專利名稱：填充裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將透過(guò)過(guò)濾器除去了雜質(zhì)的抗蝕劑液填充在容器內(nèi)的填充裝置，尤其 涉及可降低填充動(dòng)作所產(chǎn)生的過(guò)濾器前后壓力差的填充裝置。
背景技術(shù)：
抗蝕劑液的填充裝置中，在液體通路內(nèi)配置過(guò)濾器以捕獲抗蝕劑液中所含的雜質(zhì) (例如，參照專利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1記載的光致抗蝕劑涂布裝置是“對(duì)于從 光致抗蝕劑加侖瓶(gallon bottle) 21起經(jīng)三通閥13、泵3、過(guò)濾器單元4、三通閥14到達(dá) 涂布噴嘴5的供給用配管2，設(shè)置了從三通閥14直接回到三通閥13的循環(huán)用配管8”。該 裝置中，“涂布停止時(shí)使光致抗蝕劑在從三通閥13、泵3、過(guò)濾器單元4、三通閥14經(jīng)循環(huán)用 配管8回到三通閥13的環(huán)狀線路內(nèi)循環(huán)而不讓光致抗蝕劑停滯”。另外，專利文獻(xiàn)2中記載了 “一種降低微粒量的光致抗蝕劑組合物的制備方法，其 特征在于該方法使光致抗蝕劑組合物通過(guò)過(guò)濾器，再將通過(guò)后的光致抗蝕劑組合物引導(dǎo) 至該過(guò)濾器中，通過(guò)使其在封閉系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)來(lái)除去該光致抗蝕劑組合物中的微?！?。該方 法中，在進(jìn)行填充前使光致抗蝕劑組合物通過(guò)過(guò)濾器從而將光致抗蝕劑組合物中的雜質(zhì)除 去。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平10-172881號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2002-62667號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
上述各引用文獻(xiàn)中記載的發(fā)明的結(jié)構(gòu)，是利用泵輸送抗蝕劑液使其通過(guò)過(guò)濾器以 除去雜質(zhì)等。當(dāng)不進(jìn)行這種填充動(dòng)作時(shí)，即使通過(guò)過(guò)濾器除去抗蝕劑液的雜質(zhì)等而使雜質(zhì) 減少，在進(jìn)行填充時(shí)，填充閥的開(kāi)閉動(dòng)作也會(huì)導(dǎo)致過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)產(chǎn)生壓力變動(dòng)， 如果這種壓力變動(dòng)大，則存在有時(shí)抗蝕劑液中的雜質(zhì)通過(guò)過(guò)濾器流向下游側(cè)的問(wèn)題。本發(fā)明是為了解決上述課題而完成的，目的在于提供一種填充裝置，該填充裝置 通過(guò)盡量抑制由填充閥的開(kāi)閉動(dòng)作而產(chǎn)生的過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)之間的壓力變動(dòng)，可 以提高過(guò)濾器對(duì)抗蝕劑液的過(guò)濾準(zhǔn)確度。本發(fā)明的特征在于，填充裝置具備存積有填充液的填充液罐、連通該填充液罐和 填充噴嘴的填充液通路、從該填充液通路分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收 通路、設(shè)置在比上述填充液通路與回收通路的分支部更下游側(cè)的填充閥、設(shè)置在上述回收 通路中的回收閥、設(shè)置在填充液通路中并輸送填充液罐內(nèi)的填充液的供給泵、設(shè)置在填充 液通路的供給泵與上述分支部之間的過(guò)濾器、分別設(shè)置在上述填充閥和回收閥中并調(diào)整各 閥的開(kāi)度的驅(qū)動(dòng)設(shè)備(手段)、控制這些驅(qū)動(dòng)設(shè)備的控制設(shè)備；上述控制設(shè)備控制上述回收 閥的開(kāi)度，以使上述過(guò)濾器的上游側(cè)壓力和下游側(cè)壓力在填充動(dòng)作中不會(huì)根據(jù)上述填充閥 的開(kāi)閉動(dòng)作而變動(dòng)。權(quán)利要求2記載的發(fā)明，其特征在于設(shè)置記憶填充閥開(kāi)度與回收閥開(kāi)度的關(guān)系的記憶設(shè)備，根據(jù)該關(guān)系來(lái)控制填充閥和回收閥的開(kāi)度。權(quán)利要求3記載的發(fā)明，其特征在于在上述過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)設(shè)置壓力 檢測(cè)設(shè)備，根據(jù)檢測(cè)出的壓力來(lái)控制回收閥的開(kāi)度。本發(fā)明的填充裝置控制上述回收閥的開(kāi)度，以使過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)的壓力 在填充動(dòng)作中不會(huì)根據(jù)上述填充閥的開(kāi)閉動(dòng)作而變動(dòng)，因此可以提高抗蝕劑液通過(guò)過(guò)濾器 時(shí)的過(guò)濾準(zhǔn)確度。


