專利名稱：大型護罩的收納方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及大型護罩(ペリクル)的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體，所述收納方法可以將護罩膜的面積在1000cm2以上的大型護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中，所述大型護罩用于防止在制造構(gòu)成LSI、液晶顯示器(LCD)的薄膜晶體管(TFT)和濾色器(CF)等時的光刻工序中所使用的光掩?；驑司€片上附著異物。
背景技術(shù)：
在以往制造半導體電路圖案等過程中，正如在后述專利文獻1中記載的那樣，通常采用稱為護罩的防塵措施來防止異物附著在光掩?；驑司€片上。護罩的結(jié)構(gòu)如下在具有與光掩?；驑司€片的形狀相匹配的形狀的數(shù)微米厚的框架的上緣面上鋪展并粘合有厚度為10μm以下的硝化纖維素或纖維素衍生物或者含氟聚合物等透明高分子膜(以下稱為護罩膜)，并且，在該框架的下緣面涂有粘結(jié)材料，并在該粘結(jié)材料上以規(guī)定的粘合力粘附有保護膜。
上述粘結(jié)材料用于將護罩固著在光掩?；驑司€片上，而且，為了使該粘結(jié)材料的粘合力能夠保持到該粘結(jié)材料用于這一用途，使用保護膜來保護該粘結(jié)材料的粘合面。在將該護罩從制造者運送至使用者的過程中，為了防止異物附著在護罩膜等上或者防止護罩損傷，通常將該護罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中，進而將該箱體裝在防塵袋等中進行運送。
將作為本發(fā)明的對象的面積在1000cm2以上的大型護罩收納起來的由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體通常采用真空成型法成型，并且，過去通過在將大型護罩放置在托盤上后蓋上蓋子來將大型護罩收納在箱體中。在制造上述箱體時，要有計劃地設(shè)計制造，以使收納在箱體內(nèi)的大型護罩的框架與蓋子之間的間隔在0mm以上且小于1mm，在該間隔部分，蓋子壓住大型護罩，從而防止了運輸中等的振動導致大型護罩在箱體內(nèi)移動而產(chǎn)生摩擦或灰塵。
可是，對于收納面積在1000cm2以上的護罩的大型箱體，存在如下問題。即，在大型箱體中，由于存在護罩和箱體的間隙問題，或者存在箱體難以滿足平整性的要求等問題，導致大型護罩的四周與箱體的蓋子之間的間隔不能準確地控制在0mm以上且小于1mm的范圍，因此，在維持滿足現(xiàn)有設(shè)計思想的成型精度的條件下，難以制造出大型箱體。
因此，在將大型護罩收納在以現(xiàn)有設(shè)計思想制造的大型箱體中時，在大型護罩與蓋子間的間隔為0mm以致蓋子與大型護罩接觸時，蓋子壓住大型護罩的框架，因而在運送大型護罩時等，在蓋子和大型護罩的框架之間產(chǎn)生摩擦而出現(xiàn)灰塵，從而產(chǎn)生異物附著在大型護罩上的問題。
另外，在大型護罩與蓋子間的間隔為1mm以上時，不能用蓋子壓住大型護罩使之保持穩(wěn)定，因而在運送大型護罩時，大型護罩在箱體內(nèi)出現(xiàn)移動或振動，導致在箱體和大型護罩之間產(chǎn)生摩擦而出現(xiàn)灰塵，從而產(chǎn)生異物附著在大型護罩上的問題。
為了解決上述諸多問題，本申請的申請人已經(jīng)完成了如后述的專利文獻2、專利文獻3或?qū)＠墨I4所述的發(fā)明，提出了專利申請。
后述專利文獻2中記載的技術(shù)是在收納護罩的箱體的托盤表面上突出設(shè)置立起的突出部，并且，在該突出部的側(cè)面設(shè)有底切部，通過將護罩的保護膜插入該底切部之中來保持固定置于托盤上的護罩。另外，專利文獻3中記載的技術(shù)是先將具有規(guī)定粘合力的粘結(jié)材料涂在護罩的保護膜下表面，在將護罩放置在托盤上時，通過將保護膜粘合在托盤上來將護罩保持固定在托盤上。此外，專利文獻4中記載的技術(shù)是由箱體蓋子的頂面懸掛棒狀的擠壓體，在將這種蓋子蓋在托盤上時，用該擠壓體從上方壓住放置在托盤上的護罩的保護膜，由此將護罩保持固定在托盤上。
專利文獻1特公昭54-28718號公報專利文獻2特開平11-38597號公報專利文獻3特開平11-24238號公報專利文獻4特開平11-52553號公報發(fā)明內(nèi)容記載于上述專利文獻2～專利文獻4的發(fā)明對收納過去常用的5英寸或6英寸這種用于半導體的護罩的箱體是極為有效的，但是，在對收納作為本發(fā)明對象的護罩的面積在1000cm2以上的大型護罩的箱體應用這些發(fā)明時，存在后述的若干問題。
在專利文獻2的技術(shù)中，采用成本低廉且易于制造的真空成型法，在托盤表面上突出設(shè)置立起的突出部，并在該突出部的側(cè)面設(shè)置較深的底切部，這種方法存在難以獲得足夠的成型精度的問題。另外，在采用注射成型法成型托盤時，雖然由于成型精度高可以進行上述成型，但在采用注射成型法來成型作為本發(fā)明對象的1000cm2以上的大型護罩時，需要極其大型的成型機，因此，成本提高且不實用，同時由于托盤尺寸非常大而出現(xiàn)成型變形，并且難以在突出部的側(cè)面以高精度設(shè)置又窄又深的底切部。
