專利名稱：玻璃基板用輸送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種設(shè)置有在使玻璃基板從對玻璃基板進(jìn)行處理的多個處理裝置中通過的狀態(tài)下輸送所說玻璃基板的輸送裝置的玻璃基板用輸送設(shè)備。
背景技術(shù)：
如上所述的玻璃基板用輸送設(shè)備中，包括清洗裝置、成膜裝置、曝光裝置、蝕刻裝置等處理裝置。通過向這些處理裝置中輸送玻璃基板而對玻璃基板進(jìn)行所需要的處理，并將該處理裝置處理完了的玻璃基板向下一個處理裝置輸送。
過去，這種玻璃基板用輸送設(shè)備是這樣構(gòu)成的，即，各處理裝置在輸送裝置的輸送方向上隔開間隔設(shè)置，輸送裝置將玻璃基板以排成一列的狀態(tài)進(jìn)行輸送。在輸送裝置的輸送路徑上設(shè)置有可存放玻璃基板的存放架(例如可參照特開2002-308422號公報)。
但是，上述現(xiàn)有的玻璃基板用輸送設(shè)備中，其存放架是設(shè)置在輸送裝置的輸送路徑上的，因此，雖然處理裝置發(fā)生故障時能夠?qū)⒉ＡЩ宕娣旁诖娣偶苤校禽斔脱b置發(fā)生故障時，則無法通過輸送裝置將玻璃基板輸送到存放架中。
而且，在輸送裝置發(fā)生故障時，如果各處理裝置處理完了的玻璃基板不從該處理裝置中退出，將無法對玻璃基板進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚?，有?dǎo)致玻璃基板成為廢品的可能性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是著眼于這一問題而提出的，其目的是提供一種能夠在可靠地進(jìn)行玻璃基板的存放的狀態(tài)下進(jìn)行玻璃基板的輸送的玻璃基板用輸送設(shè)備。
為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)技術(shù)方案1的特征，本發(fā)明所提供的玻璃基板用輸送設(shè)備是一種設(shè)置有在使玻璃基板從對玻璃基板進(jìn)行處理的多個處理裝置中通過的狀態(tài)下輸送所說玻璃基板的輸送裝置的玻璃基板用輸送設(shè)備，設(shè)置有在所說輸送裝置與所說處理裝置之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載的移載裝置，以及能夠在所說輸送裝置與所說處理裝置之間存放所說玻璃基板的存放架，所說移載裝置以能夠在所說輸送裝置與所說存放架之間以及所說處理裝置與所說存放架之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載的方式構(gòu)成，所說移載裝置和所說存放架相對所說多個處理裝置之中的某幾個處理裝置的每一個至少各設(shè)置有一個。
即，移載裝置可在輸送裝置與處理裝置之間進(jìn)行玻璃基板的移載，因此，能夠?qū)⑤斔脱b置輸送來的玻璃基板通過移載裝置向處理裝置供給，或者將處理裝置處理完了的玻璃基板通過移載裝置向輸送裝置回送。
此外，移載裝置還能夠在輸送裝置與存放架之間以及處理裝置與存放架之間進(jìn)行玻璃基板的移載，因此，能夠?qū)⑾蜉斔脱b置供給的玻璃基板通過移載裝置送入存放架中進(jìn)行存放，或者將處理裝置處理完了的玻璃基板通過移載裝置送入存放架進(jìn)行存放。
并且，移載裝置與存放架相對多個處理裝置之中的某幾個處理裝置的每一個至少各設(shè)置有一個，因此，當(dāng)如上所述設(shè)置有移載裝置和存放架的處理裝置發(fā)生故障時，能夠?qū)⑾蛟撎幚硌b置供給的玻璃基板放入與該處理裝置相對應(yīng)地設(shè)置的存放架中進(jìn)行存放，即便是輸送裝置發(fā)生故障，也能夠?qū)⑻幚硌b置處理完了的玻璃基板放入與該處理裝置相對應(yīng)地設(shè)置的存放架中進(jìn)行存放。
因此，就具有存放架的處理裝置而言，在任一裝置發(fā)生故障時，均能夠?qū)⒉ＡЩ宕娣旁诖娣偶苤校軌蚍乐共ＡЩ宄蔀閺U品等所不希望的情況發(fā)生。
就具有存放架的處理裝置而言，在所供給的玻璃基板的片數(shù)多于處理裝置所能夠處理的片數(shù)、以及向輸送裝置回送的玻璃基板的片數(shù)較多等場合，存放架還能夠用來在輸送裝置與各處理裝置之間臨時進(jìn)行存放。
因此，不僅在處理裝置發(fā)生故障和輸送裝置發(fā)生故障等某一裝置發(fā)生故障的場合，就是在輸送裝置與各處理裝置之間臨時進(jìn)行存放的場合，也能夠?qū)⒉ＡЩ宕娣旁诖娣偶苤?，因此，能夠提供一種能夠在可靠地進(jìn)行玻璃基板的存放的狀態(tài)下進(jìn)行玻璃基板的輸送的玻璃基板用輸送設(shè)備。
根據(jù)技術(shù)方案2的特征，所說移載裝置在可上下移動的臺板上具有承載部，所述承載部可在承載有所說玻璃基板的狀態(tài)下圍繞垂直軸心回旋且能夠相對于所說臺板進(jìn)行進(jìn)退移動，所說臺板支承在所說存放架的框架上。
即，通過臺板的上下移動以及承載部的回旋移動和進(jìn)退移動，移載裝置可進(jìn)行玻璃基板的移載，因此，作為移載裝置，只要具有臺板以及設(shè)置在該臺板上的承載部即可，有利于減小移載裝置的安裝空間。
