專利名稱：輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置，特別是涉及適合于利用空 壓進行部件的移動、排除、姿勢改變等的場合的系統(tǒng)構(gòu)成。
背景技術(shù)：
一般，在生產(chǎn)線中，用于按排列狀態(tài)供給電子部件等的部件的部件供給器在各處 得到使用。該部件供給器通常將沿輸送軌道前進的部件的輸送姿勢統(tǒng)一供給到組裝裝置、 安裝裝置等。在供給部件的過程中，為了判別部件的合格與否、僅選出合格品，或判別部件 的姿勢、僅供給處于正規(guī)姿勢的部件，從輸送軌道上將不合格品、不處于正規(guī)姿勢的部件排 除，或改變沒有處于正規(guī)姿勢的部件的姿勢。在用于該目的的分選部、姿勢改變部，以往設(shè) 置面對輸送軌道的開口部，從該開口部噴射空氣，從而排除部件，或改變姿勢，這樣的利用 空壓的方法廣泛地得到采用。在這樣利用空壓對部件施加作用之際，為了控制該空壓的作 用，通常使用供給或停止由壓縮機等形成的壓縮空氣的方法。近年來，對用于大量而且高速地供給微細的部件的高速輸送性能的要求變得很強 烈，所以，需要高速地判別部件的合格與否和姿勢，而且，部件的排除、姿勢改變也需要高速 地進行?？墒?，在利用上述空壓對部件施加作用的方法中，即使高速地由閥切換空氣壓的供 給和停止，由于從閥通過配管到達輸送軌道的路徑長也不能高速地切換在輸送軌道上的空 壓，為此，存在對本來應(yīng)作用空壓的部件和在其前后輸送來的、不應(yīng)作用空壓的其它部件都 作用空壓的問題。因此，以往為了提高上述空壓的切換的速度，提出了使用能夠進行高速動作的壓 電式閥的方法，以及在接近輸送軌道的位置設(shè)置空氣的放出口，用壓電式的擋板進行開閉， 從而使輸送軌道上的空壓的供給和停止高速化的方法(參照以下的專利文獻1及2)。[專利文獻1]日本特開2006-250221號公報[專利文獻2]日本特開2004-224449號公報

發(fā)明內(nèi)容
然而，在上述的方法中，為了通過配管將在工廠內(nèi)形成的壓縮空氣供給到部件輸 送裝置，必須設(shè)置壓縮機、空氣配管等空壓設(shè)備，同時，需要連接空氣配管和裝置，所以，存 在難以將部件輸送裝置簡單地設(shè)置到部件輸送裝置的問題。另外，在連接上述空壓設(shè)備和部件輸送裝置后，需要進行必須相應(yīng)于空壓設(shè)備的 供給壓力和從設(shè)于輸送軌道上的開口部放出的最佳空壓值的關(guān)系調(diào)整設(shè)于空氣配管的途 中的調(diào)節(jié)器、針閥等煩雜的作業(yè)。另外，由于近年來高速地輸送部件的要求變高，所以，需要相對于高速移動的輸送 部件迅速而且準確地作用空壓，為此，高速地切換空壓的作用的必要性變高。因此，本發(fā)明用于解決上述問題，其目的在于實現(xiàn)這樣的輸送部件的空壓作用系 統(tǒng)及使用其的部件輸送裝置，該空壓作用系統(tǒng)不需要空壓設(shè)備，同時，能夠容易地進行空壓
3值的調(diào)整。鑒于這樣的實際情況，本發(fā)明的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)的特征在于具有輸送 部件被輸送的輸送軌道Ila ；設(shè)置了面向該輸送軌道上的末端開口部IlC的空壓路徑AR ； 動作空間0S，該空壓路徑的基端側(cè)開口部14b在該動作空間OS開口、該動作空間在分隔 壁的至少一部分設(shè)置了柔性的膜片17 ；驅(qū)動該膜片使其變形而使上述動作空間的容積進 行增減的驅(qū)動機構(gòu)18 ；及控制該驅(qū)動機構(gòu)、反復(fù)進行不定期或定期的動作周期的控制機構(gòu) SC、DC，在該定期或不定期的動作周期中，在使上述動作空間的容積增大或減小的第一方向 使上述膜片位移而發(fā)生空壓，此后，在與該第一方向相反的第二方向使上述膜片位移而恢 復(fù)上述動作空間的容積；該控制機構(gòu)進行控制，相比從上述膜片開始朝上述第一方向位移 時到開始朝上述第二方向位移時的第一位移期間DP1，使得從開始朝上述第二方向位移時 到開始下一用于發(fā)生上述空壓的朝上述第一方向的位移時的第二位移期間DP2更長。按照本發(fā)明，由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動柔性的膜片，從而使動作空間的容積增減，這樣，能 夠通過在該動作空間連接了基端的空壓路徑從末端開口部在輸送軌道上的輸送部件作用 空壓。因此，不需要如以往那樣供給壓縮空氣的空壓設(shè)備，同時，不需要相應(yīng)于該空壓設(shè)備 的供給壓力調(diào)整在輸送軌道上作用的空壓，調(diào)整驅(qū)動機構(gòu)相對于膜片的驅(qū)動形式即可容易 地在輸送部件作用最佳的空壓。另外，按照該構(gòu)成，借助于膜片朝第一方向和第二方向的位 移，即，使膜片朝空壓路徑側(cè)變形，在輸送部件作用空壓，然后立即使膜片朝相反側(cè)返回，或 使膜片朝相反側(cè)變形，在輸送部件作用空壓，然后使膜片立即朝空壓路徑側(cè)返回，從而能夠 迅速地停止空壓的作用，所以，能夠防止誤在前后輸送來的其它輸送部件作用空壓。另外， 由控制機構(gòu)控制驅(qū)動機構(gòu)，從而使膜片朝第一方向變形，產(chǎn)生空壓，然后，朝第一方向返回， 當反復(fù)進行這一動作周期時，相比從膜片開始朝第一方向位移時到開始朝第二方向位移時 的第一位移期間，使從膜片開始朝上述第二方向位移時到開始下一用于發(fā)生上述空壓的朝 第一方向的位移的第二位移期間更長地進行控制，這樣，在借助于膜片朝第一方向的位移 發(fā)生空壓，對輸送部件作用該空壓之際，在該空壓充分地變?nèi)踔?，開始膜片朝第二方向的 位移，同時，從開始朝第二方向的位移時到開始下一朝第一方向的位移時的時間長，所以， 能夠使動作空間內(nèi)的壓力充分接近外壓(例如大氣壓)。為此，在使動作空間內(nèi)的壓力接近 了外壓的狀態(tài)下使膜片朝第一方向位移，產(chǎn)生空壓，所以，能夠以更高的效率產(chǎn)生空壓。另 外，產(chǎn)生空壓后，在該空壓接近外壓(例如大氣壓)之前能夠使膜片的位移迅速地朝第二方 向返回，所以，能夠控制由膜片的第二方向的位移產(chǎn)生的反壓。因此，能夠相對于輸送部件 高效率地作用空壓，同時，能夠避免由反壓產(chǎn)生的問題。在這里，上述控制機構(gòu)有時由矩形波狀的控制信號控制上述驅(qū)動機構(gòu)，該矩形波 狀的控制信號具有由上述第一位移期間的長度及該期間的上述膜片的位移量決定的信號 部分和由上述第二位移期間的長度及該期間的上述膜片的位移量決定的信號部分。這樣， 能夠由簡易的控制產(chǎn)生穩(wěn)定的空壓。在該場合，上述控制機構(gòu)也有時由三角波狀的控制信號控制上述驅(qū)動機構(gòu)，該三 角波狀的控制信號具有由上述第一位移期間的上述膜片朝上述第一方向的位移速度及到 達位移量決定的信號部分和由上述第二位移期間的上述膜片朝上述第二方向的位移速度 及到達位移量決定的信號部分。這樣，控制膜片的位移速度，能夠精密地控制作用在輸送部 件的空壓、反壓。
在本發(fā)明的一形式中，上述第一位移期間具有上述膜片朝上述第一方向連續(xù)位移 的第一位移變化期和在其后維持上述膜片的位移量的第一位移維持期，上述第二位移期間 具有上述膜片朝上述第二方向連續(xù)位移的第二位移變化期和其后維持上述膜片的位移量 的第二位移維持期。按照該構(gòu)成，只要在第一位移維持期和第二位移維持期將膜片的位移 維持為一定即可，所以，能夠簡易地控制膜片的位移的變化形式，同時，能夠使施加在輸送 部件的空壓穩(wěn)定。在本發(fā)明的另一形式中，上述第一位移期間具有上述膜片朝上述第一方向連續(xù)地 位移的第一位移變化期，上述第二位移期間具有上述膜片按比上述第一位移變化期低的位 移速度朝上述第二方向位移的第二位移變化期。按照該構(gòu)成，能夠以高位移速度連續(xù)的第 一位移變化期高效率地產(chǎn)生空壓，同時，能夠由比第一位移變化期低的位移速度使膜片朝 第二方向位移的第二位移變化期抑制反壓，所以，能夠減輕產(chǎn)生于輸送部件的問題。在本發(fā)明的另一形式中，上述控制機構(gòu)具有用于形成上述第一位移期間的第一驅(qū) 動期間tl，和用于形成上述第二位移期間的第二驅(qū)動期間t2、第三驅(qū)動期間t3及第四驅(qū)動 期間t4，上述第二驅(qū)動期間使上述膜片朝上述第二方向連續(xù)位移地進行驅(qū)動(第二對應(yīng)期 DP2a)，上述第三驅(qū)動期間使上述膜片朝上述第一方向位移而減小位移量的絕對值(第三 對應(yīng)期DP2b)，上述第四驅(qū)動期間在即將進入下一上述第一驅(qū)動期間之前使上述膜片朝上 述第二方向位移(第四對應(yīng)期DP2c)。這樣，在第二位移期間設(shè)置第三驅(qū)動期間，從而能夠 抑制膜片的位移量，所以，能夠減輕施加在膜片的負荷，同時，在由第一驅(qū)動期間產(chǎn)生的第 一位移期間中膜片即將朝第一方向位移之前，由第四驅(qū)動期間使膜片朝第二方向位移，所 以，能夠充分確?？諌喊l(fā)生時的膜片的位移量。在本發(fā)明的另一不同形式中，還具有檢測上述輸送部件的檢測機構(gòu)(DT)，相應(yīng)于 該檢測機構(gòu)檢測到上述輸送部件的時機，上述控制機構(gòu)開始上述第一位移期間。