在專利文獻3的技術(shù)中，將粘結(jié)材料涂在護罩的保護膜的下面以將保護膜粘貼在托盤的表面上，這一方法對于像半導體用護罩的箱體這種小尺寸箱體是有效的，但是，在像本發(fā)明這樣收納大型護罩的大型箱體中，由于成型精度可能不夠，有時在托盤的放置護罩的位置出現(xiàn)翹曲。于是，托盤翹曲產(chǎn)生的變形影響到保護膜，使保護膜的一部分從粘結(jié)材料上剝離或者使粘結(jié)材料的粘合力降低，由此導致了難以將護罩均勻地貼在光掩模上的問題。
在專利文獻4的技術(shù)中，采用的方法是用懸掛于箱體蓋子的頂面的擠壓體對放置在托盤上的護罩的保護膜進行擠壓以保持固定護罩。像收納半導體護罩的箱體那樣，5英寸～6英寸之類的小型箱體的情況下可以維持成型精度，但是，如上所述，在收納作為本發(fā)明對象的大型護罩的大型箱體中，不僅成型精度不夠且成型的箱體出現(xiàn)翹曲，因此，采用上述技術(shù)時，在將蓋子蓋在箱體上時，出現(xiàn)的問題是，設(shè)置于蓋子一側(cè)的擠壓體難以正確且確實地壓住護罩的保護膜以使該護罩保持固定。
本發(fā)明涉及的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體是鑒于上述諸多問題而開發(fā)出的全新的技術(shù)，該收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的特征在于，大型護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，在將護罩放置在托盤上時，用膠帶將該余邊粘合在托盤表面來確實地將護罩保持固定在托盤上。
本發(fā)明涉及的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體是從根本上解決上述問題的技術(shù)。本發(fā)明的第一方案在于大型護罩的收納方法，該方法包括將面積在1000cm2以上的大型護罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的過程，所述大型護罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護該粘結(jié)材料而粘合在框架下面的保護膜，所述收納方法的特征在于，所述大型護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上，從而將大型護罩收納在箱體內(nèi)。此處的護罩面積是框架的外徑面積。
在上述第一方案中，由于護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，因而在將護罩放置在托盤上時，可以將突出于護罩外框的外側(cè)的所述余邊貼在托盤的表面上。并且，在本發(fā)明中，利用膠帶使所述余邊粘貼在托盤上，因此，通過極其簡單的操作就可以將護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)確實地保持固定在托盤上。
此外，在本發(fā)明中，由于采用富于柔軟性的膠帶將大型護罩的保護膜粘貼在托盤上，因此，即使在托盤的成型精度不充分的情況下，或者在托盤出現(xiàn)翹曲的情況下，也能夠不受任何影響地將大型護罩正確且確實地保持固定在托盤上。
本發(fā)明的第二方案是本發(fā)明的第一方案的大型護罩的收納方法，其中，形成的所述保護膜的余邊的寬度為6mm以上、長度為20mm以上。
在上述第二方案中，更優(yōu)選的實施方式是所述保護膜的余邊的長度為50mm以上，進一步優(yōu)選的實施方式是所述長度為300mm以上。另外，在本發(fā)明中，大型護罩的面積在4000cm2以上時，將上述保護膜的余邊的長度制成300mm以上是特別有效的。
在上述第二發(fā)明中，由于在大型護罩的保護膜上設(shè)有的余邊的尺寸是寬度在6mm以上、長度在20mm以上，因此，在將大型護罩放置于托盤上時，可以將該余邊以較寬的寬度重合在托盤的表面上，并且，可以利用膠帶將余邊穩(wěn)定地且確實地保持固定在托盤的表面上。
本發(fā)明的第三方案是本發(fā)明的第一或第二方案的大型護罩的收納方法，考慮到成型精度，在放在上述箱體的托盤上的大型護罩的框架與蓋在該托盤上的蓋子之間的全部空間設(shè)置至少1mm以上的間隔來進行收納。
在上述第三方案中，由于通過在放置于箱體托盤上的大型護罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間設(shè)置至少1mm以上的間隔來對大型護罩進行收納，因此，在運送大型護罩時，也無需擔心大型護罩由于振動等原因而與蓋子發(fā)生接觸并產(chǎn)生摩擦。另外，如上所述，由于可以利用膠帶以穩(wěn)定的狀態(tài)將大型護罩保持固定在托盤上，因而無需用蓋子壓住大型護罩，所以，可以容易地設(shè)計箱體，并且，還可以將箱體的成型精度和變形的問題全部解決。