而且，由于以存放架的框架對移載裝置的臺板進(jìn)行支承，因此，存放架的框架兼作對移載裝置的臺板進(jìn)行支承的部件，不僅能夠進(jìn)一步減小移載裝置的安裝空間，而且還能夠降低成本。
根據(jù)技術(shù)方案3的特征，所說移載裝置這樣構(gòu)成，即，在使所說臺板位于上下方向上的下限位置且使所說承載部退居后的狀態(tài)下，使所說臺板和所說承載部從該承載部的進(jìn)退方向指向所說存放架這一基本位置起開始移動。
即，作為移載裝置，由于臺板和承載部從基本位置起開始移動，因此能夠在輸送裝置與處理裝置之間、輸送裝置與存放架之間、以及處理裝置與存放架之間進(jìn)行玻璃基板的移載，當(dāng)該玻璃基板的移載結(jié)束時，臺板和承載部回到基本位置。
并且，處于基本位置時，在臺板位于上下方向上的下限位置、且承載部退居后的狀態(tài)下，其進(jìn)退方向指向存放架，因此，臺板和承載部不會與其它部件產(chǎn)生干涉，而且能夠很容易確認(rèn)臺板和承載部是否位于基本位置。
根據(jù)技術(shù)方案4的特征，所說存放架具有清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)，所述清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)朝向被存放的所說玻璃基板，經(jīng)除塵過濾器吹送清潔空氣，所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)這樣設(shè)置，即，使得清潔空氣的吹送方向為在吹到被存放在所說存放架中的所說玻璃基板上之后、吹到所說移載裝置的所說承載部上所承載的所說玻璃基板上。
即，清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)可使得從除塵過濾器中通過的清潔空氣首先吹到被存放在存放架內(nèi)的玻璃基板上，之后吹到移載裝置的承載部所承載的玻璃基板上，因此，不僅可防止存放架所存放的玻璃基板上附著塵埃。還能夠防止移載裝置的承載部所承載的玻璃基板上附著塵埃。
因此，無論是存放在存放架內(nèi)時還是由移載裝置進(jìn)行移載時，均能夠防止玻璃基板上附著塵埃，可使玻璃基板用輸送設(shè)備成為具有實用性的設(shè)備。
根據(jù)技術(shù)方案5的特征，使所說移載裝置的所說臺板上下移動的上下驅(qū)動部設(shè)置在避開所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)的清潔空氣吹送區(qū)域的位置上。
即，清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)所吹送的清潔空氣不會受到上下驅(qū)動部的阻礙，可在吹到被存放在存放架內(nèi)的玻璃基板上之后，吹到移載裝置的承載部所承載的玻璃基板上。
因此，能夠切實向被存放在存放架內(nèi)的玻璃基板、以及移載裝置的承載部所承載的玻璃基板吹送清潔空氣，因而能夠切實防止玻璃基板上附著塵埃。
根據(jù)技術(shù)方案6的特征，所說移載裝置具有向所說承載部所承載的所說玻璃基板吹風(fēng)的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
即，由于承載部所承載的玻璃基板隨著臺板和承載部的移動而移動，因而要向承載部所承載的玻璃基板吹送清潔空氣較為困難，但當(dāng)移載裝置具有送風(fēng)機(jī)構(gòu)時，該送風(fēng)機(jī)構(gòu)可將清潔空氣向承載部所承載的玻璃基板吹送。
因此，即使對于承載部所承載的玻璃基板，也能夠可靠地吹送清潔空氣，能夠更為可靠地防止承載部所承載的玻璃基板上附著塵埃。
根據(jù)技術(shù)方案7的特征，所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)設(shè)置成從上方向所說承載部所承載的所說玻璃基板吹送清潔空氣，所說移載裝置具有擋風(fēng)板在使所說臺板上升移動時防止所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)送來的清潔空氣吹到所說承載部所承載的所說玻璃基板上。
即，由于清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)能夠從上方對承載部所承載的玻璃基板吹送清潔空氣，因此，能夠防止容易附著塵埃的玻璃基板的上表面附著塵埃。
此外，在臺板上下移動時，承載部所承載的玻璃基板是頂著吹來的清潔空氣進(jìn)行移動的，因此玻璃基板要承受風(fēng)力，特別是當(dāng)玻璃基板較薄時，有可能導(dǎo)致玻璃基板破裂，但由于移載裝置具有擋風(fēng)板，因而在臺板上下移動時，擋風(fēng)板能夠防止清潔空氣吹到承載部所承載的玻璃基板上。
因此，能夠防止玻璃基板承受風(fēng)力，既能夠防止玻璃基板上附著塵埃，又能夠防止玻璃基板受損。
