專利名稱：帶有相適配形狀機構蓋的晶片承載器門的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種晶片容器，尤其是涉及一種帶有鎖扣機構的門的可密封晶片封閉件。
背景技術：
半導體晶片加工成最終的電子元件時通常需要許多加工步驟，在這些步驟中必須對晶片進行加工和處理。晶片價值很高，而且相當脆弱，同時并容易因物理和電擊而損壞。此外，連續(xù)的高產(chǎn)量加工對清潔度、避免顆粒和其它污染物的要求極高。因此，用于晶片加工、處理和運輸過程中的專門容器或者承載器被改進。這些容器保護晶片免受物理和電子的損壞，并可密封地保護晶片免受污染。這樣的晶片容器或承載器一般包括一個在內側具有多個晶片保持架的封閉部分。容器的一側是作為入口的開口端，開口端被一門封閉。門具有一鎖扣機構以確保其在一位置保持和密封。通常，鎖扣機構被封閉以保護晶片不受破壞和意外情況的發(fā)生。
盡管晶片封閉件被用于干凈的環(huán)境中，在較長的時間中不期望的污染物會聚集在封閉件上或者其內部。微粒狀的污染物通常由封閉件部件之間的接觸摩擦和對晶片進行從封閉件中加載或卸載時的操作中產(chǎn)生。因此晶片容器的一重要特征是其必須徹底地清潔以確保維持加工的清潔度。清洗通常通過一種液體溶劑來完成，并由壓縮空氣或者其它氣體來對部件進行干燥。
具有鎖扣機構的封閉件在有效清洗晶片容器的方面呈現(xiàn)出特殊的問題。在現(xiàn)有技術的容器中，例如在Nyseth和Krampotich申請的美國專利No.5915562及Mikkelsen等人申請的美國專利No.5957292中所展示的。例如，這些文獻中的每一篇被全部引用以作參考，鎖扣機構被定位于門的腔室中并被平板所覆蓋。盡管這樣的封閉有助于隔絕和容納鎖扣機構自身產(chǎn)生的微粒，但鎖扣機構區(qū)域的清洗和干燥被限制。此外，具有相對較大內表面的較大腔室圍繞鎖扣部件形成。限制進入與較大表面區(qū)域和體積區(qū)域的組合使得當封閉件在一定位置時一般不可能進行有效地清洗和干燥。此外，很大的腔室會殘留相應的大量微粒和其它污染材質。因此，至少可以部分拆卸的封閉機構是必需的。這是一個冗長的，高強度的過程，該過程導致加工效率降低或者延遲。因此，一個可以增大機構部件的進入以及在封閉件內部提供了一個減小表面積的封閉件機構是需要的。
減少鎖扣封閉件內表面區(qū)域的一種方式是通過使封閉件與它所保護的鎖扣部件相配合來減少不必要的區(qū)域。一種帶有一個鎖扣機構蓋的可以更好地與鎖閉機構的外廓相配合的晶片承載器門在PCT申請WO01/04022A1中公開，所公開的機構蓋沒有覆蓋整個鎖扣腔室，而僅僅覆蓋鎖定臂、運動轉換機構和手柄的一部分。該專利披露的機構蓋與鎖定臂的一個側面的一部分輪廓相一致。因此具有機構蓋不需要到達的顯著區(qū)域，尤其是鎖定臂和門緣之間的區(qū)域。而這些區(qū)域當機構蓋位于一定位置時是難于清洗和干燥的。
此外，以前的鎖扣機構和鎖扣機構蓋的設計使得晶片承載器門的制造，組裝和拆卸有時變得很復雜。通常，鎖扣機構組件被門板上形成的結構保持并導引。機構蓋僅為用于覆蓋該設計中的鎖扣組件，并沒有傳統(tǒng)的引導或橫向保持組件的功能。在這樣的設計中一般需要在門板自身上設置有保持和引導鎖扣組件的結構。這些結構難于形成，并增加了門板結構的復雜性，并使拆卸和組裝過程變得復雜。
這就需要一種改進的晶片容器及門以克服現(xiàn)有技術設計中所存在的缺陷。