本發(fā)明的第四方案在于大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，該結(jié)構(gòu)體是將面積在1000cm2以上的大型護罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的結(jié)構(gòu)體，所述大型護罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護該粘結(jié)材料而粘附在框架下面的保護膜，其中，在該結(jié)構(gòu)體中，所述大型護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部具有向外側(cè)突出的余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上。
本發(fā)明的第五方案是本發(fā)明的第四方案的大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，上述保護膜的余邊的寬度為6mm以上、長度為20mm以上。
本發(fā)明的第六方案是本發(fā)明的第四或第五方案的大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，放置在上述箱體的托盤上的大型護罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間具有至少1mm以上的間隔。
為了防止在對構(gòu)成液晶顯示器(LCD)的薄膜晶體管(TFT)和濾色器(CF)等進行制造時的光刻工序中所使用的光掩?；驑司€片上附著異物，使用護罩面積在1000cm2以上的大型護罩，本發(fā)明作為這種大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體可發(fā)揮有用的效果。
在本發(fā)明涉及的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，由于護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，因此，將護罩放置在托盤上時，具有突出于護罩外框外側(cè)的所述余邊可以貼在托盤表面上的效果。并且，在本發(fā)明中，由于利用膠帶使所述余邊粘貼在托盤上，所以還具有通過極其簡單的操作就可以將護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)確實地保持固定在托盤上的效果。此外，由于利用富于柔軟性的膠帶將護罩保護膜的具有柔軟性的余邊粘貼在托盤上，所以具有如下效果即使在托盤的成型精度不充分的情況下，或者在托盤出現(xiàn)翹曲的情況下，也能夠不受任何影響地將護罩正確且確實地保持固定在托盤上。
另外，在本發(fā)明中，將設(shè)置在護罩的保護膜上的余邊的尺寸設(shè)為寬度在6mm以上、長度在20mm以上的情況中，還具有如下效果將護罩放置于托盤上時，可以將該余邊以較寬的寬度貼在托盤的表面上，并且，可以利用膠帶將余邊穩(wěn)定且確實地保持固定在托盤的表面上。
另外，在本發(fā)明中，在放置于箱體的托盤上的大型護罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間設(shè)置至少1mm以上的間隔來進行收納的情況中，在運送大型護罩時，也無需擔心大型護罩由于振動等原因而與蓋子接觸并發(fā)生摩擦。另外，如上所述，在利用膠帶將大型護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)保持固定在托盤上的情況中，無需用蓋子壓住大型護罩，所以具有如下效果可以容易地設(shè)計箱體，并且，還可以將箱體的成型精度和變形的問題全部解決。


圖1是本發(fā)明的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的縱剖面說明圖。
圖2是圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的主要部位的放大說明圖。
圖3是在圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護罩用保護膜的平面圖。
圖4是在圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護罩用保護膜的平面圖。
圖5是表示保護膜的形狀的例子的圖。
具體實施例方式
