本申請(qǐng)是如下發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)：

申請(qǐng)?zhí)枺?01380048543.4；申請(qǐng)日：2013年9月17日；發(fā)明名稱：各向異性導(dǎo)電膜、各向異性導(dǎo)電膜的制造方法、連接體的制造方法及連接方法。

本發(fā)明涉及將電子部件各向異性導(dǎo)電連接的各向異性導(dǎo)電膜，特別涉及消除電子部件連接后的基板的翹曲并提高連接可靠性的各向異性導(dǎo)電膜、各向異性導(dǎo)電膜的制造方法、連接體的制造方法及連接方法。本申請(qǐng)以在日本于2012年9月18日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)?zhí)柼卦?012－203958及在日本于2013年9月13日申請(qǐng)的特愿2013－190904為基礎(chǔ)主張優(yōu)先權(quán)，通過(guò)參照這些申請(qǐng)，引用至本申請(qǐng)。

背景技術(shù)：

一直以來(lái)，作為電視機(jī)、pc監(jiān)視器、便攜電話、平板pc、便攜式游戲機(jī)或者車載用監(jiān)視器等的各種顯示單元，多采用液晶顯示裝置。近年來(lái)，在這樣的液晶顯示裝置中，出于微小間距化、輕薄型化等的觀點(diǎn)，采用將液晶驅(qū)動(dòng)用ic直接安裝于液晶顯示面板的基板上的所謂cog（chiponglass:玻璃覆晶）或?qū)⑿纬梢壕?qū)動(dòng)電路的柔性基板直接安裝于液晶顯示面板的基板上的所謂fog（filmonglass：玻璃覆膜）。

例如采用cog安裝方式的液晶顯示裝置100，如圖10所示，具有起到用于液晶顯示的主功能的液晶顯示面板104，該液晶顯示面板104具有由玻璃基板等構(gòu)成的互相對(duì)置的兩塊透明基板102、103。而且，液晶顯示面板104中，這兩透明基板102、103通過(guò)框狀的密封件105互相粘合，在由兩透明基板102、103及密封件105圍繞的空間內(nèi)設(shè)有封入液晶106的面板顯示部107。

透明基板102、103在互相對(duì)置的兩內(nèi)側(cè)表面，以互相交叉的方式形成有由ito（氧化銦錫）等構(gòu)成的條紋狀的一對(duì)透明電極108、109。而且，兩透明基板102、103利用這兩透明電極108、109的該交叉部位構(gòu)成作為液晶顯示的最小單位的像素。

兩透明基板102、103之中，一個(gè)透明基板103形成為平面尺寸大于另一個(gè)透明基板102，在該較大地形成的透明基板103的邊緣部103a，形成有透明電極109的端子部109a。另外，在兩透明電極108、109上，形成有實(shí)施既定摩擦處理的取向膜111、112，液晶分子的初始取向通過(guò)該取向膜111、112得以規(guī)定。而且，在兩透明基板108、109的外側(cè)，配置有一對(duì)偏振板118、119，通過(guò)這兩偏振板118、119，來(lái)自背光源等的光源120的透射光的振動(dòng)方向得以規(guī)定。

在端子部109a上，隔著各向異性導(dǎo)電膜114熱壓接有液晶驅(qū)動(dòng)用ic115。各向異性導(dǎo)電膜114向熱硬化型的粘合劑樹(shù)脂混入導(dǎo)電性粒子并作成膜狀，通過(guò)在兩個(gè)導(dǎo)體間加熱壓接而以導(dǎo)電粒子取得導(dǎo)體間的電導(dǎo)通，以粘合劑樹(shù)脂保持導(dǎo)體間的機(jī)械連接。液晶驅(qū)動(dòng)用ic115對(duì)于像素選擇性地施加液晶驅(qū)動(dòng)電壓，從而使液晶的取向局部變化，以能夠進(jìn)行既定液晶顯示。此外，作為構(gòu)成各向異性導(dǎo)電膜114的粘接劑，通常使用可靠性最高的熱硬化性粘接劑。

經(jīng)由這樣的各向異性導(dǎo)電膜114將液晶驅(qū)動(dòng)用ic115連接到端子部109a的情況下，首先，利用未圖示的預(yù)壓接單元將各向異性導(dǎo)電膜114預(yù)壓接在透明電極109的端子部109a上。接著，將液晶驅(qū)動(dòng)用ic115承載于各向異性導(dǎo)電膜114上后，如圖11所示通過(guò)熱壓接頭等的熱壓接單元121，將液晶驅(qū)動(dòng)用ic115與各向異性導(dǎo)電膜114一起向端子部109a側(cè)按壓，并且使熱壓接單元121發(fā)熱。通過(guò)該熱壓接單元121產(chǎn)生的熱，各向異性導(dǎo)電膜114引起熱硬化反應(yīng)，由此，液晶驅(qū)動(dòng)用ic115隔著各向異性導(dǎo)電膜114粘接在端子部109a上。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2003－195335號(hào)公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，由于最近顯示裝置的薄型/輕重量化的傾向，隨著液晶顯示裝置100自身的小型/輕重量化，玻璃基板等的透明基板102、103也要求薄型化。

在此，在對(duì)液晶顯示面板104所使用的透明基板103cog安裝液晶驅(qū)動(dòng)用ic115的情況下，由于透明基板103的邊緣部103a的安裝區(qū)域的窄小化、透明基板103的薄型化，容易發(fā)生熱加壓造成的透明基板103的翹曲。若在透明基板103發(fā)生翹曲，則在cog安裝區(qū)域周邊的液晶畫(huà)面會(huì)出現(xiàn)色不勻。

由于該透明基板103的翹曲是伴隨各向異性導(dǎo)電膜114的粘接劑成分的硬化收縮產(chǎn)生應(yīng)力而發(fā)生，所以也可以考慮通過(guò)向粘接劑成分中添加橡膠成分等的應(yīng)力緩沖劑來(lái)謀求降低翹曲的方法。然而，因?yàn)樘砑討?yīng)力緩沖劑，粘接劑成分的凝聚力會(huì)下降，有導(dǎo)致連接可靠性下降、導(dǎo)通電阻上升的擔(dān)憂。

另外，在通過(guò)粘接劑成分的種類或量、安裝條件的變更等來(lái)謀求降低翹曲的情況下，也會(huì)增添連接可靠性的維持、生產(chǎn)間隔時(shí)間的縮短、對(duì)液晶驅(qū)動(dòng)用ic115等的電子部件的熱沖擊的緩沖等各種要素，難以發(fā)現(xiàn)最佳的條件。

因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠在利用各向異性導(dǎo)電膜的電子部件的連接工序中容易謀求降低連接后的翹曲的各向異性導(dǎo)電膜、各向異性導(dǎo)電膜的制造方法、連接體的制造方法及連接方法。

