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填充裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4397079

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本發(fā)明涉及將透過(guò)過(guò)濾器除去了雜質(zhì)的抗蝕劑液填充在容器內(nèi)的填充裝置,尤其 涉及可降低填充動(dòng)作所產(chǎn)生的過(guò)濾器前后壓力差的填充裝置。背景技術(shù)抗蝕劑液的填充裝置中,在液體通路內(nèi)配置過(guò)濾器以捕獲抗蝕劑液中所含的雜質(zhì) (例如,參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1或?qū)@墨I(xiàn)2)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的光致抗蝕劑涂布裝置是“對(duì)于從 光致抗蝕劑加侖瓶(gallon bottle) 21起經(jīng)三通閥13、泵3、過(guò)濾器單元4、三通閥14到達(dá) 涂布噴嘴5的供給用配管2,設(shè)置了從三通閥14直接回到三通閥13的循...
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