技術編號：4177721
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及大型護罩(ペリクル)的收納方法及其收納結構體，所述收納方法可以將護罩膜的面積在1000cm2以上的大型護罩以穩(wěn)定的狀態(tài)收納在由托盤和蓋子構成的箱體中，所述大型護罩用于防止在制造構成LSI、液晶顯示器(LCD)的薄膜晶體管(TFT)和濾色器(CF)等時的光刻工序中所使用的光掩?；驑司€片上附著異物。背景技術 在以往制造半導體電路圖案等過程中，正如在后述專利文獻1中記載的那樣，通常采用稱為護罩的防塵措施來防止異物附著在光掩模或標線片上。護罩的結構如下在...
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