發(fā)明簡述本發(fā)明是一種晶片容器及改進的門。門具有一保持和導引鎖扣機構組件的鎖扣機構蓋。該鎖扣機構蓋可由與鎖扣機構形狀適配的形狀構成，因此可使機構蓋下門板被捕獲的表面區(qū)域最小化，因此可減少門的結構中微粒和其它污染物的數(shù)量。鎖扣機構蓋的保持和導引功能可免除對門板上的引導和保持結構的需要，因此可使門的制造，組裝和拆卸簡便。此外，鎖扣機構蓋可具有多個孔以提供清洗下面區(qū)域的通道。
因此，本發(fā)明通常包括一晶片容器和門。門通常包括一個至少具有一鎖扣機構的門板。鎖扣機構具有至少一個可滑動的鎖定臂。一鎖扣機構蓋設置在鎖扣機構上，蓋包括一基本上覆蓋鎖扣機構的面板部和一與鎖扣機構對置的內表面。一對間隔的引導部從面板部的內表面伸出并與鎖定臂接近。鎖定臂縱向可滑動地設置在引導部之間，其恰當?shù)鼗瑒訉б投ㄎ绘i定臂。
本發(fā)明的一個目的和優(yōu)勢是提供一個對鎖扣機構部件進行保護的鎖扣機構蓋。
本發(fā)明的另一目的和優(yōu)勢是一個可保持和導引鎖扣機構部件的鎖扣機構蓋。
本發(fā)明的又一目的和優(yōu)勢是一個當蓋保持在一定位置時可對蓋下的區(qū)域進行清洗和干燥的鎖扣機構蓋。
本發(fā)明的又一目的和優(yōu)勢是提供一個鎖扣機構蓋，其上具有開口從而形成一個開口機構蓋，該蓋可改善位于機構蓋下的門部分的清洗能力。
本發(fā)明的附加目的、優(yōu)點和新穎特征部分地將在隨后的描述中被闡明，另一部分對于本領域技術人員來說在研讀了隨后的描述后將變得顯而易見，或者可通過本發(fā)明的實踐而被教導。本發(fā)明的目的和優(yōu)點可通過附屬權利要求所特別闡明的裝置和裝置的結合方式來實現(xiàn)并獲得。
附圖簡介

圖1為一晶片容器及門的透視圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明的一晶片容器的門的放大透視圖；圖3為從外部觀察的根據(jù)本發(fā)明的鎖扣機構蓋的透視圖，及；圖4為從內部觀察的根據(jù)本發(fā)明的鎖扣機構蓋的透視圖；圖5為從外部觀察的根據(jù)本發(fā)明進一步實施例的鎖扣機構蓋的透視圖，及；圖6為從內部觀察的如圖5所示的鎖扣機構蓋的透視圖；具體實施方式
附圖描述了本發(fā)明晶片容器的實施例，以及晶片容器的特征和部件。任何前部和后部，右部和左部，頂部和底部，上部和下部，以及水平和垂直的標記是為了方便地進行描述，不是為了在任何一個位置或者特殊的方向上對本發(fā)明或者發(fā)明的部件進行限制。在附圖中用于說明的任何尺寸以及該說明可以在一個可能的設計中進行變化并且本發(fā)明的一個實施例的用途不會偏離本發(fā)明的范圍。
首先參照圖1，一晶片容器10被固定在自動處理設備12上。晶片容器10包括一封閉部14，由聚碳酸酯塑料制成，具有一頂部16，一底部18，一對對置的側部20、22以及一背部24。門26通過組裝到門的凹部30中實現(xiàn)對封閉部14的開口前部28的封閉而完成封閉。封閉部14內部設置有支撐半導體晶片(圖中未示出)的晶片支撐件32。一活動連接34固定在封閉件底部18的外表面上以在容器使用的過程中方便容器的自動操作并用于提供一個在操作過程中定位腔室中晶片位置的參考數(shù)據(jù)。一機器提升凸緣36被固定在封閉件頂部16的外表面上并可為容器10在使用期間提供便利地自動處理和運輸。
參照附圖2，根據(jù)本發(fā)明的晶片承載器的門26被描述。門26通常包括一門板38，鎖扣機構40、42，鎖扣機構蓋44、46。圖2為參考的目的也指示出了以應用于晶片承載器門26的相關的x-y-z方向。于此任何提及的x軸方向、y軸方向、z軸方向組件的運轉或約束，或繞x軸、y軸或z軸的旋轉，都是相對于這些坐標軸。y軸定位為容器10的門26的頂端到底部的導向，x軸定位為容器10的門26的從側面到側面的導向并和y軸方向垂直，z軸定位為垂直于由安裝在容器10上的門26形成的平面并同時與x軸和y軸方向垂直。
