專利名稱：基板搬運(yùn)裝置、基板定位方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過向基板的下表面噴出氣體使基板上浮來進(jìn)行搬運(yùn)的非接觸方式的基板搬運(yùn)裝置、基板定位方法及裝置。
背景技術(shù)：
已知通過向在液晶板或半導(dǎo)體的制造中所使用的基板的下表面噴射壓縮氣體使基板上浮，而在非接觸狀態(tài)下搬運(yùn)基板的裝置。在專利文獻(xiàn)1中提出如下裝置，該裝置設(shè)置氣體噴出單元而使基板上浮，在與基板的前進(jìn)方向平行的基板搬運(yùn)線路的兩側(cè)設(shè)置作為基板搬運(yùn)單元的搬運(yùn)輥來夾持基板，由此進(jìn)行搬運(yùn)。
此外，在專利文獻(xiàn)2中提出如下裝置，該裝置使基板上浮并傾斜，通過設(shè)置在所傾斜的基板的下側(cè)的單側(cè)基板搬運(yùn)單元進(jìn)行搬運(yùn)。專利文獻(xiàn)1: JP特開2003- 292153號公報(bào)，專利文獻(xiàn)2: JP特開2002-308422號公報(bào)。
但是，在專利文獻(xiàn)l中所記載的裝置中，不得不以搬運(yùn)輥夾持基板的兩側(cè)，在減小基板的尺寸誤差和撓曲的同時(shí)進(jìn)行搬運(yùn)。因此，存在為了使兩側(cè)的搬運(yùn)輥緊貼在基板的邊緣上而需要彈簧等施力機(jī)構(gòu)，從而使結(jié)構(gòu)變復(fù)雜的問題。
此外，在專利文獻(xiàn)2中所記載的裝置中，限制基板的傾斜角度，使得作用于基板上的重力中的向傾斜方向的分力的大小處在用于使基板作用在下側(cè)的搬運(yùn)輥上的適當(dāng)?shù)牧Φ拇笮〉姆秶鷥?nèi)。因此，在上述傾斜角度不與在上游工序或下游工序的裝置中的基板的姿勢匹配的情況下，存在專利文獻(xiàn)2中所記載的裝置不能與上游工序或下游工序的裝置直接組合的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而作出的，其目的在于提供基板搬運(yùn)裝置，上述基板搬運(yùn)裝置無需采用復(fù)雜的結(jié)構(gòu)也能夠使基板作用在搬運(yùn)單元上和對基板進(jìn)行定位，且使基板上浮來進(jìn)行搬運(yùn)，而且，易于使基板的姿勢與上游工序與下游工序的裝置中基板的姿勢匹配。
此外，本發(fā)明的第二目的在于提供在搬運(yùn)基板時(shí)等，無需使用復(fù)雜的結(jié)構(gòu)也能夠?qū)暹M(jìn)行定位的基板定位方法及裝置。
為了解決上述的課題，技術(shù)方案1的發(fā)明是基板搬運(yùn)裝置，用于搬運(yùn)基板，其特征在于，具有上浮力施加單元，其將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn)面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；搬運(yùn)單元，其沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基準(zhǔn)線設(shè)置，通過與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接，并將向與上述基準(zhǔn)線平行的基板搬運(yùn)方向進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)力施加在上述邊緣上，從而將上述基板向上述基板搬運(yùn)方向搬運(yùn)。
此外，技術(shù)方案2的發(fā)明為技術(shù)方案1所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述基準(zhǔn)面大致水平。
此外，技術(shù)方案3的發(fā)明為技術(shù)方案1或技術(shù)方案2的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個(gè)第一氣體噴出孔，上述第一氣體噴出孔向上述第一方向與上述第二方向的合成方向噴出上述壓縮氣體。
此外，技術(shù)方案4的發(fā)明為技術(shù)方案3所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個(gè)第二氣體噴出孔，上述第二氣體噴出孔向上述第一方向噴出上述壓縮氣體。
此外，技術(shù)方案5的發(fā)明為技術(shù)方案4所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述多個(gè)第二氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿上述基板搬運(yùn)方向交替設(shè)置。
此外，技術(shù)方案6的發(fā)明為技術(shù)方案4所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔沿上述基板搬運(yùn)方向排列，上述多個(gè)第二氣體噴出孔沿上述基板搬運(yùn)方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿上述第二方向交替設(shè)置。此外，技術(shù)方案7的發(fā)明為技術(shù)方案4所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔以及上述多個(gè)第二氣體噴出孔在與上述基準(zhǔn)面平行的面內(nèi)交錯(cuò)配置。
此外，技術(shù)方案8的發(fā)明為技術(shù)方案3所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔形成在規(guī)定的搬運(yùn)臺的一個(gè)臺面上，上述規(guī)定的搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給上述壓縮氣體的腔室，上述臺面規(guī)定上
述基準(zhǔn)面o
