游隙補償機構(gòu)，用于防止在所述支承齒條和與所述支承齒條嚙合的連接小齒輪之間產(chǎn)生游隙，當所述支承臂從所述連接機構(gòu)突出地移動后，所述第一游隙補償機構(gòu)使所述支承臂向所述支承臂從所述連接機構(gòu)突出的方向的相反方向移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板移送裝置，其特征在于，所述第一游隙補償機構(gòu)包括 第一外罩，結(jié)合在所述連接機構(gòu)；第一移動部件，可移動地結(jié)合在所述第一外罩上；第一彈性部件，一側(cè)被所述第一外罩支承，另一側(cè)被所述第一移動部件支承，以使所述第一移動部件彈性移動；以及第一止動件，結(jié)合在所述支承臂上，當所述支承臂從所述連接機構(gòu)突出地移動時，與所述第一移動部件接觸，以使所述第一移動部件向與所述支承臂突出的方向相反的方向移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，所述連接機構(gòu)包括設(shè)在所述移動臂與所述支承臂之間的多個連接臂， 所述連接臂中至少一個包括加強部件，用于增強支承力以防止從所述底架突出地移動的支承臂下垂。
10.一種基板移送裝置，其特征在于，包括 底架；臂機構(gòu)，用于移動基板，并且包括在從所述底架突出的第一位置及相互重疊地層疊在所述底架上的第二位置之間移動的多個臂；驅(qū)動單元，移動所述臂中的某一個，以使所述臂位于所述第一位置或所述第二位置中的某一位置；以及聯(lián)動機構(gòu)，結(jié)合在所述臂上，并且通過所述驅(qū)動單元移動所述臂中的某一個而使其余臂聯(lián)動地移動；所述聯(lián)動機構(gòu)包括多個小齒輪，用于將所述驅(qū)動單元的直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動； 以及多個齒條，與所述小齒輪嚙合，將所述小齒輪的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動，所述驅(qū)動單元移動所述臂中的某一個，以使所述臂機構(gòu)以所述底架為基準向第一方向和與所述第一方向相反的第二方向突出。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板移送裝置，其特征在于，所述小齒輪中至少一個包括具有第一直徑的第一輔助小齒輪及與所述第一輔助小齒輪連接的第二輔助小齒輪，所述第二輔助小齒輪具有比所述第一直徑大的第二直徑。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板移送裝置，其特征在于， 包括多個所述臂機構(gòu)，所述臂機構(gòu)分別結(jié)合在所述驅(qū)動單元的兩側(cè)，并通過所述驅(qū)動單元一同移動。
全文摘要
本發(fā)明涉及基板移送裝置，包括底架；臂機構(gòu)，包括多個臂；驅(qū)動單元，移動所述臂中的某一個；聯(lián)動機構(gòu)，包括多個小齒輪和多個齒條，所述小齒輪為了使所述臂聯(lián)動地移動而將所述驅(qū)動單元的直線運動轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運動，所述齒條與所述小齒輪嚙合，并將所述小齒輪的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成直線運動。根據(jù)本發(fā)明，能夠減小整體尺寸的同時實施用于執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序而移動較長行程，通過利用小齒輪和齒條，即使在執(zhí)行對基板的裝載工序和卸載工序的過程中溫度發(fā)上變化也能夠?qū)⒒逡苿泳_距離。
文檔編號B65G49/07GK102556665SQ20111038515
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月26日
發(fā)明者裵光明, 鄭賢應(yīng), 金孝元, 金玄東 申請人:未來產(chǎn)業(yè)株式會社