根據(jù)技術(shù)方案8的特征，所說處理裝置能夠?qū)λf多片玻璃基板進(jìn)行處理，所說存放架以可容納的所說玻璃基板的片數(shù)大于所說處理裝置所能夠處理的片數(shù)的方式構(gòu)成。
即，處理裝置能夠?qū)Χ嗥ＡЩ暹M(jìn)行處理，因此，可提高處理能力。
此外，存放架能夠容納多于處理裝置所能夠處理的片數(shù)的玻璃基板，能夠?qū)⑺杏商幚硌b置進(jìn)行處理的玻璃基板存放在存放架中，因此，不僅能夠提高處理裝置的處理能力，而且在處理裝置發(fā)生故障時能夠可靠地進(jìn)行玻璃基板的存放。
根據(jù)技術(shù)方案9的特征，所說輸送裝置是以在上下方向上排列多層的狀態(tài)設(shè)置的，所說移載裝置能夠在設(shè)置在不同層上的所說輸送裝置之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載。即，由于移載裝置能夠在設(shè)置在上下方向上的不同層上的輸送裝置之間進(jìn)行玻璃基板的移載，因此，僅設(shè)置移載裝置，便能夠在輸送裝置與處理裝置之間進(jìn)行玻璃基板的移載，而且還能夠在設(shè)置在上下方向上的不同層上的輸送裝置之間進(jìn)行玻璃基板的轉(zhuǎn)移。
因此，不必為了在設(shè)置在上下方向上的不同層上的輸送裝置之間進(jìn)行玻璃基板的轉(zhuǎn)移而設(shè)置轉(zhuǎn)移裝置，可降低成本并簡化結(jié)構(gòu)。
根據(jù)技術(shù)方案10的特征，所說移載裝置這樣構(gòu)成，即，所說承載部以在上下方向上排列的狀態(tài)設(shè)置有多個，并且，使這些多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行進(jìn)退移動。
即，移載裝置使在上下方向上排列的狀態(tài)設(shè)置的多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行進(jìn)退移動，因此，能夠以多個承載部同時進(jìn)行多個玻璃基板的移載，可提高以移載裝置進(jìn)行玻璃基板的移載的效率。
根據(jù)技術(shù)方案11的特征，所說臺板具有所說多個承載部，所說多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行上下移動。
即，移載裝置使在上下方向上排列的狀態(tài)設(shè)置的多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行上下移動，因此，只需設(shè)置將多個承載部連接成能夠成一體上下移動的、對連接成一體的所說多個承載部進(jìn)行驅(qū)動的驅(qū)動部，便能夠使多個承載部上下移動，可使結(jié)構(gòu)得以簡化。
根據(jù)技術(shù)方案12的特征，在所說輸送裝置的輸送方向上的上游端部設(shè)置有將所說玻璃基板一片片移載到所說輸送裝置上的輸入裝置，在所說輸送裝置的輸送方向上的下游端部設(shè)置有將所說輸送裝置送來的所說玻璃基板收放在所說能夠容納多個玻璃基板的存放裝置中的輸出裝置。
即，輸入裝置能夠從容納有多個玻璃基板的存放裝置中將玻璃基板一片片送出移載到輸送裝置上，輸出裝置能夠?qū)⒂奢斔脱b置成一列一片片送來的玻璃基板依次收放到存放裝置中。
因此，就玻璃基板相對于輸送裝置的輸入與輸出而言，能夠通過容納有多個玻璃基板的存放裝置進(jìn)行，因此，與玻璃基板相對于輸送裝置一片一片地輸入與輸出相比，在相對于輸送裝置進(jìn)行玻璃基板的輸入與輸出時對玻璃基板的操作要容易。
根據(jù)技術(shù)方案13的特征，所說移載裝置與所說存放架相對所說多個處理裝置的每一個至少各設(shè)置有一個。
因此，即使任一裝置發(fā)生故障，也能夠?qū)⒉ＡЩ宕娣诺酱娣偶苤?，可防止玻璃基板成為廢品等不良現(xiàn)象的發(fā)生。


圖1是玻璃基板用輸送設(shè)備的立體圖。
圖2是玻璃基板用輸送設(shè)備的俯視圖。
圖3是移載裝置及存放架的俯視圖。
圖4是移載裝置及存放架的俯視圖。
圖5是移載裝置及存放架的俯視圖。
圖6是移載裝置及存放架的縱向剖視圖。
圖7是對移載裝置及存放架進(jìn)行展示的立體圖。
圖8是玻璃基板用輸送設(shè)備的控制框圖。
圖9是另一個實施方式的輸送設(shè)備的立體圖。
具體實施例方式
下面，對本發(fā)明玻璃基板用輸送設(shè)備的實施方式結(jié)合附圖進(jìn)行說明。
如圖1和圖2所示，該玻璃基板用輸送設(shè)備具有輸送玻璃基板1的輸送裝置2；對玻璃基板1進(jìn)行處理的處理裝置3；對輸送裝置2及處理裝置3的動作狀態(tài)進(jìn)行控制的管理裝置H。
所說輸送裝置2是以在上下方向上排列兩層的狀態(tài)設(shè)置的。該分兩層設(shè)置的各個輸送裝置2，是以使得玻璃基板1從多個處理裝置3中經(jīng)過的狀態(tài)進(jìn)行玻璃基板1的輸送的。
雖未圖示，但輸送裝置2是在朝向玻璃基板1吹送空氣而以非接觸狀態(tài)對玻璃基板1進(jìn)行支承使之保持水平姿態(tài)的情況下，對玻璃基板1向輸送方向施加推進(jìn)力而進(jìn)行玻璃基板1的輸送的。
