專利名稱：容器輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及容器輸送裝置，特別涉及為了在多個(gè)處理裝置間輸送以密閉狀態(tài)收容有半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等、要求將表面保持在不受污染的狀態(tài)下進(jìn)行輸送的物品的容器而使用的容器輸送裝置。
背景技術(shù)：
如果塵埃及氣化的有機(jī)物等的雜質(zhì)附著在半導(dǎo)體晶片的表面上，則晶片被污染，使產(chǎn)品的成品率、即良品率降低。所以，在將晶片在多個(gè)各種處理裝置間輸送時(shí)，將多片晶片收納在稱作FOUP(FrontOpening Unified Pod，晶圓傳送盒)的密閉的清潔度較高的容器中、按FOUP來(lái)輸送。此外，將該輸送空間及處理裝置自身也維持為清潔度較高的環(huán)境是很重要的，將包圍處理裝置的灣區(qū)(Bay area)內(nèi)的空間構(gòu)成為無(wú)塵室。
由于為了維持這樣的無(wú)塵室要花費(fèi)較高的成本，所以怎樣合理的配置輸送裝置及處理裝置、人的作業(yè)區(qū)域來(lái)緊湊地構(gòu)成無(wú)塵室成為重要的關(guān)注問(wèn)題。
不僅是無(wú)塵室，一般為了應(yīng)對(duì)灣區(qū)內(nèi)的空間的緊湊化而不將輸送裝置配置在地面上、而是配置在空中的空間中。如果這樣，則能夠?qū)⑤斔脱b置的下方的空間作為容器的待機(jī)場(chǎng)所(緩存)使用、或?qū)⑤斔脱b置以多段構(gòu)成來(lái)提高輸送能力及輸送效率、或作為人的作業(yè)區(qū)域使用，能夠有利于用來(lái)維持無(wú)塵室的成本的削減、輸送效率的提高等。
作為使用這樣的頂棚行駛式的輸送裝置的這種容器輸送裝置之一，有在日本專利特表平14-532362號(hào)公報(bào)中記載的裝置。在該文獻(xiàn)中，該輸送裝置被稱作收容半導(dǎo)體晶片的容器等的“用來(lái)移送物品的綜合系統(tǒng)”，具備以下所述那樣的結(jié)構(gòu)。另外，這里所謂的“物品”是指容器等，而不是指被收容在容器等中的內(nèi)容物。
在灣區(qū)內(nèi)的空中空間中，用來(lái)移動(dòng)物品的輸送機(jī)沿著多個(gè)處理裝置的排列方向配設(shè)。在該輸送機(jī)中安裝有升降機(jī)系統(tǒng)，該升降機(jī)系統(tǒng)具備升降裝置，該升降裝置構(gòu)成為，卡合在由輸送機(jī)運(yùn)送的物品上、并且使該物品上升到輸送機(jī)的上方。該升降裝置能夠在可進(jìn)行沿著通過(guò)該升降裝置的輸送機(jī)路徑的物品的移動(dòng)的待機(jī)位置、和將該物品保持在輸送機(jī)的上方的動(dòng)作位置之間移動(dòng)。
該綜合系統(tǒng)還具備儲(chǔ)存支撐組件，用來(lái)在緩沖區(qū)中支撐物品；位移機(jī)構(gòu)，用來(lái)使物品在升降裝置的動(dòng)作位置和儲(chǔ)存支撐組件之間移動(dòng)；工作站支撐組件(裝卸端口)，用來(lái)在接近于工作站(處理裝置)的工作站內(nèi)支撐物品；移送臂，構(gòu)成為，在沿著輸送機(jī)路徑的水平方向及垂直方向上移動(dòng)；夾鉗，構(gòu)成為，安裝在該移送臂上、并且把持物品；控制器，用來(lái)控制移送臂的移動(dòng)。并且，該移送臂在俯視下在由輸送機(jī)和工作臺(tái)夾著的區(qū)域內(nèi)沿水平方向及垂直方向移動(dòng)，在儲(chǔ)存支撐組件和工作站支撐組件之間移送物品。
因而，該綜合系統(tǒng)為了將輸送機(jī)上的物品移送到工作站支撐組件并相反地移送，需要升降裝置、位移裝置、移送臂的各動(dòng)作，并且在此期間需要用來(lái)在緩沖區(qū)內(nèi)支撐物品的儲(chǔ)存支撐組件。因此，為了在輸送機(jī)與多個(gè)工作站之間移送物品，通過(guò)這些裝置、機(jī)構(gòu)的組合一種形式就夠了，而另一方面，裝置、機(jī)構(gòu)的種類增加，系統(tǒng)的動(dòng)作復(fù)雜化。此外，由于移送臂的移動(dòng)空間與輸送機(jī)的行駛空間在俯視下相鄰，所以特別在輸送機(jī)的下方容易產(chǎn)生比較大的浪費(fèi)的空間等，在輸送機(jī)內(nèi)的空間的緊湊化的方面來(lái)看，還存在改善的余地。進(jìn)而，在該綜合系統(tǒng)中，由于物品被直接載置到輸送機(jī)的上方進(jìn)行輸送，所以不能說(shuō)沒(méi)有損害輸送的穩(wěn)定的可能性。
