專(zhuān)利名稱(chēng)：防靜電光罩運(yùn)輸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體運(yùn)輸設(shè)備，尤其涉及一種用于潔凈室的移動(dòng)式防靜電光罩運(yùn)輸裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體的制造環(huán)境有了更高的要求，尤其在FAB(芯片制造代工廠(chǎng))中，靜電的存在對(duì)設(shè)備及制品的影響較為嚴(yán)重，對(duì)有些部件，如光罩等會(huì)造成致命的損壞。目前，考慮到FAB的實(shí)際情況以及成本的問(wèn)題，在FAB中只對(duì)有需求且昂貴的設(shè)備安裝去離子裝置，在沒(méi)有安裝去離子裝置的區(qū)域，仍然會(huì)對(duì)經(jīng)過(guò)的光罩產(chǎn)生損傷?！0004]因此，如何提供一種能夠在光罩的運(yùn)輸途中對(duì)光罩進(jìn)行防靜電保護(hù)的防靜電光罩運(yùn)輸裝置是本領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種防靜電光罩運(yùn)輸裝置，以解決光罩在運(yùn)輸過(guò)程中經(jīng)過(guò)沒(méi)有去靜電環(huán)境而被靜電損壞的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體、光罩放置盒、擋板、電源接口、指示燈以及去離子裝置，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)，所述去離子風(fēng)機(jī)設(shè)于所述車(chē)體的頂部，所述光罩放置盒設(shè)于所述車(chē)體內(nèi)部，所述擋板設(shè)于所述光罩放置盒外側(cè)并與所述車(chē)體連接。較佳地，所述去離子風(fēng)機(jī)包括風(fēng)扇、電離器以及高壓發(fā)生器，所述高壓發(fā)生器為所述電離器提供高壓電源，所述風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的氣流穿經(jīng)所述電離器。較佳地，所述光罩放置盒能夠相對(duì)于所述車(chē)體滑動(dòng)，所述擋板下端與所述車(chē)體鉸接，上端與所述車(chē)體可拆卸式連接。較佳地，所述車(chē)體內(nèi)部含有導(dǎo)軌，所述光罩放置盒與所述導(dǎo)軌相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有突起的滑塊，所述滑塊能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)。較佳地，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置含有交流供電系統(tǒng)，所述交流供電系統(tǒng)包括整流電路、斬波電路以及逆變電路，所述電源接口連接所述整流電路的輸入端，所述整流電路的輸出端連接所述斬波電路的輸入端，所述斬波電路的輸出端連接所述逆變電路的輸入端，所述逆變電路的輸出端連接所述去離子風(fēng)機(jī)。較佳地，所述交流供電系統(tǒng)還包括旁路，所述旁路連接于所述電源接口和所述去離子風(fēng)機(jī)的輸入端之間。較佳地，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置還含有內(nèi)部供電系統(tǒng)，所述內(nèi)部供電系統(tǒng)包括充電電路以及蓄電池，所述充電電路的輸出端連接所述蓄電池，為所述蓄電池充電，所述蓄電池的輸出端連接至所述斬波電路的輸入端。較佳地，所述交流供電系統(tǒng)和內(nèi)部供電系統(tǒng)由交流切換開(kāi)關(guān)自動(dòng)切換。[0014]較佳地，所述車(chē)體采用表面經(jīng)過(guò)防靜電噴塑處理的不銹鋼材料。較佳地，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置的所有材料均采用防靜電材料，所述車(chē)體底部設(shè)有防震部件，所述車(chē)輪采用防靜電靜音輪。本實(shí)用新型提供的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體、光罩放置盒、擋板、電源接口、指示燈以及去離子裝置，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)，所述去離子風(fēng)機(jī)設(shè)于所述車(chē)體的頂部，所述光罩放置盒設(shè)于所述車(chē)體內(nèi)部，所述擋板設(shè)于所述光罩放置盒外側(cè)并與所述車(chē)體連接。本實(shí)用新型采用吹風(fēng)式去離子方法，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，離子發(fā)生量大，除靜電速度快，實(shí)現(xiàn)裝置內(nèi)部全方位去離子效果，以確保在運(yùn)輸光罩經(jīng)過(guò)沒(méi)有進(jìn)行靜電防護(hù)的區(qū)域時(shí)光罩不被靜電損壞。