此外，技術(shù)方案9的發(fā)明為技術(shù)方案3所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔分別形成在多個(gè)長條搬運(yùn)臺的臺面上，上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給上述壓縮氣體的上述腔室，各長度方向配置為與上述第二方向平行的上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺沿著上述基板搬運(yùn)方向排列，以形成臺面排列，上述臺面排列規(guī)定上述基準(zhǔn)面。
此外，技術(shù)方案10的發(fā)明為技術(shù)方案3所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔分別形成在多個(gè)長條搬運(yùn)臺的臺面上，上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給壓縮氣體的上述腔室，各長度方向配置為與基板搬運(yùn)方向平行的上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺沿著上述第二方向排列，以形成臺面排列，上述臺面排列規(guī)定上述基準(zhǔn)面。
此外，技術(shù)方案11的發(fā)明為技術(shù)方案1至技術(shù)方案10中任一項(xiàng)所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述搬運(yùn)單元具有多個(gè)輥，上述多個(gè)輥將上述第一方向作為各自的旋轉(zhuǎn)軸方向，沿著上述基準(zhǔn)線排列并被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
此外，技術(shù)方案12的發(fā)明為技術(shù)方案1至技術(shù)方案10中任一項(xiàng)所述的發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，上述搬運(yùn)單元具有無端帶，上述無端帶沿上述基準(zhǔn)線延伸并被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
此外，技術(shù)方案13的發(fā)明的基板定位方法用于定位基板，其特征在于，包括第一工序，將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn)面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；第二工序，使沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基準(zhǔn)線設(shè)置的定
7位構(gòu)件與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接，以限制上述基板的位置。
此外，技術(shù)方案14的發(fā)明基板定位裝置用于定位基板，其特征在于，具有上浮力施加單元，其將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn)面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；定位構(gòu)件，其沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基準(zhǔn)線設(shè)置，與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接來限制上述基板的位置。
根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案12所記載的發(fā)明，壓縮氣體不僅用于基板的上浮力，還用于使基板作用在搬運(yùn)單元上。由此，不需要用于從兩側(cè)夾持基板的機(jī)構(gòu)中所需要的彈簧等施力機(jī)構(gòu)，因而基板搬運(yùn)裝置的結(jié)構(gòu)變得簡易。此外，能夠通過壓縮氣體的噴出條件(傾斜角度或氣體噴出壓力)來規(guī)定使基板作用在搬運(yùn)單元上的作用力。因此，基板的姿勢難以受到作用力方面的條件的制限，易于與上游工序或下游工序的裝置中的基板的姿勢相匹配。
此外，根據(jù)技術(shù)方案2所記載的發(fā)明，能夠以大致水平姿勢搬運(yùn)基板，因此，能夠與以大致水平姿勢進(jìn)行處理的上游工序或下游工序中的裝置類直接連接。
此外，根據(jù)技術(shù)方案4所記載的發(fā)明，還向與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向噴出壓縮氣體，因而與僅向第一方向與第二方向的合成方向噴出壓縮氣體的情況相比，基板的上浮力變得更強(qiáng)。
此外，根據(jù)技術(shù)方案8所記載的發(fā)明，第一氣體噴出孔設(shè)置在規(guī)定基準(zhǔn)面的單獨(dú)一個(gè)基板搬運(yùn)臺面上，該一個(gè)基板搬運(yùn)臺形成與基板整個(gè)面相對的形式。因此，與配置多個(gè)基板搬運(yùn)臺的形式相比，不需要使臺面調(diào)整為等高的調(diào)整作業(yè)。此外，還能夠使基板搬運(yùn)臺自身的結(jié)構(gòu)簡化。進(jìn)而，由于基板搬運(yùn)臺間沒有間隙，所以在搬運(yùn)基板時(shí)，基板不會落入或卡在基板搬運(yùn)臺間的間隙中，從而能夠穩(wěn)定地搬運(yùn)基板。
此外，根據(jù)技術(shù)方案9所記載的發(fā)明，基板搬運(yùn)臺的長度方向與第二方向平行，基板搬運(yùn)臺沿基板搬運(yùn)方向配置有多個(gè)。因此，通過增減基板搬運(yùn)臺，能夠比較容易地調(diào)節(jié)進(jìn)入下一個(gè)工序的基板的搬運(yùn)距離。此外，根據(jù)技術(shù)方案10所記載的發(fā)明，基板搬運(yùn)臺的長度方向與基板
搬運(yùn)方向平行，并且基板搬運(yùn)臺沿第二方向配置有多個(gè)。此時(shí)，在多個(gè)基板搬運(yùn)臺中不產(chǎn)生沿著第二方向的間隙，因此基板不會落入或卡在多個(gè)基板搬運(yùn)臺之間的間隙中中，從而能夠穩(wěn)定地搬運(yùn)基板。