專利文獻(xiàn)1特表平14-532362號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是解決以往的容器輸送裝置所具有的上述那樣的問(wèn)題，提供一種實(shí)現(xiàn)灣區(qū)內(nèi)的空間的進(jìn)一步的緊湊化、并且能夠?qū)崿F(xiàn)容器輸送的更穩(wěn)定和安全的容器輸送裝置。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)如下的容器輸送裝置解決了這樣的課題。
即，該容器輸送裝置是為了在灣區(qū)內(nèi)的多個(gè)處理裝置間輸送這樣的容器而使用該容器以密閉狀態(tài)收容有半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等、要求將表面保持在不受污染的狀態(tài)下進(jìn)行輸送的物品，其特征在于，具備輸送機(jī)，沿著多個(gè)上述處理裝置的排列方向配設(shè)在上述灣區(qū)內(nèi)的頂棚空間中，用來(lái)使上述容器在載置于平板架上的狀態(tài)下移動(dòng)；升降裝置，設(shè)在配置于上述升降機(jī)的下方的多個(gè)上述處理裝置的各裝卸端口，用來(lái)在上述裝卸端口與上述輸送機(jī)之間使上述容器升降；以及，平板架插脫機(jī)構(gòu)，將上述平板架相對(duì)于上述輸送機(jī)插脫；在上述升降裝置使上述容器上升到比上述輸送機(jī)稍高的位置為止、并將上述容器保持在該位置上的狀態(tài)下，上述平板架插脫機(jī)構(gòu)使載置有上述容器的上述平板架插入到上述輸送機(jī)上或從上述輸送機(jī)上脫離。
根據(jù)該容器輸送裝置，該升降機(jī)構(gòu)在該升降裝置使容器上升到比升降機(jī)稍高的位置、將該容器保持在該位置上的狀態(tài)下，通過(guò)平板架插脫機(jī)構(gòu)將平板架插入到輸送機(jī)上或使其從輸送機(jī)上脫離，能夠?qū)⒃撊萜魍度氲捷斔途€上或使其從輸送線脫離，而使其下降到裝卸端口。
結(jié)果，通過(guò)升降裝置、平板架插脫機(jī)構(gòu)的兩種裝置、機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，能夠?qū)⑸禉C(jī)上的容器移送到預(yù)定的處理裝置的裝卸端口，并且，能夠從預(yù)定的處理裝置的裝卸端口再次經(jīng)由輸送機(jī)移送到其他預(yù)定的處理裝置的裝卸端口，使容器輸送裝置作為整體的動(dòng)作較簡(jiǎn)單化，使其控制簡(jiǎn)單化。
此外，在通過(guò)升降機(jī)構(gòu)及平板架插脫機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而使容器從輸送線脫離、下降到裝卸端口、再次回到輸送線上的期間，不會(huì)給輸送機(jī)上游側(cè)的容器的沿著輸送線的移動(dòng)帶來(lái)障礙。
進(jìn)而，由于容器在載置于平板架上的狀態(tài)下被輸送機(jī)輸送，所以使容器的輸送穩(wěn)定化。
在優(yōu)選的實(shí)施方式中，設(shè)有將相鄰的裝卸端口之間分隔的垂直壁；升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被安裝在該垂直壁上。由此，由于垂直壁作為安全蓋起作用，所以對(duì)于載置于在輸送機(jī)與裝卸端口之間移送中的容器或裝卸端口上的容器，防止了容易下落等的事故，是較安全的，此外，對(duì)于作業(yè)者確保了作業(yè)的安全性。此外，由于垂直壁兼作為升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝部，所以能夠?qū)⑸笛b置緊湊地構(gòu)成。
發(fā)明的效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明的容器輸送裝置，通過(guò)升降裝置、平板架插脫機(jī)構(gòu)的兩種裝置、機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，能夠?qū)⑸禉C(jī)上的容器移送到預(yù)定的處理裝置的裝卸端口，并且，能夠從預(yù)定的處理裝置的裝卸端口再次經(jīng)由輸送機(jī)移送到其他預(yù)定的處理裝置的裝卸端口，使作為容器輸送裝置整體的動(dòng)作較簡(jiǎn)單化，使其控制也簡(jiǎn)單化。