圖I為本實(shí)用新型一實(shí)施例的防靜電光罩運(yùn)輸裝置結(jié)構(gòu)示意圖；·[0018]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的去離子風(fēng)機(jī)結(jié)構(gòu)圖；圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的電路系統(tǒng)示意圖；圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例的整流電路電路圖；圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例的逆變電路電路圖；圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例的充電電路電路圖；圖中I-車(chē)體、2-光罩放置盒、3-擋板、4-電源接口、5-指示燈、6-去離子風(fēng)機(jī)、60-風(fēng)扇、61-電離器、62-高壓發(fā)生器、63-離子風(fēng)。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)用新型提供一種防靜電光罩運(yùn)輸裝置，如圖I所示，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體I、光罩放置盒2、擋板3、電源接口 4、指示燈5以及去離子裝置，具體地，所述指示燈5用于故障和工作指示，方便操作人員查看工作狀態(tài)，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)6，所述去離子風(fēng)機(jī)6設(shè)于所述車(chē)體I的頂部，所述光罩放置盒2設(shè)于所述車(chē)體I內(nèi)部，所述擋板3設(shè)于所述光罩放置盒2外側(cè)并與所述車(chē)體I連接。本實(shí)用新型利用去離子風(fēng)機(jī)6作為去離子裝置，這種吹風(fēng)式去離子方法，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，離子發(fā)生量大，除靜電速度快，離子平衡度好，以確保裝置內(nèi)部全方位去離子效果。具體地，如圖2所示，所述去離子風(fēng)機(jī)6包括風(fēng)扇60、電離器61以及高壓發(fā)生器62，所述高壓發(fā)生器62為所述電離器61提供高壓電源，所述風(fēng)扇60旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的氣流(圖中實(shí)線(xiàn)箭頭方向?yàn)轱L(fēng)扇旋轉(zhuǎn)方向，虛線(xiàn)箭頭方向?yàn)闅饬鞣较?穿經(jīng)所述電離器61，具體地，所述氣流經(jīng)過(guò)所述電離器后變?yōu)殡x子風(fēng)63，所述離子風(fēng)63用于消除靜電。較佳地，如圖I所示，所述光罩放置盒2能夠相對(duì)于所述車(chē)體I滑動(dòng)，所述擋板3下端與所述車(chē)體I鉸接，上端與所述車(chē)體I可拆卸式連接，具體地，所述車(chē)體I內(nèi)部含有導(dǎo)軌(圖中未示出)，所述光罩放置盒2與所述導(dǎo)軌相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有突起的滑塊20，所述滑塊20能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述擋板3用于防止所述光罩放置盒2滑出，同時(shí)密封內(nèi)部環(huán)境。這樣，所述光罩放置盒2采用抽屜式設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)捷，存儲(chǔ)量高，另外，抽屜式設(shè)計(jì)能夠多層疊加，具有良好的擴(kuò)展性。較佳地，如圖3所示，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置含有交流供電系統(tǒng)，所述交流供電系統(tǒng)包括整流電路、斬波電路以及逆變電路，所述電源接口連接所述整流電路的輸入端，所述整流電路的輸出端連接所述斬波電路的輸入端，所述斬波電路的輸出端連接所述逆變電路的輸入端，所述逆變電路的輸出端連接所述去離子風(fēng)機(jī)。