根據(jù)附圖對本發(fā)明涉及的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的一實施方式進行具體說明。圖1是本發(fā)明涉及的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的縱剖面說明圖，圖2是圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的主要部位的放大說明圖，圖3是在圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護罩用保護膜的平面圖，圖4與圖3同樣地是在圖1的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護罩用保護膜的平面圖。
在圖1、圖2(a)和圖2(b)中，A是大型護罩，正如已做的詳細說明，A是護罩面積在1000cm2以上的大型護罩，其構(gòu)成如下框架1、利用粘合劑2粘附在所述框架1的上緣面上的護罩膜3、涂在所述框架的下緣面上的粘結(jié)材料4、以及用于保護該粘結(jié)材料4而粘附在粘結(jié)材料4上的保護膜5。
在上述實施方式中，將粘結(jié)材料4涂在了框架1的下緣面上，但是，使用預先將粘結(jié)材料4和保護膜5形成為層狀所得到的層狀粘結(jié)材料的情況中，只要將該層狀粘結(jié)材料層積在框架1的下緣面上進行粘附即可。但是，在本說明書中，也包含上述情況而僅總稱為“涂”。接著，將如上構(gòu)成的大型護罩A收納在由托盤6和蓋子7構(gòu)成的箱體B中?？梢杂媚z帶將蓋子和托盤的對接面的四周進行密封，或者在托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8。
在上述大型護罩A的保護膜5的外周緣的外側(cè)突出設(shè)置有余邊5a，該余邊5a通過后述的膠帶粘附固定于托盤6的表面上。本發(fā)明人反復進行各種實驗，結(jié)果表明，優(yōu)選該余邊5a的寬度W為6mm以上、長度L為20mm以上。從而可以利用膠帶9容易地將具有這種尺寸的余邊5a以穩(wěn)定的狀態(tài)粘附固定在托盤6的表面上。另外，在本發(fā)明中，更優(yōu)選所述長度L為50mm以上，進一步優(yōu)選所述長度L為300mm以上。另外，優(yōu)選在護罩框架的至少2邊，以各邊長度的5％以上作為余邊的長度；優(yōu)選至少在相對的2邊，以各邊長度的5％以上作為余邊的長度。另外，關(guān)于上述余邊5a的寬度W和長度L，將余邊碰到托盤端部的情況作為余邊的上限。
在實施本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體時，如上述圖1和圖2所示，將大型護罩A放置在箱體B的托盤6的中央部，并且，使用規(guī)定寬度和長度的膠帶9，將突出在大型護罩A的框架1的外側(cè)的保護膜5的余邊5a粘附在托盤6的表面上，由此可以將大型護罩A以極其穩(wěn)定的狀態(tài)簡單且確實地保持固定在托盤6的中央部。
在本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，如上所述，利用富于柔軟性的膠帶9將突出在大型護罩A的框架1的外側(cè)的保護膜5的具有柔軟性的余邊5a粘附固定在箱體B的托盤6的表面上，因此，即使箱體B的托盤6的成型精度不充分或者托盤6出現(xiàn)翹曲，也可以簡單地將大型護罩A以穩(wěn)定的狀態(tài)固定在托盤6上而不受這些問題的影響。
另外，優(yōu)選粘附膠帶9以覆蓋余邊5a的整個面的方式進行粘貼，但如果可以獲得粘附固定的效果，也可以以部分覆蓋的方式進行粘貼。
此外，在本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，由于可以將大型護罩A以穩(wěn)定的狀態(tài)確實地保持固定在箱體B的托盤6上，所以無需用箱體B的蓋子7壓住大型護罩A，因此，可以使蓋子7和大型護罩A的框架1之間的間隔D為1mm以上。因此，由于大型護罩A和蓋子7具有足夠的間隔，所以不會出現(xiàn)因運送時等的振動導致大型護罩A和蓋子發(fā)生摩擦的情況，從而無需擔心出現(xiàn)灰塵的問題。另外，從大型護罩的保管性、清洗性的方面考慮，上述間隔D優(yōu)選在300mm以下。
在上述大型護罩A的保護膜5上設(shè)置余邊5a時，如圖3(a)～圖3(d)或者圖4(a)～圖4(d)所示，可以在保護膜5的外緣的外側(cè)突出設(shè)置寬度W為6mm以上、長度L為20mm以上的余邊5a。
即，圖3(a)是在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊的外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，圖3(b)是在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的短邊的外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。圖3(c)是在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊和短邊的各邊外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，并且圖3(d)是在對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊和短邊的各邊外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。