用于解決課題的方案

為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的各向異性導(dǎo)電膜，包括：第1絕緣性粘接劑層；第2絕緣性粘接劑層；以及被上述第1絕緣性粘接劑層及上述第2絕緣性粘接劑層挾持并在絕緣性粘接劑中含有導(dǎo)電性粒子的含導(dǎo)電性粒子層，在上述含導(dǎo)電性粒子層與上述第1絕緣性粘接劑層之間含有氣泡，上述含導(dǎo)電性粒子層中，與上述第2絕緣性粘接劑層相接的、上述導(dǎo)電性粒子的下部的硬化度低于其他部位的硬化度。

另外，本發(fā)明所涉及的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，使導(dǎo)電性粒子排列在具有開(kāi)口的模具的上述開(kāi)口，對(duì)上述模具的排列上述導(dǎo)電性粒子的面，層壓光硬化型的粘接劑層被剝離基體材料支撐的粘接膜的上述粘接劑層；從上述剝離基體材料的上表面將上述粘接劑層加壓在上述模具，將上述粘接劑層壓入上述開(kāi)口；從上述模具剝離上述粘接膜，在上述粘接劑層的表面使上述導(dǎo)電性粒子從上述表面露出一部分并貼上，并且形成成型有與上述模具對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的含導(dǎo)電性粒子層；對(duì)上述含導(dǎo)電性粒子層的形成凹凸形狀的表面照射光，使上述表面硬化；對(duì)上述含導(dǎo)電性粒子層的上述表面層壓第1絕緣性粘接劑層，在上述含導(dǎo)電性粒子層與上述第1絕緣性粘接劑層之間含有氣泡；對(duì)上述含導(dǎo)電性粒子層的與上述表面相反側(cè)的背面層壓第2絕緣性粘接劑層。

另外，本發(fā)明所涉及的連接體的制造方法，是利用上述各向異性導(dǎo)電膜，使第1電子部件的端子和第2電子部件的端子各向異性導(dǎo)電連接的連接體的制造方法，其中，對(duì)上述第1電子部件預(yù)貼上述各向異性導(dǎo)電膜的上述第1絕緣性粘接劑層；在上述第2絕緣性粘接劑層上預(yù)搭載上述第2電子部件；從上述第2電子部件上以加熱按壓或光照射進(jìn)行接合。

另外，本發(fā)明所涉及的連接方法，是利用上述各向異性導(dǎo)電膜，使第1電子部件的端子和第2電子部件的端子各向異性導(dǎo)電連接的連接方法，其中，對(duì)上述第1電子部件預(yù)貼上述各向異性導(dǎo)電膜的上述第1絕緣性粘接劑層；在上述第2絕緣性粘接劑層上預(yù)搭載上述第2電子部件；從上述第2電子部件上以加熱按壓或光照射進(jìn)行接合。

發(fā)明效果

依據(jù)本發(fā)明，雖然各向異性導(dǎo)電膜隨著各層的粘接劑成分的硬化收縮而產(chǎn)生應(yīng)力，但因?yàn)樵诤瑢?dǎo)電性粒子層與第1絕緣性粘接劑層之間含有的氣泡的應(yīng)力緩沖作用而能夠抑制電子部件的翹曲。

附圖說(shuō)明

圖1是示出采用適用本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)實(shí)施方式的液晶顯示裝置的截面圖；

圖2是示出適用本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)實(shí)施方式的截面圖；

圖3是示出適用本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的其他實(shí)施方式的截面圖；

圖4是示出在開(kāi)口單層排列導(dǎo)電性粒子的金屬模具的截面圖；

圖5是示出對(duì)金屬模具層壓粘接劑層的狀態(tài)的截面圖；

圖6是示出被剝離基體材料支撐的含導(dǎo)電性粒子層的截面圖；

圖7是示出對(duì)含導(dǎo)電性粒子層層壓第1絕緣性粘接劑層的狀態(tài)的截面圖；

圖8是示出采用適用本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)實(shí)施方式的電子部件的連接狀態(tài)的截面圖；

圖9是示出在開(kāi)口排列導(dǎo)電性粒子的金屬模具的平面圖；

圖10是示出現(xiàn)有的液晶顯示面板的截面圖；

圖11是示出現(xiàn)有的液晶顯示面板的cog安裝工序的截面圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，以適用于液晶顯示裝置的制造的情況為例，對(duì)本發(fā)明所涉及的各向異性導(dǎo)電膜、各向異性導(dǎo)電膜的制造方法、連接體的制造方法及連接方法的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，本發(fā)明并不僅限于以下的實(shí)施方式，顯然在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。此外，附圖是示意性的，各尺寸的比例等有不同于現(xiàn)實(shí)的情況。具體尺寸等應(yīng)該參考以下的說(shuō)明進(jìn)行判斷。此外，應(yīng)當(dāng)理解到附圖相互之間也包含彼此尺寸的關(guān)系或比例不同的部分。

[液晶顯示裝置]

利用本發(fā)明所涉及的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)實(shí)施方式來(lái)制造的連接體即液晶顯示裝置中，液晶驅(qū)動(dòng)用ic通過(guò)所謂cog（chiponglass）安裝直接安裝在液晶顯示面板的基板上，另外，形成液晶驅(qū)動(dòng)電路的柔性基板通過(guò)所謂fog（filmonglass）安裝直接安裝在液晶顯示面板的基板上。

如圖1所示，液晶顯示裝置具有起到用于液晶顯示的主功能的液晶顯示面板10。該液晶顯示面板10與上述液晶顯示面板104同樣，對(duì)置配置由玻璃基板等構(gòu)成的兩塊透明基板11、12，這些透明基板11、12通過(guò)框狀的密封件13來(lái)互相貼合。而且，液晶顯示面板10通過(guò)向由透明基板11、12圍繞的空間內(nèi)封入液晶14來(lái)形成面板顯示部15。

透明基板11、12在相互對(duì)置的兩內(nèi)側(cè)表面以互相交叉的方式形成有由ito（氧化銦錫）等構(gòu)成的條紋狀的一對(duì)透明電極16、17。并且，兩透明電極16、17通過(guò)這兩透明電極16、17的該交叉部位構(gòu)成作為液晶顯示的最小單元的像素。

兩透明基板11、12中，一個(gè)透明基板12形成為平面尺寸比另一透明基板11大，在該形成為較大的透明基板12的邊緣部12a，設(shè)有安裝液晶驅(qū)動(dòng)用ic等的電子部件18的cog安裝部20，此外在cog安裝部20的外側(cè)附近，設(shè)有安裝形成有液晶驅(qū)動(dòng)電路的柔性基板21的fog安裝部22。