此外，在通過(guò)升降裝置及平板架插脫機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而使容器從輸送線脫離、下降到裝卸端口、再次回到輸送線上的期間，不會(huì)給輸送機(jī)上游側(cè)的容器的沿著輸送線的移動(dòng)帶來(lái)障礙。
進(jìn)而，由于容器在載置于平板架上的狀態(tài)下被輸送機(jī)輸送，所以使容器的輸送穩(wěn)定化。
此外，通過(guò)設(shè)有將相鄰的裝卸端口之間分隔的垂直壁、升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被安裝在該垂直壁上，由于垂直壁作為安全蓋起作用，所以對(duì)于載置于在輸送機(jī)與裝卸端口之間移送中的容器或裝卸端口上的容器，防止了容易下落等的事故，是較安全的，此外，對(duì)于作業(yè)者確保了作業(yè)的安全性。并且，由于垂直壁兼作為升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝部，所以能夠?qū)⑸笛b置緊湊地構(gòu)成。


圖1是應(yīng)用了本實(shí)施例的容器輸送裝置的半導(dǎo)體制造裝置的一個(gè)灣區(qū)內(nèi)的一部分的立體圖。
圖2是圖1的部分放大圖。
圖3是該灣區(qū)內(nèi)的一部分的主視圖。
圖4是圖3的部分放大圖。
圖5是圖4的右側(cè)視圖。
圖6是將相鄰的裝卸端口間分隔的垂直壁的主視圖，是表示收容在內(nèi)部的升降機(jī)構(gòu)的圖。
圖7是圖6的左側(cè)視圖。
符號(hào)說(shuō)明1-n 處理裝置；2-n FOUP開啟器；3 FOUP；4 裝卸端口；5 輸送機(jī)；5a、5b 軌條；6 平板架；7 升降裝置；7a、7b 驅(qū)動(dòng)側(cè)、被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分；8 垂直壁；9 肩板；10 臂；11a、11b LM導(dǎo)引部；12 帶傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)；13a、13b 驅(qū)動(dòng)側(cè)、從動(dòng)側(cè)滑輪；14 同步帶；15 帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)；16 副軸；17 張緊器；20 平板架插脫機(jī)構(gòu)；21 滑塊；S 凹部空間具體實(shí)施方式
為了在灣區(qū)內(nèi)的多個(gè)處理裝置間輸送以密閉狀態(tài)收容有半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等、要求將表面保持在不受污染的狀態(tài)下進(jìn)行輸送的物品的容器而使用的容器輸送裝置具備輸送機(jī)，沿著多個(gè)處理裝置的排列方向配設(shè)在灣區(qū)內(nèi)的頂棚空間中，用來(lái)將容器在載置于平板架上的狀態(tài)下移動(dòng)；升降裝置，設(shè)在配置于該升降機(jī)的下方的多個(gè)處理裝置的各裝卸端口上，用來(lái)在該裝卸端口與輸送機(jī)之間使容器升降；平板架插脫機(jī)構(gòu)，將平板架相對(duì)于輸送機(jī)插脫。在升降裝置使容器上升到比輸送機(jī)稍高的位置、將容器保持在該位置上的狀態(tài)下，平板架插脫機(jī)構(gòu)將平板架插入到輸送機(jī)上或從輸送機(jī)上脫離。此外，設(shè)有將相鄰的裝卸端口之間分隔的垂直壁、升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在該垂直壁上。
實(shí)施例接著對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
應(yīng)用了本實(shí)施例的容器輸送裝置的半導(dǎo)體制造裝置的灣區(qū)(ベイエリア)被構(gòu)成為清潔室，包括用來(lái)對(duì)半導(dǎo)體晶片實(shí)施各種處理、在集成電路上進(jìn)行精加工用的多個(gè)處理裝置。這些多個(gè)處理裝置通常在一定的方向上排列而配置，或者將在一定的方向上排列配置的多個(gè)處理裝置再排列配置的狀況下充分考慮其配置，以使沿著處理工序的工件輸送的軌跡最小。半導(dǎo)體制造裝置通常通過(guò)連續(xù)設(shè)置多個(gè)這樣的灣區(qū)而構(gòu)成。