圖4(a)是在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊的外側(cè)中央和短邊的幾乎全部長度的外側(cè)設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，圖4(b)是在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊的幾乎全部長度的外側(cè)和短邊的中央分別設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。此外，圖4(c)的情況中，在不對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊和短邊的幾乎全部長度連續(xù)設(shè)置余邊5a。圖4(d)的情況中，是在對大型護罩A的中央進行粘附的保護膜5的長邊和短邊的幾乎全部長度連續(xù)設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。
另外，圖5給出了保護膜的形狀的例子。
作為在本發(fā)明中使用的保護膜的材質(zhì)，優(yōu)選使用聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、聚乙烯樹脂等。另外，對于保護膜的厚度，優(yōu)選使用厚度為30μm～500μm的保護膜。
對于本發(fā)明中使用的箱體的材質(zhì)，可以使用聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、或聚氯乙烯樹脂等樹脂。另外，也可以使用防靜電型樹脂。特別優(yōu)選使用出氣量少的樹脂。
另外，作為本發(fā)明中使用的膠帶的基材，可以使用例如聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或非織布等。另外，作為膠帶的粘合劑，可以使用例如丙烯酸類的粘合劑或聚乙烯醇等。此外，作為膠帶，優(yōu)選出氣量少的膠帶。另外，也可以是實施了防靜電處理的膠帶。
本發(fā)明人使用具有如上所述的結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體進行了實驗，結(jié)果得到了如下實施例所示的良好結(jié)果。
實施例1將外形尺寸為427mm×294mm、在保護膜5的長邊和短邊的中央部位分別設(shè)有尺寸為W 10mm×L 100mm的余邊5a的大型護罩A放置在通過以ABS樹脂材料進行真空成型得到的箱體B的托盤6上，利用膠帶9(膠帶尺寸15mm×120mm)將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，在所述托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8來將兩者固定。此時，考慮到成型精度，將大型護罩A的框架1和蓋子7之間的間隔D保持在3.6mm以上。以這種狀態(tài)進行長距離運送大型護罩的測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，在大型護罩A的護罩膜3上和框架1的周圍的任意一處也未發(fā)現(xiàn)有灰塵附著。而且，大型護罩A以最初被放置的狀態(tài)被保持固定。長距離運送測試的最大沖擊值是10cm/s2。
實施例2將外形尺寸為905mm×750mm、在保護膜5的長邊和短邊的中央部位分別設(shè)有尺寸為W 10mm×L 100mm的余邊5a的大型護罩A放置在通過以ABS樹脂材料進行真空成型得到的箱體B的托盤6上，利用膠帶9(膠帶尺寸15mm×120mm)將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，在所述托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8來將兩者固定。此時，考慮到成型精度，將大型護罩A的框架1和蓋子7之間的間隔D保持在3.6mm以上。在與上述實施例1完全相同的條件下進行運送測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，在大型護罩A的護罩膜3上和框架1的周圍的任意一處也未發(fā)現(xiàn)有灰塵附著。而且，大型護罩A以與最初放置時同樣的狀態(tài)被穩(wěn)定地保持固定在托盤6上。