此外，根據(jù)技術(shù)方案13以及技術(shù)方案14所記載的發(fā)明，通過壓縮氣體使基板上浮，并且使基板作用在定位構(gòu)件上。使基板上浮，且能夠由壓縮氣體的噴出力中的朝向定位構(gòu)件的分量提供充分的用于定位的作用力。因此，能夠不使用彈簧等施力機(jī)構(gòu)對基板進(jìn)行定位。


圖1是表示第一實(shí)施方式中的基板搬運(yùn)裝置1的主體的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是第一實(shí)施方式中的基板搬運(yùn)裝置1的XZ面剖視圖。圖3是表示使基板25的規(guī)定的邊緣與搬運(yùn)輥35抵接的位置的俯視圖。圖4是長度方向與基板搬運(yùn)方向平行設(shè)置時(shí)的基板搬運(yùn)臺30的XZ面剖視圖。
圖5是表示與基板25整個(gè)面相對的一體型的基板搬運(yùn)臺30的立體圖。圖6是表示基板搬運(yùn)臺30的配置與空氣噴出孔50的排列所形成的組合的圖。
圖7是第一具體例中的基板搬運(yùn)裝置1A的XZ面剖視圖。
圖8是表示第一具體例中的空氣噴出孔50的橫向排列與縱向分割臺的
'圖9是表示第二具體例中的空氣噴出孔50的縱向排列與縱向分割臺的
圖10是第二具體例中的僅設(shè)置有第一空氣噴出孔50a的基板搬運(yùn)臺30A的XZ面剖視圖。
圖11是第二具體例中的僅設(shè)置有第二空氣噴出孔50b的基板搬運(yùn)臺30A的XZ面剖視圖。
圖12是表示第二具體例中的基板搬運(yùn)臺30A和空氣噴出孔50的配置的立體圖。圖13是表示第三具體例中的空氣噴出孔50的交錯(cuò)排列和縱向分割臺的俯視圖。
圖14是表示第四具體例中的空氣噴出孔50的橫向排列和橫向分割臺的
圖15是表示第五具體例中的空氣噴出孔50的縱向排列和橫向分割臺的俯視圖。
圖16是表示第六具體例中的空氣噴出孔50的交錯(cuò)排列和橫向分割臺的俯視圖。
圖17是表示第七具體例中的空氣噴出孔50的橫向排列和單一臺的俯視圖。
圖18是表示第八具體例中的空氣噴出孔50的縱向排列和單一臺的俯視圖。
圖19是表示第九具體例中的空氣噴出孔50的交錯(cuò)排列和單一臺的俯視圖。
圖20是變形例中的基板搬運(yùn)臺30B的XZ面剖視圖。
圖21是變形例中的基板搬運(yùn)臺30B的排列的XZ面剖視圖。
圖22是變形例中的具有基板搬運(yùn)單元的基板搬運(yùn)裝置1的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式。
<1.第一實(shí)施方式>
<1丄基板搬運(yùn)裝置的結(jié)構(gòu)>
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置1的主體的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖1中，為了便于圖示以及說明，定義Z軸方向表示鉛垂方向，XY平面表示水平面。其中，這些是為了把握位置關(guān)系方便起見而定義的，并不限定下文中所說明的各方向。在下面的各圖中也同樣。圖2是以XZ面截?cái)嗷灏徇\(yùn)裝置1的主體概略結(jié)構(gòu)立體圖而生成的剖視圖。
圖1所示的基板搬運(yùn)裝置1能夠從(+Y)方向(上游側(cè))向(-Y)方向(下游側(cè))，保持使矩形的基板25上浮到基板搬運(yùn)臺30之上的狀態(tài)不變對基板25進(jìn)行搬運(yùn)?；?5例如是平板顯示器用(更具體地說液晶顯示裝置用)的矩形的玻璃基板。沿著在平行地排列的多個(gè)基板搬運(yùn)臺30上側(cè)臺面略微上方的空間規(guī)定的搬運(yùn)路徑進(jìn)行基板25的搬運(yùn)?；?5從上游工序以大致水平姿勢的狀態(tài)進(jìn)入至基板搬運(yùn)裝置1，在大致水平姿勢的狀態(tài)下向下游工序搬運(yùn)。上述基板搬運(yùn)臺30的外觀形狀為大致長方體，其長度方向形成為與基板搬運(yùn)方向((-Y)方向)垂直的方向((+X)方向)，并且多個(gè)基板搬運(yùn)臺30配置在設(shè)置臺5上，各臺面的高度等高。在此實(shí)施方式中，以上述基板搬運(yùn)臺30的上側(cè)臺面排列而形成的水平面(與XY面平行的面)作為基準(zhǔn)面RS?；鶞?zhǔn)面RS是假想面，以作為基板搬運(yùn)中的基板25的姿勢的基準(zhǔn)。
如圖2所示，基板搬運(yùn)臺30的內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)，形成有腔室52，在l臺基板搬運(yùn)臺30中具有1個(gè)腔室52。設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30下表面的空氣供給孔51與該腔室52相連通?？諝夤┙o孔51經(jīng)配管與外部的壓縮機(jī)或工廠的壓縮空氣供給設(shè)備那樣的壓縮空氣供給源53連接。從壓縮空氣供給源53經(jīng)空氣供給孔51向腔室52供給壓縮空氣。在上述基板搬運(yùn)臺30上側(cè)臺面上分散設(shè)置有空氣噴出孔50。各空氣噴出孔50與各自的基板搬運(yùn)臺30的腔室52連通。除了該連通路徑以外，基板搬運(yùn)臺30為氣密結(jié)構(gòu)。從壓縮空氣供給源53向基板搬運(yùn)臺30的腔室52供給的壓縮空氣在維持大致原有的壓力的同時(shí)，從各空氣噴出孔50向基板25的下表面以大致面狀噴出。
規(guī)定與基準(zhǔn)面RS垂直的方向?yàn)榈谝环较?，與該第一方向垂直且與基準(zhǔn)面RS平行的方向?yàn)榈诙较?。在圖l所示的實(shí)施方式中，以(+Z)方向作為第一方向，以與(+Z)方向垂直的(+X)方向作為第二方向?？諝鈬姵隹?0是在第一方向((+Z)方向)與第二方向((+X)方向)之間的方向上開孔的斜孔。因此，從空氣噴出孔50向其傾斜的方向噴出壓縮空氣。壓縮空氣的噴出方向是在第一方向((+Z)方向)和第二方向((+X)方向)上分別具有有限的分量的合成方向。后述提到"傾斜方向"時(shí)是指上述方向((+Z)方向與(+X)方向之間的方向)。此外，朝向"傾斜方向"的空氣噴出孔50為第一空氣噴出孔50a。