再者，液晶驅(qū)動(dòng)用ic或液晶驅(qū)動(dòng)電路，通過(guò)對(duì)像素選擇性地施加液晶驅(qū)動(dòng)電壓，從而局部地改變液晶的取向，以能夠進(jìn)行既定液晶顯示。

在各安裝部20、22形成有透明電極17的端子部17a。在端子部17a上，隔著各向異性導(dǎo)電膜23熱壓接有液晶驅(qū)動(dòng)用ic等的電子部件18、柔性基板21。各向異性導(dǎo)電膜23含有導(dǎo)電性粒子，經(jīng)由導(dǎo)電性粒子電連接電子部件18、柔性基板21的電極與形成在透明基板12的邊緣部12a的透明電極17的端子部17a。該各向異性導(dǎo)電膜23為熱硬化型粘接劑，作為一個(gè)例子，通過(guò)利用后述的加熱按壓頭3進(jìn)行熱壓接，從而在導(dǎo)電性粒子壓壞的狀態(tài)下硬化，使透明基板12與電子部件18、柔性基板21連接。

另外，在兩透明電極16、17上，形成有實(shí)施了既定摩擦處理的取向膜24，以通過(guò)該取向膜24能夠規(guī)定液晶分子的初始取向。進(jìn)而，在兩透明基板11、12的外側(cè)，配置有一對(duì)偏振板25、26，以通過(guò)這兩偏振板25、26能夠規(guī)定來(lái)自背光源等的光源（未圖示）的透射光的振動(dòng)方向。

[各向異性導(dǎo)電膜]

接著，對(duì)各向異性導(dǎo)電膜23進(jìn)行說(shuō)明。如圖2所示，各向異性導(dǎo)電膜23包括：第1絕緣性粘接劑層30；第2絕緣性粘接劑層31；以及被第1絕緣性粘接劑層30及第2絕緣性粘接劑層31挾持并在絕緣性粘接劑33中含有導(dǎo)電性粒子32的含導(dǎo)電性粒子層34。

[第1、第2絕緣性粘接劑層]

第1、第2絕緣性粘接劑層30、31均為熱硬化性的粘接劑，含有膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂和硬化劑的有機(jī)樹(shù)脂粘合劑被剝離基體材料35、36支撐而成。另外，第1、第2絕緣性粘接劑層30、31既可為同時(shí)包含熱硬化性和光硬化性的粘接劑，也可以只為光硬化性的粘接劑。在該情況下，膜形成樹(shù)脂等也能使用公知的材料。對(duì)于剝離基體材料35、36也同樣。

膜形成樹(shù)脂相當(dāng)于平均分子量為10000以上的高分子量樹(shù)脂，出于膜形成性的觀點(diǎn)，優(yōu)選為10000～80000左右的平均分子量。作為膜形成樹(shù)脂，可舉出環(huán)氧樹(shù)脂、苯氧基樹(shù)脂、聚酯尿烷樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、丙烯樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、丁縮醛樹(shù)脂等各種樹(shù)脂，這些可以單獨(dú)使用，也可以組合2種以上而使用。在這些之中，出于膜形成狀態(tài)、連接可靠性等的觀點(diǎn)優(yōu)選使用苯氧基樹(shù)脂。

作為熱硬化性樹(shù)脂，無(wú)特別限定，可舉出例如市售的環(huán)氧樹(shù)脂或常溫下具有流動(dòng)性的液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯樹(shù)脂等。

作為環(huán)氧樹(shù)脂，可以舉例雙酚a型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚f型環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂或橡膠、尿烷等的各種改性環(huán)氧樹(shù)脂等，這些既可以單獨(dú)也可以混合2種以上而使用。另外，作為液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，能夠使用雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂、萘型環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、芪型環(huán)氧樹(shù)脂、三酚甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛芳烷基型環(huán)氧樹(shù)脂、萘酚型環(huán)氧樹(shù)脂、二聚環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹(shù)脂、三苯基甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂等，這些既可以單獨(dú)也可以混合2種以上而使用。

作為丙烯樹(shù)脂，無(wú)特別限制，能夠根據(jù)目的適宜選擇丙烯化合物、液態(tài)丙烯酸酯等。能夠舉出例如丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸異丁酯、環(huán)氧丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸二乙二醇酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二羥甲基三環(huán)葵烷二丙烯酸酯、1,4－丁二醇四丙烯酸酯、2－羥基－1,3－二丙烯酰氧基丙烷、2,2－雙［4－（丙烯酰氧基甲氧基）苯基］丙烷、2,2－雙［4－（丙烯酰氧基乙氧基）苯基］丙烷、二環(huán)戊烯基丙烯酸酯、三環(huán)葵基丙烯酸酯、樹(shù)狀（丙烯酰氧基乙基）異氰脲酸酯、尿烷丙烯酸酯、環(huán)氧丙烯酸酯等。此外，也能使用丙烯酸酯為甲基丙烯酸酯的材料。這些既可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。

硬化劑無(wú)特別限制，可根據(jù)目的適宜選擇，例如能夠使用利用熱或光來(lái)激活的潛在性硬化劑。作為潛在性硬化劑，可舉出例如锍鹽等的陽(yáng)離子類硬化劑；聚胺、咪唑等的陰離子類硬化劑；有機(jī)過(guò)氧化物等的自由基類硬化劑等。

作為其他的添加組合物，優(yōu)選添加硅烷偶聯(lián)劑。作為硅烷偶聯(lián)劑，能夠使用環(huán)氧類、氨類、巰基/硫化物類、脲化物類等。在本實(shí)施方式中優(yōu)選使用這些中的環(huán)氧類硅烷偶聯(lián)劑。由此，能夠提高有機(jī)材料與無(wú)機(jī)材料的界面上的粘接性。另外，也可以添加無(wú)機(jī)填料。作為無(wú)機(jī)填料，能夠使用硅石、滑石、氧化鈦、碳酸鈣、氧化鎂等，無(wú)機(jī)填料的種類并不是特別限定的。通過(guò)無(wú)機(jī)填料的含有量，能夠控制流動(dòng)性，并能提高粒子捕獲率。另外，出于緩沖接合體的應(yīng)力的目的，也能適宜使用橡膠成分等。

第1、第2絕緣性粘接劑層30、31通過(guò)將利用有機(jī)溶劑溶解這些膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂、硬化劑、和其他的添加劑而得到的有機(jī)樹(shù)脂粘合劑涂敷在剝離基體材料35、36上，并使有機(jī)溶劑揮發(fā)而形成。此外，在混合膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂、硬化劑和其他的添加劑時(shí)，作為溶解這些的有機(jī)溶劑，能夠使用甲苯、醋酸乙酯或這些的混合溶劑、其他各種有機(jī)溶劑。