按照該構(gòu) 成，相應(yīng)于檢測機構(gòu)檢測到輸送部件的時機，控制機構(gòu)開始第一位移期間，所以，預(yù)先適當 地設(shè)定輸送部件的檢測位置與空壓作用系統(tǒng)的空壓作用位置的位置關(guān)系，當檢測了的輸送 部件被輸送到了空壓作用位置時，能夠適當?shù)厥箍諌鹤饔谩Ｔ谠搱龊?，考慮輸送部件的檢測 位置與應(yīng)作用空壓的位置的距離、空壓的傳輸時間等導致的時間延遲等，也可在上述時機 與上述第一位移期間的開始時刻間存在規(guī)定的時間間隔地構(gòu)成。另外，在上述時機與上述 第一位移期間的開始時刻間也可存在與上述第四驅(qū)動期間t4對應(yīng)的第四對應(yīng)期(DS2c)。在本發(fā)明的另一形式中，上述控制機構(gòu)能夠增減上述第一位移期間和上述第二位 移期間之間的上述膜片的位移量的差地構(gòu)成。由控制機構(gòu)增減第一位移期間與第二位移期 間的膜片的位移量的差，從而能夠調(diào)整相對于輸送部件的空壓作用的程度。在該場合，可以 為增減第一位移期間的上述位移量的方法、增減第二位移期間的上述位移量的方法、及增 減上述位移量的差的方法中的任一種。在本發(fā)明的再另一形式中，上述控制機構(gòu)能夠增減上述第一位移期間的上述膜片 的位移速度地構(gòu)成。由控制機構(gòu)增減第一位移期間的膜片的位移速度，從而能夠調(diào)整相對 于輸送部件的空壓作用的程度。 在本發(fā)明的不同的形式中，上述驅(qū)動機構(gòu)由密接在上述膜片的壓電元件構(gòu)成，上 述控制機構(gòu)由在上述壓電元件施加驅(qū)動電壓的控制驅(qū)動部構(gòu)成。壓電元件例如能夠由在厚 度方向分極處理了的壓電陶瓷層構(gòu)成，在該場合，上述驅(qū)動電壓在該壓電陶瓷層的厚度方
5向施加，能夠由驅(qū)動電壓的極性使膜片向表里面?zhèn)鹊娜我粋?cè)變形。在該場合，最好上述壓電元件配置在上述膜片的與上述基端側(cè)開口部相反側(cè)的面 上，不配置在上述膜片的上述基端側(cè)開口部側(cè)的面上。這樣，在膜片的與基端側(cè)開口部相反 側(cè)的面上配置壓電元件，在基端側(cè)開口部側(cè)的面不配置，從而不需要從膜片與空壓路徑間 引出壓電元件的配線，所以，容易密閉膜片與空壓路徑間的動作空間，另外，即使不密閉，也 能夠減小間隙，實現(xiàn)高效率的空壓作用。在上述各發(fā)明中，最好設(shè)置背面?zhèn)乳_口部，該背面?zhèn)乳_口部使上述膜片的與上述 基端側(cè)開口部相反側(cè)向外部開放。這樣，膜片的與基端側(cè)開口部相反側(cè)不密閉，所以，難以 發(fā)生背壓，膜片的變形變得容易，所以，能夠使空壓高效率地作用在輸送部件。在該場合，最 好在上述背面?zhèn)乳_口部的至少一部分配置消音構(gòu)件。這樣，能夠減少泄漏到外部的噪聲。本發(fā)明的上述輸送部件的空壓作用系統(tǒng)能夠用于部件輸送裝置。該部件輸送裝置 的特征在于具有上述空壓作用系統(tǒng)和沿上述輸送軌道使上述輸送部件移動的輸送機構(gòu)。 這樣的部件輸送裝置不特別限定，例如也能夠適用于使用皮帶輸送機作為輸送機構(gòu)的輸送 裝置，特別是適用于能夠高速地輸送微細部件的振動式部件輸送裝置比較有效。按照本發(fā)明，能夠獲得實現(xiàn)這樣的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及使用其的部件輸送 裝置的優(yōu)良效果，該輸送部件的空壓作用系統(tǒng)不需要空壓設(shè)備，同時，能夠容易地進行空壓 值的調(diào)整，而且，適合于高速輸送。


圖1為示意地表示第一實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置的 概略構(gòu)成的概略剖視圖。圖2為表示用于第一實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)的動作單元的內(nèi)部結(jié) 構(gòu)的剖視圖(a)及外面圖(b)。圖3為示意地表示第二實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置的 概略構(gòu)成的概略構(gòu)成圖。圖4為第三實施方式的動作單元的縱剖視圖。圖5為表示第三實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)的在部件輸送裝置的設(shè)置 結(jié)構(gòu)的分解透視圖(a)及設(shè)置該空壓作用系統(tǒng)而構(gòu)成的部件輸送裝置的俯視圖。圖6為表示第四實施方式的控制機構(gòu)的構(gòu)成例的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號及膜片位 移量(a)及其局部放大圖(b)。圖7為表示第一實施方式的控制驅(qū)動部的構(gòu)成例的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號及膜片 的位移量(a)及動作空間的壓力變動(b)的曲線圖，表示其變型例的控制驅(qū)動部的構(gòu)成例 的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號及膜片的位移量(c)及動作空間的壓力變動(d)的曲線圖。圖8為表示第六實施方式的控制驅(qū)動部的構(gòu)成例的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號及膜片 的位移量(a)及動作空間的壓力變動(b)的曲線圖，表示其變型例的控制驅(qū)動部的構(gòu)成例 的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號及膜片的位移量(c)及動作空間的壓力變動(d)的曲線。圖9為表示控制驅(qū)動部的構(gòu)成例的概略電路圖。圖10為表示圖9所示控制驅(qū)動部的各部分的信號的一例的時序圖。圖11為表示圖9所示控制驅(qū)動部的各部分的信號的另一例的時序圖。
圖12為表示第九實施方式的控制驅(qū)動部的構(gòu)成例的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動信號的例的 波形圖(a)及(b)。附圖標記10...空壓作用系統(tǒng)，11...輸送體，Ila...通氣道，lib...末端側(cè)開口部， 12...通氣管，13...動作單元，14...輸出側(cè)連接部，14a...軸孔，14b...基端側(cè)開口部， 15...前面框，15a...輸出口，15b...傾斜內(nèi)面，16...背面框，17...膜片，17p、18p...驅(qū) 動配線，18...壓電元件，19a、19b...密封件，DC...驅(qū)動部，DT...檢測部，SC...控制部， AR...空壓路徑，OP, OP'...動作單元，OS...動作空間，BC...背后空間，PT...輸送部 件，TrU Tr2. · ·開關(guān)機構(gòu)(晶體管)，VmU Vm2. · ·直流電源。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。(第一實施方式)圖1為示意地表示第一實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置的 構(gòu)成的概略剖視圖，圖2為表示該實施方式的動作部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖(a)及外面圖 (b)。本實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)10如圖1所示那樣具有設(shè)于部件輸送裝 置的輸送體11的輸送軌道11a。該輸送軌道Ila在圖1中用剖面表示。輸送軌道Ila在與 圖示的紙面交叉的方向延長，沿該交叉的方向?qū)斔筒考T進行輸送。輸送部件PT的輸 送機構(gòu)不特別限定，在圖示例中，能夠使用振動式部件輸送裝置，該振動式部件輸送裝置使 輸送體11在輸送軌道Ila的延長方向往復(fù)振動，從而使輸送部件PT沿輸送軌道Ila移動。 這樣的振動式部件輸送裝置為公知，例如可以列舉出將具有螺旋狀的輸送軌道的碗型的輸 送體固定在旋轉(zhuǎn)振動器上而構(gòu)成的碗型部件供給器、將具有直線狀輸送軌道的延長形狀的 輸送體固定在往復(fù)振動器上而構(gòu)成的線性型部件供給器等。但是，本發(fā)明不限于這樣的振 動式部件輸送裝置，只要為用皮帶輸送機輸送部件的裝置、將部件放在輸送板上進行輸送 的裝置等具有既定的輸送軌道的裝置，則不特別限定。在本實施方式中，在上述輸送體11形成在上述輸送軌道1 Ia上開口的通氣道1 Ib。 該通氣道lib的末端側(cè)開口部IlC在能夠?qū)υ谳斔蛙壍繧la上移動的輸送部件PT施加空 壓的位置開口。末端側(cè)開口部Ilc的開口位置相應(yīng)于對輸送部件PT必要的空壓作用適當 地設(shè)定，但在圖示例中為了從輸送軌道Ila上用空壓如圖示箭頭那樣排除輸送部件PT，而 在與輸送軌道Ila上的輸送部件PT的側(cè)面相向的位置開口。特別是例如通過作用空壓，使 輸送部件PT移動到另一輸送軌道等，空壓作用的目的不特別限定。在通氣道lib的與上述末端側(cè)開口部Ilc相反側(cè)的開口部連接通氣管12的一方 的端部12a。