另一方面，作為工件的半導(dǎo)體晶片通常被收納在作為封閉了多片該晶片的清潔度較高的容器即FOUP中輸送。在FOUP內(nèi)，使晶片成為水平，隔開間隔而在上下方向上層疊。所以在如上述那樣排列配置的多個(gè)處理裝置中，在對(duì)晶片實(shí)施預(yù)定的處理時(shí)，需要在這多個(gè)處理裝置與FOUP之間能夠?qū)⒕槐┞对谕獠康奈廴镜沫h(huán)境氣體中而進(jìn)行交接，為此，使用稱作FOUP開啟器的接口。
該FOUP開啟器通常安裝在各處理裝置的相同側(cè)的壁部上，作為整體而在與排列有多個(gè)處理裝置的方向相同的方向上排列配置這些個(gè)。這樣的FOUP開啟器具備將FOUP定位支撐在預(yù)定的位置上的裝卸端口、和用來(lái)不允許外部環(huán)境氣體侵入地使FOUP內(nèi)部與處理裝置內(nèi)部連通的開啟器。
裝卸端口在開啟器這樣進(jìn)行動(dòng)作時(shí)，在將FOUP載置在其支撐臺(tái)上的狀態(tài)下使該支撐臺(tái)與處理裝置的壁部接近，開啟器能夠?qū)OUP的門開閉。開啟器將FOUP的門從FOUP主體(殼體)分離，保持分離了的FOUP的門，后退到不妨礙晶片的交接的處理裝置內(nèi)部的預(yù)定的位置。此外，在使FOUP的門回到原來(lái)的位置而將FOUP主體(殼體)密封時(shí)，相反地動(dòng)作。
在圖1中表示構(gòu)成半導(dǎo)體制造裝置的一個(gè)灣區(qū)內(nèi)的一部分，在其地面上沿一定方向排列設(shè)置有多個(gè)處理裝置1-1、1-2、……、1-n、……。并且，在這些處理裝置的前方的壁部上，安裝有FOUP開啟器2-1、2-2、……、2-n、……。這些FOUP開啟器具備將FOUP3定位支撐在預(yù)定的位置上的裝卸端口4、和雖然沒(méi)有詳細(xì)地圖示但用來(lái)將FOUP3內(nèi)部與各處理裝置1-n內(nèi)部不允許外部環(huán)境氣體的侵入地連通的開啟器。
此外，在該灣區(qū)內(nèi)的頂棚空間上，在排列的多個(gè)裝卸端口4的正上方的位置上配設(shè)有輸送機(jī)5。該輸送機(jī)5由左右一對(duì)軌條5a、5b和未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，在左右一對(duì)軌條5a、5b上，沿著其長(zhǎng)度方向分別安裝有多個(gè)輥(未圖示)。FOUP3被載置在橫跨左右一對(duì)軌條5a、5b而騎在它們的輥上行駛的平板架6之上，在此狀態(tài)下被輸送機(jī)5移動(dòng)。在該平板架6的、沿輸送機(jī)的行進(jìn)方向觀察的前部、后部的左右方向中央部分上，分別形成有后述的升降裝置7的把持爪10能夠沿上下方向通過(guò)的コ字狀的切口部6a、6b(參照?qǐng)D2)。
在各裝卸端口4上，設(shè)有用來(lái)在該裝卸端口4與輸送機(jī)5之間升降FOUP3的升降裝置7。該升降裝置7由驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a和被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b兩部分構(gòu)成，它們聯(lián)動(dòng)動(dòng)作，以便從兩側(cè)保持FOUP3而使其升降。這兩個(gè)升降裝置部分7a、7b分別安裝在將相鄰的裝卸端口4之間分隔的垂直壁8上，其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)收案在該垂直壁8的縱長(zhǎng)的凹部空間S內(nèi)。
接著，對(duì)升降裝置7的詳細(xì)構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
升降裝置7的驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a如圖7所圖示，設(shè)在帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)15上，通過(guò)該馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)，同側(cè)的升降裝置部分7a動(dòng)作，并且該馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)輸出經(jīng)由副軸16被傳遞給被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b，由此，同側(cè)的升降裝置部分7b與驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a完全相同地動(dòng)作。因而，驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a與被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b除了驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a具備帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)15這一點(diǎn)以外，是完全相同的結(jié)構(gòu)。