圖1是表示簡(jiǎn)化的填充裝置結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。(實(shí)施例1)圖2是控制上述填充裝置的一個(gè)例子的圖。圖3是表示簡(jiǎn)化的其它實(shí)施例涉及的填充裝置結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。(實(shí)施例2)符號(hào)說(shuō)明
2填充液罐
4填充液通路
4A填充液通路的上游側(cè)(上游部)
4B填充液通路的下游側(cè)(下游部)
8填充噴嘴
10供給泵
12填充閥
14過(guò)濾器
16回收通路
18分支部
20回收閥
24控制設(shè)備(控制裝置)
26壓力檢測(cè)設(shè)備(壓力計(jì))
28壓力檢測(cè)設(shè)備(壓力計(jì))
具體實(shí)施例方式填充裝置具備存積有填充液的填充液罐、將填充液從該填充液罐輸送至填充噴 嘴的填充液通路、在填充液通路內(nèi)輸送上述填充液罐的填充液的供給泵、從該填充液通路 分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收通路、設(shè)置在比填充液通路的分支部更下 游側(cè)的填充閥、調(diào)整該填充閥的開(kāi)度的驅(qū)動(dòng)設(shè)備、設(shè)置在上述回收通路的回收閥、調(diào)整該回 收閥的開(kāi)度的驅(qū)動(dòng)設(shè)備、控制這些驅(qū)動(dòng)設(shè)備的動(dòng)作的控制設(shè)備、設(shè)置在供給泵和上述填充 液通路與回收通路的分支部之間的過(guò)濾器；在填充動(dòng)作中通過(guò)控制上述回收閥的開(kāi)度，使 上述過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)的壓力不會(huì)根據(jù)上述填充閥的開(kāi)閉動(dòng)作而變動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)降 低過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)的壓力差的目的。實(shí)施例1以下通過(guò)附圖所示的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明一個(gè)實(shí) 施例涉及的簡(jiǎn)化的填充裝置結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖中，2為存積有填充液(本實(shí)施例為抗蝕劑液)的填充液罐，經(jīng)由填充液通路4連通至將抗蝕劑液填充到容器6內(nèi)的填充噴嘴8。 該填充液通路4中設(shè)置有輸送填充液罐2內(nèi)的抗蝕劑液的供給泵10、以及連通/切斷填充 液通路4的填充閥12。通過(guò)作為驅(qū)動(dòng)設(shè)備的伺服電機(jī)(未圖示)使該填充閥12開(kāi)閉，從 而可以正確調(diào)整閥的開(kāi)度。另外，在上述供給泵10和填充閥12之間，設(shè)置有過(guò)濾由供給泵 10送出的抗蝕劑液的過(guò)濾器14。該填充裝置還設(shè)置有從上述填充液通路4的中途(過(guò)濾器14與填充閥12之間) 分支出的回收通路16，該回收通路16使送入填充液通路4內(nèi)的抗蝕劑液回流到填充液罐2 中。另外，以填充液通路4與回收通路16連接的分支部18為基準(zhǔn)將填充液罐2側(cè)稱為上 游部4A、填充噴嘴8側(cè)稱為下游部4B。上述回收通路16中設(shè)置有回收閥20，該回收閥20 控制回收通路16的開(kāi)閉，使送入填充液通路4上游部4A的抗蝕劑液全部或部分回流。該 回收閥20也通過(guò)未圖示的作為驅(qū)動(dòng)設(shè)備的伺服電機(jī)而開(kāi)閉，從而可以正確調(diào)整閥的開(kāi)度。填充了抗蝕劑液的容器6通過(guò)負(fù)載傳感器22測(cè)定填充重量，其檢測(cè)信號(hào)被輸入控 制設(shè)備(控制裝置)24中。控制裝置24通過(guò)來(lái)自該負(fù)載傳感器22的信號(hào)，來(lái)控制作為上 述填充閥12和回收閥20的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的伺服電機(jī)以調(diào)整閥的開(kāi)度。根據(jù)填充的液體種類，在該填充裝置中，設(shè)定通過(guò)供給泵10的驅(qū)動(dòng)從填充液罐2 輸送至填充液通路(填充液通路的上游部4A)的填充液的流量。另外，預(yù)先通過(guò)實(shí)驗(yàn)求出 填充閥12開(kāi)度與回收閥20開(kāi)度的關(guān)系，將其關(guān)系記憶在設(shè)置于上述控制裝置24中的記憶 設(shè)備內(nèi)。流經(jīng)通路的填充液的壓力根據(jù)通路的直徑、長(zhǎng)度等條件而不同，因此在該條件下， 求出打開(kāi)填充閥12時(shí)，要怎樣控制回收閥20的開(kāi)度才能抑制過(guò)濾器14前后的壓力變動(dòng)、 或者收集數(shù)據(jù)求出不產(chǎn)生壓力變動(dòng)的關(guān)系(填充閥12與回收閥20的開(kāi)度的關(guān)系)。