具體地，所述整流電路電路圖如圖4所示，將交流220V或380V電源通過(guò)6個(gè)半導(dǎo)體IGBT (絕緣柵雙極性晶體管,英文全稱(chēng)Insulated Gate Bipolar Transistor)器件,組成單相或三相全波整理全控橋整流電路，將交流220V或380V經(jīng)過(guò)全控橋轉(zhuǎn)換成直流電，再將整流后的直流電壓進(jìn)行斬波、逆變，所述逆變電路電路圖如圖5所示，與所述整流電路相對(duì)應(yīng)，將低電壓變?yōu)楦唠妷?，把直流電變成交流電，最終轉(zhuǎn)換為去離子風(fēng)機(jī)6的可使用電源。較佳地，如圖3所示，所述交流供電系統(tǒng)還包括旁路，所述旁路連接至所述電源接口和所述去離子風(fēng)機(jī)的輸入端之間，日常檢修時(shí)，可以通過(guò)旁路來(lái)給裝置供電?！ぽ^佳地，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置還含有內(nèi)部供電系統(tǒng)，所述內(nèi)部供電系統(tǒng)包括充電電路以及蓄電池，所述充電電路的輸出端連接所述蓄電池，為所述蓄電池充電，所述蓄電池的輸出端連接至所述斬波電路的輸入端。具體地，所述充電電路電路圖如圖6所示，當(dāng)蓄電池兩端的電壓和充電器兩端的電壓相等時(shí)，即兩端電位差為O時(shí)，充電器停止給蓄電池充電，當(dāng)蓄電池兩端電壓低于充電器兩端電壓時(shí)，充電器持續(xù)給蓄電池兩端充電，直到兩端電壓相等。這樣就能防止過(guò)充電或是欠充電的問(wèn)題，起到充電保護(hù)的作用。另外，當(dāng)裝置在充電過(guò)程中，如果充電電流過(guò)大，裝置中的逆變電路中的過(guò)電流檢測(cè)電路，會(huì)輸出信號(hào)，斷開(kāi)充電電路和裝置的整個(gè)系統(tǒng)的供電，起到了過(guò)流保護(hù)，減少電源對(duì)裝置的浪涌沖擊。較佳地，所述交流供電系統(tǒng)和內(nèi)部供電系統(tǒng)由交流切換開(kāi)關(guān)自動(dòng)切換，具體地，當(dāng)系統(tǒng)交流供電時(shí)，交流切換開(kāi)關(guān)自動(dòng)閉合，裝置供電自動(dòng)切換為交流供電系統(tǒng)供電，為去離子風(fēng)機(jī)6提供電源；當(dāng)整個(gè)裝置移動(dòng)時(shí)，需斷開(kāi)交流電源，裝置自動(dòng)切換為蓄電池供電，經(jīng)過(guò)斬波、逆變，實(shí)現(xiàn)給去離子風(fēng)機(jī)6供電。較佳地，所述車(chē)體采用表面經(jīng)過(guò)防靜電噴塑處理的不銹鋼材料。這樣既保證了裝置的結(jié)構(gòu)堅(jiān)固牢靠，運(yùn)輸光罩途中不受到擠壓變形，同時(shí)表面經(jīng)過(guò)防靜電噴塑處理，使小車(chē)美觀(guān)，并具有防塵防靜電作用。較佳地，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置的所有材料均采用防靜電材料，所述車(chē)體底部設(shè)有防震部件，所述車(chē)輪采用防靜電靜音輪，這樣，能夠很好的起到緩沖避震作用，保護(hù)光罩的安全。綜上所述，本實(shí)用新型提供的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體I、光罩放置盒2、擋板3、電源接口 4、指示燈5以及去離子裝置，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)6，所述去離子風(fēng)機(jī)6設(shè)于所述車(chē)體I的頂部，所述光罩放置盒2設(shè)于所述車(chē)體I內(nèi)部，所述擋板3設(shè)于所述光罩放置盒2外側(cè)并與所述車(chē)體I連接。本實(shí)用新型采用吹風(fēng)式去離子方法，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，離子發(fā)生量大，除靜電速度快，實(shí)現(xiàn)裝置內(nèi)部全方位去離子效果，以確保在運(yùn)輸光罩經(jīng)過(guò)沒(méi)有進(jìn)行靜電防護(hù)的區(qū)域時(shí)光罩不被靜電損壞。另外，本實(shí)用新型不僅適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中，對(duì)于其它行業(yè)中需要移動(dòng)式的去靜電裝置也同樣適用。[0037]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)?！?br> 權(quán)利要求1.一種防靜電光罩運(yùn)輸裝置，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體、光罩放置盒、擋板、電源接口、指示燈以及去離子裝置，其特征在于，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)，所述去離子風(fēng)機(jī)設(shè)于所述車(chē)體的頂部，所述光罩放置盒設(shè)于所述車(chē)體內(nèi)部，所述擋板設(shè)于所述光罩放置盒外側(cè)并與所述車(chē)體連接。