作為剝離基體材料35、36，能夠使用一般用在各向異性導(dǎo)電膜（acf）中的例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜等的基體材料。

[含導(dǎo)電性粒子層]

第1絕緣性粘接劑層30及第2絕緣性粘接劑層31挾持含導(dǎo)電性粒子層34。含導(dǎo)電性粒子層34是紫外線硬化型的粘接劑，含有膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂、硬化劑和導(dǎo)電性粒子32。

作為構(gòu)成含導(dǎo)電性粒子層34的膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂、硬化劑、其他的添加劑，能夠使用與上述的第1、第2絕緣性粘接劑層30、31同樣的材料。

作為導(dǎo)電性粒子32，能夠舉出各向異性導(dǎo)電膜中使用的公知的任何導(dǎo)電性粒子。作為導(dǎo)電性粒子32，可舉出例如鎳、鐵、銅、鋁、錫、鉛、鉻、鈷、銀、金等各種金屬或金屬合金的粒子；在金屬氧化物、碳、石墨、玻璃、陶瓷、塑料等的粒子表面涂敷金屬的粒子；或者，在這些粒子表面進(jìn)一步涂敷絕緣薄膜的粒子等。在向樹(shù)脂粒子表面涂敷金屬的粒子的情況下，作為樹(shù)脂粒子，能夠舉出例如環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、丙烯腈苯乙烯（as）樹(shù)脂、苯代三聚氰胺樹(shù)脂、二乙烯基苯類樹(shù)脂、苯乙烯類樹(shù)脂等的粒子。

含導(dǎo)電性粒子層34在與第1絕緣性粘接劑層30相接的一面34a，按照后述的金屬模具50的開(kāi)口51的圖案，形成有凹凸圖案40。在凹凸圖案40的凸部40a配置有導(dǎo)電性粒子32。即，含導(dǎo)電性粒子層34按照凹凸圖案40，以單層且有規(guī)則地配置有導(dǎo)電性粒子32。另外，在凹凸圖案40的凸部40a，露出導(dǎo)電性粒子32的頂部，并且與第1絕緣性粘接劑層30相接。

[硬化度]

另外，含導(dǎo)電性粒子層34如后述那樣，轉(zhuǎn)貼導(dǎo)電性粒子32后，對(duì)一面34a預(yù)先照射紫外線，隨后層壓第1絕緣性粘接劑層30。因此，含導(dǎo)電性粒子層34進(jìn)行一面34a側(cè)的硬化反應(yīng)。另外，含導(dǎo)電性粒子層34的遮住紫外光的導(dǎo)電性粒子32的下部，即，比導(dǎo)電性粒子32靠近與第2絕緣性粘接劑層31相接的另一面34b側(cè)的硬化度，低于其他部位的硬化度。

[氣泡]

含導(dǎo)電性粒子層34在與第1絕緣性粘接劑層30之間含有氣泡41。在利用各向異性導(dǎo)電膜23連接電子部件18后，氣泡41緩沖各向異性導(dǎo)電膜23中的內(nèi)部應(yīng)力，由此防止透明基板12的翹曲。即，各向異性導(dǎo)電膜23伴隨各層30、31、34的粘接劑成分的硬化收縮而產(chǎn)生應(yīng)力，但是在含導(dǎo)電性粒子層34與第1絕緣性粘接劑層30之間含有的氣泡41的應(yīng)力緩沖作用下能夠抑制透明基板12的翹曲。

此時(shí)，優(yōu)選氣泡41的位置為導(dǎo)電性粒子32的附近，并且是不與該導(dǎo)電性粒子32接觸的位置。這關(guān)系到連接時(shí)應(yīng)力容易集中于導(dǎo)電性粒子32的情形。氣泡41過(guò)于靠近導(dǎo)電性粒子32的情況下，有應(yīng)力變化急劇的擔(dān)憂，因此較為優(yōu)選的是適宜隔著距離而設(shè)置。該距離優(yōu)選為比最接近的導(dǎo)電性粒子32的粒徑的0.2倍還大，更優(yōu)選為比0.3倍還大。在該情況下，不設(shè)氣泡41與導(dǎo)電性粒子32的距離的上限，這是因?yàn)榕帕杏袑?dǎo)電性粒子32，作為理由舉出因該粒子間距離而上限發(fā)生變動(dòng)。再者，在此所說(shuō)的氣泡41與導(dǎo)電性粒子32的距離表示氣泡41的端部與導(dǎo)電性粒子32的端部的最短距離。

另外，在最鄰接的導(dǎo)電性粒子32的距離相距粒徑的2倍以上的情況下，優(yōu)選導(dǎo)電性粒子32與氣泡41的距離存在于其中間的區(qū)域。在該情況下，也優(yōu)選氣泡41距一個(gè)導(dǎo)電性粒子32分離粒徑的0.2倍，更優(yōu)選為從0.3倍分離。進(jìn)而，氣泡41優(yōu)選在導(dǎo)電性粒子32的粒子間的中央?yún)^(qū)域中，存在于從該中間點(diǎn)起粒子間距離的0.4倍以內(nèi)的范圍，更優(yōu)選為存在于0.3倍以內(nèi)的范圍。此外，在該情況下的氣泡41的存在范圍以該中間點(diǎn)為基點(diǎn)，因此最大為0.5倍。

含導(dǎo)電性粒子層34的一面34a因紫外線照射而硬化，隨后被層壓第1絕緣性粘接劑層30，從而氣泡41包含在形成于該一面34a的凹凸圖案40的凹部40b與第1絕緣性粘接劑層30之間。另外，根據(jù)凹凸圖案40的凹部40b的排列，氣泡41有規(guī)則地包括在含導(dǎo)電性粒子層34與第1絕緣性粘接劑層30之間。此時(shí)，多個(gè)氣泡41及導(dǎo)電性粒子32混合在一起，但是未必一定將氣泡41與導(dǎo)電性粒子32的各自距離配置相等。另外，氣泡41的群既可以按直線狀或曲線存在，也可為這樣的線相交的格子狀。另外，這樣的氣泡群內(nèi)的間隔也可以不固定，間歇性也可。

此外，氣泡41還包括其最大長(zhǎng)度小于1μm的微小尺寸的微小泡。即，氣泡41也可以通過(guò)例如在制造各向異性導(dǎo)電膜23的過(guò)程中進(jìn)行層壓或延伸時(shí)的外力，擴(kuò)散1μm以上大小的泡而成為最大長(zhǎng)度小于1μm的微小泡。這樣，各向異性導(dǎo)電膜23含有的氣泡41為如上述的微小泡占有大半的構(gòu)成，也不會(huì)因氣泡41而損壞本發(fā)明的效果。另外，在氣泡41的最大長(zhǎng)度大于5μm的情況下，有牽涉到連接時(shí)樹(shù)脂流動(dòng)造成的夾渣或伴隨它的連接后的空隙發(fā)生等的因素的情況，因此優(yōu)選氣泡41的最大長(zhǎng)度小于5μm。