此外，在輸送裝置2的輸送方向上的上游端部設(shè)置有將玻璃基板1一片片移載到輸送裝置2上的輸入裝置16。在輸送裝置2的輸送方向上的下游端部，設(shè)置有輸出裝置17，該輸出裝置17將輸送裝置2輸送來的玻璃基板1收放在可容納多個玻璃基板1的存放裝置中。
更具體地說，雖未圖示，輸入裝置16是從作為容納有多個玻璃基板1的存放裝置的基板盒中一片片取出玻璃基板1移載到輸送裝置2上的。而輸出裝置17將輸送裝置2以一列狀態(tài)一片片輸送來的玻璃基板1依次收放到作為存放裝置的基板盒中。
作為上述處理裝置3的例子，可列舉出清洗裝置、成膜裝置、曝光裝置、蝕刻裝置。這些處理裝置3按照對玻璃基板1進(jìn)行處理的順序，從輸送裝置2的輸送方向的上游起依次隔開間隔設(shè)置。
上下兩層的輸送裝置2中中每一個設(shè)置有在輸送裝置2與處理裝置3之間進(jìn)行玻璃基板1的移載的移載裝置4、以及能夠在輸送裝置2與處理裝置3之間進(jìn)行玻璃基板1的存放的存放架5。該移載裝置4和存放架5相對多個的各個處理裝置3的每一個至少各設(shè)置有一個。此外，移載裝置4是以能夠在輸送裝置2與存放架5之間以及處理裝置3與存放架5之間進(jìn)行玻璃基板1的移載的方式構(gòu)成的。
如圖2所示，所說移載裝置4位于輸送裝置2與處理裝置3之間。此外，物品存放架5其開口部朝向移載裝置4并且是以玻璃基板1出入物品存放架5的方向平行于輸送裝置2的輸送方向的狀態(tài)相對各處理裝置3設(shè)置一個。
如圖3～圖6所示，移載裝置4在可上下移動的臺板6上具有可圍繞垂直軸心X1回旋的、并可相對于臺板6進(jìn)退移動的承載部7。該承載部7上放置玻璃基板1。
此外，臺板6和承載部7以在上下方向上排列的狀態(tài)設(shè)置有兩個。如圖3～圖5所示，承載部7由隔開間隔的多個長條形叉爪構(gòu)成。在本實施例中，由4個叉爪構(gòu)成承載部7，以這些叉爪的上表面對玻璃基板1進(jìn)行支承。
圖3示出臺板6和承載部7位于后述的基本位置時的狀態(tài)。圖4示出臺板6和承載部7從輸送裝置2上鏟取玻璃基板1時的狀態(tài)。圖5示出臺板6和承載部7將玻璃基板1插入存放架5中時的狀態(tài)。
如圖5所示，使所說臺板6上下移動的上下驅(qū)動部8得到構(gòu)成存放架5的框架的兩個側(cè)部的支承，臺板6得到存放架5的框架的支承。
如圖6所示，所說上下驅(qū)動部8具有設(shè)置在上方和下方的一對鏈輪(sprocket)9、10、繞掛在它們上的鏈條11、以及平衡墜(counterweight)12等。上下一對的鏈輪9、10之中的一個為驅(qū)動鏈輪9，另一個為從動鏈輪10。
在上下方向上排列的兩個臺板6連接在通過連接在鏈條11上而得到支承的連接體23上，通過未圖示的驅(qū)動馬達(dá)等對驅(qū)動鏈輪9進(jìn)行驅(qū)動，鏈條11在驅(qū)動鏈輪9和從動鏈輪10之間轉(zhuǎn)動，從而使在上下方向上排列的兩個臺板6成一體上下移動。
此外，臺板6具有兩個承載部7，由于上下方向上排列的兩個臺板6以能夠成一體上下移動的方式構(gòu)成，因而使兩個承載部7以同步狀態(tài)上下移動。
下面，對使承載部7進(jìn)行回旋移動和進(jìn)退移動的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，由于兩個承載部7具有相同的結(jié)構(gòu)，因而僅對其中之一進(jìn)行說明。
在所說臺板6上，在可圍繞垂直軸心自由回旋的回旋臺22上設(shè)置有對承載部7進(jìn)行支承使之能夠自由進(jìn)退移動的連桿機(jī)構(gòu)13，能夠通過回旋臺22和連桿機(jī)構(gòu)13使承載部7進(jìn)行回旋移動并且進(jìn)行進(jìn)退移動。
如圖3～圖5所示，所說連桿機(jī)構(gòu)13由其根端連接在回旋臺22上而能夠圍繞垂直軸心(X2)自由轉(zhuǎn)動的一對操作連桿14，以及連接在操作連桿14的前端上而能夠圍繞垂直軸心(X3)自由轉(zhuǎn)動并且連接在承載部7上而能夠圍繞垂直軸心自由轉(zhuǎn)動的搖動連桿15構(gòu)成。
并且，當(dāng)通過未圖示的電動馬達(dá)驅(qū)動一對操作連桿14使之連動而圍繞垂直軸心(X2)搖動時，使承載部7相對于臺板6進(jìn)行前進(jìn)移動和后退移動。此時，操作連桿14在圖3所示的位置與圖5所示的位置之間移動。即，各操作連桿14可圍繞各自的垂直軸心(X2)進(jìn)行90度以上的搖動。因此，能夠在所說臺板6與物品存放架5的距離變得盡可小的同時，使承載部7移動到距存放架5足夠遠(yuǎn)的位置上。因此，能夠避免移載裝置4在輸送設(shè)備中占據(jù)很大的空間。
如上所述，承載部7是以通過未圖示的電動馬達(dá)使連桿機(jī)構(gòu)13動作而能夠相對于臺板6進(jìn)行前進(jìn)移動和后退移動的方式構(gòu)成，移載裝置4是以通過使與在上下方向上排列的兩個承載部7之中的設(shè)置在上方的承載部7相對應(yīng)的馬達(dá)、以及與設(shè)置在下方的承載部7相對應(yīng)的馬達(dá)以同步狀態(tài)工作，使在上下方向上排列的兩個承載部7以同步狀態(tài)進(jìn)退移動的方式構(gòu)成。