門板38可為適合于形成晶片容器的任何材料所形成，比如聚碳酸酯塑料，并通常包括一形成門外表面50的平面體部分48。門板38可提供凹口52、54以接受鎖扣機構40、42。
鎖扣機構40、42中的每一個一般都包括一致動部56，和一個或多個橫向可滑動的鎖定臂58。盡管在此致動部56僅作為一可旋轉的凸輪部進行描述，然而任何其它合適的可把線型滑動傳遞到鎖定臂58的部件或機構都可以采用，包括如PCT申請WO01/04022A1所描述的齒條和齒輪結構。適合于本發(fā)明的進一步詳細的凸輪操作的鎖扣機構的描述見共同未決的美國專利申請10/307894，10/317023和10/318374，每一申請也為本申請的所有人所擁有，而其內容作為參考被全部引入到本文中。
在具體實施例的描述中，每一個鎖扣機構58都具有一與凸輪部64的外周62在凸輪部分66上嚙合的凸輪從動件60。每一鎖定臂58都有一設置在凸輪從動件60的相對末端的鎖扣部分68。當一鑰匙(未示出)插入鎖槽70并轉動時，凸輪從動件60沿著凸輪部分66滑動。由于凸輪部64的形狀，鎖定臂58在y軸上的徑向運動轉化成通過鎖扣開口72伸展和收縮鎖扣部分68。鎖扣部分68被晶片容器10的鎖扣容器座74所容納，可使門26被固定在一定位置。
現(xiàn)在參照圖2-4，將介紹根據(jù)本發(fā)明的鎖扣機構蓋44的一個實施例。盡管，為了簡明，下面的描述僅涉及鎖扣機構蓋44，然而也可假想將所描述應用于如圖2所示的任何一個鎖扣機構蓋44、46。圖3描述了從門26的外部觀察的鎖扣機構蓋44，圖4描述了從門26的內部觀察的鎖扣機構蓋44。鎖扣機構蓋44一般包括一面板部76和一凸向引導部78。機構蓋44也可包括一使蓋44固定在門板38上的邊框80。鑰匙口82可提供一可使鑰匙插入的鎖槽70。
如上所述，面板部76和蓋、鎖扣機構40基本上是同延的。凸向引導部78，這里描述的是以肋84的型式，向下延伸以接近鎖定臂58。盡管這里是作為肋84描述，可以容易理解的是，根據(jù)本發(fā)明的引導部78可以具有其它多種形式，包括多個凸向柱或其它結構。每一凸向引導部78都可具有一個或多個承載面86以與鎖定臂58滑動接觸。這些承載面86用于導引和定位鎖定臂58，如同在x軸方向上的對鎖定臂58的橫向移動的限制。面板部76的內表面88面對鎖定臂58并同樣具有一與鎖定臂58接觸的可滑動部分。因此，面板部76適合于保持和約束鎖定臂58在z軸方向上的運動。凸向引導部78和面板76的內表面88為每一鎖定臂58限定一狹槽90。
面板部76包括覆蓋鎖扣機構40的致動部56的一中心部分92。中心部分92具有一面對鎖扣機構40的致動部56的內表面94，并包括一凸輪部64。軸承部件96可與凸輪部64滑動接觸，保持凸輪部64在一定位置上并阻止z軸方向的移動。在中心部分92的外周具有一向下凸向肋98以形成一致動封閉機構100。該致動封閉機構100，和狹槽90形成鎖扣機構40的一個基本上完全鎖定封閉件104。該鎖定封閉件104基本上與鎖扣機構40的形狀相適配。
當然，應該理解的是，鎖扣機構40可以采用多種可選擇的形式和構造，包括如上所述的各種類型的致動機構，以及單個的或任何其它數(shù)目的鎖定臂。本發(fā)明的鎖扣機構蓋也可應用于任何這樣的可選擇結構中。