通氣管12在圖示例中利用由柔性樹脂等制成的管構(gòu)成，但也可用金屬管等剛 體構(gòu)成，或成為上述通氣道lib就這樣延長的結(jié)構(gòu)。通氣管12的另一方的端部12b連接在動作單元OP的由空氣配管用的連接器等構(gòu) 成的輸出側(cè)連接部14。輸出側(cè)連接部14連接在輸出口 15a，該輸出口 15a在箱體的中心開 口。在輸出側(cè)連接部14的內(nèi)部設(shè)有軸孔14a，該軸孔14a的基端側(cè)開口部14b在由前面框 15及背面框16構(gòu)成的箱體的內(nèi)部開口。在前面框15安裝背面框(由樹脂等構(gòu)成的蓋構(gòu)件)16。在箱體的內(nèi)部(在圖示例中為前面框15與背面框16間)配置由金屬等彈性板構(gòu) 成的膜片17。膜片17能夠由金屬板、樹脂板、橡膠、半導體等適當?shù)牟牧蠘?gòu)成。該膜片17 的外周部17a按被夾壓和保持在前面框15與背面框16間的狀態(tài)固定。該外周部17a在前 面框15側(cè)和背面框16側(cè)分別通過具有彈性的環(huán)狀的密封件19a、19b夾持。這樣，在膜片 17容易發(fā)生厚度方向的振動地構(gòu)成。作為上述密封件19a、19b，只要具有彈性則不特別限 定，但最好為具有如橡膠那樣容易變形、不妨礙膜片的變形的彈性特性的密封件，例如可以 使用硅橡膠、聚氨酯樹脂等。在前面框15的內(nèi)部，在上述膜片17和形成于上述輸出口 15a的周圍的構(gòu)成為圓 錐狀的傾斜內(nèi)面15b間設(shè)置動作空間0S，該動作空間OS通過上述基端側(cè)開口部14b與軸 孔14a連通。上述膜片17的面對動作空間OS的面積及能夠構(gòu)成膜片17的面積都構(gòu)成得 比基端側(cè)開口部14b的開口截面大。這樣，能夠增大由膜片17的變形產(chǎn)生、通過空壓路徑 施加在輸送部件的空壓。另外，膜片17以與基端側(cè)開口部14b相向的位置為中心向周圍擴 展地配置。傾斜內(nèi)面15b從具有比基端側(cè)開口部14b大的外徑的膜片17的外周側(cè)朝基端 側(cè)開口部14b收斂地構(gòu)成。這樣，由膜片17的變形產(chǎn)生的空氣的壓力變動集中到基端側(cè)開 口部14b地受到引導，所以，能夠高效率地將該壓力變動引導至后述的空壓路徑AR。在上述膜片17的表面上通過粘接等將壓電元件18形成為密接的狀態(tài)。在圖示例 中，在膜片的與輸出口 15a相反側(cè)的面上配置壓電元件18。該壓電元件18在由PZT等壓電 陶瓷層(在厚度方向受到了分極處理)構(gòu)成的壓電層(圖中未表示)的表里兩面分別形成 電極層(圖中未表示)，里面上的電極成為與膜片17導電連接的狀態(tài)。另外，在壓電元件 18的表面上的電極，導電連接驅(qū)動配線18p，在膜片17，導電連接驅(qū)動配線17p。這樣，如在 驅(qū)動配線17p與18p間施加電壓，則在上述壓電層施加厚度方向的電場，所以，該壓電層相 應(yīng)于電場的強度變形，使膜片17在厚度方向撓曲。上述那樣的導電連接構(gòu)造不特別限定，只要通過在壓電元件18施加電場，使膜片 17相對于基端側(cè)開口部14b朝接近、離開的方向變形地構(gòu)成即可。但是，通過壓電元件18 設(shè)置在膜片17的與基端側(cè)開口部14b (即動作空間OS)相反側(cè)的面上，使得容易將驅(qū)動配 線17p、18p取出，另外，也容易密閉動作空間OS。另外，在本實施方式中，壓電元件18僅設(shè) 置在膜片17的一方的面上(即構(gòu)成單面形態(tài)型的壓電驅(qū)動體)，但也可在膜片17的表里兩 面設(shè)置壓電元件18 (即構(gòu)成雙面形態(tài)型的壓電驅(qū)動體)。這樣，在膜片17的表里兩面都設(shè) 置壓電元件，從而能夠增大膜片17的變形量。在該場合，在表里的壓電元件分別在使膜片 17朝同一方向變形的方向施加驅(qū)動電壓。上述驅(qū)動配線17p、18p通過設(shè)于背面框16的開口通道16a引出到外部。另外，該 開口通道16a成為向外部開放設(shè)于膜片17的背面?zhèn)?與基端側(cè)開口部14b相反側(cè))的背 后空間BS的背面開口部。這樣，難以在膜片17作用背壓(與動作空間OS相反的壓力，即， 當由膜片17的朝基端側(cè)開口部14b側(cè)的變形使動作空間OS成為了正壓時，成為負壓，當由 相反的變形使動作空間OS成為負壓時，成為正壓)，所以，膜片17的變形容易，結(jié)果，能夠以 更高的效率將空壓施加在輸送部件PT。在上述輸送軌道Ila上設(shè)有由發(fā)光元件Dl和受光元件D2構(gòu)成的檢測部DT。該 檢測部DT生成用于判定在輸送軌道Ila上移動的輸送部件PT是否為滿足既定條件的輸送 部件的檢測信號。在圖示例中，如用圖示實線所示那樣，當輸送部件PT處于縱姿勢時，受光
8元件D2檢測不到發(fā)光元件Dl的光，如用圖示虛線所示那樣，當輸送部件PT處于橫長姿勢 時，受光元件D2檢測到發(fā)光元件Dl的光。受光元件D2的輸出被送到控制部SC，在控制部 SC，相應(yīng)于上述檢測部DT的輸出判定是否輸送部件為應(yīng)排除的輸送部件，相應(yīng)于該判定結(jié) 果將控制信號送到驅(qū)動部DC。驅(qū)動部DC如后述那樣在壓電元件18施加驅(qū)動電壓Vd。上 述控制部SC及驅(qū)動部DC相當于上述控制驅(qū)動部，同時，也相當于用于控制與驅(qū)動機構(gòu)相當 的壓電元件18的控制機構(gòu)。在上述構(gòu)成中，通氣部lib、通氣管12及輸出側(cè)連接部14的軸孔14a構(gòu)成空壓路 徑AR。該空壓路徑AR的末端側(cè)開口部為上述末端側(cè)開口部lib，基端側(cè)開口部為上述基端 側(cè)開口部14b?？諌郝窂紸R的基端側(cè)開口部14b在上述動作空間OS開口，上述動作空間 OS的分隔壁的一部分由上述膜片17構(gòu)成。壓電元件18通過驅(qū)動配線17p、18p接受來自驅(qū)動部DC的驅(qū)動信號，由壓電效果 使膜片17在厚度方向(圖1的左右方向)，即相對于空壓路徑AR的基端側(cè)開口部14b接 近、離開的方向變形。這樣，動作空間OS內(nèi)的氣體在相同方向伸縮，在動作空間OS內(nèi)發(fā)生 縱波即聲波。該聲波由上述圓錐狀的傾斜內(nèi)面15b朝基端側(cè)開口部14b集音，在空壓路徑 AR內(nèi)傳播，最終從末端開口部Ilc放出到輸送軌道Ila上，作為空壓(聲壓)作用于輸送部 件PT。在本實施方式的場合，膜片17的有效面積(膜片17的面對動作空間OS的部分的 面積或膜片17的可能變形的面積)比空壓路徑AR的截面積大，所以，即使膜片17僅變形， 也能夠通過空壓路徑AR充分地增大來自末端側(cè)開口部Ilc的氣體的出入量。另外，在本實施方式中，由于連接在空壓路徑AR的基端側(cè)的動作空間OS形成為 封閉空間，所以，由膜片17的變形產(chǎn)生的動作空間的容積變化量與直接來自末端側(cè)開口部 Ilc的氣體的導出量或?qū)肓看篌w一致，所以，容易調(diào)整、設(shè)定相對于輸送部件PT的空壓作 用。在膜片17的振動頻率較低的場合，動作空間OS內(nèi)的氣體由膜片17擠出到空壓路徑AR 內(nèi)，這樣，空氣從末端側(cè)開口部Ilc朝輸送部件PT噴吹，從而作用空壓。另外，在下一瞬間， 膜片17返回到相反側(cè)，所以，動作空間OS內(nèi)成為負壓，這樣，被噴吹到輸送部件PT的氣體 迅速地被停止。另外，在本實施方式中，設(shè)于前面框15的內(nèi)側(cè)的傾斜內(nèi)面15b使由膜片17發(fā)生的 氣壓變動集中到空壓路徑AR的基端側(cè)開口部14b地構(gòu)成，所以，能夠提高在空壓路徑AR內(nèi) 傳播的氣壓變動的強度。因此，最終能夠高效率地將空壓施加到輸送部件PT。在本實施方式中，動作空間OS形成為密閉空間，但即使在動作空間OS未嚴密地成 為閉塞空間的場合，由膜片17發(fā)生了的氣壓變動(聲波)也在空壓路徑AR內(nèi)傳播，可能在 輸送部件PT作為空壓(聲壓)作用。特別是在膜片17的振動頻率較高的場合，不在空壓 路徑AR內(nèi)發(fā)生大的氣體流動地傳輸聲波，從而從末端側(cè)開口部Ilc放出聲波，該聲波作用 在輸送部件PT。在輸送部件PT為輕量的場合，該聲波在輸送部件PT的作用水平足以使輸 送部件PT移動。(第二實施方式)圖3為表示第二實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)10'及部件輸送裝置的概 略構(gòu)成圖。在該實施方式中，在與上述第一實施方式同樣的部分標注相同符號，省略它們的 說明。