實施例3～6將具有如下表1所示的護罩的外形尺寸以及設(shè)置于保護膜的長邊和短邊的中央部的余邊的尺寸(W×L)的大型護罩A放置在通過以ABS樹脂材料進行真空成型得到的箱體B的托盤6上，利用膠帶9將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，用帶子將所述托盤6和蓋子7的對接部位的四周進行密封。固定帶尺寸以及大型護罩A的框架1和蓋子7之間的間隔D如下述表1所示。在與上述實施例1完全相同的條件下對這些護罩箱體進行運送測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，大型護罩A以與最初放置時同樣的狀態(tài)被穩(wěn)定地保持固定在托盤6上。


單位mm比較例1將外形尺寸為427mm×294mm的大型護罩A直接(未使用膠帶9)放置在通過以ABS樹脂材料進行真空成型得到的托盤6上，然后，將蓋子7蓋在托盤6上并用夾子8固定，將蓋子7與大型護罩A的框架1之間的間隔D保持在設(shè)計尺寸0.5mm，在這種狀態(tài)下，在與上述實施例1相同的條件下進行運送測試，結(jié)果發(fā)現(xiàn)在大型護罩A和蓋子7之間出現(xiàn)摩擦的痕跡，并且，發(fā)現(xiàn)在大型護罩A的護罩膜3的一部分上附著有細小的灰塵。
比較例2采用與比較例1相同的方式，將外形尺寸為427mm×294mm的大型護罩A直接放置在托盤6上，然后，考慮到成型精度，將蓋在托盤6上的蓋子7與大型護罩A的框架1之間的間隔D保持在3.6mm以上，在這種狀態(tài)下，在與實施例1相同的條件下進行運送測試，結(jié)果發(fā)現(xiàn)在大型護罩A和蓋子7之間出現(xiàn)摩擦的痕跡。并且，發(fā)現(xiàn)在大型護罩A的框架1的周圍附著有細小的灰塵。
工業(yè)實用性只要使用本發(fā)明的大型護罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體，就可以將大型護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)收納在箱體中并且可以無損傷地安全地運送大型護罩，而與箱體的成型精度的高低或是否出現(xiàn)變性的情況無關(guān)。
權(quán)利要求
1.一種大型護罩的收納方法，該方法包括將面積在1000cm2以上的大型護罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的過程，所述大型護罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護該粘結(jié)材料而粘附在該框架的下面的保護膜，所述收納方法的特征在于，所述大型護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上，由此將大型護罩收納在所述箱體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大型護罩的收納方法，其中，形成的所述保護膜的余邊的寬度為6mm以上且長度為20mm以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的大型護罩的收納方法，其中，放置在所述箱體的托盤上的大型護罩的框架與蓋在所述托盤上的蓋子之間設(shè)置至少1mm以上的間隔來收納所述大型護罩。
4.一種大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，該結(jié)構(gòu)體是在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中收納有面積在1000cm2以上的大型護罩的結(jié)構(gòu)體，所述大型護罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護該粘結(jié)材料而粘附在該框架的下面的保護膜，在所述大型護罩收納結(jié)構(gòu)體中，所述大型護罩的保護膜的外周緣的一部分或全部具有向外側(cè)突出的余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，所述保護膜的余邊的寬度為6mm以上且長度為20mm以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的大型護罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，放置在所述箱體的托盤上的大型護罩的框架和蓋在所述托盤上的蓋子之間具有至少1mm以上的間隔。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型護罩的收納方法，該方法包括將面積在1000cm
文檔編號B65D85/86GK101073033SQ20048004453
公開日2007年11月14日 申請日期2004年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月2日
發(fā)明者栗山芳真, 脇元一郎 申請人:旭化成電子材料元件株式會社