此外，移載裝置4是以在使臺板6位于上下方向上的下限位置且使承載部7退居后的狀態(tài)下，使臺板6和承載部7從該承載部7的進(jìn)退方向指向存放架5這一基本位置起開始移動的方式構(gòu)成的。
更具體地說，是這樣構(gòu)成的，即，通過使臺板6及承載部7從圖3所示的基本位置起開始移動，可在輸送裝置2與處理裝置3之間、在輸送裝置2與存放架5之間、以及在處理裝置3與存放架5之間進(jìn)行玻璃基板1的移載，當(dāng)該玻璃基板1的移載結(jié)束時，使臺板6及承載部7返回基本位置。如圖3所示，若以移載裝置4為中心，則輸送裝置2在圖3中位于上方、即0°方向上，存放架5位于90°方向上，處理裝置3位于180°的方向上。
所說基本位置是這樣一個位置，即，如圖3所示，臺板6和承載部7不與其它部分產(chǎn)生干涉，并且能夠很容易確認(rèn)臺板6及承載部7是否位于基本位置的位置。
附帶說明，對于與在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之中的設(shè)置在上方的輸送裝置2相對應(yīng)的移載裝置4來說，臺板6可向下方一直移動到設(shè)置在下方的輸送裝置2處，而上下方向上的下限位置是指相對于設(shè)置在上方的輸送裝置2而言的上下方向上的下限位置。
下面，列舉從所說輸送裝置2上將玻璃基板1移載到存放架5中的例子進(jìn)行說明。首先，移載裝置4在使臺板6從圖3所示的基本位置上升后，使承載部7進(jìn)行回旋移動并進(jìn)行前進(jìn)移動，從而如圖4所示鏟取輸送裝置2上的玻璃基板1。
從輸送裝置2上鏟取玻璃基板1后，承載部7進(jìn)行后退移動并進(jìn)行回旋移動，在承載部7的進(jìn)退方向指向存放架5的狀態(tài)下，承載部7如圖5所示進(jìn)行前進(jìn)移動，從而將玻璃基板1移載到存放架5中，當(dāng)玻璃基板1向存放架5中的移載結(jié)束時，回到圖3所示的基本位置上。
所說移載裝置4能夠如圖7所示地在上下方向排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載。即，與在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之中的設(shè)置在上方的輸送裝置2相對應(yīng)地設(shè)置的移載裝置4，使臺板6在上下驅(qū)動部8的驅(qū)動下一直下降移動到設(shè)置在下方的輸送裝置2處，可將玻璃基板1移載到設(shè)置在下方的輸送裝置2上。同樣地，對應(yīng)于設(shè)置在下方的輸送裝置2設(shè)置的移載裝置4使臺板6能夠在上下驅(qū)動部8的驅(qū)動下一直上升移動到設(shè)置在上方的輸送裝置2處，可將玻璃基板1移載到設(shè)置在上方的輸送裝置2上。
由于是以臺板6能夠在上下驅(qū)動部8的驅(qū)動下在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間上下移動的方式構(gòu)成的，因此，如圖1所示，移載裝置4、處理裝置3、以及存放架5的設(shè)置部位設(shè)置成在輸送裝置2的輸送方向上、在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間位于不同的位置。
下面就所說存放架5進(jìn)行說明。存放架5如圖3～圖6所示，呈正面部分開口的箱形形成，為了能夠容納多個玻璃基板1，在上下方向上隔開間隔設(shè)置有多個對玻璃基板1進(jìn)行支撐的支承部5a。
此外，處理裝置3能夠?qū)Χ嗥ＡЩ?進(jìn)行處理，而存放架5所能夠容納的玻璃基板1的片數(shù)大于處理裝置3可處理的片數(shù)，例如能夠容納100片玻璃基板1。
另外，如圖3和圖5所示，支承部5a呈長條狀形成，能夠隔開間隔對玻璃基板1的橫寬方向上的兩端以及橫寬方向上的中間部位進(jìn)行支撐。支撐部5a要這樣設(shè)置，即，存放架5的支撐部5a所在部位與移載裝置4的承載部7所在部位錯開，以使得在移載裝置4將玻璃基板1移載到存放架5中時，移載裝置4的承載部7能夠在存放架5中自由出入。
如圖6所示，所說存放架5具有，朝向被存放的玻璃基板1，經(jīng)除塵過濾器18吹送清潔空氣的清潔空氣吹送風(fēng)扇19(清潔空氣吹送機(jī)構(gòu))。
清潔空氣吹送風(fēng)扇19和除塵過濾器18是這樣設(shè)置的，即，使得送風(fēng)方向為在吹到被存放在存放架5內(nèi)的玻璃基板1上之后，吹到移載裝置4的承載部7支承的玻璃基板1上。即，清潔空氣吹送風(fēng)扇19和除塵過濾器18，設(shè)置在存放架5的開口部之相反一側(cè)的后端部上，從存放架5的下方和后方吸入空氣，經(jīng)除塵過濾器18向前方吹送清潔空氣。