另外，在成為微小泡的氣泡41配置在導(dǎo)電性粒子32附近的情況下，氣泡41的應(yīng)力緩沖的效果也照樣體現(xiàn)出來(lái)。例如，當(dāng)氣泡41偏于導(dǎo)電性粒子32附近的4處而存在的情況下，在該4處中分散各向異性導(dǎo)電膜23的內(nèi)部應(yīng)力的同時(shí)進(jìn)行緩沖。因此，能夠抑制連接體的翹曲。此外，氣泡41如上所述，包含在各向異性導(dǎo)電膜23的制造過(guò)程通過(guò)層壓或延伸而擴(kuò)散并成為微小泡的氣泡，因此其形狀無(wú)特別限定。

進(jìn)而，作為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜123的其他實(shí)施方式，為了確保導(dǎo)電性粒子132的獨(dú)立性并防止短路發(fā)生，如圖3所示，也可以采用在含導(dǎo)電性粒子層134所包含的絕緣性粘接劑133與導(dǎo)電性粒子132之間設(shè)有液態(tài)組合物142的結(jié)構(gòu)。作為液態(tài)組合物142，適用公知樹(shù)脂及溶劑等。例如，在作為液態(tài)組合物142使用連接時(shí)對(duì)硬化有幫助的材質(zhì)的情況下，使用低分子量的環(huán)氧樹(shù)脂且最好是單官能團(tuán)或二官能團(tuán)的材料或低分子量的丙烯單體。另一方面，在作為液態(tài)組合物142使用連接時(shí)對(duì)硬化無(wú)幫助的材質(zhì)的情況下，能舉出稀釋的低分子量橡膠或苯氧基樹(shù)脂、分子量為數(shù)百～數(shù)千的增粘劑、沸點(diǎn)200℃以上的溶劑、均化劑等。

在作為液態(tài)組合物142使用對(duì)硬化有幫助的材質(zhì)的情況下，由于連接時(shí)液態(tài)組合物142硬化，所以導(dǎo)電性粒子132難以向圖3所示的各向異性導(dǎo)電膜123的寬度方向移動(dòng)，促進(jìn)連接后的導(dǎo)電性粒子132的獨(dú)立性。即，有助于防止導(dǎo)電性粒子132的連結(jié)。另一方面，在作為液態(tài)組合物142使用對(duì)硬化無(wú)幫助的材質(zhì)的情況下，促進(jìn)連接時(shí)圖3所示的各向異性導(dǎo)電膜123的厚度方向的流動(dòng)性，有助于導(dǎo)電性粒子132的壓入。因此，導(dǎo)電性粒子132向面(橫)方向(圖3所示的各向異性導(dǎo)電膜123的寬度方向)的移動(dòng)會(huì)相對(duì)得到抑制。即，無(wú)論液態(tài)組合物142對(duì)硬化是否有幫助，都有助于提高連接構(gòu)造體的導(dǎo)通性能。

另外，液態(tài)組合物142因?qū)訅夯蜓由?、或者以各向異性?dǎo)電膜123連接時(shí)的外力而擴(kuò)散，從而顯示與氣泡141同樣的效果。即，在認(rèn)為由液態(tài)組合物構(gòu)成的泡中也與前述的氣泡141同樣，緩沖各向異性導(dǎo)電膜123的內(nèi)部應(yīng)力。換句話說(shuō)，泡不限定于氣泡141，包含由液態(tài)組合物142生成的泡。在由液態(tài)組合物142構(gòu)成的泡的情況下，因?yàn)橹品ㄉ系脑颍c導(dǎo)電性粒子132接觸的概率高。然而，由液態(tài)組合物142構(gòu)成的泡與氣泡141不同，由于是液態(tài)，推測(cè)難以發(fā)生上述的急劇的應(yīng)力變化，因此在該情況下對(duì)于泡和導(dǎo)電性粒子132的接觸狀態(tài)無(wú)特別限制。

此外，設(shè)有液態(tài)組合物142的部位，因?yàn)槠渲品ㄉ系脑?，未必一定限定于絕緣性粘接劑133與導(dǎo)電性粒子132之間。例如，也可以設(shè)在第1絕緣性粘接劑層130與導(dǎo)電性粒子132之間、或第2絕緣性粘接劑層131與導(dǎo)電性粒子132之間的任意部位，另外，在設(shè)置液態(tài)組合物142時(shí)成為氣泡141中含有液態(tài)組合物142的結(jié)構(gòu)，也發(fā)揮與上述同樣的效果。這是因?yàn)檎承愿叩臉?shù)脂占構(gòu)成物的主要部分，從而包含液態(tài)組合物142的泡的移動(dòng)率相對(duì)較高，難以確定其位置的緣故。

[各向異性導(dǎo)電膜的制造工序]

接著，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的各向異性導(dǎo)電膜23的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，準(zhǔn)備用于排列導(dǎo)電性粒子的模具。如圖4所示，模具例如能使用有規(guī)則地形成填充導(dǎo)電性粒子的開(kāi)口51的金屬模具50。金屬模具50利用橡皮滾等來(lái)填充導(dǎo)電性粒子32。由此，導(dǎo)電性粒子32在金屬模具50的表面以對(duì)應(yīng)于開(kāi)口51的圖案的圖案排列。

金屬模具50中開(kāi)口51的間隔a例如設(shè)為3～6μm。如后述那樣，在含導(dǎo)電性粒子層34與第1絕緣性粘接劑層30之間含有的氣泡41的大小，根據(jù)該開(kāi)口51的間隔a而控制，對(duì)應(yīng)于間隔3～6μm的開(kāi)口51成為1～5μm。此外，如前述那樣，氣泡41的大小在制造各向異性導(dǎo)電膜23的過(guò)程中因?qū)訅夯蜓由鞎r(shí)的外力而擴(kuò)散1μm以上大小的泡，從而成為最大長(zhǎng)度小于1μm的微小泡。另外，通過(guò)調(diào)整金屬模具50的開(kāi)口51的間隔a、形狀等，也可以使氣泡41的大小、即最大長(zhǎng)度為1μm以下。

另外，金屬模具50形成為：開(kāi)口51有規(guī)則地排列，并且各開(kāi)口51的開(kāi)口直徑稍大于導(dǎo)電性粒子32的直徑，深度與導(dǎo)電性粒子32的直徑大致相同。由此，金屬模具50在填充了導(dǎo)電性粒子32時(shí)，能夠以單層且有規(guī)則地排列導(dǎo)電性粒子32。