在該實施方式中，輸送體1Γ的輸送軌道Ila'具有末端側(cè)開口部Ilc'開口的 傾斜的第一輸送面llx，和面對該第一輸送面llx、朝相反側(cè)傾斜的第二輸送面lly。另外， 由從末端側(cè)開口部Ilc'放出的空壓，可以使如圖示的實線所示那樣以偏在第一輸送面 1IX上的姿勢輸送來的輸送部件PT翻轉(zhuǎn)為圖示的雙點劃線所示那樣偏在第二輸送面1 Iy上 的姿勢。在這里，末端側(cè)開口部1 Ic ‘為了能夠容易地使輸送部件PT翻轉(zhuǎn)，而在與輸送軌道 Ila上的輸送部件PT的側(cè)面上部相向的位置開口。(第三實施方式)下面，參照圖4及圖5說明本發(fā)明的第三實施方式的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及 部件輸送裝置。圖4為表示本實施方式的動作單元OP'的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的縱剖視圖。本實施方式的動 作單元OP'與第一實施方式的動作單元OP的相同點在于，在由前面框15'和背面框16' 構(gòu)成的箱體的內(nèi)部配置通過密封件19a'、19b'支承了外周部17a的膜片17及設(shè)置于其面 上的壓電元件18，在比膜片17更往空壓路徑(接續(xù)連接器14')側(cè)設(shè)置動作空間0S，在相 反側(cè)設(shè)置背后空間BS。另外，在前面框15'，也同樣地設(shè)置傾斜內(nèi)面15b'。因此，以下僅 記述與第一實施方式不同之處。在動作單元OP'，在前面框15'的內(nèi)部設(shè)置與上述動作空間OS連通的基端通氣 道15a'，該基端通氣道15a'在基端側(cè)開口部15c'對動作空間OS開口。該基端側(cè)開口部 15c'相當于本實施方式的空壓路徑AR的基端側(cè)開口部。另外，基端通氣道15a'朝比膜片 17 (動作空間OS)的中心部上的位置更朝膜片17 (動作空間OS)的外周側(cè)沿膜片17延伸， 從前面框15'的外周部通過接續(xù)連接器14'連接到外部。另外，在該實施方式中，從背后空間BS導出驅(qū)動配線17p、18p，但該導向部由密封 材料19c'等密閉。另外，在背面框16'的膜片17(背后空間BS)的中心部上的位置形成 背面開口部16a'。該背面開口部16a'在背后空間BS的中心部開口，由此能夠高效率地 防止背壓的發(fā)生。另外，背面開口部16a'由消音構(gòu)件16b'覆蓋。該消音構(gòu)件16b'通常 可由多孔質(zhì)的樹脂、金屬、陶瓷等這樣的多孔質(zhì)材料構(gòu)成，或具有一般的消音裝置那樣的內(nèi) 裝緩沖板等的結(jié)構(gòu)。但是，為了使得能夠進行高效率的給排氣和充分的消音作用，并且緊湊 地構(gòu)成，最好為前者。在圖示例中，消音構(gòu)件16b'安裝在背面框16'的上述背面開口部 16a'的內(nèi)側(cè)開口緣上，但也可安裝在外側(cè)開口緣上，或插入配置在背面開口部16a ‘的內(nèi) 部。在本實施方式的動作單元OP ‘，一體地在背面框16'設(shè)置卡合部16s'、16s ’，該卡合部16s'能夠卡合在圖5 (a)所示支承座8的卡合槽8s地構(gòu)成。支承座8能夠安 裝多個動作單元OP'地構(gòu)成。圖5(b)為表示部件輸送裝置的一例的俯視圖。該裝置為在通過螺旋彈簧等防振 構(gòu)件支承在未圖示的設(shè)置臺上的基座3上設(shè)置碗型的部件供給器4和線型部件供給器5及 6而構(gòu)成的復(fù)合型部件供給裝置。碗型部件供給器4具有設(shè)置在圖中未表示的旋轉(zhuǎn)振動器 上的碗型的輸送體42。該輸送體42在內(nèi)部具有底部42a，并具有形成于該底部42a的周 圍內(nèi)面上的螺旋狀的輸送軌道42b，構(gòu)成為，沿上述輸送軌道42a朝上方輸送被配置在底部 42a上的圖中未表示的部件。另一方面，線型部件供給器5及6具有設(shè)置在未圖示的直線振動器上的輸送體52、62，構(gòu)成為，設(shè)于輸送體52上的直線狀的輸送軌道52a和設(shè)于輸送體62上的直線狀的輸送 軌道62a相互在相反方向以直線狀輸送部件。輸送軌道42b的末端42c將部件送出到上述輸送軌道52a。另外，在輸送體52沿 輸送軌道52a設(shè)置多個部件分選部，由設(shè)于各部件分選部的檢測部DT檢測部件合格與否、 姿勢正確與否。另外，在其它部件分選部，設(shè)置一直將空壓施加在輸送軌道52a上、自動地 僅將處于不正確姿勢的部件排除的場所，在該場所(例如用圖示UDT所示場所)，未設(shè)置上 述檢測部DT。在沿上述輸送軌道52a設(shè)置的多個部件分選部，由在前面的各實施方式中說明了 的空壓作用系統(tǒng)在輸送部件作用空壓，由此從輸送軌道52a上將輸送部件排除，或改變其 在輸送軌道52a上的姿勢。然后，被從輸送軌道52a排除了的輸送部件落下到鄰接的輸送 軌道62a，在輸送軌道62a上朝與輸送軌道52a的輸送方向相反的方向輸送，不久從輸送軌 道62a的末端排出到上述輸送體42的部件接受部42d。排出到了部件接受部42d的輸送部 件再次匯合到輸送軌道42b的途中，沿輸送軌道42b輸送。在本實施方式中，在基座3上配置與上述同樣的控制部SC及驅(qū)動部DC和卡合并 支承于上述支承座8的多個動作單元OP'。多個動作單元OP'對應(yīng)于上述多個部件分選 部設(shè)置。另外，控制部SC及驅(qū)動部DC連接在上述檢查部DT，同時，如后述那樣控制與該檢 查部DT對應(yīng)的動作單元OP'。另外，在未設(shè)置檢查部DT的部件分選部中，如后述那樣，一 直連續(xù)地驅(qū)動對應(yīng)的動作單元OP'，從而能夠使空壓作用在輸送到能夠施加空壓的位置的 全部部件。在本實施方式中，不需要在部件輸送裝置連接空壓設(shè)備，同時，能夠由支承座8緊 湊地設(shè)置多個動作單元OP'，所以，特別是適合用于小型裝置的場合。本實施方式的各特征點只要不特別產(chǎn)生矛盾，則能夠與第一實施方式、第二實施 方式的特征點任意地組合而實施。另外，在將后述的各實施方式也包含在內(nèi)的全部實施方 式相互間，只要不特別產(chǎn)生矛盾，則能夠把結(jié)構(gòu)相互改變或追加。(第四實施方式(動作單元的控制驅(qū)動方法及控制驅(qū)動部的構(gòu)成))下面，參照圖6說明如上述那樣構(gòu)成的各實施方式的動作單元OP、OP'的控制驅(qū) 動方法的一例。圖6(a)為表示施加在作為膜片17的驅(qū)動機構(gòu)的壓電元件18的驅(qū)動電壓 Vd隨時間變化的曲線圖，圖6(b)為放大表示圖6(a)的驅(qū)動電壓Vd的波形的一部分的驅(qū)動 波形圖，圖6 (c)為表示由驅(qū)動電壓Vd產(chǎn)生的膜片17的位移D (膜片17的中央部朝厚度方 向的位移量)和伴隨著其的動作空間OS或空壓路徑AR內(nèi)的壓力P隨時間變化的曲線圖。 在本實施方式中，驅(qū)動電壓Vd的波形為矩形波。在圖6所示波形中，壓電元件18在施加的 驅(qū)動電壓Vd為正值的場合(Vd > 0)使上述膜片17往空壓路徑AR的基端側(cè)開口部14b側(cè) 變形地發(fā)揮作用，在負的驅(qū)動電壓Vd (Vd <0)的場合，使上述膜片17朝空壓路徑AR的與 基端側(cè)開口部14b相反側(cè)變形地發(fā)揮作用。在該例中，根據(jù)控制部SC的控制信號，驅(qū)動部DC在壓電元件18施加驅(qū)動電壓Vd。 此時，例如在作為動作單元OP的動作時(在輸送部件PT施加空壓作用的期間)的第一驅(qū) 動期間tl施加正的驅(qū)動電壓Vd = +Vl (VI > 0)，在作為動作單元OP的等候時(未在輸送 部件PT施加空壓作用的期間)的第二驅(qū)動期間t2施加負的驅(qū)動電壓Vd = -V2 (V2 > 0)。 因此，上述動作時，膜片17朝基端側(cè)開口部14b—側(cè)(第一方向)變形。與該第一驅(qū)動期間tl對應(yīng)的第一位移期間DPl為從膜片17開始朝第一方向位移到朝第二方向位移的期間。 另外，在上述等候時，膜片17朝與基端側(cè)開口部14b相反側(cè)(第二方向)變形。與該第二 驅(qū)動期間t2對應(yīng)的第二位移期間DP2為從膜片17開始朝第二方向位移到開始朝第一方向 位移的期間。在本實施方式的場合，反復(fù)由上述第一驅(qū)動期間tl和第二驅(qū)動期間t2構(gòu)成 的驅(qū)動周期T，從而使膜片17反復(fù)由上述第一位移期間DPl和第二位移期間DP2構(gòu)成的位 移周期DP。更具體地說，本實施方式的驅(qū)動波形為矩形，在第一驅(qū)動期間tl，最初驅(qū)動電壓 Vd從-V2連續(xù)地上升到+VI，此后，驅(qū)動電壓Vd按+Vl維持。結(jié)果，第一位移期間DPl由最 初膜片17朝第一方向(前面?zhèn)?連續(xù)地位移的第一位移變化期和緊接其后的維持膜片17 的位移量的第一位移維持期構(gòu)成。另外，在第二驅(qū)動期間t2中，最初驅(qū)動電壓Vd從+Vl連 續(xù)地下降到-V2，此后，驅(qū)動電壓Vd按-V2維持。結(jié)果，第二位移期間DP2由最初膜片17朝 第二方向(背面?zhèn)?連續(xù)地位移的第二位移變化期和緊接其后維持膜片17的位移量的第 二位移維持期構(gòu)成。在本實施方式中，通過將第二驅(qū)動期間t2設(shè)定得比第一驅(qū)動期間tl長，使得第二 位移期間DP2比上述第一位移期間DPl長。這樣，朝第二方向位移的期間變長，所以，朝第 二方向位移的期間的動作空間的壓力變得接近外壓(大氣壓)，從該狀態(tài)，膜片17朝第一方 向位移，從而能夠發(fā)生大的空壓。另外，膜片17朝第一方向位移的期間短，這樣，膜片17朝 第一方向位移，產(chǎn)生空壓，然后，在動作空間接近外壓(大氣壓)之前，朝第二方向返回，所 以，能夠減輕施加在輸送部件的與所期望的空壓相反的反壓的影響。例如，在如上述那樣對 輸送部件施加正的空壓的場合，在該正的空壓接近外壓(大氣壓)之前使膜片相反地位移， 這樣，部件不易受到負壓的影響。