再次參照附圖2-4，邊框80可使機構蓋44固定到門板38上。在本發(fā)明的另一方面，邊框80和鎖定封閉104限定了多個孔106。孔106為清洗被鎖扣機構蓋44覆蓋的門板38的幾乎所有區(qū)域而提供通道，即，鎖扣機構40自身。具有孔106或沒有邊框80，鎖扣機構蓋44具有一開口結構(architecture)。該開口結構設計為向上打開鎖扣封閉區(qū)域并可為容易清洗和干燥位于鎖扣機構蓋44下的門26部分而提供通道。優(yōu)選地孔106具有一聚集區(qū)域，該聚集區(qū)域中的至少絕大部分位于鎖扣機構蓋44下面，基本上沒有布置在鎖扣機構40的方向上。在一個優(yōu)選實施例中孔至少具有2平方英尺的面積。
參照圖2，4，和5，鎖扣機構蓋44的另一個實施例被披露。在該實施例中，一鎖扣封閉部108基本上與適配的鎖扣機構40同向延伸。鎖扣封閉部108被邊框80和凹陷部110所限定。凹陷部110具有一內表面112，當鎖扣機構蓋44被固定在門板38上時，該內表面112比鎖扣封閉部108的內表面114設置的更靠近門板38。值得注意的是，在該實施例中凹陷部110由剛性材料制成，并且其上不具有孔。如上所述的，肋84可作為導向和保持鎖扣機構組件，如同先前的描述。作為可選擇的，凹陷部110可充分凹陷以使鎖扣封閉部108的側面116的內表面可被定位以導引和橫向保持鎖定臂58。
盡管上面的描述包含了許多具體實施例，這些實施例不應該構成為對本發(fā)明范圍的限制，而僅僅提供了本發(fā)明目前的一些優(yōu)選實施例的解釋。因此，本發(fā)明的范圍應該由所附的權利要求及其法定的等價物來確定，而不是由給出的例子來確定。
權利要求
1.一種晶片容器，包括一個封閉部，該封閉部設置有至少一個頂部，一底部，一對對置的側部，一背部，一開口的前部，和一用于封閉該開口前部的門，所述門包括一門板；至少一個設置在所述門板上的鎖扣機構，所述鎖扣機構包括一致動部和至少一可操作地連接在該鎖扣機構上的可縱向滑動的細長鎖定臂部分；以及一個設置在所述至少一鎖扣機構上的鎖扣機構蓋，所述鎖扣機構蓋包括一基本上覆蓋所述鎖扣機構的面板部并且具有一個面對所述鎖扣機構的內表面，所述鎖扣機構蓋還包括一對間隔開引導部，該引導部從接近所述至少一鎖定臂部分的所述內表面上凸出，所述至少一細長鎖定臂部分縱向可滑動地設置在所述引導部之間，其中所述引導部適于滑動地導引并定位所述鎖定臂部分。
2.根據(jù)權利要求1的晶片容器，其中所述鎖定臂部分與所述面板部的至少一部分滑動接觸。
3.根據(jù)權利要求1的晶片容器，其中鎖定臂部分與所述每一個向內凸出的引導部的至少一部分滑動接觸。
4.根據(jù)權利要求1的晶片容器，其中所述鎖扣機構蓋基本上與所述鎖扣機構同向延伸。
5.根據(jù)權利要求1的晶片容器，其中所述門板具有一帶有周邊的凹陷部，所述鎖扣機構被設置在所述凹陷部中，所述鎖扣機構蓋進一步包括一適于在所述周邊上把所述鎖扣機構蓋固定到所述門板上的框架部。
6.根據(jù)權利要求5的晶片容器，其中所述框架部和所述面板部限定多個孔，所述孔可提供到所述門板和所述鎖扣機構的清洗通道。
7.一種晶片容器，包括一個封閉部，該封閉部設置有至少一個頂部，一底部，一對對置的側部，一背部，一開口的前部，和一用于封閉開口前部的門，所述門包括一門板；至少一設置在所述門板上的第一鎖扣機構，所述鎖扣機構包括一可旋轉的凸輪和一對可操作地連接到所述旋轉凸輪上的縱向可滑動的鎖定臂；及一覆蓋所述第一鎖扣機構的鎖扣機構蓋，所述鎖扣機構蓋包括一面板部和多個凸出的導向肋，所述導向肋被設置以限定一對用于接受所述鎖定臂的狹槽，所述一對鎖定臂中的每一個可滑動地設置在所述狹槽的一個中。
8.根據(jù)權利要求7的晶片容器，其中所述鎖扣機構蓋基本上與所述鎖扣機構同向延伸。