如圖5所示，金屬模具50中，對(duì)開(kāi)口51填充有導(dǎo)電性粒子32的面層壓有光硬化型的粘接劑層55。粘接劑層55由后續(xù)構(gòu)成上述的含導(dǎo)電性粒子層34的膜形成樹(shù)脂、熱硬化性樹(shù)脂、硬化劑、混合其他的添加劑的有機(jī)樹(shù)脂粘合劑構(gòu)成，并且被剝離基體材料56支撐。剝離基體材料56能夠使用一般在各向異性導(dǎo)電膜(acf)中使用的例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜等的基體材料。

粘接劑層55被加熱按壓頭從剝離基體材料56側(cè)加壓，層壓在金屬模具50的形成有開(kāi)口51的一面，并且壓入開(kāi)口51。由此，粘接劑層55成型對(duì)應(yīng)于開(kāi)口51的圖案的凹凸圖案40，并且對(duì)凹凸圖案40的凸部40a轉(zhuǎn)貼有填充于開(kāi)口51的導(dǎo)電性粒子32。

接著，粘接劑層55與剝離基體材料56一起從金屬模具50剝離。由此，如圖6所示，形成被剝離基體材料56支撐的未硬化的含導(dǎo)電性粒子層34。含導(dǎo)電性粒子層34在與被剝離基體材料56支撐的面相反側(cè)的一面34a，對(duì)應(yīng)于開(kāi)口51的圖案有凹凸圖案40。

凹凸圖案40中對(duì)凸部40a轉(zhuǎn)貼有導(dǎo)電性粒子32。導(dǎo)電性粒子32的一部分32a從凸部40a的上表面向外側(cè)露出。另外，凹凸圖案40對(duì)應(yīng)于開(kāi)口51的間隔而形成有凹部40b。

接著，含導(dǎo)電性粒子層34被從形成凹凸圖案40的一面34a側(cè)照射紫外線，從而硬化。在此，由于在凸部40a的導(dǎo)電性粒子32的背面?zhèn)龋贤饩€的照射不充分，因此含導(dǎo)電性粒子層34的比導(dǎo)電性粒子32更下側(cè)、即比導(dǎo)電性粒子32更靠另一面34b側(cè)成為未硬化的狀態(tài)。

接著，如圖7所示，含導(dǎo)電性粒子層34在一面34a層壓有被剝離基體材料35支撐的第1絕緣性粘接劑層30。此時(shí)，含導(dǎo)電性粒子層34因紫外線照射而硬化，因此層壓第1絕緣性粘接劑層30時(shí)，能夠在凹凸圖案40的凹部40b與第1絕緣性粘接劑層30之間包含氣泡41。另外，含導(dǎo)電性粒子層34能夠使從凹凸圖案40的凸部40a露出的導(dǎo)電性粒子32的一部分32a與第1絕緣性粘接劑層30接觸。

此外，氣泡41的位置依賴于金屬模具50的凹凸圖案40的凸部40的位置，因此成為配置在導(dǎo)電性粒子32之間。因此，氣泡41配置在導(dǎo)電性粒子32的附近，但是并非與導(dǎo)電性粒子32直接相接的配置。具體而言，氣泡41中隔著導(dǎo)電性粒子32的外徑的0.2～0.3倍左右大小的距離位于導(dǎo)電性粒子32的外側(cè)的占一大半。認(rèn)為這是因?yàn)樵诮饘倌＞?0的開(kāi)口部51的端部中，與含導(dǎo)電性粒子層34所包含的絕緣性粘接劑33的接觸及剝離而產(chǎn)生。因此，氣泡41難以與導(dǎo)電性粒子32鄰接，位于該導(dǎo)電性粒子32附近的較少。即，氣泡41存在于導(dǎo)電性粒子32之間的比例變高。然而，包含上述的圖3所示的由液態(tài)組合物142形成的液泡的方式，因制法的特征而該液泡會(huì)與導(dǎo)電性粒子132接觸。

接著，含導(dǎo)電性粒子層34被剝離剝離基體材料56，對(duì)露出的另一面34b層壓被剝離基體材料36支撐的第2絕緣性粘接劑層31。由此，如圖2所示，形成各向異性導(dǎo)電膜23。

此外，為了確保導(dǎo)電性粒子132的獨(dú)立性而防止短路發(fā)生，在制造圖3所示的本發(fā)明所涉及的其他實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜123時(shí)，對(duì)導(dǎo)電性粒子132與第1絕緣性粘接劑層130之間、或?qū)щ娦粤Ｗ?32與含導(dǎo)電性粒子層134的絕緣性粘接劑133之間的至少任意一方涂敷或噴霧液體組合物142。在將液體組合物142涂敷或噴霧在導(dǎo)電性粒子132與第1絕緣性粘接劑層130之間的情況下，向金屬模具50(參照?qǐng)D4)填充導(dǎo)電性粒子132后，以絕緣性粘接劑層130層壓之前，涂敷或噴霧不會(huì)達(dá)到金屬模具50的底面的程度的極微量的液體組合物142。能緩沖金屬模具50的開(kāi)口部51的端部上的與第1絕緣性粘接劑層130、絕緣性粘接劑133的接觸。

另外，在液態(tài)組合物142對(duì)硬化有幫助的情況下，由于促進(jìn)硬化時(shí)的導(dǎo)電性粒子132的獨(dú)立性，所以有助于防止連接時(shí)的導(dǎo)電性粒子132的連結(jié)。另一方面，在液態(tài)組合物142對(duì)硬化沒(méi)有幫助的情況下，有助于連接時(shí)導(dǎo)電性粒子132的壓入，因此促進(jìn)各向異性導(dǎo)電膜123的厚度方向的流動(dòng)性，向面(橫)方向的移動(dòng)相對(duì)得到抑制。即，無(wú)論液態(tài)組合物142對(duì)硬化是否有幫助，都有助于提高連接構(gòu)造體的導(dǎo)通性能。

[利用各向異性導(dǎo)電膜的連接工序]

接著，對(duì)利用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的各向異性導(dǎo)電膜23的連接工序進(jìn)行說(shuō)明。在經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜23將電子部件18連接到端子部17a的情況下，首先，將剝離基體材料35剝離，并將露出的第1絕緣性粘接劑層30承載于透明電極17的端子部17a上，利用未圖示的預(yù)壓接單元從剝離基體材料36上預(yù)壓接各向異性導(dǎo)電膜23。

接著，將剝離基體材料36剝離，在各向異性導(dǎo)電膜23上承載電子部件18后，通過(guò)熱壓接單元即加熱按壓頭3將電子部件18與各向異性導(dǎo)電膜23一起按壓到端子部17a側(cè)，并且使加熱按壓頭3發(fā)熱。通過(guò)該加熱按壓頭3的熱加壓，各向異性導(dǎo)電膜23中第1、第2絕緣性粘接劑層30、31顯示流動(dòng)性，從透明基板12的端子部17a與電子部件18的連接端子18a之間流出。