所以，以驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a為例說(shuō)明該升降裝置7的詳細(xì)構(gòu)造。升降裝置7如圖6及圖7更好地圖示，由具有較大的面積的肩板9、固接在該肩板9的上端部的由L字狀彎折板構(gòu)成的臂10、導(dǎo)引肩板9的升降的圖中左右一對(duì)的LM導(dǎo)引部11a、11b、和使該肩板9升降的帶傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)12構(gòu)成。帶傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)12由上下一對(duì)的驅(qū)動(dòng)側(cè)滑輪13a、從動(dòng)側(cè)滑輪13b、架設(shè)在它們之間的同步帶14、連結(jié)在驅(qū)動(dòng)側(cè)滑輪13a上以安裝成將其旋轉(zhuǎn)的輸出直接傳遞給驅(qū)動(dòng)側(cè)滑輪13a的帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)15、將該馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)的輸出傳遞給被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b的副軸16、和調(diào)節(jié)同步帶14的張力的張緊器17構(gòu)成。
肩板9如圖6所圖示，呈將大致矩形狀的板的一角以矩形狀切掉后的形狀，將與這樣切掉側(cè)相反側(cè)的一側(cè)部固接在同步帶14上，在同步帶14行駛時(shí)與其成一體而升降。此外，在臂10的前端部的上表面上，雖然沒(méi)有詳細(xì)地圖示，但形成有突起，通過(guò)將其與形成在FOUP3的底面上的凹部嵌合，將FOUP3一邊定位一邊穩(wěn)定地支撐。
因而，如果使帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)15正反旋轉(zhuǎn)，則驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a側(cè)的驅(qū)動(dòng)側(cè)滑輪13a正反旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，經(jīng)由副軸16，被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b的驅(qū)動(dòng)側(cè)滑輪13a正反旋轉(zhuǎn)。由此，在驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7a側(cè)及被驅(qū)動(dòng)側(cè)升降裝置部分7b側(cè)的兩側(cè)，一對(duì)帶傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)12開始正反旋轉(zhuǎn)。于是，同樣一對(duì)的肩板9與一對(duì)臂成為一體，分別相同地升降。
這里，如果以帶驅(qū)動(dòng)用減速機(jī)的馬達(dá)15正旋轉(zhuǎn)的情況為例，則一對(duì)肩板9與一對(duì)臂10成為一體而上升，但該一對(duì)臂10分別通過(guò)在輸送機(jī)5上待機(jī)的平板架6的前部及后部的切口部6a、6b，然后碰撞到載置于該平板架6上的FOUP3的底面，將FOUP3在底面的前后兩端部掀起。然后，在通過(guò)臂10使FOUP3上升到比輸送機(jī)5稍高的位置h(參照?qǐng)D5)的過(guò)程中，肩板9的沿輸送機(jī)5的行進(jìn)方向觀察的左右兩肩部碰撞在平板架6的切口部6a、6b的各自的兩開口端緣的底面，將平板架6在前后部的兩個(gè)部位掀起(參照?qǐng)D5的用點(diǎn)劃線描繪的平板架6的位置變化的過(guò)程)。