此外，將清潔空氣吹送風(fēng)扇19和除塵過濾器18設(shè)置在存放架5的后端部，從而能夠從上方對移載裝置4的承載部7上所承載的玻璃基板1吹送清潔空氣。
如上所述，清潔空氣吹送風(fēng)扇19送來的清潔空氣首先吹到被存放在存放架5中的玻璃基板1上，接下來，在從上方向下吹到移載裝置4的承載部7所承載的玻璃基板1上后，再次被清潔空氣吹送風(fēng)扇19吸入，使清潔空氣循環(huán)。
此外，移載裝置4具有將清潔空氣吹送風(fēng)扇19送來的清潔空氣向承載部7所承載的玻璃基板1進(jìn)行吹送的作為送風(fēng)機(jī)構(gòu)的送風(fēng)風(fēng)扇20，以及在臺板6上升時防止空氣直接吹到所承載的玻璃基板1上的板狀的擋風(fēng)板21。擋風(fēng)板21上形成有送風(fēng)風(fēng)扇20用的孔，能夠使送風(fēng)風(fēng)扇20送來的空氣吹到玻璃基板1上。
更具體地說，通過在移載裝置4中設(shè)置送風(fēng)風(fēng)扇20，能夠吹送僅靠清潔空氣吹送風(fēng)扇19無法吹到承載部7所承載的玻璃基板1上的清潔空氣，使清潔空氣切實吹到承載部7所承載的玻璃基板1上。
如圖6所示，送風(fēng)風(fēng)扇20位于擋風(fēng)板21的上方位置上，擋風(fēng)板21設(shè)置成遮擋在上下方向上排列的承載部7之中的位于上方的承載部7。此外，在上下方向上排列的承載部7的下方也設(shè)置有送風(fēng)風(fēng)扇20。
并且，送風(fēng)風(fēng)扇20和擋風(fēng)板21共同得到臺板6的支承，送風(fēng)風(fēng)扇20和擋風(fēng)板21與臺板6成一體上下移動。移載裝置4的上下驅(qū)動部8設(shè)置在存放架5的框架的兩個側(cè)部上，設(shè)置在避開清潔空氣吹送風(fēng)扇19吹送清潔空氣的吹送方向的位置上。此外，清潔空氣吹送風(fēng)扇19送來的清潔空氣在不受上下驅(qū)動部8阻礙地吹到被存放在存放架5中的玻璃基板1上之后，從上向下吹到放置在移載裝置4的承載部7上的玻璃基板1上。
如圖8所示，所說管理裝置H除了對輸送裝置2和處理裝置3的動作狀態(tài)進(jìn)行控制之外，還對移載裝置4的動作狀態(tài)進(jìn)行控制。
此外，管理裝置H進(jìn)行將玻璃基板1向哪一個處理裝置3供給的管理，還對存放架5中的玻璃基板1的存放狀態(tài)等信息進(jìn)行管理。并且，在輸送裝置2及處理裝置3正常動作的場合，當(dāng)輸送裝置2將玻璃基板1輸送到與進(jìn)行處理的處理裝置3相對應(yīng)的位置上時，管理裝置H對移載裝置4進(jìn)行控制，使移載裝置4將玻璃基板1從輸送裝置2移載到處理裝置3中。當(dāng)處理裝置3的處理結(jié)束時，管理裝置H對移載裝置4進(jìn)行控制，使移載裝置4將該玻璃基板1送回輸送裝置2。
再有，當(dāng)處理裝置3發(fā)生故障時，所說管理裝置H對移載裝置4進(jìn)行控制，將原定供給該處理裝置3的玻璃基板1移載到與發(fā)生故障的處理裝置3相對應(yīng)地設(shè)置的存放架5中。即，當(dāng)輸送裝置2將玻璃基板1輸送到與進(jìn)行處理的處理裝置3相對應(yīng)的位置上時，管理裝置H便對移載裝置4進(jìn)行控制，使移載裝置4將玻璃基板1從輸送裝置2上移載到存放架5中。而當(dāng)輸送裝置2發(fā)生故障時，管理裝置H對移載裝置4進(jìn)行控制，將處理裝置3處理完了的玻璃基板1移載到與該處理裝置3相對應(yīng)的存放架5中。
此外，當(dāng)處理裝置3的故障消除時，管理裝置H對移載裝置4進(jìn)行控制，將收放在存放架5中的玻璃基板1移載到處理裝置3上；而當(dāng)輸送裝置2的故障消除時，對移載裝置4進(jìn)行控制，將收放在存放架5中的玻璃基板1移載到輸送裝置2上。
所說管理裝置H是以在處理裝置3或輸送裝置2發(fā)生故障時將玻璃基板1存放到存放架5中的方式構(gòu)成的，但是，在遇到所供給的玻璃基板1的片數(shù)多于處理裝置3所能夠處理的片數(shù)、以及有多個需要送回輸送裝置2的玻璃基板1等需要在輸送裝置2和各處理裝置3之間臨時進(jìn)行存放等情況時，也能夠通過移載裝置4將玻璃基板1存放到存放架5中。
此外，在需要將設(shè)置在上方的輸送裝置2所正在輸送的玻璃基板1轉(zhuǎn)移到設(shè)置在下方的輸送裝置2上，或者反之，需要將設(shè)置在下方的輸送裝置2所正在輸送的玻璃基板1轉(zhuǎn)移到設(shè)置在上方的輸送裝置2上的場合，當(dāng)該玻璃基板1被輸送裝置2輸送到移載裝置4所在位置時，管理裝置H便對移載裝置4進(jìn)行控制，使移載裝置4在上下方向上排列的輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載。
(1)在上述實施方式中，列舉了輸送裝置2在上下方向上排列兩個的例子，但輸送裝置2在上下方向上排列的個數(shù)可酌情決定，可以是一個或三個以上。