9.根據(jù)權利要求7的晶片容器，其中所述每個鎖定臂部分與所述面板部的至少一部分可滑動接觸。
10.根據(jù)權利要求7的晶片容器，其中每個所述鎖定部與每個導向肋的至少一部分滑動接觸，該導向肋限定了鎖定臂設置的通道。
11.根據(jù)權利要求7的晶片容器，其中所述門板具有一帶有周邊的凹陷部，所述鎖扣機構被設置在所述凹陷部中，所述鎖扣機構蓋進一步包括一適于在所述周邊上把所述鎖扣機構蓋固定到所述門板上的框架部。
12.根據(jù)權利要求11的晶片容器，其中所述框架部和所述面板部限定多個孔，所述孔可提供到所述門板和所述鎖扣機構的清洗通道。
13.一種晶片容器，包括一個封閉部，該封閉部設置有至少一個頂部，一底部，一對對置的側部，一背部，一開口的前部，和一用于封閉開口前部的門，所述門包括一門板；至少一設置在所述門板上的鎖扣機構，所述至少一個鎖扣機構包括一細長的、可縱向滑動的鎖定臂；及一覆蓋所述至少一個鎖扣機構的鎖扣機構蓋，所述鎖扣機構蓋具有可導引和橫向約束所述鎖定臂的裝置。
14.根據(jù)權利要求13的晶片容器，其中所述鎖扣機構蓋基本上與所述鎖扣機構同向延伸。
15.根據(jù)權利要求13的晶片容器，其中所述鎖扣機構蓋包括一覆蓋所述鎖扣機構的面板部。
16.根據(jù)權利要求15的晶片容器，其中所述可導引和橫向約束所述鎖定臂的裝置包括一對導向部分，所述導向部分從橫向接近所述鎖定臂的所述鎖扣機構蓋上凸出，所述鎖定臂可滑動地設置在所述引導部之間。
17.根據(jù)權利要求15的晶片容器，其中所述鎖扣機構與所述面板部的至少一部分可滑動接觸。
18.根據(jù)權利要求15的晶片容器，其中所述門板具有一帶有周邊的凹陷部，所述鎖扣機構被設置在所述凹陷部中，所述鎖扣機構蓋還包括一適于在所述周邊上把所述鎖扣機構蓋固定到所述門板上的框架部。
19.根據(jù)權利要求15的晶片容器，所述框架部和所述面板部限定多個孔，所述孔可提供到所述門板和所述鎖扣機構的清洗通道。
20.一種晶片容器，包括一個封閉部，該封閉部設置有至少一個頂部，一底部，一對對置的側部，一背部，一開口的前部，和一用于封閉開口前部的門，所述門包括一門板；至少一設置在所述門板上的鎖扣機構；及一個鎖扣機構蓋，該鎖扣機構蓋包括一基本上與至少一個鎖扣機構同向延伸的并封閉所述至少一個鎖扣機構的鎖定封閉部，所述鎖扣機構蓋還包括一可連接所述鎖扣機構蓋到所述門板上的邊框部，所述鎖定封閉部和所述邊框部限定多個孔，所述孔可提供到所述門板和所述鎖扣機構的清洗通道。
21.一種晶片容器，包括一個封閉部，該封閉部設置有至少一個頂部，一底部，一對對置的側部，一背部，一開口的前部，和一用于封閉開口前部的門，所述門包括一門板；至少一設置在所述門板上的鎖扣機構；以及一個鎖扣機構蓋，該鎖扣機構蓋包括一基本上與至少一鎖扣機構同向延伸的并封閉所述至少一個鎖扣機構的鎖定封閉部，所述鎖扣機構蓋還包括一可連接所述鎖扣機構蓋到所述門板上的邊框部，所述鎖定封閉部和所述邊框部限定多個凹陷區(qū)域，這些凹陷區(qū)域比鎖定封閉部更靠近門板，因此限定了一個與鎖扣機構蓋相適配的形狀。
全文摘要
一種晶片容器及改進的門。晶片容器的門具有一適于保持和導引鎖扣機構組件的鎖扣機構蓋。該鎖扣機構蓋具有與鎖扣機構的形狀相適配的形狀并具有孔，從而產(chǎn)生一個帶有開口結構的蓋。開口結構具有可使機構蓋下面的區(qū)域更容易得到清洗的優(yōu)點。
文檔編號B65D85/86GK1615256SQ03802208
公開日2005年5月11日 申請日期2003年1月16日 優(yōu)先權日2002年1月16日
發(fā)明者S·埃貢 申請人:誠實公司