作為基板25的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，沿著在基板搬運(yùn)線路的第二方向((+X)方向)側(cè)規(guī)定的基準(zhǔn)線RL (參照圖1)，將多個(gè)搬運(yùn)輥35配置為一列。該搬運(yùn)輥35設(shè)置為與基板搬運(yùn)臺30相鄰。搬運(yùn)輥35配置在能夠與上浮的基板25的第二方向((+X)方向)側(cè)的1個(gè)邊緣25E (參照圖2，以下稱為"基 準(zhǔn)邊緣")接觸的高度，且配置在與基板搬運(yùn)臺30不干涉的位置上。在搬 運(yùn)輥35中設(shè)置有與第一方向即(+Z)方向平行地延伸的旋轉(zhuǎn)軸37，該旋轉(zhuǎn) 軸37貫穿搬運(yùn)輥35。旋轉(zhuǎn)軸37與安裝在基板搬運(yùn)臺30的設(shè)置臺5上的軸 承(旋轉(zhuǎn)軸承)39連接，上述旋轉(zhuǎn)軸37貫穿上述軸承39。此外，在上述軸 承39的下部，旋轉(zhuǎn)軸37與搬運(yùn)輥齒輪38連接，且上述旋轉(zhuǎn)軸37貫穿上述 搬運(yùn)輥齒輪38。
另一方面，在作為驅(qū)動源的馬達(dá)136上，經(jīng)聯(lián)軸器140與基板25的前 進(jìn)方向((-Y)方向)平行地連接有驅(qū)動軸137。在該驅(qū)動軸137上以與搬 運(yùn)輥齒輪38嚙合的方式分別嵌合有驅(qū)動軸齒輪138。為了輔助驅(qū)動軸137的 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，在兩端的驅(qū)動軸齒輪138的外側(cè)安裝有軸承(驅(qū)動軸承)139。
<1.2.基板搬運(yùn)裝置的動作>
以下，說明基板搬運(yùn)裝置1的動作。
自壓縮機(jī)那樣的壓縮空氣供給源53供給的壓縮空氣，從空氣供給孔51 供給至設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30內(nèi)部的腔室52內(nèi)。壓縮空氣被填充至腔室52 內(nèi)，進(jìn)而從設(shè)置于基板搬運(yùn)臺30上側(cè)臺面上的多個(gè)第一空氣噴出孔50a向 外部噴出。上述第一空氣噴出孔50a朝向與基準(zhǔn)面RS垂直的第一方向((+Z) 方向)和與基準(zhǔn)面RS平行且與第一方向垂直的第二方向((+X)方向)的 合成方向。由于承受了所噴出的壓縮空氣，基板25受到分別向第一方向((+Z) 方向)和第二方向((+X)方向)移動的力。即，移動至基板搬運(yùn)臺30的 上側(cè)臺面上的基板25的下方整個(gè)面受到上述壓縮空氣的壓力。由此，基板 25在基板搬運(yùn)臺30上非接觸地上浮，并且被向在第二方向((+X)方向) 側(cè)規(guī)定的基準(zhǔn)線RL施力。
圖2的XZ面剖視圖表示基板25受到壓縮空氣的壓力而從基準(zhǔn)面RS上 浮，且基板25被向搬運(yùn)輥35施力的狀態(tài)。在基準(zhǔn)線RL上設(shè)置多個(gè)搬運(yùn)輥 35以作為基板搬運(yùn)單元。被施力的基板25的基準(zhǔn)邊緣25E與搬運(yùn)輥35抵接。 因此，對于上述基板搬運(yùn)裝置1中的壓縮空氣的傾斜噴出機(jī)構(gòu)與搬運(yùn)輥35 組合而成的部分，在將搬運(yùn)輥35看做定位構(gòu)件時(shí)，還作為利用搬運(yùn)輥35的 位置對基板25的基準(zhǔn)邊緣25E的在第二方向((+X)方向)上的位置進(jìn)行 限制的基板定位裝置來發(fā)揮功能。圖3是表示基板25與搬運(yùn)輥35抵接的狀態(tài)的俯視圖。驅(qū)動軸137受到因圖1的驅(qū)動源即馬達(dá)136的驅(qū)動而產(chǎn)生的動 力，從而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。伴隨于此，使與驅(qū)動軸137嵌合的驅(qū)動軸齒輪138進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)，因而在所嚙合的搬運(yùn)輥齒輪38上也被施加了動力。伴隨于此，多個(gè) 搬運(yùn)輥35同時(shí)旋轉(zhuǎn)。以基準(zhǔn)邊緣25E與搬運(yùn)輥35抵接的基板25在保持抵 接的狀態(tài)下受到多個(gè)搬運(yùn)輥35的旋轉(zhuǎn)力作用，而被向(-Y)方向搬運(yùn)。這 樣，僅通過設(shè)置在基準(zhǔn)線RL上的搬運(yùn)輥35的驅(qū)動，除了基準(zhǔn)邊緣25E以外， 能夠以非接觸狀態(tài)來搬運(yùn)上浮后的基板25。
為了使基板25上浮，且使搬運(yùn)輥35搬運(yùn)基板25所需要的力大于多個(gè) 搬運(yùn)輥35的表面與基板25的基準(zhǔn)邊緣25E之間的摩擦力(即不產(chǎn)生滑動)， 通過實(shí)驗(yàn)確定自第一空氣噴出孔50a噴出的壓縮空氣的壓力和第一空氣噴出 孔50a的傾斜角度等。另外，由于使基板25上浮，所以所需要的對基板25 的(+X)方向的作用力比較小即可。
另外，基板搬運(yùn)臺30可以沿第二方向配置有多個(gè)，各基板搬運(yùn)臺30的 長度方向是與基板搬運(yùn)方向((-Y)方向)平行的方向((-Y)方向)，并 且各基板搬運(yùn)臺30的臺面的高度相同。圖4表示此時(shí)的基板搬運(yùn)臺30的 XZ面剖視圖。這樣的基板搬運(yùn)臺30沿第二方向((+X)方向)配置有多個(gè)， 從而形成臺面排列。在基板搬運(yùn)臺30的上側(cè)臺面上設(shè)置有第一空氣噴出孔 50a，該第一空氣噴出孔50a朝向第一方向((+Z)方向)和第二方向((+X) 方向)的合成方向。
此外，不僅可以以多個(gè)基板搬運(yùn)臺30的上側(cè)臺面的排列來規(guī)定基準(zhǔn)面， 如圖5所示的立體圖，還可以是以一臺基板搬運(yùn)臺30的上側(cè)臺面與基板25 整個(gè)面相對那樣的連續(xù)方式。與已經(jīng)說明的基板搬運(yùn)臺30相同，在基板搬 運(yùn)臺30的上側(cè)臺面上，朝向第一方向((+Z)方向)與第二方向((+X) 方向)的合成方向設(shè)置有第一空氣噴出孔50a。
<1.3.本實(shí)施方式的效果>