上述各期間DPI、DP2的長度和朝外壓的回歸特征及空壓與反壓的關(guān)系由連接于 動作空間OP、OP'的空壓路徑AR的屬性即路徑長度及流通截面積根據(jù)通氣阻力決定。上 述第一位移期間DPl的最大值被設(shè)定在相對于規(guī)定的空壓路徑AR不發(fā)生對輸送部件產(chǎn)生 影響的程度的反壓的值以下，第二位移期間DP2的最小值被設(shè)定在動作單元OP、OP'的內(nèi) 壓相對于規(guī)定的空壓路徑AR恢復(fù)而能夠高效率地對輸送部件施加空壓的值以上。另外，驅(qū) 動周期T或位移周期DP的最小值被設(shè)定成為輸送部件的輸送周期的最小值以下。一般，第 二位移期間DP2最好為第一位移期間DPl的2倍以上，如在3倍以上則更理想。為了確認上述點，實際試制空壓作用系統(tǒng)，進行實驗。在動作單元A中，作為壓電 元件，使用具有直徑<p25mm、厚t = 0. Imm的PZT制的壓電體的壓電元件；作為膜片，使 用粘接在直徑φ32、厚t = 0. Imm的黃銅制金屬板的膜片；在動作單元B中，作為壓電元件， 使用具有直徑φ30π η 、厚t = 0. Imm的PZT制的壓電體的壓電元件；作為膜片，使用粘接 在直徑φ35、厚t = 0. Imm的黃銅制金屬板的膜片，在動作單元C中，作為壓電元件，使用具 有直徑(p30mm、厚t = 0. Imm的PZT制的壓電體的壓電元件；作為膜片，使用粘接在直徑 q)41mm、厚t = 0. Imm的黃銅制金屬板上的膜片。另外，所有的動作單元，膜片與壓電元 件的層疊體的共振動頻率都為ι. 5KHZ。作為實驗對象的工件使用片狀電阻(縱ImmX橫0. 5mmX厚0. 35mm)，以振動器頻 率為303Hz、供給器(上述部件輸送裝置5)的供給能力按4000個/分進行實驗。作為部件
12分選部，包含不合格姿勢的排除部、表里分選部。這樣，最小型的上述動作單元A也能夠沒 有故障地分選部件，并能對于分選對象以外的部件確認沒有卷入等的情形。作為工件的尺 寸，如動作單元B、C那樣增大膜片17的面積，縱橫厚度分別能夠應(yīng)對到5mm左右。另外，在 連續(xù)地或相對于全部輸送部件施加空壓的部件分選部中，能夠確實地排除該姿勢的部件或 全部的部件。另外，在上述構(gòu)成中，按500 μ s固定第一驅(qū)動期間tl，使驅(qū)動周期T按IOms (驅(qū) 動頻率100Hz)、5ms (驅(qū)動頻率200Hz)、3. 3ms (驅(qū)動頻率300Hz)、2. 5ms (驅(qū)動頻率400Hz)、 1. 7ms (驅(qū)動頻率600Hz)、1. 25ms (驅(qū)動頻率800Hz)、1. Ims (驅(qū)動頻率900Hz)變化，測定動 作單元0Ρ、0Ρ'的壓力P的變動。在這些場合(第一驅(qū)動期間tl的占空比不到50% )，基 本上獲得與圖6(c)所示壓力變動同樣的形式。但是，隨著上述占空比增大，可以看到壓力 P的變動中的正壓的最大值與負壓的最大值的比下降的傾向。另外，調(diào)整第一驅(qū)動期間tl 和驅(qū)動周期T，使上述占空比為50%以上進行實驗后判明，負壓在正壓以上。如這樣占空比在50%以上，則在使用正壓對輸送部件PT施加空壓作用的場合，效 率下降，負壓產(chǎn)生的影響也增大，所以，在使用正壓對輸送部件PT施加空壓作用的場合(將 輸送部件吹跑或使其翻轉(zhuǎn)的場合等)，最好上述占空比不到50%，特別是最好不到30%。相 反，在使用負壓對輸送部件PT施加空壓作用的場合(吸引輸送部件的場合等)，上述占空 比與上述同樣，但需要使第一位移期間DPl和第二位移期間DP2的膜片位移方向相反。在 使用負壓對輸送部件PT施加空壓作用的場合，省略詳細的說明，但在驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動形式 中，將驅(qū)動電壓Vd的正負的關(guān)系或壓電元件18的分極方向設(shè)定為相反即可，膜片17的位 移形式只要使位移的方向相反即可。這一點不限于本實施方式，在后述的其它實施方式中 也相同。在本實施方式中，從相對于壓電元件18施加了負的驅(qū)動電壓的狀態(tài)轉(zhuǎn)移到施加 了正的驅(qū)動電壓的狀態(tài)，從而能夠增大動作空間OP、OP'的容積的變化量，同時，也能夠利 用膜片17的彈性恢復(fù)力，為此，能夠迅速地將輸送軌道Ila上的空壓作用迅速地施加在輸 送部件PT，能夠減少時滯，同時，能夠增大空壓力。另外，在第一驅(qū)動期間tl施加正的驅(qū)動 電壓，在第二驅(qū)動期間t2施加負的驅(qū)動電壓(與此相反地在第一驅(qū)動期間tl施加負的驅(qū) 動電壓、在第二驅(qū)動期間t2施加正的驅(qū)動電壓的場合也相同)，能夠提高施加在壓電元件 18的正負的電壓的平衡，所以，例如能夠避免在電層的兩側(cè)設(shè)置銀電極的場合產(chǎn)生的銀遷 移等遷移導致的壓電元件的劣化、故障(絕緣不良等)。特別是使第一驅(qū)動期間tl的驅(qū)動 電壓Vd的時間積分的絕對值(在圖6(b)所示例中，為VlXtl)與在第二驅(qū)動期間t2中的 驅(qū)動電壓Vd的時間積分的絕對值(在圖6(a)所示例中為V2Xt2) —致，能夠完全地防止 上述遷移。但是，對于即使不嚴密地一致，也能夠提高正負的電壓的平衡這一觀點來說，獲 得了效果，所以，在本實施方式的場合，最好將第一驅(qū)動期間tl和第二驅(qū)動期間t2的驅(qū)動 電壓Vd的時間積分的絕對值設(shè)定為近似的值，例如兩者的比例成為0. 5以上2. 0以下的范 圍內(nèi)，特別是最好設(shè)定在兩者比例為0.8以上1.2以下的范圍內(nèi)。雖然驅(qū)動電壓+Vl和-V2的絕對值能夠適當?shù)卦O(shè)定，但最好使在Vl = V2即正的 驅(qū)動電壓+Vl的絕對值(在如圖所示那樣為一定的場合和不一定的場合，為該驅(qū)動電壓的 時間平均的絕對值，以下相同)和負的驅(qū)動電壓-V2的絕對值(或其時間平均的絕對值) 大體相等。這樣，能夠在增大膜片17的位移量的同時，減輕對于膜片17的負荷。
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但是，在能夠充分地確保膜片17的位移量的場合，也可僅施加正或負任一方的驅(qū) 動電壓。例如，在設(shè)上述V2 = 0、僅在膜片17施加正的驅(qū)動電壓的場合，或設(shè)上述Vl = 0、 僅在膜片17施加負的驅(qū)動電壓的場合，能夠基本上形成與上述同樣的驅(qū)動波形，能夠獲得 同樣的作用效果。在這里，增減正的驅(qū)動電壓的絕對值Vl和負的驅(qū)動電壓的絕對值V2的至少一方， 作為結(jié)果，增減正負的電位差Vl+V2(驅(qū)動電壓Vd的變動幅度)，或增減第一驅(qū)動期間tl， 從而能夠增減第一位移期間DPI中的膜片17的位移速度、位移量，調(diào)整空壓作用的程度 (大小)。為此，具有這樣的優(yōu)點，即，不需要如以往使用空壓設(shè)備的場合那樣設(shè)置調(diào)節(jié)器或 用調(diào)速裝置等進行空壓的微調(diào)，現(xiàn)場設(shè)置時空壓調(diào)整極為容易。在圖示例中，膜片17的驅(qū) 動周期T或位移周期DP不特別限定，但它們最好相應(yīng)于部件輸送裝置的輸送速度的最大值 (輸送部件PT的輸送間隔最小值)預(yù)先設(shè)定。即，相應(yīng)于輸送速度的最大值設(shè)定上述周期、 動作間隔的最小值，在該最小值也不產(chǎn)生空壓地構(gòu)成，從而能夠確實地處理輸送部件PT。在上述實施方式中，作為驅(qū)動機構(gòu)使用密接在膜片17的壓電元件18，但本發(fā)明不 限定于上述那樣的驅(qū)動形式，例如作為驅(qū)動機構(gòu)使用螺線管，或使膜片自身變形地構(gòu)成等， 結(jié)果膜片17使動作空間OS的容積增減，或膜片17相對于空壓路徑AR的基端側(cè)開口部14b 在接近、離開的方向變形，或膜片17在厚度方向振動即可?？傊鐖D6(c)所示那樣，在本實施方式中，由膜片17的厚度方向的位移D使動 作空間OS內(nèi)的壓力P上下變動。在這里，圖6(c)按圖示雙點劃線表示驅(qū)動波形。另外，隨 著該壓力變動產(chǎn)生于空壓路徑AR的氣體(空氣)的流動或聲波的傳播在輸送軌道Ila上 的輸送部件PT作用空壓。此時，施加在輸送部件PT的空壓由相應(yīng)于膜片17的變形恢復(fù)產(chǎn) 生的負壓迅速地停止，或作為聲波迅速地消失，所以，不易對在前后輸送來的別的輸送部件 產(chǎn)生影響。另外，通過使膜片17迅速地變形，對在輸送軌道Ila上高速地移動的輸送部件 也能夠容易地應(yīng)對，所以，沒有妨礙部件輸送裝置的高速化的危險。如上述那樣，作用于輸送部件PT的空壓力能夠通過控制驅(qū)動電壓Vd的絕對值Vl、 V2、第二驅(qū)動期間t2(第二位移期間DP2)的長度而容易地調(diào)整，但在其調(diào)整范圍內(nèi)，例如在 排除縱、橫、高為0. 5 5. Omm的范圍內(nèi)的輸送部件PT或使其姿勢翻轉(zhuǎn)的場合，如構(gòu)成為能 夠獲得足夠的空壓力，則能夠在圖6(b)及(c)所示驅(qū)動波形及膜片的位移D及動作空間 OS的壓力P下使第二驅(qū)動期間t2 (第二位移期間DP2)為0. 05 0. 5ms,使第一驅(qū)動期間 tl(第一位移期間DPI)為0. 1 1.0ms左右，所以，在輸送速度3000 4000個/分左右的 高速輸送中也能夠充分地應(yīng)對。在本實施方式中，相對于設(shè)置上述檢測部DT的部件分選部，如根據(jù)上述檢測部DT 的檢測信號判明在控制部SC應(yīng)對輸送部件PT作用空壓，則根據(jù)控制部SC的控制信號使驅(qū) 動部DC動作，輸出驅(qū)動信號，由壓電元件18立即開始上述第一驅(qū)動期間tl。在該場合，在 本實施方式中，第一驅(qū)動期間tl為預(yù)先設(shè)定了的既定值，但第二驅(qū)動期間t2根據(jù)由上述檢 測信號檢測輸送部件的時期，成為任意的時間。結(jié)果，上述驅(qū)動周期T或位移周期DP不定 期地重復(fù)。另一方面，對如上述那樣一直對輸送部件施加空壓的部件分選部，例如連續(xù)、定期 地(按一定周期)施加圖6(b)所示驅(qū)動波形。在該場合，該驅(qū)動周期T或位移周期DP與 如上述那樣對應(yīng)于部件輸送裝置的部件輸送速度的輸送部件通過周期相比大幅度縮短，從