(2)在上述實施方式中，是分別對應(yīng)于在上下方向上排列的兩個輸送裝置2設(shè)置移載裝置4的，但由于移載裝置4是以能夠在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載的方式構(gòu)成的，因此，也可以設(shè)計成這樣的結(jié)構(gòu)加以實施，即，以一個移載裝置4兼作對應(yīng)于在上下方向上排列的兩個輸送裝置2的移載裝置。
(3)在上述實施方式中，作為移載裝置4，列舉了具有可上下移動的臺板6、以及在承載玻璃基板1的狀態(tài)下可圍繞垂直軸心回旋且可相對于臺板6進(jìn)行進(jìn)退移動的承載部7的例子，但也可以采用各種各樣的其它移載裝置。
此外，在上述實施方式中，是由存放架5的框架對移載裝置4的臺板6進(jìn)行支承的，但也可以相對于存放架5另外設(shè)置對臺板6進(jìn)行支承的部件而加以實施。
(4)在上述實施方式中，所有的移載裝置4能夠在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載，但也可以設(shè)計成只有一部分移載裝置4能夠在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載，通過該移載裝置4在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的轉(zhuǎn)移。
此外，也可以將所有移載裝置4不設(shè)計成能夠在上下方向上排列的兩個輸送裝置2之間進(jìn)行玻璃基板1的移載的結(jié)構(gòu)。
(5)在上述實施方式中，移載裝置4的上下驅(qū)動部8是設(shè)置在避開清潔空氣吹送風(fēng)扇19的清潔空氣的吹送方向的位置上的，但也可酌情改變移載裝置4的上下驅(qū)動部8的設(shè)置位置。
(6)在上述實施方式中，移載裝置4具有送風(fēng)風(fēng)扇20和擋風(fēng)板21，但移載裝置4并非一定要具有送風(fēng)風(fēng)扇20和擋風(fēng)板21，例如，也可以只具有送風(fēng)風(fēng)扇20或只具有擋風(fēng)板21。
(7)在上述實施方式中，移載裝置4的承載部7是以在上下方向上排列兩個的狀態(tài)設(shè)置的，但承載部7在上下方向上排列的個數(shù)可酌情改變，也可以是一個或三個以上。
多個承載部7并非一定要同時進(jìn)行進(jìn)退移動或上下移動，也可以使多個承載部7單獨進(jìn)行進(jìn)退移動或上下移動。
(8)在上述實施方式中，是以輸送裝置2將玻璃基板1成水平姿態(tài)進(jìn)行輸送的方式構(gòu)成的，但由輸送裝置2輸送的玻璃基板1的姿態(tài)可酌情改變，例如可以成豎立姿態(tài)輸送。
(9)在上述實施方式中，是通過設(shè)置輸入裝置16和輸出裝置17，使得玻璃基板1相對于輸送裝置2的輸入與輸出能夠以作為可容納多個玻璃基板1的存放裝置的基板盒為單位進(jìn)行的，但也可以不設(shè)置輸入裝置16和輸出裝置17，而將玻璃基板1一片片送到輸送裝置2上，或從輸送裝置2中將玻璃基板1一片片送出來。
(10)在上述實施方式中，在上下方向上排列的承載部7上方和下方兩個方位設(shè)置有送風(fēng)風(fēng)扇20，但也可以僅在上下方向上排列的承載部7上方設(shè)置送風(fēng)風(fēng)扇20。
(11)對于不重要的處理裝置3，并非一定要設(shè)置存放架5。位于圖9中A所示區(qū)域的移載裝置4雖然是靠上下驅(qū)動部8進(jìn)行驅(qū)動的，但處理裝置3中未設(shè)置存放架5。上下驅(qū)動部8由框架25支承。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板用輸送設(shè)備，設(shè)置有在使玻璃基板從對玻璃基板進(jìn)行處理的多個處理裝置中通過的狀態(tài)下輸送所說玻璃基板的輸送裝置，并設(shè)置有在所說輸送裝置與所說處理裝置之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載的移載裝置，以及能夠在所說輸送裝置與所說處理裝置之間存放所說玻璃基板的存放架，其特征是，所說移載裝置以能夠在所說輸送裝置與所說存放架之間以及所說處理裝置與所說存放架之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載的方式構(gòu)成，所說移載裝置和所說存放架相對所說多個處理裝置之中的某幾個處理裝置的每一個至少各設(shè)置有一個。
2.如權(quán)利要求1所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說移載裝置在可上下移動的臺板上具有承載部，所述承載部可在承載有所說玻璃基板的狀態(tài)下圍繞垂直軸心回旋且能夠相對于所說臺板進(jìn)行進(jìn)退移動，所說臺板支承在所說存放架的框架上。
3.如權(quán)利要求2所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說移載裝置這樣構(gòu)成，即，在使所說臺板位于上下方向上的下限位置且使所說承載部退居后的狀態(tài)下，使所說臺板和所說承載部從該承載部的進(jìn)退方向指向所說存放架這一基本位置起開始移動。