在此，含導(dǎo)電性粒子層34中，導(dǎo)電性粒子32從凸部40a露出，與第1絕緣性粘接劑層30接觸，因此通過(guò)第1絕緣性粘接劑層30的流出，使導(dǎo)電性粒子32與端子部17a接觸。另外，含導(dǎo)電性粒子層34中導(dǎo)電性粒子32的背面?zhèn)茸贤饩€的照射不充分而處于未硬化狀態(tài)，因此通過(guò)加熱按壓頭3的熱加壓，與第2絕緣性粘接劑層31一起流出，從而導(dǎo)電性粒子32也與電子部件18的連接端子18a接觸。

因此，如圖8所示，各向異性導(dǎo)電膜23中，導(dǎo)電性粒子32被透明基板12的端子部17a與電子部件18的連接端子18a挾持，并且在該狀態(tài)下熱硬化。由此，經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜23，電子部件18電氣、機(jī)械地連接到端子部17a上。此外，透明基板12的端子部17a與電子部件18的連接端子18a的電氣、機(jī)械的連接，不限定于加熱按壓。即，可以并用加熱按壓和光照射而使之硬化并接合，也可以僅通過(guò)光照射進(jìn)行接合。另外，預(yù)壓接中利用光熱并用或光照射下的硬化，也沒(méi)有特別問(wèn)題。

此時(shí)，各向異性導(dǎo)電膜23在含導(dǎo)電性粒子層34與第1絕緣性粘接劑層30之間對(duì)應(yīng)于凹部40b的排列有規(guī)則地含有氣泡41，因此在電子部件18與端子部17a之間伴隨硬化收縮產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力的情況下，通過(guò)氣泡41的應(yīng)力緩沖作用，也能降低連接后的透明基板12的翹曲。因此，在使用謀求薄型化的透明基板12的液晶顯示面板10中也抑制翹曲的發(fā)生，由此能夠降低色不勻。

另外，各向異性導(dǎo)電膜23中，對(duì)應(yīng)于凹凸圖案40有規(guī)則地單層排列有導(dǎo)電性粒子32，因此與導(dǎo)電性粒子不規(guī)則地混合的現(xiàn)有的各向異性導(dǎo)電膜相比，能夠極力減少不參與電子部件18與端子部17a的電連接的不需要的導(dǎo)電性粒子。而且，通過(guò)配置在導(dǎo)電性粒子32附近的泡，在導(dǎo)電性粒子32的周邊區(qū)域局部產(chǎn)生應(yīng)力緩沖，但是，由于這些導(dǎo)電性粒子32本身規(guī)則排列，所以因其規(guī)則性而所體現(xiàn)的效果會(huì)均勻遍及全體，而對(duì)此能夠進(jìn)行控制。

實(shí)施例

接著，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的各向異性導(dǎo)電膜的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施例中，準(zhǔn)備改變了氣泡的尺寸及絕緣性粘接劑層的硬化類的多個(gè)各向異性導(dǎo)電膜的樣品(實(shí)施例1～10)和不包含氣泡的各向異性導(dǎo)電膜的樣品(比較例1、2)，分別測(cè)定對(duì)玻璃基板搭載ic芯片時(shí)的玻璃基板的翹曲量和導(dǎo)通電阻。

實(shí)施例及比較例的樣品均為在第1、第2絕緣性粘接劑層挾持含導(dǎo)電性粒子層的各向異性導(dǎo)電膜，各含導(dǎo)電性粒子層在與第1絕緣性粘接劑層相接的一面?zhèn)刃纬砂纪箞D案，并且在凹部以單層且有規(guī)則地排列有導(dǎo)電性粒子。但是，在各實(shí)施例所涉及的樣品中含導(dǎo)電性粒子層與第1絕緣性粘接劑層之間包含氣泡，在比較例所涉及的樣品中不包含氣泡。

[含導(dǎo)電性粒子層的制作]

關(guān)于含導(dǎo)電性粒子層，利用棒涂機(jī)對(duì)pet膜涂敷由下述表1及表2所示的混合組份構(gòu)成的有機(jī)樹(shù)脂粘合劑(固態(tài)量50％)，在70℃5分鐘熱風(fēng)干燥，制作厚度5μm的粘接層膜。

另外，如圖9所示，準(zhǔn)備3種實(shí)施例及比較例所涉及的金屬模具：有規(guī)則地形成孔徑為5μm見(jiàn)方、孔深度為3μm的開(kāi)口，開(kāi)口的間隔a分別為3μm(實(shí)施例1及實(shí)施例6)、4μm(實(shí)施例2、4、5、7、9、10，比較例1、2)、6μm(實(shí)施例3及實(shí)施例8)。向各金屬模具的開(kāi)口部填充的導(dǎo)電性粒子，使用積水化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制的au－203a(平均粒徑3μm)，以橡皮滾進(jìn)行填充。

然后，用輥表面溫度45℃的層壓裝置將之前制作的粘接層膜向填充導(dǎo)電性粒子的金屬模具層壓，其后，從金屬模具進(jìn)行剝離。由此，在粘接層膜中，對(duì)一面形成對(duì)應(yīng)于金屬模具的開(kāi)口圖案的凹凸圖案，并且對(duì)凸部轉(zhuǎn)貼有導(dǎo)電性粒子。導(dǎo)電性粒子有規(guī)則地單層排列，并且使一部分從凸部向外側(cè)露出。

從形成凹凸圖案的一面?zhèn)葘?duì)該粘接層膜照射波長(zhǎng)365nm、累計(jì)光量4000mj/cm2的uv光，形成了含導(dǎo)電性粒子層。含導(dǎo)電性粒子層形成有凹凸圖案的一面?zhèn)缺籾v硬化，但是在導(dǎo)電性粒子的背面?zhèn)萿v的照射量較低，成為未硬化的狀態(tài)。

[絕緣性粘接劑層的制作]

關(guān)于絕緣性粘接劑層，利用棒涂機(jī)對(duì)pet膜涂敷由下述表1及表2所示的混合組份構(gòu)成的有機(jī)樹(shù)脂粘合劑，在80℃3分鐘熱風(fēng)干燥，制作了厚度5μm的粘接層膜。

由此，制作被pet膜支撐的第1、第2絕緣性粘接劑層。

[含導(dǎo)電性粒子層與絕緣性粘接劑層的層壓工序]