圖2是表示可以降低過(guò)濾器14前后壓力變動(dòng)的、填充閥12開(kāi)度與回收閥20開(kāi)度 的關(guān)系的一個(gè)例子的圖。如該圖所示，只要能控制填充閥12和回收閥20的開(kāi)度，就可以降 低過(guò)濾器14上游側(cè)壓力和下游側(cè)壓力的變動(dòng)。例如，在本實(shí)施例中，將過(guò)濾器14的上游側(cè) 壓力設(shè)定為200KPa、將過(guò)濾器14的下游側(cè)壓力設(shè)定為170Kpa，控制填充閥12和回收閥20 的開(kāi)度，以使該壓力不變動(dòng)。另外，使此時(shí)供給泵10產(chǎn)生的流量一定。這樣通過(guò)維持設(shè)定 的過(guò)濾器14上游側(cè)和下游側(cè)壓力的值而使壓力不變動(dòng)，從而可提高過(guò)濾器14對(duì)抗蝕劑液 的過(guò)濾準(zhǔn)確度。實(shí)施例2圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例涉及的填充裝置的概略結(jié)構(gòu)圖，結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施例 基本相同，因此相同或相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)上同一符號(hào)并省略對(duì)其說(shuō)明，僅對(duì)不同的部分進(jìn)行說(shuō) 明。本實(shí)施例中，在設(shè)置于填充液通路4的過(guò)濾器14的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置壓力檢測(cè) 設(shè)備(壓力計(jì))26、28，對(duì)被供給泵10從填充液罐2輸送至填充液通路4上游部4A并通過(guò) 過(guò)濾器14的填充液的、過(guò)濾器14上游側(cè)的壓力和下游側(cè)的壓力進(jìn)行測(cè)定。然后根據(jù)測(cè)定 的壓力控制回收閥20的開(kāi)度。本實(shí)施例也可減小過(guò)濾器14上游側(cè)和下游側(cè)的壓力變動(dòng)， 還可提高過(guò)濾器14對(duì)抗蝕劑液的過(guò)濾準(zhǔn)確度。
權(quán)利要求
一種填充裝置，其特征在于該裝置具備存積有填充液的填充液罐、連通該填充液罐和填充噴嘴的填充液通路、從該填充液通路分支出并使填充液回流到所述填充液罐中的回收通路、設(shè)置在比所述填充液通路與回收通路的分支部更下游側(cè)的填充閥、設(shè)置在所述回收通路中的回收閥、設(shè)置在填充液通路中并輸送填充液罐內(nèi)的填充液的供給泵、設(shè)置在填充液通路的供給泵與所述分支部之間的過(guò)濾器、分別設(shè)置在所述填充閥和回收閥中并調(diào)整各閥的開(kāi)度的驅(qū)動(dòng)設(shè)備、控制這些驅(qū)動(dòng)設(shè)備的控制設(shè)備；所述控制設(shè)備控制所述回收閥的開(kāi)度，以使所述過(guò)濾器的上游側(cè)壓力和下游側(cè)壓力在填充動(dòng)作中不根據(jù)所述填充閥的開(kāi)閉動(dòng)作而變動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的填充裝置，其特征在于在填充裝置設(shè)置記憶填充閥開(kāi)度與回 收閥開(kāi)度的關(guān)系的記憶設(shè)備，根據(jù)所述關(guān)系來(lái)控制填充閥和回收閥的開(kāi)度。
3.如權(quán)利要求1所述的填充裝置，其特征在于在所述過(guò)濾器的上游側(cè)和下游側(cè)設(shè)置 壓力檢測(cè)設(shè)備，根據(jù)檢測(cè)出的壓力來(lái)控制回收閥的開(kāi)度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種減小過(guò)濾抗蝕劑液的過(guò)濾器14前后壓力變動(dòng)的填充裝置。該裝置具備存積有抗蝕劑液的填充液罐2、通過(guò)供給泵10將從該填充液罐2送出的抗蝕劑液輸送至填充噴嘴8的填充液通路4、從填充液通路4中途的分支部18分支出并連通至填充液罐2的回收通路16、設(shè)置在比填充液通路4的分支部18更下游側(cè)(填充液通路4的下游部4B)的填充閥12、設(shè)置在回收通路16上的回收閥20、設(shè)置在上述泵10和分支部18之間的過(guò)濾器14、分別驅(qū)動(dòng)填充閥12和回收閥20的伺服電機(jī)、控制伺服電機(jī)以調(diào)整填充閥12和回收閥20的開(kāi)度的控制裝置24；并且該裝置控制回收閥20的開(kāi)度，以使過(guò)濾器14的上游側(cè)和下游側(cè)的壓力不變動(dòng)。
文檔編號(hào)B67D7/36GK101903284SQ20088010947
公開(kāi)日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2008年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日
發(fā)明者東健一, 中川孝治, 中村亮平, 合田剛志, 室井雅昭, 長(zhǎng)池史浩, 鳥(niǎo)越伸一 申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社