2.如權(quán)利要求I所述的防靜電 光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述去離子風(fēng)機(jī)包括風(fēng)扇、電離器以及高壓發(fā)生器，所述高壓發(fā)生器為所述電離器提供高壓電源，所述風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的氣流穿經(jīng)所述電離器。
3.如權(quán)利要求I所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述光罩放置盒能夠相對(duì)于所述車(chē)體滑動(dòng)，所述擋板下端與所述車(chē)體鉸接，上端與所述車(chē)體可拆卸式連接。
4.如權(quán)利要求3所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述車(chē)體內(nèi)部含有導(dǎo)軌，所述光罩放置盒與所述導(dǎo)軌相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有突起的滑塊，所述滑塊能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)。
5.如權(quán)利要求I所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置含有交流供電系統(tǒng)，所述交流供電系統(tǒng)包括整流電路、斬波電路以及逆變電路，所述電源接口連接所述整流電路的輸入端，所述整流電路的輸出端連接所述斬波電路的輸入端，所述斬波電路的輸出端連接所述逆變電路的輸入端，所述逆變電路的輸出端連接所述去離子風(fēng)機(jī)。
6.如權(quán)利要求5所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述交流供電系統(tǒng)還包括旁路，所述旁路連接于所述電源接口和所述去離子風(fēng)機(jī)的輸入端之間。
7.如權(quán)利要求5所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置還含有內(nèi)部供電系統(tǒng)，所述內(nèi)部供電系統(tǒng)包括充電電路以及蓄電池，所述充電電路的輸出端連接所述蓄電池，為所述蓄電池充電，所述蓄電池的輸出端連接至所述斬波電路的輸入端。
8.如權(quán)利要求7所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述交流供電系統(tǒng)和內(nèi)部供電系統(tǒng)由交流切換開(kāi)關(guān)自動(dòng)切換。
9.如權(quán)利要求I所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述車(chē)體采用表面經(jīng)過(guò)防靜電噴塑處理的不銹鋼材料。
10.如權(quán)利要求I、任意一項(xiàng)所述的防靜電光罩運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述防靜電光罩運(yùn)輸裝置的所有材料均采用防靜電材料，所述車(chē)體底部設(shè)有防震部件，所述車(chē)輪采用防靜電靜音輪。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體運(yùn)輸設(shè)備，尤其涉及一種用于潔凈室的移動(dòng)式防靜電光罩運(yùn)輸裝置，包括帶有車(chē)輪及扶手的車(chē)體、光罩放置盒、擋板、電源接口、指示燈以及去離子裝置，所述去離子裝置采用若干去離子風(fēng)機(jī)，所述去離子風(fēng)機(jī)設(shè)于所述車(chē)體的頂部，所述光罩放置盒設(shè)于所述車(chē)體內(nèi)部，所述擋板設(shè)于所述光罩放置盒外側(cè)并與所述車(chē)體連接。本實(shí)用新型采用吹風(fēng)式去離子方法，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，離子發(fā)生量大，除靜電速度快，實(shí)現(xiàn)裝置內(nèi)部全方位去離子效果，以確保在運(yùn)輸光罩經(jīng)過(guò)沒(méi)有進(jìn)行靜電防護(hù)的區(qū)域時(shí)光罩不被靜電損壞。
文檔編號(hào)B62B3/00GK202758165SQ20122020013
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月4日
發(fā)明者倪立華, 許青峰, 楊立華, 李炯 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司