14而能夠?qū)λ械妮斔筒考_實地施加空壓。但是，在該部件分選部，也可如上述那樣設(shè)置檢 測部DT，相應(yīng)于其檢測信號開始第一驅(qū)動期間tl。該場合的由檢測部DT對輸送部件PT的 檢測不為上述那樣僅檢測一部分受到了分選的輸送部件(例如處于規(guī)定姿勢的部件)的形 式，而是全部的輸送部件成為對象。此時，空壓在全部的輸送部件通過時分別產(chǎn)生，但根據(jù) 末端開口部的位置僅處于特定姿勢的部件受到空壓作用。但是，在根據(jù)某種理由希望相對 于全部的輸送部件施加空壓作用的場合，末端開口部的位置也可不設(shè)置在相對于全部輸送 部件開口的位置。(第五實施方式)下面，說明圖7(a) (d)說明本發(fā)明的第五實施方式。在本實施方式中，對與上 述第一實施方式 第四實施方式對應(yīng)的部分標注相同符號，對與上述第一實施方式 第四 實施方式同樣的點省略說明。在前面的第四實施方式中，將驅(qū)動電壓Vd的波形設(shè)為矩形波，但在本實施方式 中，將驅(qū)動電壓Vd如圖7(a)所示那樣形成為三角波形。在本實施方式中，與第四實施方 式同樣，在第一驅(qū)動期間tl(第一位移期間DPI)之后設(shè)置第二驅(qū)動期間t2(第二位移期 間DP2)，在該第二驅(qū)動期間t2 (第二位移期間DP2)后再設(shè)置第一驅(qū)動期間tl (第一位移 期間DPI)，這樣周期性地驅(qū)動壓電元件18，但在本實施方式中，第一驅(qū)動期間tl在按負的 驅(qū)動電壓-V2開始后，驅(qū)動電壓Vd增大，成為正的驅(qū)動電壓+VI，從而結(jié)束，此后，驅(qū)動電壓 Vd逐漸下降，從而開始第二驅(qū)動期間t2，驅(qū)動電壓Vd下降到負的驅(qū)動電壓-V2而結(jié)束。相 應(yīng)于上述那樣的驅(qū)動形式，第一位移期間DPl通過膜片17朝第一方向(前面?zhèn)?位移而開 始，其位移量高速地增大，在第一驅(qū)動期間tl結(jié)束的時刻或從該時刻經(jīng)過規(guī)定的響應(yīng)滯后 時間后，成為最大并結(jié)束。第二位移期間DP2通過開始第二驅(qū)動期間t2，膜片17開始朝第 二方向(背面?zhèn)?位移而開始，隨著驅(qū)動電壓Vd的下降，膜片17低速地朝第二方向位移， 開始第一驅(qū)動期間tl，驅(qū)動電壓上升，膜片17的位移方向改變?yōu)榈谝环较蚨Y(jié)束。更具體地說，在第一驅(qū)動期間tl中，驅(qū)動電壓Vd急速地連續(xù)上升，這樣，即使在第 一位移期間DPl中，膜片17也高速地連續(xù)朝第一方向(前面?zhèn)?位移(第一位移變化期)。 另外，在第二驅(qū)動期間t2中，驅(qū)動電壓Vd低速地連續(xù)下降，這樣，即使在第二位移期間DP2 中，膜片17也低速地連續(xù)朝第二方向(背面?zhèn)?位移(第二位移變化期)。如以上那樣，按照上述那樣的利用三角波狀驅(qū)動信號的驅(qū)動形式及膜片17的位 移形式，也能夠?qū)斔筒考饔每諌?。在該場合，上述?qū)動信號由于第一驅(qū)動期間tl的驅(qū) 動電壓Vd的上升傾斜比第二驅(qū)動期間t2的驅(qū)動電壓的下降傾斜大，所以，膜片17按朝膜 片17的前面?zhèn)鹊奈灰扑俣雀摺⒊趁鎮(zhèn)鹊奈灰扑俣嚷男问阶冃?。這樣，能夠如圖7(b)所 示那樣提高作用于輸送部件PT的正壓，同時，減小負壓，所以，在希望由正壓作用于該輸送 部件PT的場合，能夠高效率地施加作用，同時，能夠減少負壓的不良影響。在與此相反地 希望由負壓在輸送部件PT施加作用的場合，與上述相反地構(gòu)成驅(qū)動波形的傾斜的關(guān)系，這 樣，按朝背面?zhèn)鹊奈灰扑俣雀?、朝前面?zhèn)鹊奈灰扑俣嚷男问绞鼓て?7變形即可。在上述說明中，表示了用驅(qū)動周期T的三角波驅(qū)動壓電元件18的例子，即，第一位 移期間DPl僅由第一位移變化期構(gòu)成，第二位移期間DP2僅由第二位移變化期構(gòu)成的例子， 但也可考慮如圖7(c)及(d)所示那樣僅在驅(qū)動周期T的一部分期間設(shè)置三角波的形式，即 上述第四實施方式的第一驅(qū)動期間tl(第一位移期間DPI)構(gòu)成為三角波狀的場合。在該場合，即使設(shè)于膜片17朝第一方向(前面?zhèn)?的位移速度與朝第二方向(背面?zhèn)?的位移 速度間的差的范圍被限定，由于作為其補償，膜片17在與對輸送部件PT的空壓作用的方向 相反的方向位移的期間變長，所以，基本上能夠獲得與第四實施方式同樣地在輸送部件施 加高效率的空壓的效果。在該例中，在第一驅(qū)動期間tl僅是驅(qū)動電壓Vd連續(xù)地急速上升，但在第二驅(qū)動期 間t2，與第四實施方式同樣，緊接在第一驅(qū)動期間tl后，驅(qū)動電壓Vd連續(xù)地下降，緊接其 后，驅(qū)動電壓Vd按-V2維持一定。這樣，在第一位移期間DP1，膜片17連續(xù)、高速地朝第一 方向位移(即僅由第一位移變化期構(gòu)成)，在第二位移期間DP2，設(shè)置膜片17低速、連續(xù)地 朝第二方向位移的第二位移變化期和緊接其后維持膜片17的位移量的第二位移維持期。 特別是第一位移期間DPl也可具有第一位移變化期和第二位移維持期地構(gòu)成。(第六實施方式)下面，參照圖8(a) (d)說明本發(fā)明的第六實施方式。在本實施方式中，對與上 述第一實施方式 第五實施方式對應(yīng)的部分標注相同符號，對與上述第一實施方式 第五 實施方式同樣的點省略說明。在本實施方式中，如圖8(a)所示，在與第四實施方式同樣地設(shè)置的第一驅(qū)動期間 tl和第二驅(qū)動期間t2后設(shè)置驅(qū)動電壓Vd上升的第三驅(qū)動期間t3和其后驅(qū)動電壓Vd下降 的第四驅(qū)動期間t4。另外，第四驅(qū)動期間t4緊靠在下一第一驅(qū)動期間tl前面地設(shè)置。第 三驅(qū)動期間t3為設(shè)驅(qū)動電壓Vd為OV的期間，但不一定非要為0V，只要驅(qū)動電壓Vd的絕對 值至少比第二驅(qū)動期間t2小即可。另外，在第四驅(qū)動期間t4，為使驅(qū)動電壓Vd比第三驅(qū)動 期間t3更下降的期間，在圖示例中，使驅(qū)動電壓Vd與第二驅(qū)動期間t2相同，設(shè)為-V2。在本實施方式中，按照上述驅(qū)動形式，在膜片17的第一位移期間DPl中，設(shè)置膜片 17朝第一方向(前面?zhèn)?連續(xù)地位移的第一位移變化期和緊接其后維持膜片17的位移量 的第一位移維持期。另外，第二位移期間DP2包含與上述第二驅(qū)動期間t2對應(yīng)的第二對應(yīng) 期DP2a、與上述第三驅(qū)動期間t3對應(yīng)的第三對應(yīng)期DP2b、及與上述第四驅(qū)動期間t4對應(yīng) 的第四對應(yīng)期DP2c。在第二對應(yīng)期DP2a中，膜片17朝第二方向(背面?zhèn)?位移，另外，在 第三對應(yīng)期DP2b中，膜片17最初朝第一方向(前面?zhèn)?位移，位移量的絕對值減小。另外， 在第四對應(yīng)期DP2c中，膜片17朝第二方向(背面?zhèn)?位移。緊接在第四對應(yīng)期DP2c后， 產(chǎn)生下一第一位移期間DPI。在本實施方式中，根據(jù)上述檢測部DT的檢測信號檢測輸送來的輸送部件PT，當應(yīng) 在該輸送部件PT作用空壓時，先開始第四驅(qū)動期間t4，此后，該期間t4結(jié)束，開始第一驅(qū) 動期間tl，此后，第一驅(qū)動期間tl結(jié)束，第二驅(qū)動期間t2開始，如經(jīng)過規(guī)定時間，則第二驅(qū) 動期間t2結(jié)束，開始第三驅(qū)動期間t3。如再經(jīng)過規(guī)定時間，則第四驅(qū)動期間t4再次開始。 因此，通過預(yù)先將第四驅(qū)動期間t4的長度和該期間的驅(qū)動電壓Vd的值設(shè)定為一定的值，能 夠與驅(qū)動周期T、位移周期DP的長度無關(guān)地在第一位移期間DPl作用穩(wěn)定的空壓。在圖8(c)及(d)中，示出將上述第一驅(qū)動期間tl及第二驅(qū)動期間t2的驅(qū)動波形 構(gòu)成為三角波形的例子。在該場合，最好與上述第五實施方式同樣，用于獲得作為應(yīng)作用在 輸送部件PT的空壓的正壓的膜片17朝前面?zhèn)?