在本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置1中，能夠通過1個(gè)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)基板25的 上浮和使基板25作用于搬運(yùn)輥35上這兩方面的作用。由此，不需要在兩側(cè) 設(shè)置有基板搬運(yùn)單元的機(jī)構(gòu)所需要的彈簧等施力機(jī)構(gòu)，由于可以僅在一側(cè)設(shè) 置基板搬運(yùn)單元，因此本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置1結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。
此外，與不設(shè)置施力機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬運(yùn)的方法，即，使基板25傾斜通過重力使基板25作用于設(shè)置在單側(cè)的基板搬運(yùn)單元上的方法相比，本實(shí)施方式 不需要使基板25傾斜。因此，在與以大致水平的狀態(tài)處理基板25的上游側(cè) 的裝置以及下游側(cè)的裝置連接時(shí)，不需要用于使基板25返回大致水平狀態(tài) 的特別裝置，從而在選定裝置上受到的制限變少。
此外，即使在改變了進(jìn)行處理的基板25的大小的情況下，只要在基板 搬運(yùn)臺30的寬度方向(X軸方向)的長度的范圍內(nèi)，就不需要對裝置類進(jìn) 行特別的調(diào)整，從而能夠順利地對應(yīng)不同尺寸的基板25。
進(jìn)而，由于使基板25上浮來進(jìn)行搬運(yùn)，因此在基板25的背面不帶有搬 運(yùn)的痕跡。此外，由于不是從兩側(cè)夾持基板25的結(jié)構(gòu)，基板25不產(chǎn)生撓曲， 利用了分散施加在基板25整個(gè)面上的作用力，因此不會出現(xiàn)因撓曲引起的 基板25的變形和破損等問題。S卩，在基板25的質(zhì)量上難于產(chǎn)生問題。
<2.第二實(shí)施方式>
在第一實(shí)施方式中，空氣噴出孔50使用了 1種類型，即朝向第一方向 ((+Z)方向)和第二方向((+X)方向)的合成方向，但不限于此。艮口， 組合使用朝向傾斜方向噴出壓縮空氣的第一空氣噴出孔50a和朝向與基板25 的下表面垂直的方向噴出壓縮空氣的空氣噴出孔50 (第二空氣噴出孔50b)， 也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
作為這樣的組合的主要的形式，如圖6分類示意性地表示出的那樣，(a) 關(guān)于第一空氣噴出孔50a (圖6中的白圈)和第二空氣噴出孔50b (圖6中 的黑圈)的排列，存在3種類型，除此之外，(b)關(guān)于基板搬運(yùn)臺的配置 結(jié)構(gòu)，存在3種類型，從而總計(jì)有9種類型。
下面，依次對上述類型進(jìn)行說明，首先概括說明術(shù)語的定義。
(1) "傾斜方向"是第一方向((+Z)方向)與第二方向((+X)方 向)的合成方向；
(2) "垂直方向"是與基板25的下表面垂直的方向(第一方向)；
(3) "(空氣噴出孔的)的縱向排列"是條紋狀排列，第一空氣噴出 孔50a和第二空氣噴出孔50b分別沿第二方向((+X)方向)直線地排列， 這些直線排列在基板搬運(yùn)方向((-Y)方向)上交替配置；
(4) "(空氣噴出孔的)橫向排列"是條紋狀排列，第一空氣噴出孔 50a和第二空氣噴出孔50b分別沿基板搬運(yùn)方向((-Y)方向)直線地排列，
14這些直線排列在第二方向((+X)方向)上交替配置；
(5) "(空氣噴出孔的)交錯(cuò)排列"是2方向交替排列，第一空氣噴 出孔50a形成為交錯(cuò)排列，第二空氣噴出孔50位于第一空氣噴出孔50a之間 也形成為交錯(cuò)排列，由此在基板搬運(yùn)方向((-Y)方向)和第二方向((+X) 方向)上都交替地形成有第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出孔50b;
(6) "縱向分割臺"是一種搬運(yùn)臺形式，長條的多個(gè)基板搬運(yùn)臺30平 行排列，并且，各個(gè)基板搬運(yùn)臺30的長度方向與第二方向((+X)方向) 平行；
(7) "橫向分割臺"是一種搬運(yùn)臺形式，長條的多個(gè)基板搬運(yùn)臺30平 行排列，并且，各個(gè)基板搬運(yùn)臺30的長度方向與基板搬運(yùn)方向((-Y)方 向)平行；
(8) "單一臺"是一種搬運(yùn)臺形式，在縱向、橫向擴(kuò)展的臺面上設(shè)置 第一空氣噴出孔50a與第二空氣噴出孔50b的2維排列。
以下使用了如上的各個(gè)術(shù)語。
與第一實(shí)施方式不同，組合使用了朝向傾斜方向的第一空氣噴出孔50a 和朝向垂直方向的第二空氣噴出孔50b這2種空氣噴出孔50,從而與第一實(shí) 施方式相比能夠增強(qiáng)基板25的上浮力。
<2丄第一具體例(橫向排列+縱向分割臺)>
圖7是第一具體例的基板搬運(yùn)裝置1A中的對應(yīng)于圖2的XZ面剖視圖。 該基板搬運(yùn)裝置1A除了圖7所示的部分以外，其他結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的 基板搬運(yùn)裝置1的結(jié)構(gòu)相同。此情況也與后述的其他實(shí)施方式以及變形例相 同。
如圖8所示，在基板搬運(yùn)裝置1A中，第一空氣噴出孔50a和第二空氣 噴出孔50b橫向排列地設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30上側(cè)臺面中；配置基板搬運(yùn)臺 30 (基板搬運(yùn)臺30A)以使基板搬運(yùn)臺30構(gòu)成縱向分割臺。
<2.2.第二具體例(縱向排列+縱向分割臺)>
在第二具體例中，如圖9中的俯視圖所示，第一空氣噴出孔50a和第二 空氣噴出孔50b縱向排列地設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30上側(cè)臺面中；基板搬運(yùn)臺 30構(gòu)成縱向分割臺。也就是，成為如下的搬運(yùn)臺形式，如圖12所示那樣交 替配置如圖10中的XZ面剖視圖所示的僅配置有第一空氣噴出孔50a的基板搬運(yùn)臺30A，與如圖11中的XZ面剖視圖所示的僅配置有第二空氣噴出孔 50的基板搬運(yùn)臺30A。