接著，如果通過(guò)升降裝置7(臂10)使FOUP3上升到比圖5所圖示的輸送機(jī)5稍高的位置h，則FOUP3被保持在該位置，同樣，平板架6也被保持在對(duì)應(yīng)于該位置的預(yù)定的位置。圖1～圖4是圖示該狀態(tài)的圖。
此時(shí)，在平板架6與輸送機(jī)5之間，如圖4及圖5所圖示，由于從水平方向觀察形成有較小的間隙t，所以通過(guò)后述的平板架插脫機(jī)構(gòu)20的滑塊21進(jìn)入到該間隙t中、接著升降裝置7稍稍下降，能夠使平板架6下降到滑塊21上。接著，通過(guò)升降裝置7進(jìn)一步稍稍下降，能夠?qū)⑵桨寮?完全交接到滑塊21上。在此狀態(tài)下，如果滑塊21后退，則能夠使平板架6從輸送機(jī)5上脫離。然后，如果相反地使滑塊21在其上載置有平板架6的狀態(tài)下前進(jìn)，則能夠?qū)⑵桨寮?再次插入到輸送機(jī)5上。這樣，將滑塊21能夠使平板架6從輸送機(jī)5上脫離、并且能夠插入到輸送機(jī)5上的升降裝置7的位置，在以下稱作“平板架脫離/插入位置”。
接著，為了將平板架6載置在輸送機(jī)5上，升降裝置7先稍稍上升，其一對(duì)肩板9的左右兩肩部將平板架6在前后部的兩個(gè)部位推起，將平板架6從滑塊21的支撐解放，滑塊21就能夠后退，然后升降裝置7下降，其一對(duì)肩板9的左右兩肩部下降得比輸送機(jī)5的上端的位置深，則能夠使平板架6下降到輸送機(jī)5上而載置于其上。
然后，如果升降裝置7再繼續(xù)較深地下降，則能夠使FOUP3下降到平板架6上而載置于其上。這樣，F(xiàn)OUP3被投入到輸送線中。
為了使FOUP3從輸送線脫離，只要滑塊21在其上載置有平板架6的狀態(tài)下后退、在使平板架6從輸送機(jī)5上脫離的狀態(tài)下、在一對(duì)臂10支撐著FOUP3的狀態(tài)下、升降裝置7繼續(xù)下降到比輸送機(jī)5靠下方就可以。并且，如果一對(duì)臂10通過(guò)裝卸端口4的FOUP支撐面、來(lái)到比其稍靠下方的位置，則FOUP3被交接到裝卸端口4的支撐面上。此時(shí)，在該支撐面上形成有后讓，以使臂10的內(nèi)側(cè)前端部不會(huì)碰撞到裝卸端口4的支撐面上。
接著使被交接到裝卸端口4的支撐面上的FOUP3向處理裝置1-n的壁部方向前進(jìn)，通過(guò)未圖示的開啟器的動(dòng)作，使得外部環(huán)境氣體不會(huì)流入而將其門打開，成為能夠在與處理裝置1-n之間進(jìn)行晶片的交接的狀態(tài)。
在處理裝置1-n中對(duì)晶片實(shí)施預(yù)定的處理后，通過(guò)處理裝置內(nèi)機(jī)器人的動(dòng)作，使該晶片回到FOUP3中，如果結(jié)束了這樣對(duì)預(yù)定片數(shù)的晶片實(shí)施預(yù)定的處理的作業(yè)，則再次通過(guò)開啟器的動(dòng)作而將FOUP3的門關(guān)閉。
接著，升降裝置7上升，其一對(duì)臂10將載置于裝卸端口4的支撐面上的FOUP3掀起，一邊支撐著它一邊上升。如果升降裝置7上升到平板架脫離插入位置，平板架插脫機(jī)構(gòu)20將平板架6插入到輸送機(jī)5上，則能夠按照前面所述的要領(lǐng)，使FOUP3再次回到輸送線上。
平板架插脫機(jī)構(gòu)20設(shè)置在各處理裝置1-n的屋檐上。在平板架6的上表面，安裝有多個(gè)與FOUP3的底面的預(yù)定的部位的凹部相卡合、用來(lái)將FOUP3定位而穩(wěn)定地保持在平板架6的上表面的預(yù)定的位置上的突起6c。
本實(shí)施例如上述那樣構(gòu)成，所以能夠發(fā)揮以下這樣的作用、效果。
升降裝置7通過(guò)該升降裝置7使FOUP3上升到比輸送機(jī)5稍高的位置(平板架脫離插入位置)，在將FOUP3保持在該位置上的狀態(tài)下，平板架插脫機(jī)構(gòu)20將平板架6插入到輸送機(jī)5上、或從輸送機(jī)5上脫離，由此能夠?qū)OUP3投入到輸送線上、或從輸送線脫離而使其下降到裝卸端口4上，所以通過(guò)升降裝置7、平板架插脫機(jī)構(gòu)20的兩種裝置、機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，能夠?qū)OUP3移送到預(yù)定的處理裝置1-n的裝卸端口4，并且能夠從預(yù)定的處理裝置1-n的裝卸端口4再次經(jīng)由輸送機(jī)5移送到另一個(gè)預(yù)定的處理裝置1-n的裝卸端口4，使作為容器輸送裝置的整體的動(dòng)作簡(jiǎn)單化，其控制也簡(jiǎn)單化。