接著，層壓含導(dǎo)電性粒子層和絕緣性粘接劑層，從而制作了各向異性導(dǎo)電膜的樣品。首先，用輥表面溫度45℃的層壓裝置對(duì)含導(dǎo)電性粒子層的形成凹凸圖案的一面?zhèn)葘訅旱?絕緣性粘接劑層。

此時(shí)，實(shí)施例1～5中，此時(shí)，使氣泡包括在凹凸圖案的凹部?jī)?nèi)。另一方面，比較例1、2中，以不混入氣泡的方式進(jìn)行層壓。另外，實(shí)施例6～10中，同樣地以包括小于1μm的微小泡的方式進(jìn)行層壓。

接著，從含導(dǎo)電性粒子層的與形成凹凸圖案的一面相反側(cè)的另一面剝離pet膜，用輥表面溫度45℃的層壓裝置來(lái)層壓第2絕緣性粘接劑層。

由此，制作了各實(shí)施例及比較例所涉及的總厚20μm的各向異性導(dǎo)電膜。

[特性評(píng)價(jià)]

作為評(píng)價(jià)元件，使用

外形：1.8mm×20mm

厚度：0.5mm

au－plated凸點(diǎn)外形：30μm×85μm

au－plated凸點(diǎn)高度：15μm

的評(píng)價(jià)用ic。

作為連接評(píng)價(jià)用ic的評(píng)價(jià)基體材料，使用玻璃厚0.7mm的ito涂敷玻璃。

隔著實(shí)施例及比較例所涉及的各向異性導(dǎo)電膜(35mm×24mm)在該ito涂敷玻璃形成了通過(guò)熱加壓來(lái)連接評(píng)價(jià)用ic的連接體樣品。各實(shí)施例及比較例所涉及的安裝條件如下。

實(shí)施例1～3、實(shí)施例6～8及比較例1、2(陽(yáng)離子硬化類)中，為180℃－70mpa－5秒，作為緩沖材料，使厚度50μm的teflon(注冊(cè)商標(biāo))介于加熱按壓頭與評(píng)價(jià)用ic之間。

實(shí)施例4及實(shí)施例9(陰離子硬化類)中，為200℃－70mpa－5秒，作為緩沖材料，使厚度50μm的teflon(注冊(cè)商標(biāo))介于加熱按壓頭與評(píng)價(jià)用ic之間。

實(shí)施例5及實(shí)施例10(自由基硬化類)中，為160℃－70mpa－5秒，作為緩沖材料，使厚度50μm的teflon(注冊(cè)商標(biāo))介于加熱按壓頭與評(píng)價(jià)用ic之間。

對(duì)于以上的實(shí)施例及比較例的各連接體樣品，利用數(shù)字萬(wàn)用表以4端子法測(cè)定連接之初和tct(80℃85％250h)后的流動(dòng)2ma電流時(shí)的連接電阻。另外，對(duì)于各連接體樣品，利用觸針式表面粗度計(jì)(cl－830：株式會(huì)社小阪研究所制)從評(píng)價(jià)基體材料的ito涂敷玻璃下表面開(kāi)始掃描，測(cè)定評(píng)價(jià)用ic的連接前后的ito涂敷玻璃的翹曲量(μm)，求出其差值。將測(cè)定結(jié)果示于表1及表2。

如表1所示，依據(jù)本實(shí)施例，由于都使氣泡包括在含導(dǎo)電性粒子層的凹凸圖案的凹部?jī)?nèi)，所以能夠緩沖評(píng)價(jià)用ic連接后在連接處產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力。因此，能夠抑制連接之初及tct后的翹曲量，且，tct后的導(dǎo)通電阻也能抑制到最大6.0ω以下，從而能夠?qū)崿F(xiàn)良好的導(dǎo)通電阻。

另一方面，比較例1中不包含氣泡，因此不會(huì)發(fā)揮在評(píng)價(jià)用ic的連接處產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力的緩沖作用，連接之初的翹曲量大到15μm。另外，比較例2中添加了應(yīng)力緩沖劑，但是與包含氣泡的實(shí)施例1～5相比，連接之初的翹曲量大到10μm，降低翹曲的效果較小。另外，比較例2中，因?yàn)樘砑討?yīng)力緩沖劑，所以會(huì)降低粘接劑成分的凝聚力，從而連接可靠性下降，tct后的導(dǎo)通電阻也高達(dá)10ω。

實(shí)施例4中，翹曲量稍下降。認(rèn)為這是因?yàn)閷?shí)施例2的硬化類從陽(yáng)離子類改變?yōu)殛庪x子類，所以硬化速度比陽(yáng)離子類慢的緣故。另外，實(shí)施例5中，將實(shí)施例2的硬化類從陽(yáng)離子類改變?yōu)樽杂苫?，雖然低溫速硬化性優(yōu)異，但翹曲量稍微增加。

另外，如表2所示，依據(jù)實(shí)施例6～10，由于都使微小泡包括在含導(dǎo)電性粒子層的凹凸圖案的凹部或?qū)щ娦粤Ｗ优c第1絕緣性粘接劑層之間，所以與實(shí)施例1～5相比，能夠進(jìn)一步緩沖評(píng)價(jià)用ic連接后在連接處產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力。即，可知微小泡的情況下會(huì)比較大的氣泡時(shí)降低一些翹曲量，從而能夠緩沖在連接處產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力。推測(cè)這是因?yàn)闅馀葑兂晌⑿∨荩瑥亩嬖谠S多起到該內(nèi)部應(yīng)力的緩沖作用的泡，因此進(jìn)一步提高了應(yīng)力的分散效果的緣故。

另外，與實(shí)施例4同樣地在實(shí)施例9中，同樣地翹曲量稍微下降。認(rèn)為這是因?yàn)閷?shí)施例7的硬化類從陽(yáng)離子類改變?yōu)殛庪x子類，因此硬化速度比陽(yáng)離子類慢的緣故。另外實(shí)施例5和10中，將硬化類從實(shí)施例2和7的陽(yáng)離子類改變?yōu)樽杂苫?，雖然低溫速硬化優(yōu)異，但翹曲量稍微增加。

標(biāo)號(hào)說(shuō)明

1液晶顯示裝置；3加熱按壓頭；10液晶顯示面板；11、12透明基板；12a邊緣部；16、17透明電極；17a端子部，；18電子部件；18a連接端子；20cog安裝部；23、123各向異性導(dǎo)電膜；30、130第1絕緣性粘接劑層；31、131第2絕緣性粘接劑層；32、132導(dǎo)電性粒子；33、133絕緣性粘接劑；34、134含導(dǎo)電性粒子層；34a，134a一面；34b、134b另一面；35、36、135、136剝離基體材料；40、140凹凸圖案；40a、140a凸部；40b、140b凹部；41、141氣泡；50金屬模具；51開(kāi)口；55粘接劑層；56剝離基體材料；142液態(tài)組合物。