第一方向)的位移高速地進行，與此相反 的朝背面?zhèn)?第二方向)的位移低速地進行。即，在第四驅(qū)動期間t4開始時，按低速使驅(qū) 動電壓下降，從而按低速使膜片17朝背面?zhèn)任灰?，在第一?qū)動期間tl開始時，按高速使驅(qū)動電壓上升，從而使膜片17高速地朝前面?zhèn)任灰?，在第二?qū)動期間t2開始時，低速地使驅(qū) 動電壓下降，從而按低速使膜片17朝背面?zhèn)任灰?。然后，在本實施方式中，按照上述原因?也能夠獲得與第五實施方式、圖8(a)及(b)所示例子同樣的作用效果。在本實施方式中，在驅(qū)動周期T、位移周期DP變化的場合，最好分別將第一驅(qū)動期 間tl、第二驅(qū)動期間t2及第四驅(qū)動期間t4設(shè)為一定時間，使第三驅(qū)動期間t3增減。這樣， 能夠使第一位移期間DPI、第二位移期間DP2的第二對應(yīng)期DP2a及第四對應(yīng)期DP2c大體一 定，所以，能夠使與施加在輸送部件的空壓相反的壓力的影響穩(wěn)定。但是，施加在輸送部件 的空壓由于第一位移期間DPl和第四對應(yīng)期DP2c的施加的影響大，所以，能夠使第二驅(qū)動 期間t2也可變地構(gòu)成。關(guān)于第四對應(yīng)期DP2c和第一位移期間DP1，在本實施方式的場合，存在以下那樣 的特殊的情況。為了確保上述第三驅(qū)動期間t3較長，需要縮短第四驅(qū)動期間t4，但如果第 四驅(qū)動期間t4過短，則膜片17朝第二方向的位移量不足，所以，不能確保在第一位移期間 DPl的朝第一方向的位移量，能夠高效率地獲得朝該第一方向的位移量引起的朝第二方向 的位移速度、位移量的效果變淡。另一方面，如使第四驅(qū)動期間t4變長或增大該第四驅(qū)動 期間t4的位移量，則相對于膜片17的負荷的減輕效果下降。因此，第四對應(yīng)期DP2c的長 度和該期間的位移量需要考慮兩效果進行設(shè)定。另外，設(shè)置第二驅(qū)動期間t2形成第二對應(yīng)期DP2a，具有使由第一位移期間DPl向 第一方向(前面?zhèn)?位移了的膜片17迅速地朝第二方向(背面?zhèn)?恢復(fù)的意義，但即使第 二對應(yīng)期DP2a變長，也僅是膜片17朝第二方向的位移量變大或穩(wěn)定，由于此后第三驅(qū)動期 間t3存在，所以，膜片17的位移量本身沒有直接的效果。另一方面，第二驅(qū)動期間t2和第 三驅(qū)動期間t3的合計時間對第一位移期間DPl開始前的動作空間OP、OP'的內(nèi)壓向外壓 (大氣壓)恢復(fù)有貢獻，從這一意義來說，具有增大第一位移期間DPl的空壓作用的意義。在 該場合，第二驅(qū)動期間t2的存在能夠在第二對應(yīng)期DP2a中比利用第三驅(qū)動期間t3的場合 更短時間地、高效率地恢復(fù)動作空間0Ρ、0Ρ'的內(nèi)壓，從這一意義上來說具有效果。最好在 第三驅(qū)動期間t3中使膜片17朝第一方向的位移不急劇返回地使驅(qū)動電路為高阻抗狀態(tài)， 從而使位移量緩慢下降。在將電極設(shè)于壓電層的兩側(cè)的場合，特別是設(shè)置銀電極的場合，已經(jīng)得知，如正負 地施加的電荷的平衡破壞，則銀遷移等遷移導致的壓電元件的劣化、故障(導通不良等)發(fā) 生。在第四及第五實施方式的場合，使第一驅(qū)動期間tl中的驅(qū)動電壓Vd的時間積分的絕 對值(在圖6(b)所示例中為VlXtl)與第二驅(qū)動期間t2的驅(qū)動電壓Vd的時間積分的絕 對值(在圖6(b)所示例中為V2Xt2) —致，從而能夠完全地防止遷移。在這些場合，tl與 t2的比例當如上述那樣將占空比設(shè)為不到50% (最好為不到30%)時，與其相應(yīng)地改變 Vl與V2的比例即可。另外，在本實施方式的場合，由于存在第三驅(qū)動期間t3，所以，能夠適 當?shù)卮_定t2。即，能夠容易地設(shè)為tl = t2+t4，所以，即使在Vl = V2的場合，也能夠使上 述時間積分的絕對值一致。在該場合，存在能夠使控制電路的構(gòu)成變得簡單的優(yōu)點。在上述說明中說明了使上述時間積分的絕對值一致的例子，但一般即使該絕對值 不完全一致，在能夠提高施加在壓電元件18的正負電壓的平衡這一點來說也能夠獲得效 果。因此，在本實施方式的場合，最好將第一驅(qū)動期間tl的驅(qū)動電壓Vd的時間積分的絕對 值和第二驅(qū)動期間t2及第四驅(qū)動期間t4的驅(qū)動電壓Vd的時間積分的絕對值設(shè)定為近似
17的值，例如兩者的比例在0. 5以上2. 0以下的范圍內(nèi)，特別是最好設(shè)定在兩者的比例在0. 8 以上1.2以下的范圍內(nèi)。而且，在本實施方式中，存在第三驅(qū)動期間t3，從而具有比前面的 實施方式更容易使上述比例接近1的優(yōu)點。特別是在本實施方式中，第三驅(qū)動期間t3為tl+t2+t4的2倍以上，由此，能夠在 第三驅(qū)動期間t3使動作空間OP、OP'的內(nèi)壓充分地恢復(fù)，所以，能夠進一步增大在第二位 移期間產(chǎn)生的空壓。(控制機構(gòu)/控制驅(qū)動部的構(gòu)成例)下面，參照圖9 圖11說明能夠在上述各實施方式中使用的控制機構(gòu)或控制驅(qū)動 部，即上述控制部SC及驅(qū)動部DC的構(gòu)成例。圖9(a)為示意地表示控制驅(qū)動部(控制部SC及驅(qū)動部DC)的構(gòu)成的概略電路圖。 該控制驅(qū)動部具有控制部SC和由該控制部SC控制的驅(qū)動部DC，控制部SC例如能夠由微 機、各種邏輯(數(shù)字)電路、模擬電路、中繼電路等構(gòu)成。在圖示例中，檢測部DT的檢測信 號Sl輸入到控制部SC，控制部SC相應(yīng)于上述檢測信號Sl將控制信號S2、S3輸出到驅(qū)動部 DC。具體地說如應(yīng)作用空壓的輸送部件PT到來，則檢測部DT切換檢測信號Si，如檢測到 該檢測信號的切換，則控制部SC以既定的形式按沿后述的時序圖的程序切換控制信號S2、 S3?？刂菩盘朣2、S3分別輸出到驅(qū)動部DC內(nèi)的開關(guān)元件(在圖示例中為晶體管)Trl、 Tr2的控制端子(在圖示例中為基極端子或柵極端子)。在驅(qū)動部DC中，第一開關(guān)元件Trl 與第一直流電源Vml串聯(lián)而構(gòu)成的第一驅(qū)動電路通過驅(qū)動配線17p、18p連接在上述壓電元 件18。另外，第二開關(guān)元件Tr2與第二直流電源Vm2串聯(lián)而構(gòu)成的第二驅(qū)動電路通過驅(qū)動 配線17p、18p連接在上述壓電元件18。第一驅(qū)動電路和第二驅(qū)動電路相對于壓電元件18 并聯(lián)。在兩開關(guān)元件Trl、Tr2斷開的情形，不對壓電元件18施加驅(qū)動電壓Vd。如第一開關(guān)元件Trl借助于控制信號S2成為接通狀態(tài)，則由第一驅(qū)動電路將第一 直流電源Vml的電壓作為驅(qū)動電壓Vd施加在壓電元件18。另外，如第二開關(guān)元件Tr2借 助于控制信號S3成為接通狀態(tài)，由第二驅(qū)動電路將第二直流電源Vm2的電壓作為驅(qū)動電壓 Vd施加在壓電元件18。但是，在大多數(shù)場合，實際的驅(qū)動電壓Vd由第一驅(qū)動電路和第二驅(qū) 動電路內(nèi)的未圖示的電元件、開關(guān)元件Trl、Tr2的電壓下降而成為與第一直流電源Vml、第 二直流電源Vm2不同的值。上述的控制驅(qū)動部例如在采用第四實施方式的驅(qū)動形式的場合，如圖10所示那 樣，將檢測信號Sl的上升時作為觸發(fā)脈沖，控制部SC將控制信號S2從H(高電位，以下相 同)切換成L(低電位，以下相同)，這樣，解除此前第一直流電源Vml相對于壓電元件18的 電壓施加狀態(tài)，使施加了負的驅(qū)動電壓Vd的第二驅(qū)動期間t2結(jié)束。另外，此后控制部SC 將控制信號S3從L切換為H，這樣，將第二直流電源Vm2的電壓作為正的驅(qū)動電壓Vd施加 在壓電元件18，開始第一驅(qū)動期間tl。如再經(jīng)過一定時間，則控制部SC將控制信號從H切 換為L，結(jié)束第一驅(qū)動期間tl，此后，控制部SC將控制信號S2從L切換為H，開始第二驅(qū)動 期間t2。在圖10中，在第一驅(qū)動期間tl與第二驅(qū)動期間t2間分別存在很小的滯后時間 td，這是為了防止在驅(qū)動部DC中發(fā)生由開關(guān)元件Trl、Tr2的響應(yīng)滯后引起的電短路而設(shè)置 的。因此，如為不產(chǎn)生這樣的問題的驅(qū)動電路，則不需要設(shè)置上述滯后時間td。在這里，與