此外，在通過(guò)升降裝置7及平板架插脫機(jī)構(gòu)20的動(dòng)作使FOUP3從輸送線脫離、下降到裝卸端口4、再次回到輸送線上的期間，不會(huì)給輸送機(jī)上游側(cè)的FOUP3沿著輸送線的移動(dòng)帶來(lái)障礙。進(jìn)而，由于FOUP3在載置于平板架6上的狀態(tài)下被輸送機(jī)5輸送，所以FOUP3的輸送穩(wěn)定化。
此外，由于設(shè)有將相鄰的裝卸端口4、4之間分隔的垂直壁8、升降裝置7的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在該垂直壁8上，所以垂直壁8作為安全蓋發(fā)揮作用，對(duì)于在輸送機(jī)5與裝卸端口4之間移送中的FOUP3或載置在裝卸端口4上的FOUP3，能夠防止容易落下等的事故而較安全，此外，對(duì)于作業(yè)者也確保了作業(yè)的安全。此外，垂直壁8兼作為升降裝置7的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝部，能夠?qū)⑸笛b置7緊湊地構(gòu)成。
另外，本發(fā)明并不限于以上的實(shí)施例，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形。
例如使容器為FOUP，但并不限于此，也可以做成SMIF(StandardMechanical Interface，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)。在此情況下，F(xiàn)OUP開啟器也被代替為SMIF開啟器。
權(quán)利要求
1.一種容器輸送裝置，為了在灣區(qū)內(nèi)的多個(gè)處理裝置間輸送這樣的容器而使用該容器以密閉狀態(tài)收容有半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等、要求將表面保持在不受污染的狀態(tài)下進(jìn)行輸送的物品，其特征在于，具備輸送機(jī)，沿著多個(gè)上述處理裝置的排列方向配設(shè)在上述灣區(qū)內(nèi)的頂棚空間中，用來(lái)使上述容器在載置于平板架上的狀態(tài)下移動(dòng)；升降裝置，設(shè)在配置于上述升降機(jī)的下方的多個(gè)上述處理裝置的各裝卸端口，用來(lái)在上述裝卸端口與上述輸送機(jī)之間使上述容器升降；以及，平板架插脫機(jī)構(gòu)，將上述平板架相對(duì)于上述輸送機(jī)插脫；在上述升降裝置使上述容器上升到比上述輸送機(jī)稍高的位置為止、并將上述容器保持在該位置上的狀態(tài)下，上述平板架插脫機(jī)構(gòu)使載置有上述容器的上述平板架插入到上述輸送機(jī)上或從上述輸送機(jī)上脫離。
2.如權(quán)利要求1所述的容器輸送裝置，其特征在于，設(shè)有將相鄰的上述裝卸端口之間分隔的垂直壁；上述升降裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被安裝在上述垂直壁上。
全文摘要
本發(fā)明容器輸送裝置，為了在灣區(qū)內(nèi)的多個(gè)處理裝置(1－n)間輸送這樣的容器(3)而使用該容器以密閉狀態(tài)收容有半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等、要求將表面保持在不受污染的狀態(tài)下進(jìn)行輸送的物品，具備輸送機(jī)(5)，沿著多個(gè)處理裝置(1－n)的排列方向配設(shè)在灣區(qū)內(nèi)的頂棚空間中，用來(lái)使上述容器(3)在載置于平板架(6)上的狀態(tài)下移動(dòng)；升降裝置(7)，設(shè)在配置于升降機(jī)(5)的下方的多個(gè)處理裝置(1－n)的各裝卸端口(4)，用來(lái)在裝卸端口(4)與輸送機(jī)(5)之間使容器(3)升降；以及，板架插脫機(jī)構(gòu)(20)，將平板架(6)相對(duì)于輸送機(jī)(5)插脫。根據(jù)該容器輸送裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)灣區(qū)內(nèi)的空間的進(jìn)一步緊湊化，并且能夠?qū)崿F(xiàn)容器輸送的更加穩(wěn)定和安全。
文檔編號(hào)B65G49/07GK101027767SQ200480044059
公開日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2004年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月24日
發(fā)明者橘勝義 申請(qǐng)人:平田機(jī)工株式會(huì)社