4.如權(quán)利要求2所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說存放架具有清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)，所述清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)朝向被存放的所說玻璃基板，經(jīng)除塵過濾器吹送清潔空氣，所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)這樣設(shè)置，即，使得清潔空氣的吹送方向為在吹到被存放在所說存放架中的所說玻璃基板上之后、吹到所說移載裝置的所說承載部上所承載的所說玻璃基板上。
5.如權(quán)利要求4所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，使所說移載裝置的所說臺板上下移動的上下驅(qū)動部設(shè)置在避開所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)的清潔空氣吹送區(qū)域的位置上。
6.如權(quán)利要求2所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說移載裝置具有向所說承載部所承載的所說玻璃基板吹風(fēng)的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求4所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)設(shè)置成從上方向所說承載部所承載的所說玻璃基板吹送清潔空氣，所說移載裝置具有擋風(fēng)板在使所說臺板上升移動時防止所說清潔空氣吹送機(jī)構(gòu)送來的清潔空氣吹到所說承載部所承載的所說玻璃基板上。
8.如權(quán)利要求1所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說處理裝置能夠?qū)λf多片玻璃基板進(jìn)行處理，所說存放架以可容納的所說玻璃基板的片數(shù)大于所說處理裝置所能夠處理的片數(shù)的方式構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說輸送裝置是以在上下方向上排列多層的狀態(tài)設(shè)置的，所說移載裝置能夠在設(shè)置在不同層上的所說輸送裝置之間進(jìn)行所說玻璃基板的移載。
10.如權(quán)利要求2所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說移載裝置這樣構(gòu)成，即，所說承載部以在上下方向上排列的狀態(tài)設(shè)置有多個，并且，使這些多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行進(jìn)退移動。
11.如權(quán)利要求10所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說臺板具有所說多個承載部，使所說多個承載部以同步狀態(tài)進(jìn)行上下移動。
12.如權(quán)利要求1所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，在所說輸送裝置的輸送方向的上游端部設(shè)置有將所說玻璃基板一片片移載到所說輸送裝置上的輸入裝置，在所說輸送裝置的輸送方向的下游端部設(shè)置有將所說輸送裝置送來的所說玻璃基板收放在所說能夠容納多個玻璃基板的存放裝置中的輸出裝置。
13.如權(quán)利要求1所說的玻璃基板用輸送設(shè)備，其特征是，所說移載裝置與所說存放架相對所說多個處理裝置的每一個至少各設(shè)置有一個。
全文摘要
一種玻璃基板用輸送設(shè)備，在輸送玻璃基板時能夠可靠地進(jìn)行玻璃基板的存放。設(shè)置有在使得玻璃基板(1)從多個對玻璃基板(1)進(jìn)行處理的處理裝置(3)中經(jīng)過的狀態(tài)下輸送該玻璃基板(1)的輸送裝置(2)，還設(shè)置有在輸送裝置(2)與處理裝置(3)之間進(jìn)行玻璃基板(1)的移載的移載裝置(4)、以及在輸送裝置(2)與處理裝置(3)之間進(jìn)行玻璃基板(1)的存放的存放架(5)，移載裝置(4)以能夠在輸送裝置(2)與存放架(5)之間以及處理裝置(3)與存放架(5)之間進(jìn)行玻璃基板(1)的移載的方式構(gòu)成，移載裝置(4)與存放架(5)與多個處理裝置(3)的每一個對應(yīng)地設(shè)置有多個。
文檔編號B65G49/06GK1623872SQ20041009803
公開日2005年6月8日 申請日期2004年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月4日
發(fā)明者森屋進(jìn), 上田勝彥 申請人:株式會社大福