技術(shù)編號(hào)：4234588
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于移送在制造電子組件中使用的基板的基板移送裝置。 背景技術(shù)太陽(yáng)能電池(Solar Cell)、半導(dǎo)體元件、顯示裝置等(以下，稱為“電子組件”)需要通過(guò)多種工序制造。這樣的制造工序包括在用于制造電子組件的基板(Substrate)上沉積導(dǎo)體、半導(dǎo)體、電介質(zhì)等薄膜的沉積工序；為了將沉積的薄膜形成為規(guī)定圖案而進(jìn)行的蝕刻工序；去除異物等的清洗工序等。這些工序分別在不同的工藝腔室內(nèi)進(jìn)行。為了將在工藝腔室之間的基板移送時(shí)間等最小化而提高生產(chǎn)率，并且為了...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。