在搬運(yùn)基板時(shí)，通過采用縱向排列能夠使向第二方向((+X)方向)施 加的力變大。
此外，通過這樣使設(shè)置在每1臺基板搬運(yùn)臺30A上的空氣噴出孔50為 一種噴出孔，能夠?qū)?yīng)想調(diào)整上浮力的情況、想調(diào)整施加的力的情況等各種 情況，進(jìn)行微調(diào)整。由于這樣的目的，在本實(shí)施方式的裝置中，優(yōu)選使從壓 縮空氣供給源53開始的壓縮空氣供給路為2個(gè)系統(tǒng)，并分別設(shè)置有獨(dú)立的 壓力控制閥。
<2.3.第三具體例(交錯(cuò)排列+縱向分割臺)>
在第三具體例中，如圖13所示，在配置有多個(gè)基板搬運(yùn)臺30A的縱向 分割臺的臺面排列上，第一空氣噴出孔50a與第二空氣噴出孔50b形成為交 錯(cuò)排列。具體地說，在呈交錯(cuò)排列的第一空氣噴出孔50a的兩孔之間配置有 第二空氣噴出孔50b，不論是沿第二方向((+X)方向)觀察，還是沿基板 搬運(yùn)方向((-Y)方向)觀察，第一空氣噴出孔50a與第二空氣噴出孔50b 都被交替配置。
如第一至第三具體例那樣，通過將基板搬運(yùn)臺30A配置為縱向分割臺， 來對基板搬運(yùn)臺30A進(jìn)行增減，從而能夠比較容易地調(diào)節(jié)向下一個(gè)工序的搬 運(yùn)基板25的搬運(yùn)距離。
<2.4.第四具體例(橫向排列+橫向分割臺)>
第一至第三具體例是在構(gòu)成縱向分割臺的基板搬運(yùn)臺30A的上側(cè)臺面 上配置第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出孔50b的形式，但不限于此。
在第四具體例中，如圖14中的俯視圖所示，基板搬運(yùn)臺30構(gòu)成橫向分 割臺，且空氣噴出孔50橫向排列。構(gòu)成橫向分割臺的基板搬運(yùn)臺30設(shè)為基 板搬運(yùn)臺30B。通過這樣沿第二方向((+X)方向)配置多個(gè)基板搬運(yùn)臺 30B來形成臺面排列。
與第二具體例同樣，通過這樣使設(shè)置在每1臺基板搬運(yùn)臺30B上的空氣 噴出孔50為1種噴出孔，能夠?qū)?yīng)想調(diào)整上浮力情況、想調(diào)整施加的力的 情況下等各種情況進(jìn)行微調(diào)整。另外，為了達(dá)到這樣的目的，在本具體例的 裝置中，優(yōu)選使從壓縮空氣供給源53開始的壓縮空氣供給路為2個(gè)系統(tǒng)，
16并分別設(shè)置有獨(dú)立的壓力控制閥。
<2.5.第五具體例(縱向排列+橫向分割臺)>
如圖15所示，第五具體例是在由多個(gè)基板搬運(yùn)臺30B構(gòu)成的橫向分割 臺的臺面上縱向排列第一空氣噴出孔50a與第二空氣噴出孔50的形式。與 第二具體例同樣，通過使用縱向排列，能夠在基板前進(jìn)時(shí)，增大向第二方向 ((+X)方向)施加的力。
<2.6.第六具體例(交錯(cuò)排列+橫向分割臺)>
如圖16所示，第六具體例是在由多個(gè)基板搬運(yùn)臺30B構(gòu)成的橫向分割 臺的臺面上，交錯(cuò)排列第一空氣噴出孔50a與第二空氣噴出孔50b的形式。
如第四至第六具體例那樣，通過將基板搬運(yùn)臺30配置為橫向分割臺， 不形成使用縱向分割臺時(shí)的形成為與第二方向((+X)方向)平行的基板搬 運(yùn)臺30之間的間隙。因此，在搬運(yùn)基板25時(shí)，能夠降低基板25落入或卡 在上述間隙中的可能性，從而能夠更穩(wěn)定地對基板25進(jìn)行搬運(yùn)。
<2.7.第七具體例(橫向排列+單一臺)>
如圖17所示，第七具體例是第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出孔50b 橫向排列，基板搬運(yùn)臺30為單一臺(基板搬運(yùn)臺30C)的形式?？諝鈬姵?孔50與已經(jīng)描述的實(shí)施方式相同，設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30C的上側(cè)臺面上。
<2.8.第八具體例(縱向排列+單一臺)>
如圖18所示，第八具體例是第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出孔50b 縱向排列，基板搬運(yùn)臺30為單一臺的形式。 <2.9.第九具體例(交錯(cuò)排列+單一臺)>
如圖19所示，第九具體例是在單一臺即基板搬運(yùn)臺30C的上側(cè)臺面上 交錯(cuò)排列第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出孔50的形式。
不同于多個(gè)基板搬運(yùn)臺30的排列臺面與基板25整個(gè)面相對的第一至第 六具體例，在第七至第九具體例中，形成連續(xù)狀的一個(gè)臺的基板搬運(yùn)臺30C 的臺面與基板25整個(gè)面相對。這樣，通過使用作為一體型的基板搬運(yùn)臺30C， 可以不在設(shè)置臺5上配置多個(gè)基板搬運(yùn)臺30，從而不需要將基板搬運(yùn)臺30 的臺面調(diào)整為等高的調(diào)整作業(yè)。因此，與已經(jīng)描述的配置多個(gè)基板搬運(yùn)臺30 的情況相比，能夠簡化基板搬運(yùn)臺30C的結(jié)構(gòu)。此外，由于在基板搬運(yùn)臺 30間不產(chǎn)生間隙，所以在搬運(yùn)基板25時(shí)，不會出現(xiàn)基板25落入或卡在多個(gè)基板搬運(yùn)臺30之間的間隙中的可能性，從而能夠穩(wěn)定地搬運(yùn)基板。 <3.變形例>
在第四具體例中描述了橫向排列+橫向分割臺的形式，但不限于這樣在 每1臺基板搬運(yùn)臺30B的上側(cè)臺面中使用1種空氣噴出孔的情況。如圖20 的基板搬運(yùn)臺30B的XZ面剖視圖所示，可以在1臺基板搬運(yùn)臺30B的上側(cè) 臺面中形成1列以上的空氣噴出孔50的排列。沿第二方向配置多個(gè)這樣的 基板搬運(yùn)臺30B，從而形成臺面排列。對于其他的具體例也能夠以同樣的方 式來實(shí)施。