18膜片17的位移時間相比，如該滯后時間td很小，則不會對膜片17的位移形式產(chǎn)生影響。圖11為表示采用第六實施方式的驅(qū)動形式的場合的控制驅(qū)動部的時序圖。在該 場合，由于設(shè)有第三驅(qū)動期間t3和第四驅(qū)動期間t4，所以，與其對應(yīng)，除了控制信號S2的波 形不同這一點以外，其它與上述相同。在該例中，按實際試制的構(gòu)成進行了實驗。在該例中， 設(shè)第四驅(qū)動期間t4為0. 059ms，第一驅(qū)動期間tl為0. 295ms，第二驅(qū)動期間t2為0. 236ms, 2個部位的滯后時間td都為0.177ms，第三驅(qū)動期間t3為0.885ms，驅(qū)動周期(合計)為 1. 829ms,使用上述動作單元A，同時，作為上述通氣管12使用60mm的樹脂管，測量了空壓 作用。壓力計連接在樹脂管的中間點。在該實驗中，第一驅(qū)動期間tl的上升點和壓力波形 的最大值間的時間即響應(yīng)時間為900μ S。另外，在該構(gòu)成中，在實際的部件輸送裝置中使 用后判明，能夠充分地應(yīng)對3000個/分的輸送能力，另外，能夠?qū)v、橫、高各為Imm左右的 部件施加足夠的空壓作用。在這里，Vl = V2 = 25V，另外，根據(jù)上述理由tl (0.295ms)= t2(0. 236ms)+t4(0. 059ms)。作為控制機構(gòu)的控制驅(qū)動部的構(gòu)成不限定于圖9(a)所示例，可使用各種控制驅(qū) 動部。例如可舉出這樣的構(gòu)成，即，如圖9(b)所示那樣，開關(guān)元件Trl和Tr2的串聯(lián)電路和 Tr4和Tr3的串聯(lián)電路相對于直流電源Vm并聯(lián)，開關(guān)元件Trl與Tr2的連接點電位和開關(guān) 元件Tr4與Tr3的連接點電位作為壓電元件18的兩端電壓供給。在該場合，控制部SC根 據(jù)檢測信號Sl將控制信號S2輸出到開關(guān)元件Trl及Tr3，將控制信號S3輸出到開關(guān)元件 Tr2及Tr4。在該場合，直流電源Vm為一個，所以，最好Vl = V2，另外，根據(jù)這樣的情況，最 好將該控制驅(qū)動部適用于第六實施方式。(相對于輸送部件的空壓的調(diào)整方法)下面，說明在上述各實施方式中進行空壓的調(diào)整的方法。在對作用于輸送部件的 空壓的大小進行調(diào)整的場合，可以這樣考慮，即，如上述那樣，改變壓電元件18的第一驅(qū)動 期間tl的長度或第二驅(qū)動期間t2(第四驅(qū)動期間t4)中的電壓值-V2、第一驅(qū)動期間tl中 的電壓值+VI，使由膜片17產(chǎn)生的動作空間OP、OP'的容積變化量增減。另一方面，作為上述空壓的調(diào)整方法，也可以考慮通過改變壓電元件18的驅(qū)動速 度，改變膜片17朝前面?zhèn)?第一方向)的位移速度。即，如表示壓電元件18的驅(qū)動電壓Vd 的波形的圖12(a)及(b)所示那樣，在驅(qū)動波形中，改變第一驅(qū)動期間tl的第一位移變化 期，即開始膜片17朝第一方向的連續(xù)驅(qū)動時的驅(qū)動波形的傾斜角度(驅(qū)動電壓Vd的上升 傾斜)，從而調(diào)整壓電元件18的變形速度，由此增減膜片17朝前面?zhèn)?第一方向)的位移 速度。這樣，如膜片17的位移速度變化，則能夠直接而且精密地調(diào)整空壓。在這里，圖12(a)表示上述傾斜角度陡急的場合，圖12(b)表示上述傾斜角度比 (a)平緩的場合。在各圖中，實線表示用矩形波驅(qū)動的場合，雙點劃線表示用三角波驅(qū)動的 場合。當然，在第六實施方式的驅(qū)動波形的場合也能夠同樣地適用。通過這樣調(diào)整驅(qū)動波 形的上升的傾斜角度，能夠直接地控制膜片17的位移速度，所以，能夠容易地進行更精密 的調(diào)整。但是，上述驅(qū)動波形的上升的傾斜角度的調(diào)整當然需要在驅(qū)動機構(gòu)能夠按與驅(qū)動 機構(gòu)(壓電元件18)的響應(yīng)特性的關(guān)系充分響應(yīng)的范圍進行。本發(fā)明的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置不限定于上述圖示例，當然在 不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)能夠施加各種變更。例如，在上述實施方式中，主要說明了作用 空壓而排除輸送部件或改變姿勢地構(gòu)成的場合，但本發(fā)明的空壓作用系統(tǒng)能夠用于使輸送部件朝其它輸送軌道等移動，或?qū)⑤斔筒考粫r地吸引保持在末端開口部而停止輸送等， 本發(fā)明的空壓作用系統(tǒng)能夠用于實現(xiàn)相對于輸送部件的各種作用形式的場合。另外，上述 膜片由金屬薄板構(gòu)成，但也可使用樹脂、橡膠制的膜片。另外，上述驅(qū)動機構(gòu)使用壓電元件， 但只要能夠使膜片機械地變形，則可為電磁驅(qū)動體、曲柄機構(gòu)等，另外，也可以構(gòu)成為由壓 電元件本身構(gòu)成的膜片等，膜片自身能夠變形。
權(quán)利要求
一種輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于具有輸送部件被輸送的輸送軌道(11a)；設(shè)置了面向該輸送軌道上的末端開口部(11c)的空壓路徑(AR)；動作空間(OS)，該空壓路徑的基端側(cè)開口部(14b)在該動作空間(OS)開口、該動作空間在分隔壁的至少一部分設(shè)置了柔性的膜片(17)；驅(qū)動該膜片使其變形而使上述動作空間的容積進行增減的驅(qū)動機構(gòu)(18)；及控制該驅(qū)動機構(gòu)、反復(fù)進行不定期或定期的動作周期的控制機構(gòu)(SC、DC)，在該定期或不定期的動作周期中，在使上述動作空間的容積增大或減小的第一方向使上述膜片位移而發(fā)生空壓，此后，在與該第一方向相反的第二方向使上述膜片位移而恢復(fù)上述動作空間的容積；該控制機構(gòu)進行控制，相比從上述膜片開始朝上述第一方向位移時到開始朝上述第二方向位移時的第一位移期間(DP1)，使得從開始朝上述第二方向位移時到開始下一用于發(fā)生上述空壓的朝上述第一方向的位移時的第二位移期間(DP2)更長。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上述第一位移期間 具有上述膜片朝上述第一方向連續(xù)位移的第一位移變化期和在其后維持上述膜片的位移 量的第一位移維持期，上述第二位移期間具有上述膜片朝上述第二方向連續(xù)位移的第二位 移變化期和其后維持上述膜片的位移量的第二位移維持期。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上述第一位移期間 具有上述膜片朝上述第一方向連續(xù)地位移的第一位移變化期，上述第二位移期間具有上述 膜片按比上述第一位移變化期低的位移速度朝上述第二方向位移的第二位移變化期。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上述控制機構(gòu)具有 用于形成上述第一位移期間的第一驅(qū)動期間(tl)，和用于形成上述第二位移期間的第二驅(qū) 動期間(t2)、第三驅(qū)動期間(t3)及第四驅(qū)動期間(t4)，上述第二驅(qū)動期間驅(qū)動上述膜片朝 上述第二方向連續(xù)位移，上述第三驅(qū)動期間使上述膜片朝上述第一方向位移而減小位移量 的絕對值，上述第四驅(qū)動期間在即將進入下一上述第一驅(qū)動期間之前使上述膜片朝上述第 二方向位移。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于還具有檢測上述輸 送部件的檢測機構(gòu)(DT)，上述控制機構(gòu)相應(yīng)于該檢測機構(gòu)檢測到上述輸送部件的時機開始 上述第一位移期間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上述控制機構(gòu)構(gòu)成 為，能夠增減上述第一位移期間和上述第二位移期間之間的上述膜片的位移量的差。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上述控制機構(gòu)構(gòu)成 為，能夠增減上述第一位移期間中的上述膜片的位移速度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任何一項所述的輸送部件的空壓作用系統(tǒng)，其特征在于上 述驅(qū)動機構(gòu)由與上述膜片密接的壓電元件構(gòu)成，上述控制機構(gòu)由在上述壓電元件施加驅(qū)動電壓的控制驅(qū)動部構(gòu)成。
9.一種部件輸送裝置，其特征在于具有權(quán)利要求8所述的空壓作用系統(tǒng)和沿上述輸 送軌道使上述輸送部件移動的輸送機構(gòu)。
全文摘要
輸送部件的空壓作用系統(tǒng)及部件輸送裝置，具有輸送軌道，設(shè)置了面向輸送軌道上的末端開口部的空壓路徑，基端側(cè)開口部開口、在分隔壁的一部分設(shè)置了柔性的膜片的動作空間，驅(qū)動膜片使其變形、使動作空間的容積進行增減的驅(qū)動機構(gòu)，及反復(fù)進行不定期或定期的動作周期的控制機構(gòu)，在該定期或不定期的動作周期中，在使動作空間的容積增大或減小的第一方向使膜片位移，發(fā)生空壓，此后，在與第一方向相反的第二方向使膜片位移；控制機構(gòu)進行控制，相比從膜片開始朝第一方向位移時到開始朝第二方向位移時的第一位移期間，使得從開始朝第二方向位移時到開始下一用于發(fā)生空壓的朝第一方向的位移時的第二位移期間更長。
文檔編號B65G47/22GK101885419SQ20101016793
公開日2010年11月17日 申請日期2010年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月13日
發(fā)明者原順一, 吉田朋彥, 木內(nèi)勇希 申請人:株式會社大伸