此外，在第四具體例中也可以是圖21所示的方式。在圖21所示的方式 中，在一個(gè)基板搬運(yùn)臺30B上設(shè)置的第二空氣噴出孔50b的數(shù)量多于在另一 個(gè)基板搬運(yùn)臺30B上設(shè)置的第一空氣噴出孔50a的數(shù)量。對應(yīng)于此情況，設(shè) 置有第二空氣噴出孔50b的基板搬運(yùn)臺30B的X方向的寬度大于設(shè)置有第一 空氣噴出孔的基板搬運(yùn)臺30B的寬度。此外，為了使空氣噴出孔50的孔長 等長，即設(shè)置在基板搬運(yùn)臺30B中的第一空氣噴出孔50a中的孔長與設(shè)置在 基板搬運(yùn)臺30B中的第二空氣噴出孔50b的孔長大致相同，使設(shè)置有第二空 氣噴出孔50b的基板搬運(yùn)臺30B的臺面(頂面)的板材的厚度較大。為了使 上述兩種基板搬運(yùn)臺30B中的供給壓縮空氣的腔室52的高度大致相同，使 設(shè)置有第二空氣噴出孔50b的基板搬運(yùn)臺30B的底面比設(shè)置有第一空氣噴出 孔50a的基板搬運(yùn)臺30B的底面低一些。也可以以這樣的方式實(shí)施。
在第二實(shí)施方式中，描述了對使用第一空氣噴出孔50a和第二空氣噴出 孔50b這兩種噴出孔時(shí)的空氣噴出孔50的排列與基板搬運(yùn)臺30的配置進(jìn)行 組合的方式。此外，在第二實(shí)施方式所示的各種組合排列中，對于在第二空 氣噴出孔50b的形成位置上形成第一空氣噴出孔50a以使在基板搬運(yùn)臺整體 上僅形成第一空氣噴出孔50a的排列，或者省去第二空氣噴出孔50b的排列， 也能夠?qū)嵤?br> 進(jìn)而，在上述實(shí)施方式中，設(shè)置有多個(gè)搬運(yùn)輥35作為設(shè)置在基準(zhǔn)線RL 上的基板搬運(yùn)單元，但基板搬運(yùn)單元可以不限于此。例如，可以是使用圖22 所示的無端搬運(yùn)帶180的搬運(yùn)單元。
對于使用了該無端搬運(yùn)帶180的搬運(yùn)單元，將分別在(+Z)方向具有旋 轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動輥181和從動軸182沿基準(zhǔn)線RL配置。在該驅(qū)動輥181和從動軸182上巻繞有無端搬運(yùn)帶180，無端搬運(yùn)帶180沿基準(zhǔn)線RL延伸。利用 作為驅(qū)動源的馬達(dá)的驅(qū)動力使驅(qū)動輥181進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，由此使無端搬運(yùn)帶180 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)?；?5因從空氣噴出孔50噴出的壓縮空氣的上浮力而上浮，并 且利用壓縮空氣的作用力而使基準(zhǔn)邊緣25E作用在無端搬運(yùn)帶180上，從而 使其抵接在無端搬運(yùn)帶180上，由此沿著(-Y)方向搬運(yùn)基板25。
作為典型的代表，壓縮氣體為壓縮空氣，但在禁止氧化的工藝中的基板 搬運(yùn)中，還能夠壓縮作為非活性氣體的氮?dú)獾葋硎褂?。通過從基板搬運(yùn)臺30 的表面噴出壓縮氣體，能夠?qū)⒒?5與臺面之間形成的空氣層用于使基板 25上浮，但可以利用不同于基板搬運(yùn)臺30的噴出機(jī)構(gòu)來噴出壓縮氣體。
此外，在上述各實(shí)施方式中，基板25為水平姿勢，但本發(fā)明也適用于 以傾斜姿勢搬運(yùn)基板25的裝置。此時(shí)，對基板25向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)側(cè)施力的作用 力是向傾斜方向噴出的壓縮氣體所形成的力的分量與作用于基板25上的重 力的分量的合力。由此，由于壓縮氣體的助推作用，即使基板25以任意的 傾斜角(例如近似水平姿勢的傾斜姿勢)傾斜，也不會出現(xiàn)因重力所形成的 作用力的分量不足導(dǎo)致與搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的摩擦不充分的情況。S卩，通過利用重力 和壓縮氣體所形成的力，使對基板25的傾斜角的限制變少，易于與搬運(yùn)裝 置的上游側(cè)以及下游側(cè)的裝置中的基板25的姿勢相匹配。若基板搬運(yùn)裝置1 的上游側(cè)以及下游側(cè)的裝置中的基板25的姿勢都為水平姿勢，則如上述各 實(shí)施方式那樣，基板搬運(yùn)裝置1中的基板25的姿勢也為水平姿勢，重力分 量實(shí)際上為零。
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權(quán)利要求
1.一種基板搬運(yùn)裝置，用于搬運(yùn)基板，其特征在于，具有上浮力施加單元，其將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn)面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；搬運(yùn)單元，其沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基準(zhǔn)線設(shè)置，通過與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接，并將向與上述基準(zhǔn)線平行的基板搬運(yùn)方向進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)力施加在上述邊緣上，從而將上述基板向上述基板搬運(yùn)方向搬運(yùn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述基準(zhǔn)面大致水平。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個(gè)第一氣體噴出孔，上述第一氣體噴出孔向上述第一方向與上述第二方向的合成方向噴出上述壓縮氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個(gè)第二氣體噴出孔，上述第二氣體噴出孔向上述第一方向噴出上述壓縮氣體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述多個(gè)第二氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿著上述基板搬運(yùn)方向交替設(shè)置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔沿上述基板搬運(yùn)方向排列，上述多個(gè)第二氣體噴出孔沿上述基板搬運(yùn)方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿著上述第二方向交替設(shè)置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述多個(gè)第一氣體噴出孔以及上述多個(gè)第二氣體噴出孔在與上述基準(zhǔn)面平行的面內(nèi)交錯(cuò)配置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述多個(gè)第一氣體噴出孔形成在規(guī)定的搬運(yùn)臺的一個(gè)臺面上，上述規(guī)定的搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給上述壓縮氣體的腔室， 上述臺面規(guī)定上述基準(zhǔn)面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述多個(gè)第一氣體噴出孔分別形成在多個(gè)長條搬運(yùn)臺的臺面上，上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給上述壓縮氣體的上述腔室，各長度方向配置為與上述第二方向平行的上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺沿著上述基板搬運(yùn)方向排列，以形成臺面排列， 上述臺面排列規(guī)定上述基準(zhǔn)面。
10. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述多個(gè)第一氣體噴出孔分別形成在多個(gè)長條搬運(yùn)臺的臺面上，上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺的內(nèi)部具有用于供給壓縮氣體的上述腔室，各長度方向配置為與基板搬運(yùn)方向平行的上述多個(gè)長條搬運(yùn)臺沿著上 述第二方向排列，以形成臺面排列，上述臺面排列規(guī)定上述基準(zhǔn)面。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述搬運(yùn)單元具有多個(gè)輥，上述多個(gè)輥將上述第一方向作為各自的旋轉(zhuǎn)軸方向，沿著上述基準(zhǔn)線排列并被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述搬運(yùn)單元具有無端帶，上述無端帶沿上述基準(zhǔn)線延伸并被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
13. —種基板定位方法，用于定位基板，其特征在于，包括 第一工序，將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn)面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴出的壓縮 氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使上述基板 上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；第二工序，使沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基 準(zhǔn)線設(shè)置的定位構(gòu)件與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接，以限制上述基板的位置。
14. 一種基板定位裝置，用于定位基板，其特征在于，具有 上浮力施加單元，其將在與規(guī)定的基準(zhǔn)面垂直的第一方向和與上述基準(zhǔn) 面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個(gè)方向上具有速度分量而噴 出的壓縮氣體，從上述基準(zhǔn)面?zhèn)仁┘咏o配置在上述基準(zhǔn)面上的基板，由此使 上述基板上浮到上述基準(zhǔn)面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；定位構(gòu)件，其沿著在上述基準(zhǔn)面的上述第二方向側(cè)規(guī)定的大致水平的基 準(zhǔn)線設(shè)置，與上述基板的規(guī)定的邊緣抵接來限制上述基板的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬運(yùn)裝置，其能夠防止因基板的撓曲而產(chǎn)生的變形或破損，以非接觸的狀態(tài)搬運(yùn)基板。從基板(25)的下方，面狀地施加用于向水平姿勢的基板(25)的下表面噴出的壓縮空氣。因此，基板(25)上浮且受到向基準(zhǔn)線(RL)側(cè)的作用力。使被壓縮空氣施加作用力的基板(25)的基準(zhǔn)邊緣(25E)抵接至沿基準(zhǔn)線(RL)設(shè)置的搬運(yùn)輥(35)的排列上。通過搬運(yùn)輥(35)的驅(qū)動，基板(25)在以基準(zhǔn)邊緣(25E)與搬運(yùn)輥(35)相抵接的上浮狀態(tài)下被水平搬運(yùn)。
文檔編號B65G15/00GK101676181SQ200910160320
公開日2010年3月24日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月18日
發(fā)明者谷口竹志 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社